CN1862697B - 磁头悬架的制造方法 - Google Patents

Abstract

一种磁头悬架的制造方法，其可流畅地形成具有负载梁和形成于负载梁上的轨，以实现所需冲击特性并解决磁头悬架因轨的纵向弯曲而产生的扭转问题。包括：刚性部件链状产品制造步骤，该步骤包括用于形成板状框架的刚性部件框架形成步骤和通过弯起成形边缘而形成轨的轨形成步骤，其中刚性部件框架形成步骤形成了刚性部件，该刚性部件包括用于轨的形成的成形边缘和沿每个成形边缘的纵向弯曲部的可变形部分；形成连续地提供弹性构件的弹性构件链状产品制造步骤；形成挠曲件的制造步骤；形成基座的制造步骤；层叠和接合步骤，其层叠并接合刚性部件链状产品、弹性构件链状产品、基座和挠曲件以形成层叠组；切割步骤，其从层叠组切割及分离各磁头悬架。

Description

磁头悬架的制造方法

技术领域

本发明涉及集成在信息或数据处理设备例如个人计算机中的硬盘驱动器(HDD)的磁头悬架的制造方法。

背景技术

硬盘驱动器的磁头悬架包括负载梁、由负载梁支撑的磁头和连接到磁头上的滑动头。磁头悬架具有确定在施加冲击时滑动头从硬盘表面抬起的冲击特性。磁头悬架的冲击特性取决于负载梁的重量。

例如，第一磁头悬架具有厚度(t)为51μm、长度(1L)为7mm的负载梁，且由负载梁施加于磁头上的克载荷为2.5gf，第二磁头悬架具有厚度(t)为30μm、长度(1L)为5.5mm的负载梁，且克载荷为2.5gf。如果向磁头悬架施加持续1毫秒(msec)(半波长中的1msec)的冲击，则第一磁头悬架的滑动头以628G的加速度抬起且第二磁头悬架的滑动头以1103G的加速度抬起。

从这些实例可知，为改善磁头悬架的冲击特性，磁头悬架的负载梁必须薄且短而且还必须具有大的克载荷。

图19是根据现有技术的用于硬盘驱动器的磁头悬架101的俯视图。磁头悬架101具有包括基板103、负载梁105以及挠曲件107。负载梁105具有刚性部件(硬性部件)109和弹性部件(折页)111。刚性部件109的每侧边缘均提供有从刚性部件109的表面弯起的轨113。

图20是部分地表示安装有图19中磁头悬架的硬盘驱动器的剖视图。支架115具有臂117。磁头悬架101的基板103通过例如模锻连接到一个臂117上。

支架115通过位置控制电机118例如音圈电机来绕主轴119转动。通过使支架115绕主轴119转动以使磁头悬架101的磁头121在磁盘123上移动到一目标轨道。

为改善磁头悬架101的冲击特性，使负载梁105的长度(1L)缩短且变薄，从而减小负载梁105的重量。

实际上，臂117振动。因此，负载梁105必须考虑臂117的第一弯曲频率来进行设计，也就是，臂117在第一弯曲模式下的共振频率。第一弯曲频率在后面被称为“B1频率”。当确定用于负载梁105的B1频率时考虑臂117的B1频率很重要。

图21到图23是表示安装于2.5英寸硬盘驱动器中的臂的B1频率和冲击特性之间关系的曲线图。在图中，图21表示当滑动头抬起时作用于硬盘驱动器上的冲击的加速度特征，图22表示因作用的冲击而产生于臂前端的最大加速度，图23表示臂因作用的冲击而产生的最大位移。在图21到图23的每个中，横坐标表示臂的B1频率。在图21和图22中，纵坐标表示臂的加速度。在图23中，纵坐标表示臂的位移。所作用冲击的加速度大小在每种情况下皆为300G。所作用冲击的半波长持续时间为2msec、1msec和0.4msec。

从图21到图23可知，如果臂的B1频率如曲线125A、125B、125C、127A、127B和127C所示般高(例如，1.5kHz)，则臂在持续2msec或者1msec的冲击下基本上不动。另一方面，如果臂的B1频率如曲线129A、129B和129C所示，则臂不同程度地在持续0.4msec的冲击下运动。

这是因为，即使臂的B1频率高，臂相对于持续0.4msec的冲击也会进行很大的运动。

连接到该臂上的磁头悬架必定随臂而运动。如果磁头悬架的负载梁可跟随臂的振动，则磁头悬架的滑动头将不会从磁盘的表面抬起。

对磁头悬架的另一考虑是偏离轨道(off-track)特性。基本上可知磁头悬架的竖直刚度(硬度)与磁头悬架的偏离轨道特性无关。

实际上，磁头悬架包括轻微扭转，磁盘有轻微倾斜。由于该扭转和倾斜，磁头悬架的B1频率或竖直刚度影响磁头悬架的偏离轨道特性。

图24是表示B1频率为3.1kHz的磁头悬架的偏离轨道特性的曲线图。在图24中，横坐标表示臂的频率，纵坐标表示偏离轨道位移。在图24的曲线图中，用连续实线描绘的曲线表示在以5400rpm转速旋转的2.5英寸磁盘上测量的磁头悬架的偏离轨道特性，用虚线描绘的曲线表示在以7200rpm转速旋转的2.5英寸磁盘上测量的磁头悬架的偏离轨道特性。

在图24中，磁头悬架具有3.1kHz的低B1频率，因此，磁头悬架的弯曲模式与臂的弯曲模式重叠。结果，在3.0kHz和3.3kHz处观察到偏离轨道现象。

为避免偏离轨道现象，磁头悬架的负载梁的B1频率必须增加以使磁头悬架的弯曲模式不与臂的弯曲模式重叠。

为增加负载梁的B1频率，如图19所示般沿刚性部件109的每侧边缘连续地形成轨113是有效的。

对于具有图25所示构造的负载梁，难以形成沿刚性部件109A整个长度的连续轨。

图25是表示磁头悬架的透视图。图25中与图19对应的部件用相同参考标记加“A”表示。

为改善负载梁105A的竖直刚度(硬度)，图25的磁头悬架101A在负载梁105A的刚性部件109A上具有轨113A。刚性部件109A的基端具有较宽部分131。较宽部分131具有向弹性部件131A逐渐变宽的梯形形状。较宽部分131没有轨。

图25的磁头悬架101A用于3.5英寸硬盘，其对改善冲击特性要求较小，但对高摇动频率要求很高。为实现较高的摇动频率，刚性部件109A设有较宽部分131。并不是强烈需要该磁头悬架将轨113A延伸到较宽部分131。

用于2.5英寸硬盘驱动器的磁头悬架需要具有改善的冲击特性。图25中在较宽部分131上没有轨的结构展示了用于负载梁105A的低B1频率，几乎不能满足所需的冲击特性。

为满足所需冲击特性，图26中所示结构可从图25中结构得出。图26是表示磁头悬架101B的透视图。图26中与图25中部件相对应的部件用相同参考标记加“B”以取代“A”来表示。

图26中磁头悬架101B连续地从刚性部件109B前端到较宽部分131B端部形成了轨113B。该构造可改善负载梁105B的B1频率以满足所需的冲击特性并改善摇动频率。

从刚性部件109B前端到较宽部分131B端部连续地形成的轨113B包括每个轨113B的中间部件处的纵向弯曲部133。当通过弯曲包括较宽部分131B的刚性部件109B来形成轨113B时，轨113B可以在纵向弯曲部133处变形以扭转刚性部件109B。刚性部件109B的扭转使磁头悬架101B的偏离轨道特性变差。

上述现有技术的详情可参照美国专利出版物No.6765759B2和日本未审查专利出版物No.09-282624。

发明内容

本发明的目的是提供磁头悬架的制造方法，其可流畅地形成具有负载梁和形成于负载梁上的轨的磁头悬架，以实现所需冲击特性并解决磁头悬架因轨的纵向弯曲而产生的扭转问题。

为实现该目的，本发明最大特征是：刚性部件框架形成步骤，其形成用于刚性部件形成的板状框架，该板状框架包括成形边缘以用于轨形成，并沿每个成形边缘的纵向弯曲部形成可变形部分；轨形成步骤，其通过弯起成形边缘来形成轨。

本发明的一个方面提供具有负载梁和形成于负载梁上的轨的磁头悬架的制造方法。该方法包括：刚性部件框架形成步骤，其形成用于刚性部件形成的板状框架，该板状框架包括成形边缘以用于轨形成，并沿每个成形边缘的纵向弯曲部形成可变形部分；轨形成步骤，其通过弯起成形边缘来形成轨。因此，其能可靠地提供具有负载梁和形成于负载梁上的轨的磁头悬架，且通过解决磁头悬架的扭转问题来实现所需冲击特性和偏离轨道特性并改善负载梁的纵向刚度以增加B1频率。

附图说明

图1是表示根据本发明第一实施例的磁头悬架的背对磁盘侧的透视图。

图2是表示图1中磁头悬架的磁盘侧俯视图。

图3A是部分地表示图1中磁头悬架的放大透视图。

图3B是沿图1中III-III的剖视图。

图3C是表示第一实施例改进型的剖视图，图3C中所示部分对应于图3B中所示部分。

图4是表示第一实施例的磁头悬架的竖直刚度(硬度)分布的曲线图。

图5A是表示磁头悬架的解析模型。

图5B是根据图5A中模型的振动模型。

图6是表示“Klb/Ksp”的增加与基于图5A和5B中模型的增益之间关系的曲线图。

图7是表示臂的B1频率、负载梁的B1频率和滑动头的抬起之间关系的曲线图。

图8是表示滑动头的抬起、所作用冲击的大小和支撑滑动头并与2.5英寸硬盘驱动器连接的磁头悬架的B1频率之间关系的表。

图9是表示包括具有3.6kHz的总B1频率的臂的磁头悬架的偏离轨道特性的曲线图。

图10是与用于实现本发明第一实施例的磁头悬架制造方法的制造步骤相对应的俯视图。

图11是部分地表示本发明第一实施例的在刚性部件框架形成步骤后获得的链状产品的放大俯视图。

图12是部分地表示本发明第一实施例的方法的在蚀刻步骤后的链状产品的放大俯视图。

图13是部分地表示本发明第一实施例的方法的在轨形成步骤后的链状产品的放大俯视图。

图14A是部分地表示第一实施例改进型的放大剖视图，图14A中所示部分对应于图3B中所示部分，图14B是部分地表示第一实施例改进型的放大剖视图，图14B中所示部分对应于图3C中所示部分。

图15A是部分地表示第一实施例改进型的放大剖视图，图15A中所示部分对应于图3B中所示部分，而图15B是部分地表示第一实施例改进型的放大剖视图，图15B中所示部分对应于图3C中所示部分。

图16是表示本发明第二实施例的磁头悬架的俯视图。

图17是与用于实现本发明第二实施例的磁头悬架制造方法的制造步骤相对应的俯视图。

图18是图17中挠曲件的俯视图。

图19是表示根据现有技术的用于硬盘驱动器的磁头悬架的俯视图。

图20是部分地表示安装有图19中磁头悬架的硬盘驱动器的剖视图。

图21到图23是表示根据现有技术的安装于2.5英寸硬盘驱动器中的臂的B1频率和运动之间关系的曲线图。

图24是表示根据现有技术的具有总B1频率为3.1kHz的磁头悬架的偏离轨道特性的曲线图。

图25是表示根据现有技术的磁头悬架的透视图。

图26是表示根据现有技术的磁头悬架的透视图。

具体实施方式

下面将根据本发明的实施例来说明磁头悬架制造方法。每个实施例通过简单步骤实现以形成磁头悬架，磁头悬架通过提供具有轨的负载梁的弹性部件来满足所需冲击特性并通过提供具有可变形部分的轨来防止因轨的纵向弯曲部的存在而产生的磁头悬架的扭转。

第一实施例

下面将参照图1到图3来说明根据本发明第一实施例的制造方法所制造的磁头悬架，其中，图1是表示根据本发明第一实施例的磁头悬架的背对磁盘侧的透视图，图2是表示图1中磁头悬架的磁盘侧俯视图，图3A是部分地表示图1中磁头悬架的放大透视图，图3B是沿图1中III-III线的剖视图，图3C是表示第一实施例改进型的剖视图，图3C中所示部分对应于图3B中所示部分。在该说明书中，“磁盘”是安装于硬盘驱动器中的储存介质且经由磁头悬架支撑的磁头来从其上读取数据并向其上写入数据。背对磁盘侧是磁头悬架背对磁盘定位的一侧。另一方面，磁盘侧是磁头悬架朝向磁盘的另一侧。

负载梁的冲击特性由冲击的大小表示，负载梁的滑动头在该冲击下从磁盘的表面抬起。负载梁的滑动头因冲击的作用而从磁盘表面抬起的现象成为“G抬起”或“抬起G”。“G抬起”或“抬起G”也可指导致滑动头抬起的冲击的大小。

图1到图3中所示的磁头悬架1用于2.5英寸磁盘，例如，具有负载梁(LB)3、相当于基座的基板5和挠曲件7。

负载梁3向磁头9施加载荷。磁头9布置于负载梁3的前端以向磁盘写入数据并从磁盘读取数据。负载梁3包括硬性部件、突出部、梁或刚性部件11和折页或弹性部件13。刚性部件11由例如厚度约38μm的不锈钢制造。

弹性部件13由与刚性部件11分离地准备的一对弹性部件15和17制成。弹性部件15和17中的每个由例如薄弹性轧制不锈钢板制成。弹性构件的第一端在焊点21处通过例如激光焊接固定于刚性部件11的基端19，弹性部件的第二端在焊点23处通过例如激光焊接固定于基板5上。

基板5具有凸台25。凸台25通过模锻连接到安装于硬盘驱动器中的支架的臂上，这样基板5可绕主轴转动。基板5可与连接到支架上的臂整体制成。

挠曲件7包括由例如弹性不锈钢轧制板材(SST)制成的导电薄板。在该薄板上形成有绝缘层。在该绝缘层上形成有读/写布线图案。挠曲件7通过例如激光焊接固定于刚性部件11上。布线图案一端电连接于支撑于磁头9的滑动头27上的读写终端。布线图案的另一端沿基板5延伸。

刚性部件11具有较窄且有预定宽度的前端29。前端29设有加载/卸载凸部31，前端29附近设有凹部33。刚性部件11的基端19设有向弹性部件13逐渐变宽或扩展的较宽部分35。例如，较宽部分35具有梯形平面形状。较宽部分35的端部是连接到弹性部件13上的接合部37。在该接合部37，刚性部件11连接到弹性部件13上。

轨39通过弯曲侧边缘而沿刚性部件11的每个侧边缘形成。轨39连续地且完整地在刚性部件11的前端29和刚性部件11的基端19的较宽部分35上延伸。轨39的厚度薄于在与轨延伸方向(纵向)相交的方向上靠近轨39的刚性部件11的整体厚度。

轨39包括位于刚性部件11和轨39之间的竖直弯曲部S。竖直弯曲部S定向于轨39的升起方向上。根据第一实施例，轨39和竖直弯曲部S整体上薄于在与轨延伸方向相交的方向上邻近竖直弯曲部S的刚性部件11。较薄部分通过例如半蚀刻形成。使包括竖直弯曲部S的轨39变薄可使轨39被甚至从厚刚性部件11形成。

每个轨39在与前端29和基端19之间的刚性部件11的部分对应的部分上具有纵向弯曲部41。纵向弯曲部41在轨39的一区域内延展，该区域与刚性部件11在前端29的宽度开始变宽以形成较宽部分35的前位置和后位置之间的一区域相对应。在纵向弯曲部41处，轨39具有矩形窗口43，也就是，用作可变形部分的通孔。即，可变形部分通过部分地除去轨39的至少一部分材料来形成。

如图3A和3B所示，纵向弯曲部41延伸出纵向距离H。竖直弯曲部S在轨39的弯起方向上形成于刚性部件11和每个轨39之间。竖直弯曲部S在轨39的弯起方向上延伸一距离S。在纵向弯曲部41处，窗口43基本上跨越了距离H和S。即，在纵向弯曲部41，轨39部分地由窗口43切割。根据第一实施例，刚性部件11也部分地由窗口43切割。窗口43可延展为超过或小于距离H和S。在纵向弯曲部41，轨39与桥45连续相接。

通过窗口43，轨39的纵向弯曲部41相对于轨39的剩余部分在轨39的纵向和弯起方向上易于变形。当通过弯曲刚性部件11的侧边缘来形成轨39时，窗口43释放或缓解作用于刚性部件11和纵向弯曲部41上的应力。

可变形部分可以是图3C所示的构造。在图3C中，可变形部分在纵向弯曲部41上包括凹陷部43a和由凹陷部43a限定的较薄部分43b。凹陷部43a和较薄部分43b的面积可等于窗口43的面积。较薄部分43b可在竖直弯曲部S的厚度方向上位于内侧、外侧或中间位置处。

这样，为使轨39变薄，即使刚性部件11形成于厚磁头悬架1中，轨39的竖起形成也可自然地完成。

图4是表示第一实施例的磁头悬架的竖直刚度(硬度)分布的曲线图。横坐标表示离凸台12中心的距离，纵坐标表示竖直刚度。

在图4中，曲线47表示具有仅沿刚性部件109A前端形成的轨113A的图25所示现有技术的磁头悬架101A。曲线49表示具有沿刚性部件109B前端和较宽部分131B形成的轨113B且在轨113B上没有可变形部分的图26所示现有技术的磁头悬架101B。曲线51表示根据本发明第一实施例的磁头悬架1。

如图4所示，具有沿刚性部件109B的前端和较宽部分131B延伸的轨的磁头悬架101B(图26)和根据第一实施例的磁头悬架1每个均表现出高于具有仅沿刚性部件109A前端形成的轨113A的磁头悬架101A(图25)的竖直刚度。与在连续地沿刚性部件109B的前端和较宽部分131B的轨113B上没有可变形部分的磁头悬架101B比较，在轨39上具有用作可变形部分的窗口43的第一实施例的磁头悬架1几乎表现出相同的竖直刚度。

下面将对负载梁随臂的运动所需的特征或特性的分析进行说明。

图5A是表示磁头悬架的解析模型，图5B是根据图5A中模型的振动模型。在图5A和5B中，M是假设为集中到重心的负载梁3的质量，Ksp是负载梁3在远离重心的弹性部件13侧的弹性系数，包括用臂53支撑的弹性部件13，Klb是刚性部件11从重心到凹部的刚度所产生的弹性系数，G’s是冲击输入，X0是臂运动，X是负载梁3在重心处的位移。

位移X表示如下：

X＝A/{(Klb/Ksp)-(ω/ω0)²+ω0²}                 (1)

ω0²＝Ksp/M

减小位移X导致抑制了滑动头从磁盘抬起。因此，表达式(1)表示(Klb/Ksp)且ω0²必定增加。图6是表示“Klb/Ksp”的增加与增益之间关系的曲线图。当(Klb/Ksp)如图6所示般增加为0.5、1、2、4和8时，频率增加而且增益减小。

为增加(Klb/Ksp)，Klb必须增加，因为Ksp由弹性部件13限制。即，负载梁的竖直刚度(硬度)必须改善。为了增加ω0²，M必须减小。

因此，为减小位移X，负载梁的竖直刚度必须改善且质量M必须减小。

图7是表示臂的B1频率、负载梁的B1频率和滑动头的抬起之间关系的曲线图。横坐标表示负载梁的B1频率，纵坐标表示使负载梁的滑动头抬起的冲击的加速度。曲线55用于具有1.52kHz的B1频率的臂，曲线57用于具有1.20kHz的B1频率的臂。

如图7所示，具有低B1频率的负载梁不能跟随具有高B1频率的臂，其表现出较差的冲击特性，且使其滑动头以低加速度抬起。具有4kHz的B1频率的负载梁可充分跟随具有1.52kHz的高B1频率的臂，其表现出较好的冲击特性，且实现其滑动头抬起的高加速度等级。

图7中所示数据涉及仅由支架臂和磁头悬架构成的每个组件。实际上，由于包括了许多条件例如磁头悬架基座的行为和磁盘的操作模式，所以磁头悬架周围的情况要复杂得多。图8表示来自磁头悬架的更多实际情形的数据样本。

图8是表示滑动头的抬起、所作用冲击的大小和支撑滑动头的磁头悬架的B1频率之间关系的表。图8中所示数据涉及2.5英寸硬盘驱动器。当负载梁的B1频率如图8所示从3.11kHz增加到4.02kHz时，在持续0.4msec的冲击等级下，负载梁的滑动头从296G增加到325G。这样，增加负载梁的B1频率有助于抑制负载梁的滑动头的抬起。

图9是表示具有3.6kHz总B1频率的磁头悬架的偏离轨道特性的曲线图。横坐标表示频率，纵坐标表示偏离轨道量。图9中所示数据涉及以7200rpm旋转的2.5英寸硬盘。

如参照图21所进行的说明，具有低B1频率的磁头悬架使磁头悬架的弯曲模式与臂的弯曲模式重叠从而导致偏离轨道误差。

第一实施例改善负载梁3的竖直刚度(硬度)以增加磁头悬架1的B1频率。这导致消除了磁头悬架1和臂的弯曲模式重叠并减小了弯曲幅度。从图9的第一实施例和图21的现有技术之间的对比可知，第一实施例不导致与磁头悬架1的弯曲模式相关的偏离轨道误差。

如上所述，根据本发明第一实施例的磁头悬架在每个轨39的纵向弯曲部41上具有窗口43。当通过弯曲刚性部件11的侧边缘来形成轨39时，窗口43防止刚性部件11和轨39的扭曲。轨39可改善负载梁3的竖直刚度，增加负载梁3的B1频率，并满足磁头悬架1所需的冲击特性。刚性部件11的较宽部分35可增加摇动频率。较宽部分35具有自刚性部件11的前端29连续的轨39以进一步增加摇动频率。

窗口43覆盖每个轨39的纵向弯曲部41的纵向距离H和竖直距离S。通过窗口43，轨39的纵向弯曲部41相对于轨39的剩余部分易于在纵向和轨39的弯起方向上变形。当通过弯曲刚性部件11的侧边缘来形成轨39时，窗口43释放或缓解作用于刚性部件11和纵向弯曲部41上的应力。当通过弯曲刚性部件11的侧边缘来形成轨39时，该构造防止刚性部件11在纵向弯曲部41上扭曲，并抑制磁头悬架1的扭曲及消除偏离轨道误差。

磁头悬架的制造方法将参照图10到图13进行说明。

图10是与用于实现根据本发明第一实施例的磁头悬架制造方法的制造步骤相对应的俯视图。图11是部分地表示根据本发明第一实施例的在刚性部件框架形成步骤后的链状产品的放大俯视图，图12是部分地表示根据本发明第一实施例的方法的在蚀刻步骤后的链状产品的放大俯视图，图13是部分地表示根据本发明第一实施例的方法的在轨形成步骤后的链状产品的放大俯视图。

在图10中，部分(1)对应于刚性部件链状产品制造步骤A，其包括：刚性部件框架形成步骤AA、蚀刻步骤AB和轨形成步骤AC。

在图10和图11中，在刚性部件链状产品制造步骤A中的刚性部件框架形成步骤AA中，形成了用于形成刚性部件11的平板状框架61。框架61包括成形边缘(formation margin)59，以用于沿成形边缘59的纵向曲线63来形成轨39和作为可变形部分的窗口43(或凹陷部43a和较薄部分43b)。同时，凹部33、限位部或止块34、较宽部分35、接合部37、用于形成凸部31的凸部框架部分64等形成于框架61上以获得链状产品65。

在图10和12中，在刚性部件框架形成步骤AA后的蚀刻步骤AB中，通过进行部分蚀刻来使成形边缘59整个变薄以薄于刚性部件11从而形成链状产品67。

在图10和13中，在蚀刻步骤AB后的轨形成步骤AC中，轨39通过冲压等使成形边缘59弯起而形成。同时，凸部31通过冲压凸部框架部分64而形成。因此，形成了连续地并排设有刚性部件11的刚性部件链状产品69。

在图10中，部分(2)对应于包括弹性构件制造步骤的弹性部件链状产品制造步骤B。在步骤B中，形成了连续地提供构成了弹性部件13的弹性构件15和17的弹性构件链状产品71。

在图10中，部分(3)对应于挠曲件制造步骤C。在步骤C中，形成了连续地并排设有的挠曲件7的挠曲件链状产品73。在挠曲件链状产品73中的每个挠曲件7上完成薄板的切割、布线图案的形成、限位部的形成、支撑梁的形成等。

在图10中，部分(4)对应于基座制造步骤D，其中，形成所需数量的基板5以作为基座。凸台25通过例如冲压形成于基板5上。

在图10中，部分(5)和(6)对应于层叠和接合步骤E和F，其中，提供了半层叠和焊接步骤E及层叠和焊接步骤F。

在半层叠和焊接步骤E中，半层叠组75通过例如激光焊接一定的刚性部件链状产品69、弹性构件链状产品71和基板5的适当点来形成。

在层叠和焊接步骤F中，将挠曲件7分别从挠曲件链状产品73上切下，各挠曲件7在半层叠组75上预定位置处层叠。各挠曲件7相对于半层叠组75的定位通过定位凸部而完成。每个挠曲件7皆被激光焊接到半层叠组75上以形成层叠组77。

在图10中，在表示为部分(7)的第一切割步骤G中，将接合到刚性部件11上的框架79从层叠组77上切下。同时，将挠曲件7的定位凸部切下。部分(8)对应于清洗步骤H，其中，清洗第一切割步骤G后的半成品。部分(9)对应于检测步骤I，其中，进行电检测。部分(10)对应于GL步骤J，其中，测量弯曲载荷并防止因过载而产生的疲劳所导致的永久变形。部分(11)对应于第二切割步骤K，其中，从所述的组77最终切下单个磁头悬架1。第二切割步骤K和第一切割步骤G构成了从所述的组77上切割和分离各磁头悬架1的切割步骤。

根据此类制造步骤，可流畅及可靠地形成和提供磁头悬架1。

此外，轨39从刚性部件11的前端29延伸到基端19的较宽部分35，所以其可防止刚性部件因残留应力而扭曲。

图3C中所示的凹陷部43a和较薄部分43b可通过在刚性部件链状产品制造步骤A等中半蚀刻和冲压而形成。

第一实施例的磁头悬架改进型将参照图14和15来进行说明。

图14A到15B是部分地表示第一实施例改进型的放大剖视图。图14A和14B中所示的部分分别对应于图3B和3C所示的部分。图15A和15B中所示的部分分别对应于图3B和3C所示的部分。图14A到15B中与图3A到3C相同或相对应的部分用相同参考标记或相同参考标记加“A”、“B”或“C”表示。

根据图14A和14B的改进型，磁头悬架具有薄于第一实施例的刚性部件11的薄刚性部件11A。轨39A通过弯曲侧边缘而沿刚性部件11A的每个侧边缘形成从而使轨39A在刚性部件11A的厚度方向上弯起。轨39A的厚度在与轨延伸方向相交的方向上与邻近轨39A的刚性部件11的总厚度相同。轨39A具有可变形部分。

图14A的可变形部分是矩形窗口43A，也就是，用作可变形部分的通孔。图14B的可变形部分包括凹陷部43Aa和由凹陷部43Aa限定的较薄部分43Ab。

图14A的窗口43A能以与窗口43相同的方式形成，且凹陷部43Aa和较薄部分43Ab可在刚性部件链状产品制造步骤A中通过半蚀刻、冲压等来形成。

因此，使轨39A弯起可如上所述般自然地完成。

根据图15A和15B的改进型，磁头悬架具有厚于图14A和14B中刚性部件11A的厚刚性部件11B。刚性部件11B具有约51μm的厚度。轨39B通过弯曲侧边缘而沿刚性部件11B的每个侧边缘形成从而轨39B在刚性部件11B的厚度方向上弯起。轨39B的厚度在与轨延伸方向相交的方向上与邻近轨39B的刚性部件11B的总厚度相同。竖直弯曲部S1通过例如半蚀刻而在轨39B的弯起方向上形成于刚性部件11和每个轨39B之间。竖直弯曲部S1薄于刚性部件11B或轨39B。轨39A具有可变形部分。

图15A的可变形部分是矩形窗口43B，也就是，用作可变形部分的通孔。图15B的可变形部分包括凹陷部43Ba和由凹陷部43Ba限定的较薄部分43Bb。

窗口43B能以与窗口43相同的方式形成，且凹陷部43Ba和较薄部分43Bb可在刚性部件链状产品制造步骤A中通过半蚀刻、冲压等来形成。

通过使弯曲部S1变薄，即使对于具有比刚性部件11B厚的厚刚性部件11C的磁头悬架，轨39B的弯曲形成也可自然地完成。

第二实施例

本发明第二实施例将参照图16到18来进行说明。首先，将说明磁头悬架的结构。

图16是表示根据本发明第二实施例的磁头悬架的俯视图。第二实施例的结构基本上与第一实施例相同，因此，相同或相应部件由相同参考标记或相同参考标记加“D”表示。

根据第二实施例，磁头悬架1D具有负载梁3、基板5和挠曲件7D。挠曲件7D具有由例如具有弹性性或铰接能力的弹性薄不锈钢轧制板材(SST)制造。在该薄板7Da上，形成包括导体和绝缘层的读/写导线图83。

弹性部件13D形成为与挠曲件7D的薄板7Da整体制成。弹性部件13D包括由形成于薄板7Da上的孔81限定的两侧。形成孔81以便在布线图案83下沿纵向方向延伸。

分别将挠曲件7D在弹性部件13D的前部的焊点21D处焊接到刚性部件11的接合部37上以及在弹性部件13D的后部的焊点23D处焊接到基板5上。挠曲件7D进一步在焊点85和87处焊接到刚性部件11上且在焊点89、91和93处焊接到基板5。

根据磁头悬架1D，类似于第一实施例的磁头悬架1的操作、效果和优点可因窗口43D的存在而实现。既然弹性部件13D与挠曲件7D整体地形成，那么可减小部件数量且理所当然地使组装和部件管理变容易。

接着，将说明磁头悬架的制造方法。

图17是与用于实现根据本发明第二实施例的磁头悬架制造方法的制造步骤相对应的示意图。图18是图17中挠曲件的俯视图。该实施例中的制造步骤基本上类似于图10中所示步骤，且用相同参考标记或相同参考标记其后加“A”来表示相应构成部分以进行说明。

在该实施例的制造方法中，弹性部件13D由挠曲件7D的一部分形成，从而省略与图10中所示的弹性构件链状产品制造步骤B对应的步骤。第二实施例的制造方法包括：表示为部分(1)的刚性部件链状产品制造步骤A、表示为部分(2)的挠曲件制造步骤C1、表示为部分(3)的基座制造步骤D、表示为部分(4)的包括层叠步骤E的层叠和接合步骤以及表示为部分(5)的焊接步骤F1、表示为部分(6)的第一切割步骤G、表示为部分(7)的清洗步骤H、表示为部分(8)的检测步骤I、表示为部分(9)的GL步骤J和表示为部分(10)的第二切割步骤K。

在实施例中，特别地，孔81、舌部95等在挠曲件制造步骤C1中形成于挠曲件7D的薄板7Da中，如图17和18所示，布线图案83设置在薄板7Da上。因此，在挠曲件制造步骤C1中形成了连续地并排设有挠曲件7D的挠曲件链状产品73D。

在层叠步骤E1中，将刚性部件链状产品69、各基板5和各挠曲件7D层叠并定位。如上所述分别将挠曲件7D从挠曲件链状产品73D中切下。

在焊接步骤F1中，层叠组77通过例如层叠步骤E1后的激光焊接各部件来形成。

该实施例中的其它步骤基本上与第一实施例中的步骤类似。

因此，也可在该实施例中实现与第一实施例类似的操作、效果或优点。

在实施例中，由于可省略弹性构件链状产品制造步骤B，所以磁头悬架的制造可以简化。再有，也可简化切割步骤。

Claims (18)

1.一种磁头悬架的制造方法，所述磁头悬架包括：基座，其连接到硬盘驱动器的支架上并绕支架主轴转动；负载梁，其包括刚性部件和弹性部件以在磁头上施加载荷，该磁头安装于负载梁的前端以向安装于硬盘驱动器中的磁盘写入数据并从其读取数据；挠曲件，其被连接到负载梁上并支撑磁头，且该挠曲件具有连接到磁头上的读/写布线图；轨，其通过弯曲刚性部件的每个侧边缘来形成，所述轨沿刚性部件的厚度方向弯起并从刚性部件的前端向基端连续形成，其中，每个轨在与前端和基端之间的刚性部件的部分对应的部分上具有纵向弯曲部，所述方法包括：

刚性部件链状产品制造步骤，其形成连续地提供刚性部件的刚性部件链状产品，

该刚性部件链状产品制造步骤包括：

刚性部件框架形成步骤，其形成用于形成刚性部件的板状框架，该板状框架包括用于轨的形成的成形边缘，并在每个成形边缘的纵向弯曲部的部分形成可变形部分；以及

轨形成步骤，其通过弯起成形边缘而形成轨。

2.根据权利要求1所述的磁头悬架的制造方法，其中：

弹性部件与刚性部件分离，并且，

所述方法包括：

弹性构件链状产品制造步骤，其形成连续地提供弹性构件的弹性构件链状产品；

用于形成挠曲件的挠曲件制造步骤；

用于形成基座的基座制造步骤；

层叠和接合步骤，其层叠并接合刚性部件链状产品、弹性构件链状产品、基座和挠曲件以形成层叠组；以及

切割步骤，其从该层叠组切割及分离各磁头悬架。

3.根据权利要求1所述的磁头悬架的制造方法，其中：

弹性部件由挠曲件的一部分形成，并且，

所述方法包括：

弹性构件链状产品制造步骤，其形成连续地提供弹性构件的弹性构件链状产品；

用于形成挠曲件的挠曲件制造步骤；

用于形成基座的基座制造步骤；

层叠和接合步骤，其层叠并接合刚性部件链状产品、弹性构件链状产品、基座和挠曲件以形成层叠组；以及

切割步骤，其从该层叠组切割及分离各磁头悬架。

4.根据权利要求1所述的磁头悬架的制造方法，其中：

刚性部件框架形成步骤形成了作为每个可变形部分的通孔或凹陷部。

5.根据权利要求2所述的磁头悬架的制造方法，其中：

刚性部件框架形成步骤形成了作为每个可变形部分的通孔或凹陷部。

6.根据权利要求3所述的磁头悬架的制造方法，其中：

刚性部件框架形成步骤形成了作为每个可变形部分的通孔或凹陷部。

7.根据权利要求1所述的磁头悬架的制造方法，其中：

刚性部件框架形成步骤形成了一较宽部分，该较宽部分的宽度在刚性部件的基端向弹性部件逐渐扩展。

8.根据权利要求2所述的磁头悬架的制造方法，其中：

刚性部件框架形成步骤形成了一较宽部分，该较宽部分的宽度在刚性部件的基端向弹性部件逐渐扩展。

9.根据权利要求3所述的磁头悬架的制造方法，其中：

刚性部件框架形成步骤形成了一较宽部分，该较宽部分的宽度在刚性部件的基端向弹性部件逐渐扩展。

10.根据权利要求1所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

11.根据权利要求2所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

12.根据权利要求3所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

13.根据权利要求4所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

14.根据权利要求5所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

15.根据权利要求6所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于刚性部件的厚度，该步骤提供于刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间。

16.根据权利要求7所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

17.根据权利要求8所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

18.根据权利要求9所述的磁头悬架的制造方法，其中：

蚀刻步骤，其通过利用在刚性部件框架形成步骤和轨形成步骤之间提供的部分蚀刻而使每个轨的成形边缘的一部分或全部薄于该刚性部件的厚度。

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