JP2006303000A - はんだ材料供給方法及び装置並びにこれを用いた突起電極の製造方法 - Google Patents
はんだ材料供給方法及び装置並びにこれを用いた突起電極の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006303000A JP2006303000A JP2005119507A JP2005119507A JP2006303000A JP 2006303000 A JP2006303000 A JP 2006303000A JP 2005119507 A JP2005119507 A JP 2005119507A JP 2005119507 A JP2005119507 A JP 2005119507A JP 2006303000 A JP2006303000 A JP 2006303000A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- solder material
- solder
- substrate
- pressure
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【課題】 はんだ材料と電極との間に生ずる隙間に起因して、突起電極の品質が低下することを防ぐ。
【解決手段】 減圧雰囲気に基板20全体を保持し(図1[1])、基板20上にはんだ材料Sを塗布すると(図1[2])、電極10a,10bとレジスト膜21とによって囲まれた空間に、減圧雰囲気から成る隙間11a,11bが生ずる。ここで、大気圧に開放すると、隙間11a,11bは大気圧で押し潰されてほぼ消滅する(図1[3])。すなわち、隙間11a,11bの大きさのばらつきは問題にならず、各電極10a,10b上のはんだ材料Sの量は均一になる。最後に、基板20及びはんだ材料Sを加熱することにより、大きさの揃った高品質のはんだバンプ13a,13bが得られる(図1[4])。
【選択図】 図1
Description
P1V1=n1RT1 ・・・(1)
同様に、第二の気圧をP2、その気圧下でのはんだ材料と電極との間の隙間の体積をV2、その体積を占める気体のモル数をn2、その気体の温度をT2とすると、次の状態方程式が成り立つ。
P2V2=n2RT2 ・・・(2)
ここで、式(1),(2)において、気体の出入りは無いのでn1=n2である。また、温度も変らないとすると、T1=T2となる。したがって、式(1),(2)から次式が成り立つ。
P1V1=P2V2 ・・・(3)
∴V1=(P2/P1)V2 ・・・(4)
例えば、第二の気圧P2が第一の圧力P1の100分の1であれば、第一の気圧P1に開放された後の隙間の体積V1は、式(4)から明らかなように、第二の気圧P2下での隙間の体積V2の100分の1になる。
11a,11b 隙間
12a,12b はんだ層
13a,13b はんだバンプ(突起電極)
20 基板
21 レジスト膜
40 はんだ供給装置
41 真空チャンバ(減圧手段)
42 電磁弁(減圧手段)
43 真空ポンプ(減圧手段)
44 ディスペンサ(はんだ材料供給手段)
45 電磁弁(開放手段)
46 コントローラ
S はんだ材料
S1 はんだ粒子
S2 液体
Claims (9)
- 液体状又は流動体状のはんだ材料を、電極を有する基板上へ供給する、はんだ材料供給方法において、
第一の気圧よりも低い第二の気圧から成る減圧雰囲気に前記基板を保持する第一工程と、
前記減圧雰囲気内で前記基板上へ前記はんだ材料を供給する第二工程と、
前記はんだ材料が供給された前記基板を前記第一の気圧に開放する第三工程と、
を含むことを特徴とするはんだ材料供給方法。 - 前記第一の気圧が大気圧である、
請求項1記載のはんだ材料供給方法。 - 前記電極は、当該電極の周辺から窪んだ位置に形成された凹部電極である、
請求項1又は2記載のはんだ材料供給方法。 - 前記はんだ材料は、はんだ粒子とフラックス作用を有する液体との混合物から成る、
請求項1乃至3のいずれかに記載のはんだ材料供給方法。 - 前記フラックス作用を有する成分が有機酸である、
請求項4記載のはんだ材料供給方法。 - 前記フラックス作用を有する液体が脂肪酸エステルである、
請求項4記載のはんだ材料供給方法。 - 前記減圧雰囲気の気圧は前記液体の蒸気圧よりも高い、
請求項4乃至6のいずれかに記載のはんだ材料供給方法。
- 液体状又は流動体状のはんだ材料を、電極を有する基板上へ供給する、はんだ材料供給装置において、
第一の気圧よりも低い第二の気圧から成る減圧雰囲気に前記基板を保持する減圧手段と、
前記減圧雰囲気内で前記基板上へ前記はんだ材料を供給するはんだ材料供給手段と、
前記はんだ材料が供給された前記基板を前記第一の気圧に開放する開放手段と、
を備えたことを特徴とするはんだ材料供給装置。
- 請求項1乃至7のいずれかに記載のはんだ材料供給方法における前記第一乃至第三工程と、
前記第三工程によって前記第一の気圧に開放された前記基板及び前記はんだ材料を加熱することにより、前記電極上にはんだ層を形成する第四工程と、
を含むことを特徴とする突起電極の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005119507A JP4834324B2 (ja) | 2005-04-18 | 2005-04-18 | はんだ材料供給方法及び装置並びにこれを用いた突起電極の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005119507A JP4834324B2 (ja) | 2005-04-18 | 2005-04-18 | はんだ材料供給方法及び装置並びにこれを用いた突起電極の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006303000A true JP2006303000A (ja) | 2006-11-02 |
JP4834324B2 JP4834324B2 (ja) | 2011-12-14 |
Family
ID=37470971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005119507A Expired - Fee Related JP4834324B2 (ja) | 2005-04-18 | 2005-04-18 | はんだ材料供給方法及び装置並びにこれを用いた突起電極の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4834324B2 (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10107413A (ja) * | 1996-09-26 | 1998-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田バンプ製造方法 |
JPH1177376A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-23 | Nippon Handa Kk | フラックス |
JP2002111192A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-12 | Ibiden Co Ltd | 半田バンプ形成方法および半田バンプ形成装置 |
-
2005
- 2005-04-18 JP JP2005119507A patent/JP4834324B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10107413A (ja) * | 1996-09-26 | 1998-04-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半田バンプ製造方法 |
JPH1177376A (ja) * | 1997-09-03 | 1999-03-23 | Nippon Handa Kk | フラックス |
JP2002111192A (ja) * | 2000-10-04 | 2002-04-12 | Ibiden Co Ltd | 半田バンプ形成方法および半田バンプ形成装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4834324B2 (ja) | 2011-12-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4759509B2 (ja) | はんだバンプ形成方法及び装置 | |
JP4892340B2 (ja) | はんだ組成物及びこれを用いたバンプ形成方法 | |
JP5753544B2 (ja) | 基板上にはんだバンプを形成するためのマスクを用いない直接ims(射出成形はんだ) | |
US6333554B1 (en) | Semiconductor device with gold bumps, and method and apparatus of producing the same | |
JP4753207B2 (ja) | バンプが均一な高さを有するように多層フリップチップバンプの高さを制御する方法 | |
JP2009177118A (ja) | ポストバンプ及びその形成方法 | |
KR20140028075A (ko) | 솔더 페이스트 | |
CN104425389A (zh) | 凸块电极、凸块电极基板以及其制造方法 | |
US20070278456A1 (en) | Solder paste | |
JPWO2004054339A1 (ja) | はんだ供給方法 | |
JP4834324B2 (ja) | はんだ材料供給方法及び装置並びにこれを用いた突起電極の製造方法 | |
US10763237B2 (en) | Method for manufacturing electronic package | |
KR20090087191A (ko) | 인쇄장치 및 인쇄방법 | |
JP2006294949A (ja) | 電極構造体及び突起電極並びにこれらの製造方法 | |
KR100771360B1 (ko) | 패키지용 회로기판의 제조방법 | |
TW530403B (en) | Solder paste for manufacturing bump | |
TW202142974A (zh) | 導電性柱及其製造方法以及接合結構的製造方法 | |
JP2007277619A (ja) | 電気泳動による粒子堆積方法 | |
WO2015008789A1 (ja) | はんだバンプ製造方法 | |
JP2005268704A (ja) | 半導体装置、半導体装置の実装方法及び半導体装置を有する電子機器 | |
JPWO2006057394A1 (ja) | はんだバンプの形成方法及び装置 | |
JP3872318B2 (ja) | 半田バンプ形成方法および半田バンプ接合構造 | |
TW201635401A (zh) | 用於回焊焊料凸塊的回焊方法 | |
JP2002224884A (ja) | 半田付け用フラックス及びこれを用いた半田バンプの形成方法 | |
JP4618549B2 (ja) | バンプ形成方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080325 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100420 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100427 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100625 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100727 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101026 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20101115 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 Effective date: 20110428 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110926 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140930 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |