JP2006310467A - 半導体記憶装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ワード線断線故障が発生した場合の歩留まり低下を抑えて歩留まりを改善することができる半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】 ワード線WL1,WL2は異なる配線層に形成される金属配線である。ワード線WL1とワード線WL2とは複数の接続部CN1〜CNMにより電気的に接続される。ワード線WL1,WL2のうちの一方のワード線が断線しても、接続部CN1〜CNMのいずれかを介して他方のワード線から電位が与えられる。また、ワード線WL1,WL2が異なる配線層に形成されているので2本のワード線がともに断線する可能性が低くなる。よって断線故障による動作不良が生じにくくなるので歩留まりを向上することができる。
【選択図】 図2
【解決手段】 ワード線WL1,WL2は異なる配線層に形成される金属配線である。ワード線WL1とワード線WL2とは複数の接続部CN1〜CNMにより電気的に接続される。ワード線WL1,WL2のうちの一方のワード線が断線しても、接続部CN1〜CNMのいずれかを介して他方のワード線から電位が与えられる。また、ワード線WL1,WL2が異なる配線層に形成されているので2本のワード線がともに断線する可能性が低くなる。よって断線故障による動作不良が生じにくくなるので歩留まりを向上することができる。
【選択図】 図2
Description
本発明は半導体記憶装置に関し、特に歩留まりの改善を図ることが可能な半導体記憶装置に関するものである。
近年の半導体集積回路の製造工程では配線の多層化に伴い、配線形成工程において金属配線を平坦化するためにダマシン法が採用されている。ダマシン法とは、まず絶縁膜上の配線形成領域に溝を形成し、次に金属膜を成膜させて溝に金属膜を埋め込み、続いてCMP(Chemical and Mechanical Polishing)工程を行なうことで溝に配線パターンを形成する方法である。
上記のような一連の配線形成工程において、マスク上の配線パターンが絶縁膜上に形成された溝のパターンに転写される。しかし、配線形成工程の途中で異物により溝が途切れるなど溝のパターンが不完全に形成される。不完全に溝が形成された部分には金属膜が埋め込まれないため、その部分に配線パターンが形成されない。このように、溝の形成が不完全であると配線に断線故障を生じさせる原因になる。
ダマシン法により配線を形成する場合、溝の形成が不完全であることだけでなく、金属膜の埋込が不完全であることも断線故障が生じる原因となる。配線が微細化されるにつれてダマシン法における断線故障が生じやすくなっている。
断線故障を防ぐ従来の技術として、たとえば特開2000−137986号公報(特許文献1)では、ワード線を、抵抗の低い第2アルミニウム層の配線と抵抗の高いポリシリコン層の配線の2本の配線を、所々で中間層である第1アルミニウム層の配線を介して接続した並列構造とする半導体記憶装置が開示される。
特開2000−137986号公報
従来の半導体記憶装置はワード線に断線故障が生じると不良品になるので、ワード線の断線故障が製品歩留まりの低下の原因となっていた。
断線故障によりワード線がフローティング状態になると、正常なワード線に接続されるメモリセルに対する読出し動作が阻害される。より詳しく説明すると、ワード線に断線故障が生じた場合、断線が生じた場所から先の部分はフローティングノードとなる。フローティングノードの電位は保証できない状態になる。フローティングノードの電位が中間電位になった場合、フローティング状態のワード線に接続されるメモリセルが常にアクセス状態になる。よって正常なワード線が選択されたとき、フローティング状態のワード線に接続されるメモリセルにより、正常なワード線に接続されるメモリセルに対する読出し動作が阻害される。
メモリセルアレイ内のメモリセルに不良(欠陥)が検出された場合に、この欠陥を救済メモリセルアレイ内のメモリセルにより置換する救済機能を備える半導体記憶装置(特に行救済機能を備えた半導体記憶装置)において、ワード線の断線故障により上記の現象が生じた場合にも同様の問題が生じる。断線されたワード線に接続される不良メモリセル(救済されたメモリセル)が不良メモリセルとビット線を共有するスペアメモリセルの読出しを阻害するため、スペアメモリセルが正常な読み書きを行なうことができなくなり、動作不良が生じる。よって救済機能付き半導体記憶装置において救済機能が有効に機能しないという問題がある。
さらに、特開2000−137986号公報(特許文献1)に開示された半導体記憶装置では、金属配線が断線してもポリシリコン配線が断線していなければ、ワード線にフローティング状態が発生しない。しかし、ポリシリコン配線の抵抗が金属配線に比べて大きいため、一旦、金属配線が断線するとワード線における電位変化が鈍くなり、高速に動作できなくなる。
本発明は、ワード線断線故障が発生した場合の歩留まり低下を抑えて歩留まりを改善することができる半導体記憶装置を提供することを目的とする。
また、本発明は、ワード線断線故障が発生した場合にも行救済機能が有効に機能することにより歩留まりを改善することができる半導体記憶装置を提供することを目的とする。
本発明は要約すれば、半導体記憶装置であって、行列状に配置される複数のメモリセルと、金属により構成され、複数のメモリセルの行ごとに配置される複数の第1のワード線と、金属により構成され、複数の第1のワード線にそれぞれ並行して配置される、複数の第2のワード線と、行ごとに設けられ、対応する第1、第2のワード線を一括して駆動するための複数のワード線ドライバと、行ごとに設けられ、少なくとも1つのメモリセルに対し、ワード線ドライバに近い側とワード線ドライバから遠い側との両側で第1のワード線と第2のワード線とを電気的にそれぞれ接続する第1、第2の接続部とを備える。
本発明の別の局面に従うと、半導体記憶装置であって、行列状に配置される複数の正規メモリセルを有する正規メモリセルアレイを備える。
正規メモリセルアレイは、金属により構成され、複数の正規メモリセルの行ごとに配置される、複数のワード線と、行ごとに設けられる、ワード線を駆動するための複数のワード線ドライバと、行ごとに、少なくとも1つのメモリセルに対してワード線ドライバに近い側とワード線ドライバから遠い側との両側にそれぞれ設けられ、入力される制御信号の活性化に応じて導通して、ワード線の電位を非活性化電位に該当する所定の定電位に設定するための第1、第2の導通部と、単数または複数の所定数の行ごとに設けられ、所定数の行に設けられる複数の接続部の各々に制御信号を伝達する、複数の信号線とを含む。
半導体記憶装置は、複数の正規メモリセルのうち、欠陥が生じた不良メモリセルを所定数の行ごとに置換するための救済用メモリセルアレイと、不良メモリセルを含む所定数の行を特定するための救済対象メモリアドレスを不揮発的に記憶し、入力アドレスと救済対象メモリアドレスとが一致する場合には、正規メモリセルアレイの行のうち入力アドレスに応じた行に設けられるワード線を非選択状態にするとともに、制御信号を活性化する救済回路とをさらに備える。
本発明の半導体記憶装置によれば、異なる配線層に配置される2本の金属配線を複数箇所で接続してワード線を二重化することにより、断線故障による歩留まり低下を防ぐことができる。
また、本発明の半導体記憶装置によれば、救済回路を備えた半導体記憶装置において、ワード線と固定電位線とを異なる配線層に設けるとともに、救済機能を実行することを示す救済制御信号に応じてワード線と固定電位線とを電気的に接続する接続部を複数設けることにより、断線故障による歩留まり低下を防ぐことができる。
以下において、本発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。
[実施の形態1]
図1は、本発明の半導体記憶装置の構成の一例を示す概略ブロック図である。図1を参照して、半導体記憶装置100は、入力アドレス信号101をデコードするアドレスデコーダ2と、後述するメモリセルが行列状に配置されたメモリセルアレイ7と、メモリセルアレイ7に対してデータの書込みおよびデータの読出しを行なうための入出力回路8と、半導体記憶装置100の動作を制御するための制御回路10とを備える。
図1は、本発明の半導体記憶装置の構成の一例を示す概略ブロック図である。図1を参照して、半導体記憶装置100は、入力アドレス信号101をデコードするアドレスデコーダ2と、後述するメモリセルが行列状に配置されたメモリセルアレイ7と、メモリセルアレイ7に対してデータの書込みおよびデータの読出しを行なうための入出力回路8と、半導体記憶装置100の動作を制御するための制御回路10とを備える。
半導体記憶装置100は、たとえばRAM(Random Access Memory)である。より具体的に示すと、半導体記憶装置100はたとえばSRAM(Static Random Access Memory)、DRAM(Dynamic Random Access Memory)、FRAM(Ferroelectric Random Access Memory)、MRAM(Magnetic Random Access Memory)、フラッシュメモリ等である。なお、図1の半導体記憶装置100はROM(Read Only Memory)であってもよい。以後、半導体記憶装置100はSRAMであるとして説明する。
図2は、図1のメモリセルアレイ7のメモリセル行の構成を示す図である。なお、メモリセルアレイ7における各メモリセル行の構成は図2に示す構成と同様である。よって以後は、あるメモリセル行の構成について説明し他のメモリセル行の構成の説明は繰り返さない。
図2を参照して、メモリセルM1〜MNからなるメモリセル行に対応してワード線WL1が設けられる。ワード線WL1に対応し、ワード線WL1に並列にワード線WL2が設けられる。メモリセルM1〜MNの各々はワード線WL1に接続される。ワード線ドライバWDはワード線WL1とワード線WL2とを共通に駆動する。
ワード線WL1,WL2は異なる配線層に配置される金属配線である。ワード線WL1とワード線WL2とは複数の接続部CN1〜CNMにより電気的に接続される。ワード線WL1,WL2のうちの一方のワード線が断線しても、接続部CN1〜CNMのいずれかを介して他方のワード線から電位が与えられる。また、ワード線WL1,WL2が異なる配線層に配置されているので2本のワード線がともに断線する可能性が低くなる。よって断線故障による動作不良が生じにくくなるので歩留まりを向上することができる。
なお、接続部は2つ必要である。また、接続部は少なくとも1つのメモリセルに対してワード線ドライバWDに近い側とワード線ドライバWDから遠い側の両側に設けられる必要がある。接続部が1つのみ設けられた場合、ワード線WL1に断線が生じると断線箇所よりも終端側にあるワード線がフローティング状態になる。少なくとも1つのメモリセルに対してワード線ドライバWDに近い側とワード線ドライバWDから遠い側の両側に接続部が設けられることにより、断線したワード線の電位がフローティング状態になるのを防ぐことができる。
ワード線ドライバWDはワード線WL1,WL2を駆動する。ワード線ドライバWDは図1のアドレスデコーダ2の出力信号(行選択信号)107に従い、行選択時には「H」を出力し、非選択時には「L」を出力する。また、メモリセルM1〜MNのそれぞれに対しビット線BL1〜BLNおよび/BL1〜/BLNが設けられる。
図3は、図2のメモリセルM1の回路図である。図3を参照して、メモリセルM1はPチャネルMOS(Metal Oxide Semiconductor)であるロードMOS11、12と、NチャネルMOSであるドライバMOS13,14とを含む。
ロードMOS11はソースが電源ノードVDDに接続され、ドレインがストレージノードSN1に接続される。ロードMOS12はソースが電源ノードVDDに接続され、ドレインがストレージノードSN2に接続される。ドライバMOS13はドレインがストレージノードSN1に接続され、ソースが接地ノードGNDに接続される。ドライバMOS14はドレインがストレージノードSN2に接続され、ソースが接地ノードGNDに接続される。
ゲートG3はロードMOS12とドライバMOS14とに共通するゲート電極である。ゲートG3はストレージノードSN1に接続される。ゲートG4はロードMOS12のゲートとドライバMOS14とに共通するゲート電極である。ゲートG4はストレージノードSN2に接続される。
メモリセルM1は、さらにNチャネルMOSトランジスタで構成されるアクセストランジスタであるアクセスMOS15、16を含む。アクセスMOS15は第1のビット線であるビット線BL1とストレージノードSN1との間に接続される。アクセスMOS16は第2のビット線であるビット線/BL1とストレージノードSN2との間に接続される。アクセスMOS15,16はそれぞれ制御電極としてゲートG1,G2を有する。ゲートG1,G2はワード線WL1に接続される。
メモリセルM1から情報を読み出す際、まずワード線WL1が選択されてアクセスMOS15,16が導通する。ストレージノードSN1、SN2の電位がそれぞれ接地電位(Lレベル)および電源電位(Hレベル)であれば、ビット線BL1,/BL1の電位がそれぞれ接地電位および電源電位になる。この場合、メモリセルM1から「0」のデータが読み出される。一方、ストレージノードSN1、SN2の電位がそれぞれ電源電位および接地電位であれば、メモリセルM1から「1」のデータが読み出される。
図4は、図3のメモリセルM1のレイアウトの一例を示す図である。図5は、図4の線分V−Vにおける断面図である。図6は、図4の線分VI−VIにおける断面図である。
図4および図5を参照して、ワード線WL1とワード線WL2とは互いに異なる配線層に配置される。各配線層に設けられた金属配線同士や金属配線と半導体基板とを絶縁するための層間絶縁膜17A〜17Eが設けられる。層間絶縁膜17Aは半導体基板19の主表面を覆うように設けられる。層間絶縁膜17Bは、第1の配線層に設けられた金属配線を覆うように設けられる。同様に、層間絶縁膜17C,17D,17Eはそれぞれ第2,第3,第4の配線層に設けられた金属配線を覆うように設けられる。なお、ワード線WL1は、半導体基板19の主表面から3番目の配線層に配置され、ワード線WL2は4番目の配線層に配置される。
図4に示すように、ワード線WL1とワード線WL2とを接続するためのビアホールVH1,VH2がメモリセルM1の左右端にそれぞれ設けられる。ビアホールVH1,VH2は図2の接続部CN1,CN2にそれぞれ対応する。
図4から図6に示すように、ゲートG1,G2はポリシリコンで構成されるゲート電極である。なお、ゲートG1,G2はメモリセルM1の左右端に配置される。
図4に示すように、ワード線WL1に対してアクセスMOS15と反対側にドライバMOS13が設けられる。また、ワード線WL1に対してアクセスMOS16と反対側にドライバMOS14が設けられる。ドライバMOS13とアクセスMOS16とに挟まれるようにロードMOS11が設けられ、ドライバMOS14とアクセスMOS15とに挟まれるようにロードMOS12が設けられる。ロードMOS11とロードMOS12とはワード線WL1を挟むように設けられる。
図4〜図6に示すように、ドライバMOS14、アクセスMOS15,16はP型ウェルPWの領域に形成されるNチャネルMOSトランジスタである。また、図4および図6に示すように、ロードMOS12はN型ウェルNWの領域に形成されるPチャネルMOSトランジスタである。
図4に示すレイアウトでは、ゲートG1とゲートG2との間にロードMOS11,12が設けられている。よって、ゲートG1とゲートG2とは1つにつながったポリシリコン電極として形成できない。しかしながら、以下の2つの利点により図4に示すレイアウトが採用される。
第1の利点は、図4に示すレイアウトがメモリセルの面積を小さくするのに適しているということである。メモリセルの回路上の対称性を実現するためには、ロードMOS11の特性とロードMOS12の特性とを揃えるようなレイアウトが必要である。ドライバMOS13、14やアクセスMOS15、16についても同様に特性を揃えるようなレイアウトが必要になる。図4に示すレイアウトではゲートG1〜G4の各々の形状が単純である。さらに、ゲートG1〜G4は互いに点対称となるように配置されている。このため回路上の対称性を確保することが容易になる。以上のように図4に示すレイアウトは小面積と回路上の対称性とを両立するのに適している。
第2の利点は、ビット線BL1,/BL1の長さが短くなるということである。各ビット線が短いと、配線容量が小さくなるので動作の高速化に適する。
なお、図4,図5に示すようにワード線WL1とワード線WL2とは、半導体基板の主表面に垂直な方向から見て重なるように設けられる。ただしワード線WL1とワード線WL2とは図4のY軸方向にずれて配置されてもよい。また、ビアホールVH1,VH2は図4に示す位置からX軸方向にずれた任意の位置に設けられてもよい。またビアホールの数は適切に間引かれてもよい。
以下、本発明の半導体記憶装置による効果を説明する。図7は、図2のワード線WL1,WL2に断線故障が生じた状態を示す図である。
図7を参照して、ワード線WL2には断線箇所PAで断線故障が生じ、ワード線WL1には断線箇所PB、PCで断線故障が生じている。接続部CN1〜CNMを介してワード線WL2の断線故障に対してはワード線WL1によって電気的な接続が保たれる。同様に接続部CN1〜CNMを介してワード線WL1の断線故障に対してはワード線WL2によって電気的な接続が保たれる。よって、ワード線ドライバWDおよびメモリセルM1〜MNに対して電気的な接続が保たれている。
たとえば、メモリセルM2は接続部CN2,CN3を介してワード線WL1,WL2との電気的に接続される。メモリセルM3は接続部CN3を介してワード線WL1、WL2との電気的に接続される。メモリセルM4は接続部CN3,CN4,CN5によってワード線WL1、WL2との電気的に接続される。
図7に示すように、ワード線WL1上で2箇所の断線が発生しても断線故障による動作不良は生じない。仮に、特定のメモリセルの上でワード線WL1、WL2が断線するというように、2本のワード線の断線箇所が一致する場合には動作不良が生じる。しかし、ワード線WL1とワード線WL2とは別の配線形成工程によって形成されるので、特定のメモリセルの上で2本のワード線がともに断線する可能性は著しく低くなる。したがって製品の歩留まりを向上することができる。
以下、本発明の半導体記憶装置の効果について比較例を示しながら説明する。第1の比較例はメモリセル行ごとに1本のワード線が設けられる例である。
図8は、第1の比較例を示す図である。図9は、図8のワード線WL1に断線故障が生じた状態を示す図である。図8、図9を参照して、メモリセルM1〜MNに対してワード線WL1が設けられる。ワード線WL1は断線箇所PAにおいてワード線WL11とワード線WL12とに分断される。断線箇所PAよりもワード線WL1の終端側にあるワード線WL12はフローティング状態になる。この場合、ワード線WL12に接続されるメモリセルMA−1〜MNの各メモリセルに動作不良が生じるのみならず、たとえばメモリセルMAとビット線BLA、/BLAを共有するメモリセルMBにも動作不良が生じる。
メモリセルMBは正常なワード線WLBに接続される。メモリセルMBに「0」のデータが保持され、メモリセルMAに「1」のデータが保持されているとする。メモリセルMBとメモリセルMAとで互いに逆の関係に有るデータが保持されているので、メモリセルMBの読出し時にメモリセルMAのデータがビット線BLA,/BLAに漏れ出ることが起こり得る。
一方、図7に示すように、実施の形態1の半導体記憶装置ではワード線WL1,WL2によってワード線が二重化されているので、ワード線の断線故障により正常なメモリセルの読出し動作が阻害される可能性が大幅に低くなる。
次に第2の比較例を示す。第2の比較例はメモリセル行ごとに1本のワード線が設けられ、かつワード線に断線故障対策が施された例である。
図10は、第2の比較例を示す図である。図11は、図10のワード線WL1に断線故障が生じた状態を示す図である。
図10、図11を参照して、ワード線WL1の終端は抵抗R1を介して接地されている。ワード線WL1上のある場所で断線が生じても、断線箇所より終端側にあるメモリセルは、ワード線の電位が接地電位に固定されているので不良となる。しかし、不良となったメモリセルとビット線を共有し、かつ、正常なワード線に接続されるメモリセルは、断線故障による影響を受けないので、断線故障したワード線に接続されたメモリセルに阻害されることなく、読み出しや書込みができる。
図11に示すように、ワード線WL1が断線箇所PA,PBにおいて分断され、ワード線WL11〜WL13になったとする。ワード線ドライバWDがワード線を駆動する場合、ワード線WL12がフローティング状態になっているため、ワード線WL12に接続されるメモリセルMC−1、MCはともに動作不良を起こす。さらに、ワード線WL1と別の正常ワード線が選択された場合に、メモリセルMCとビット線を共有するメモリセル(図示せず)からデータを読出す際にメモリセルMCによって読出動作が阻害される可能性がある。このように第2の比較例ではワード線の断線箇所が2箇所以上ある場合、正常なワード線に接続されるメモリセルの読出し動作が阻害される可能性がある。
一方、図7に示すように実施の形態1の半導体記憶装置は、2本のうちの一方のワード線に2箇所以上の場所で断線が生じても、他方のワード線により電気的な接続が保たれることにより正常なメモリセルの読出し動作が阻害される可能性が大幅に低くなる。
続いて第3の比較例を示す。第3の比較例はメモリセル行ごとに2本のワード線が設けられた例である。
図12は、第3の比較例を示す図である。図12を参照して、メモリセル行に対し、ポリシリコンにより構成されるワード線WL1と、金属により構成されるワード線WL2とが設けられる。ワード線WL1とワード線WL2とは接続部CN1,CN2により接続される。
第3の比較例の場合、ワード線WL2が断線してもワード線WL1が断線していなければメモリセルM1〜MNのいずれのメモリセルにも動作不良は生じない。しかしポリシリコンの抵抗が大きいためワード線WL2が一旦断線すると、ワード線WL1,WL2の各々の電位変化が鈍くなる。よって、第3の比較例では、ワード線WL2が断線すると、高速な動作が不可能になる。
一方、実施の形態1の半導体記憶装置は、2本のワード線がともに金属で構成されているので、2本のワード線のいずれか一方に断線故障が生じても動作の低下を防ぐことができる。
以上のように実施の形態1の半導体記憶装置によれば、異なる金属配線層に配置される2本のワード線を各行ごとに設け、かつ、2本のワード線を複数の箇所で接続することにより、断線故障による動作不良を生じにくくさせるので、歩留まりを向上することが可能になる。
[実施の形態2]
図13は、実施の形態2の半導体記憶装置の構成の一例を示す概略ブロック図である。図13を参照して、半導体記憶装置100Aは行救済機能を備える半導体記憶装置である。半導体記憶装置100Aは、メモリセルアレイ7に代えて、行列上に配置される正規メモリセルを有するメモリセルアレイ7Aを備える点で図1の半導体記憶装置100と異なる。メモリセルアレイ7Aの構成の詳細は後述する。
図13は、実施の形態2の半導体記憶装置の構成の一例を示す概略ブロック図である。図13を参照して、半導体記憶装置100Aは行救済機能を備える半導体記憶装置である。半導体記憶装置100Aは、メモリセルアレイ7に代えて、行列上に配置される正規メモリセルを有するメモリセルアレイ7Aを備える点で図1の半導体記憶装置100と異なる。メモリセルアレイ7Aの構成の詳細は後述する。
半導体記憶装置100Aは、さらに、救済回路20および救済用メモリセルアレイ28を備える点で半導体記憶装置100と異なる。
救済用メモリセルアレイ28はメモリセルアレイ7Aに含まれる複数の正規メモリセルのうち、不良が生じた不良メモリセルを所定数の行ごとに置換する。救済回路20は、不良メモリセルを含む所定数の行を特定する救済対象メモリアドレスを記憶する。また、救済回路20は、救済対象メモリアドレスに従って、救済対象メモリセルを含む行に対応する救済制御信号FIXを活性化し、救済対象メモリセルを含まない行に対しては非活性化する。救済制御信号FIXは、メモリセルアレイ7Aに送られる。救済制御信号FIXにより救済対象となるメモリセルに接続されるワード線の電位は接地電位に固定される。
なお、半導体記憶装置100Aの他の部分の構成は半導体記憶装置100の対応する部分の構成と同様であるので以後の説明は繰り返さない。
救済回路20は、アドレス比較部21、2to1セレクタ23、救済アドレス記憶部24、救済機能制御部25、および救済用選択信号生成部26を含む。
アドレス比較部21は、ANDゲート31、救済信号情報保持部32、トランスミッションゲート35を含む。救済信号情報保持部32はインバータゲート33、NORゲート34を含む。
救済機能制御部25はレディ信号生成回路51およびセットアップ信号生成回路52を含む。
次に、半導体記憶装置100Aの動作について説明する。図14は、図13の半導体記憶装置100Aのタイミングチャート図である。図14を参照して、半導体記憶装置100Aの動作は4つの期間からなる。図14では、図13で示されるリセット信号104、レディ信号105、セットアップ信号106、救済用アドレス信号102(救済対象メモリアドレス信号)、救済活性化信号103(救済回路使用の有無を示す信号)の各期間での状態を示している。以下、図13および図14を参照しながら各期間の動作を説明する。
リセット期間Aでは、半導体記憶装置100Aの外部から入力されるリセット信号104がイネーブルになり、レディ信号生成回路51が動作してレディ信号105がビジー状態になる。次にセットアップ信号生成回路52が動作し、セットアップ信号106が待ち状態になる。
次に、救済アドレス記憶部動作期間Bでは、リセット信号104はディセーブルになり、救済アドレス記憶部24において救済用アドレス信号102および救済活性化信号103の情報が記憶される。
次に、準備期間Cでは、レディ信号105が待ち状態になるとともに、セットアップ信号生成回路52が動作してセットアップ信号106がビジー状態となる。
セットアップ信号106がビジー状態になると、救済機能制御部25を通してアドレス比較部21内のトランスミッションゲート35がONの状態になる。また、セットアップ信号106がビジー状態になることで2to1セレクタ23の入力ポートが救済用アドレス信号102の入力側に切り替わる。
ここで、救済アドレス記憶部24に記憶されている救済活性化信号103の情報が「救済回路使用状態」を示している場合と「救済回路未使用状態」を示している場合ではアドレス比較部21は異なる動作をする。
救済活性化信号103が「救済回路使用状態」であるときは、救済アドレス記憶部24から救済用アドレス信号102が2to1セレクタ23を通してアドレスデコーダ2に入力されデコードされる。さらに、アドレス比較部21のトランスミッションゲート35はONになっているため、アドレスデコーダ2でデコードされ出力される救済アドレスの情報は救済信号情報保持部32に記憶される。この時、選択された救済アドレスについては、ANDゲート31のノードCに「H」が記憶され、選択された救済アドレス以外のアドレスについてはノードCに「L」が記憶される。
ノードCが「H」であれば救済制御信号FIXは「L」になり、ノードCが「L」であれば救済制御信号FIXは「H」になる。
また、救済活性化信号103が「救済回路未使用状態」であるときは救済信号情報保持部32の内容がリセットされ、全てのアドレスについて救済信号情報保持部32のノードCに「H」が記憶される。この場合、救済制御信号FIXは「L」になる。
次に、通常動作期間Dではセットアップ信号106が待ち状態となり、アドレス比較部21内のトランスミッションゲート35がOFFの状態になる。さらに、セットアップ信号106が待ち状態になることにより2to1セレクタ23の入力ポートが入力アドレス信号101の入力側に切り替わる。
これにより入力アドレス信号101の情報がアドレスデコーダ2でデコードされ、アドレス比較部21において救済信号情報保持部32に記憶された救済アドレスの情報と比較される。
入力アドレス信号101により選択されたアドレスについてANDゲート31の入力信号ノードDが「H」になる。このアドレスが救済を必要とするアドレスであった場合、該当アドレスについてはANDゲート31のノードCに「L」が記憶されているので、行選択信号107は非選択となり、該当する行のメモリセルは活性化されない。
さらに、救済制御信号FIXは「H」が記憶され活性化されているので、救済を必要とするアドレスに該当する行のワード線の電位は接地電位に固定される。
また、入力アドレス信号101により選択されたアドレスが救済を必要としないアドレスであった場合は、該当アドレスについてANDゲート31のノードCに「H」が記憶されているので、ノードC、ノードDともに「H」であるため行選択信号107は選択され、該当するメモリセルが活性化される。
さらにノードCが「H」であるため、救済制御信号FIXは「L」であり非活性化されている。よって、この場合、救済対象外となるアドレスに該当する行のワード線は通常通り動作する。
図15は、図13のメモリセルアレイ7Aのメモリセル行の構成を示す図である。図15を参照して、メモリセルM1〜MNからなるメモリセル行に対応してワード線WL1が設けられる。ワード線WLに対応して接地電位が与えられる接地電位線GLが設けられる。さらに、ワード線WLと接地電位線GLとの間には救済制御信号FIXに応じてワード線WLと接地電位線GLとを電気的に接続するNチャネルMOSトランジスタNR1〜NR4が設けられる。
NチャネルMOSトランジスタNR1〜NR4の各々のゲート電極は信号線SLにより共通に接続される。NチャネルMOSトランジスタNR1〜NR4の各々は「H」レベルの救済制御信号FIXをゲートに受けると導通し、ワード線WLの電位を接地電位にする。図15に示すようにワード線WLと接地電位線GLとを接続するNチャネルMOSトランジスタは少なくとも2つ配置される。なお、ワード線WL、接地電位線GL、および信号線SLはいずれも金属配線である。
NチャネルMOSトランジスタは少なくとも1つのメモリセルに対してワード線ドライバWDに近い側とワード線ドライバWDから遠い側の両側に設けられる必要がある。このようにNチャネルMOSトランジスタを配置することによって、実施の形態1と同様に断線したワード線の電位がフローティング状態になるのを防ぐことができる。
図15に示すメモリセル行の動作について説明する。このメモリセル行が正常であれば救済対象とならない。ワード線ドライバWDは行選択信号107に応じ、ワード線WLの選択時に「H」を出力し、非選択時に「L」を出力する。この場合、救済制御信号FIXは「L」(ディセーブル)であるので、NチャネルMOSトランジスタNR1〜NR4は非導通となる。ワード線WLと接地電位線GLとが非導通になるので当該メモリセル行は通常通り動作する。
一方、当該メモリセル行に断線故障が発生して動作不良となった場合、故障箇所を救済するためメモリセルは動作しなくなる。この場合、救済制御信号FIXが「H」になるのでNチャネルMOSトランジスタNR1〜NR4の各々が導通する。よってワード線WLの電位は接地電位に固定される。
図16は、図15のメモリセル行に断線故障が生じた状態を示す図である。図16を参照して、断線箇所PA,PBにおいてワード線WLに断線故障が生じ、ワード線WLはワード線WL11、WL12、WL13に分断されている。断線故障により、このメモリセル行は救済対象となる。このときワード線ドライバWDは「L」を出力するとともに、救済制御信号FIXが「H」となる。NチャネルMOSトランジスタNR1〜NR4は導通するので、ワード線WLの電位は断線箇所を含めてすべて「L」レベルに固定される。
従来、ワード線において2箇所以上の断線が発生すると、フローティング状態のワード線に接続される不良メモリセルが発生していた。その不良メモリセルとビット線を共有する救済メモリセルは不良セルによって読み出し動作が阻害されるので、救済を行なえない状態が生じていた。図16において、NチャネルMOSトランジスタNR1〜NR4が設けられていない場合、メモリセルM4〜M6の各々はフローティング状態のワード線WL12に接続される不良メモリセルとなる。従来は、たとえばメモリセルM4によって、メモリセルM4とビット線BL4,/BL4を共有するスペアメモリセルM4Sの読出し動作が阻害されていた。
実施の形態2の半導体記憶装置では、図16のNチャネルMOSトランジスタNR2によって、断線箇所に挟まれたワード線WL12の電位も「L」レベルに固定される。よって、メモリセルM4の影響を受けることなくスペアメモリセルM4Sからデータを読出すことができるので救済が可能になる。
なお、信号線SLとワード線WLとがともに断線するとワード線WLがフローティング状態になる。よって同一救済単位内でワード線WLと信号線SLの両方が断線しないようにすることが実施の形態2の半導体記憶装置による効果を向上させるために好ましい。
一般的に救済機能を備える半導体記憶装置では、4行や8行など複数の行のメモリセルが救済単位となることが多い。信号線SLを救済単位ごとに1本ずつ設けるようにすれば信号線の本数がワード線の本数の1/4(あるいは1/8)になる。ワード線の総数に比べて信号線の総数が大幅に少なくなるので、信号線に断線故障が発生する確率はワード線に断線故障が発生する確率よりも低くなるという効果が得られる。
図17は、複数のメモリセル行に対して救済制御信号を伝達する1本の信号線が設けられたメモリセルアレイの構成を示す図である。図17を参照して、4行のメモリセル行としてメモリセル行RA〜RDが示される。メモリセル行RA〜RDのそれぞれに対応してワード線WL1〜WL4および接地電位線GL1〜GL4が設けられる。
メモリセル行RAには救済制御信号FIXに応じてワード線WL1と接地電位線GL1とを電気的に接続するためのNチャネルMOSトランジスタNR1A〜NR4Aが設けられる。同様に、ワード線WL2と接地電位線GL2とを電気的に接続するNチャネルMOSトランジスタNR1B〜NR4B、ワード線WL3と接地電位線GL23を電気的に接続するNチャネルMOSトランジスタNR1C〜NR4C、ワード線WL4と接地電位線GL4とを電気的に接続するNチャネルMOSトランジスタNR1D〜NR4Dが設けられる。
救済制御信号FIXを伝達する信号線SLはメモリセル行RA〜RDに対して1本のみ行方向に沿って設けられている。NチャネルMOSトランジスタNR1A〜NR4Aの各々のゲートは信号線SLに共通に接続される。一方、列方向に沿って配置されるNチャネルMOSトランジスタNR1B,NR1C,NR1Dの各々のゲート電極は共通に接続されて信号線SLに接続される。列方向に配置される他のNチャネルMOSトランジスタ(たとえばNチャネルMOSトランジスタNR2B,NR2C,NR2D)についても同様である。なお、NR1B,NR1C,NR1Dの各々のゲート電極は、たとえば1つながりのポリシリコン電極であれば、断線故障を防ぐことが可能になる。
信号線SLはワード線WLと同様に行方向に配置される。よって、ワード線WLと同一の配線層に信号線SLが配置された場合、各配線の形成時に生じた異物等によってワード線WLと信号線SLとがともに断線する可能性が高くなる。このような問題を回避するためにワード線WLと信号線SLとは互いに別の配線層に配置されることが好ましい。
また、接地電位線GLをワード線が設けられる配線層と異なる配線層に設ける場合、接地電位線GLの伸びる方向は、ワード線の伸びる方向と同じ方向でもよいし、ワード線の伸びる方向と垂直な方向でもよい。接地電位線GLの伸びる方向をワード線の伸びる方向と同じ方向にする場合には、接地電位線GLをワード線よりも上にある配線層に配置し、かつ、ワード線と平行になるように設けることが好ましい。このように接地電位線を設けることによって、接地電位線よりもさらに上の配線層に設けられ、メモリセルの上を通る配線のノイズをシールドすることが可能になるのでワード線の電位を安定させる効果が得られる。
図18は、実施の形態2において、好ましい配線の配置の一例を示す模式図である。図18を参照して、ワード線WLと異なる配線層に信号線SLが設けられる。また、接地電位線GLはワード線WLよりも上の配線層に、ワード線WLと重なるように設けられる。さらに、接地電位線GLよりも上にある配線層には、信号線SLAが設けられる。信号線SLAは、たとえば入出力回路8とメモリセルアレイ7Aとを結ぶ配線や、メモリセルアレイ7Aの上を通過するように設けられ、救済回路20と制御回路10とを相互に結ぶ配線である。
なお、接地電位線GLがワード線WLを覆うように設けられ、かつ、ワード線WLと信号線SLとが異なる配線層に設けられていれば、接地電位線GL、ワード線WLおよび信号線SLの配置は限定されない。たとえば、接地電位線GLは複数のワード線の各々に重なるように設けられてもよい。また、ワード線WLが設けられる配線層と異なる配線層であれば、信号線SLはワード線WLよりも下の配線層に設けられてもよい。さらに、信号線SLと接地電位線GLとは同一の配線層に設けられると限定する必要はなく、接地電位線GLが信号線SLよりも上の配線層に設けられてもよい。
以上のように、実施の形態2によれば、救済回路を備える半導体記憶装置において、救済単位ごとに、救済活性化信号によってワード線と接地電位線とを接続する複数のNチャネルMOSトランジスタを設けることによって、ワード線に断線が生じても断線故障による動作不良を生じにくくさせるので、歩留まりを向上することが可能になる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
2 アドレスデコーダ、7,7A メモリセルアレイ、8 入出力回路、10 制御回路、11,12 ロードMOS、13,14 ドライバMOS、15,16 アクセストランジスタ、17A〜17E 層間絶縁膜19 半導体基板、20 救済回路、21 アドレス比較部、23 2to1セレクタ、24 救済アドレス記憶部、25 救済機能制御部、26 救済用選択信号生成部、28 救済用メモリセルアレイ、31 ANDゲート、32 救済信号情報保持部、33 インバータゲート、34 NORゲート、35 トランスミッションゲート、51 レディ信号生成回路、52 セットアップ信号生成回路、100,100A 半導体記憶装置、BL1〜BLN,/BL1〜/BLN,BLA,/BLA ビット線、CN1〜CNM 接続部、G1〜G4 ゲート、GL,GL1〜GL4 接地電位線、GND 接地ノード、M1〜MN メモリセル、M4S スペアメモリセル、NR1〜NR4,NR1A〜NR4A,NR1B〜NR4B,NR1C〜NR4C,NR1D〜NR4D NチャネルMOSトランジスタ、NW N型ウェル、PA〜PC 断線箇所、RA〜RD メモリセル行、PW P型ウェル、R1 抵抗、SL,SLA 信号線、SN1,SN2 ストレージノード、VDD 電源ノード、VH1,VH2 ビアホール、WD ワード線ドライバ、WL,WL1〜WL4,WL11〜WL13,WLB ワード線。
Claims (6)
- 行列状に配置される複数のメモリセルと、
金属により構成され、前記複数のメモリセルの行ごとに配置される複数の第1のワード線と、
金属により構成され、前記複数の第1のワード線にそれぞれ並行して配置される、複数の第2のワード線と、
前記行ごとに設けられ、対応する第1、第2のワード線を一括して駆動するための複数のワード線ドライバと、
前記行ごとに設けられ、少なくとも1つのメモリセルに対し、前記ワード線ドライバに近い側と前記ワード線ドライバから遠い側との両側で前記第1のワード線と前記第2のワード線とを電気的にそれぞれ接続する第1、第2の接続部とを備える、半導体記憶装置。 - 前記半導体記憶装置は、複数の配線層を有し、
前記複数の第1のワード線の各々は、第1の配線層に配置され、
前記複数の第2のワード線の各々は、第2の配線層に配置される、請求項1に記載の半導体記憶装置。 - 前記半導体記憶装置は、前記複数のメモリセルの列ごとに配置される、複数の第1、第2のビット線をさらに備え、
前記複数のメモリセルの各々は、
対応する第1のビット線と第1のストレージノードとの間に接続され、対応する第1のワード線に印加される電位に応じて駆動される第1のアクセストランジスタと、
対応する第2のビット線と第2のストレージノードとの間に接続され、前記対応する第1のワード線に印加される電位に応じて駆動される第2のアクセストランジスタとを含み、
前記第1、第2のアクセストランジスタの各々は、
多結晶シリコンにより構成され、前記第1のワード線によって互いに接続される制御電極を有する、請求項2に記載の半導体記憶装置。 - 行列状に配置される複数の正規メモリセルを有する正規メモリセルアレイを備え、
前記正規メモリセルアレイは、
金属により構成され、前記複数の正規メモリセルの行ごとに配置される、複数のワード線と、
前記行ごとに設けられ、前記ワード線を駆動するための複数のワード線ドライバと、
前記行ごとに、少なくとも1つのメモリセルに対して前記ワード線ドライバに近い側と前記ワード線ドライバから遠い側との両側にそれぞれ設けられ、入力される制御信号の活性化に応じて導通して、前記ワード線の電位を非活性化電位に該当する所定の定電位に設定するための第1、第2の導通部と、
単数または複数の所定数の行ごとに設けられ、前記所定数の行に設けられる複数の前記接続部の各々に前記制御信号を伝達する、複数の信号線とを含み、
前記複数の正規メモリセルのうち、欠陥が生じた不良メモリセルを前記所定数の行ごとに置換するための救済用メモリセルアレイと、
前記不良メモリセルを含む前記所定数の行を特定するための救済対象メモリアドレスを不揮発的に記憶し、入力アドレスと前記救済対象メモリアドレスとが一致する場合には、前記正規メモリセルアレイの行のうち前記入力アドレスに応じた行に設けられるワード線を非選択状態にするとともに、前記制御信号を活性化する救済回路とをさらに備える、半導体記憶装置。 - 前記半導体記憶装置は、複数の配線層を有し、
前記複数のワード線の各々は、第1の配線層に配置され、
前記複数の制御信号線の各々は、第2の配線層に配置される、請求項4に記載の半導体記憶装置。 - 前記半導体記憶装置は、前記複数のワード線のそれぞれに対応して設けられ、対応するワード線と前記第1、第2の導通部を介して電気的に接続され、前記所定の定電位として接地電位を設定するための複数の定電位線をさらに備え、
前記半導体記憶装置は、複数の配線層を有し、
前記複数のワード線の各々は、第1の配線層に配置され、
前記複数の定電位線の各々は、前記第1の配線層よりも半導体基板の主表面に対して上方にある第2の配線層に、前記複数のワード線のうちの対応するワード線と平行になるように配置される、請求項4に記載の半導体記憶装置。
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