JP2006301629A - 単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイ及びその製造方法 - Google Patents
単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイ及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006301629A JP2006301629A JP2006111209A JP2006111209A JP2006301629A JP 2006301629 A JP2006301629 A JP 2006301629A JP 2006111209 A JP2006111209 A JP 2006111209A JP 2006111209 A JP2006111209 A JP 2006111209A JP 2006301629 A JP2006301629 A JP 2006301629A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- crystal silicon
- single crystal
- layer
- substrate
- organic light
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 52
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 14
- 229910021419 crystalline silicon Inorganic materials 0.000 title abstract 4
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 claims abstract description 101
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 61
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 40
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 22
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims abstract description 4
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims abstract description 4
- -1 hydrogen ions Chemical class 0.000 claims abstract description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 24
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 17
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 10
- 210000004349 growth plate Anatomy 0.000 claims description 10
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 abstract description 24
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 12
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 12
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 3
- 230000005525 hole transport Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910018182 Al—Cu Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000002109 crystal growth method Methods 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005070 sampling Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K10/00—Organic devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching; Organic capacitors or resistors having a potential-jump barrier or a surface barrier
- H10K10/40—Organic transistors
- H10K10/46—Field-effect transistors, e.g. organic thin-film transistors [OTFT]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K50/00—Organic light-emitting devices
- H10K50/80—Constructional details
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/121—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements
- H10K59/1216—Active-matrix OLED [AMOLED] displays characterised by the geometry or disposition of pixel elements the pixel elements being capacitors
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/123—Connection of the pixel electrodes to the thin film transistors [TFT]
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K71/00—Manufacture or treatment specially adapted for the organic devices covered by this subclass
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/10—Details of semiconductor or other solid state devices to be connected
- H01L2924/11—Device type
- H01L2924/12—Passive devices, e.g. 2 terminal devices
- H01L2924/1204—Optical Diode
- H01L2924/12044—OLED
Abstract
【課題】単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】
単結晶シリコンチャンネルを有するスイッチングトランジスタとドライビングトランジスタとによる単結晶シリコン2T−1C構造の半導体回路部がプラスチック基板に形成される構造を有する有機発光ディスプレイである。本発明による単結晶シリコンの製造工程は、結晶成長板に単結晶シリコン及びバッファ層を形成した後、絶縁層上から水素イオンを注入して単結晶シリコン層から所定の深さに位置する分割層を形成する。単結晶シリコン層は、基板に付着され、分割層は、外部に加えられる熱エネルギーによって分割される。これにより、基板上に所定の厚さの単結晶シリコンフィルムを形成できる。
【選択図】図1
【解決手段】
単結晶シリコンチャンネルを有するスイッチングトランジスタとドライビングトランジスタとによる単結晶シリコン2T−1C構造の半導体回路部がプラスチック基板に形成される構造を有する有機発光ディスプレイである。本発明による単結晶シリコンの製造工程は、結晶成長板に単結晶シリコン及びバッファ層を形成した後、絶縁層上から水素イオンを注入して単結晶シリコン層から所定の深さに位置する分割層を形成する。単結晶シリコン層は、基板に付着され、分割層は、外部に加えられる熱エネルギーによって分割される。これにより、基板上に所定の厚さの単結晶シリコンフィルムを形成できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、単結晶シリコン薄膜トランジスタ(TFT:Thin Film Transistor)を有する有機発光ディスプレイ及びその製造方法に関する。
有機発光ダイオード(OLED:Organic Light Emission Diode)を利用する能動型カラー画像表示装置は、各画素がアナログ画像信号をサンプリングするスイッチング(サンプリング)トランジスタ、画像信号を維持するメモリキャパシタ、及びメモリキャパシタに蓄積された画像信号電圧によって、OLEDに供給される電流を制御する駆動(ドライビング)トランジスタを構成する二つのトランジスタ及び一つのキャパシタからなる回路が最も一般的に利用されている。これは、いわば、2T(Transistor)−1C(Capacitor)の構造であって、かかる回路構成の例が特許文献1に開示されている。このような2T−1C構造の画素は、単結晶シリコンのウェーハから得られるCMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor)で具現可能であり、例えば、TFT構造では実現され難い。
ガラスまたはプラスチック基板にOLEDを構成するときには、多結晶TFTが利用される。多結晶シリコンの欠点は、均質性が低いため、これを利用してOLEDを構成するためには別途の補償素子が必要であるという点である。このような補償のために、いわば、駆動TFTを直接補償する電圧プログラム方式(非特許文献1参照)、駆動ドライブを一組に構成して電流ミラー回路によってOLEDの電流値を決定する電流プログラム方式(非特許文献2参照)などがある。それ以外にも、多様な形態の補償手段が提案されているが、このような補償素子を用いることで回路が複雑になる。したがって、製作設計が難しいだけでなく、さらに、このような補償素子による新たな問題が発生する。
単結晶シリコンは、特に、システムがディスプレイパネル自体に形成されるSOP(System On Panel)構造に非常に有用である。単結晶シリコンの電子移動度は、300cm2/Vs以上であって、良質のディスプレイ素子に使われる良質のスイッチング素子が得られる。しかし、プラスチックと同様に熱に弱い基板には、単結晶シリコンを形成できない。
特開2002−156923号公報
Voltage program,Sarnoff,SID98
Current program type,Sony,SID01
本発明が解決しようとする課題は、基板に対する熱衝撃なしに単結晶シリコン層を形成することによって単結晶TFTを有する有機発光ディスプレイの製造方法を提供することである。
前記課題を解決するために本発明による有機発光ディスプレイは、基板上に垂直走査信号が入力されるXラインと水平駆動信号が入力されるYラインとが相互直交するマトリックス状に配置され、前記Xライン及び前記Yラインによって画定される画素領域ごとに設けられるOLED及びOLEDを駆動する半導体回路部と、前記半導体回路部にOLED駆動用電源を供給するZラインと、を備える。
上述した本発明による有機発光ディスプレイにおいて、前記基板は、プラスチック基板であり、前記半導体回路部は、前記Xライン及び前記Yラインに連結され、単結晶シリコンスイッチングトランジスタと、前記OLEDに連結され、単結晶シリコンドライビングトランジスタと、前記一つのメモリキャパシタと、を備え、前記半導体回路部が前記プラスチック基板上に単結晶シリコンで形成される二つのトランジスタと一つのキャパシタとからなる構造を有する。
本発明の望ましい実施形態によれば、前記プラスチック基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層上に前記二つのトランジスタおよび一つのキャパシタからなる構造の半導体回路部が設けられ、前記スイッチングトランジスタおよびドライビングトランジスタのチャンネルを構成する単結晶シリコンは、<100>または<111>結晶方向を有する。
前記本発明による有機発光ディスプレイの製造方法は、基板上に単結晶シリコンの形成工程と、前記単結晶シリコンを利用してOLED画素のスイッチング及びドライビングのための半導体回路部を製造する工程と、前記半導体回路部上に有機発光層を備えるOLEDの製造工程と、を含み、前記単結晶シリコンの形成工程は、結晶成長板に前記単結晶シリコンを所定の厚さに成長させる工程と、前記単結晶シリコン層上にバッファ層を蒸着する工程と、前記絶縁層上から水素イオンを注入して前記単結晶シリコン層から所定の深さに位置する分割層を形成する工程と、前記バッファ層に前記基板を接着する工程と、前記結晶成長板から熱エネルギーを加えて前記単結晶シリコン層の分割層を切断して、前記基板上に所定の厚さの前記単結晶シリコン層を形成する工程と、を含む。
本発明の望ましい実施形態によれば、前記半導体回路部は、単結晶シリコンによるチャンネルを有する一つのスイッチングトランジスタ及びドライビングトランジスタと一つのキャパシタとを備える単結晶シリコンからなる構造を有しうる。
本発明のさらに具体的な実施形態は、前記単結晶シリコン層の分割層に熱を加える前に前記基板に基板支持用の板状サポータに接着する工程をさらに含む。
また、前記結晶成長板は、アルミナ基板であり、前記基板は、ガラスまたはプラスチック基板であり、前記単結晶シリコン層は、0.5ミクロン以下の厚さに形成され、前記半導体回路部の形成工程前に前記基板の単結晶シリコン層を研磨する工程をさらに含み、前記分割層を切断する前に前記基板を板状サポータに接着する工程をさらに含む。
本発明によれば、プラスチック基板上に単結晶シリコンで形成される二つのトランジスタおよび一つのキャパシタからなる(2T−1C)構造のOLED駆動用半導体回路部を有する有機発光ディスプレイが得られる。高温の熱処理過程にプラスチックまたはガラスのように熱に弱い基板が投入されず、熱に十分に耐えられる結晶成長板を利用することによって良質の単結晶シリコンフィルムが得られる。また、結晶成長板に形成された単結晶シリコンフィルムに所定の深さに分離層をイオン注入によって形成できて、所望の厚さ、特に100nm以下の非常に薄いシリコンフィルムを形成できる。
したがって、このような本発明は、プラスチックまたはガラス基板にシリコン層を形成するので、いわば、単結晶シリコンを利用するSOG(System On Glass)及び単結晶SOPを実現できる。したがって、本発明は、単結晶シリコンによって再現性に優れ、部品間の性能差の小さい高性能のTFTを製造できる。本発明の製造方法は、高耐熱性のサファイア基板を利用して単結晶シリコンを成長させ、これをプラスチックまたはガラス基板に移す方法を利用するので、使われたサファイア基板を新たな結晶成長のために反復的な再使用が可能であるという経済的利点を有する。かかる本発明によれば、良質の高性能有機発光ディスプレイを製造できる。
以下、添付された図面を参照しつつ、本発明によるOLEDのスイッチ及び駆動素子として単結晶TFTを利用する有機発光ディスプレイについて簡単に説明する。
図1は、本発明によるディスプレイ装置の概略的な構造を示す等価回路図であり、図2は、各画素のレイアウトを示す図面である。
ディスプレイ素子1は、プラスチック基板11をベースパネルとして利用する。図1に示したように、本発明によるディスプレイ素子1は、SOP(System On Panel)構造を有する。これは、本発明の製造方法によってプラスチックまたはガラス基板上に単結晶シリコンを形成できるためである。
基板11上には、複数の平行なXラインXsと複数の平行なYラインYsとが相互直交する方向に配置されてマトリックス構造を形成する。ZラインZdは、YラインYsに所定間隔をおいて、それと平行に配置される。XラインXs、YラインYd、及びZラインZdによって取り囲まれた領域(画素領域)に画素が設けられる。
XラインXsは、垂直走査信号が印加されるラインであり、YラインYsは、映像信号の水平駆動信号が印加されるラインである。XラインXsは、垂直走査回路に連結され、YラインYsは、水平駆動回路に連結される。ZラインZdは、OLED作動のための電源回路に連結される。
各画素(OLED画素)は、2個のトランジスタQ1,Q2と一つのキャパシタCmとを備える。各画素で、XラインXs及びYラインYsにスイッチングトランジスタQ1のソース及びゲートが連結され、スイッチングトランジスタQ1のドレインは、ドライビングトランジスタQ2のゲートに接続される。スイッチングトランジスタQ1の作動によって印加される電荷を蓄積して、各画素別イメージ情報をメモリ(記憶)するメモリキャパシタCmは、ドライビングトランジスタQ2のゲート及びソースに並列接続される。ドライビングトランジスタQ2のドレインは、OLEDのアノードが連結される。そして、OLEDのカソードKは、全体画素が共有する共通電極に該当する。ここで、スイッチングトランジスタQ1は、n型TFTであり、ドライビングトランジスタQ2は、p型TFTである。トランジスタの単結晶シリコンは、<100>または<111>結晶方向を有する。
具体的に、図2を参照すれば、図2の左右にYラインとZラインとが平行に配置され、これに直交する方向にXラインが配置される。XラインXsとYラインYdとの交差部分にスイッチングトランジスタQ1が位置し、XラインとZラインとの交差部の付近には、ドライビングトランジスタQ2が配置される。スイッチングトランジスタQ1とドライビングトランジスタQ2との間には、メモリキャパシタCmが配置される。メモリキャパシタCmの一つの電極Cmaは、ZラインZdから延びる部分であり、他の電極Cmbは、スイッチングトランジスタQ1のドレインQ1d及びドライビングトランジスタQ2のゲートQ2gと一体に形成される。スイッチングトランジスタQ1のゲートQ1gは、XラインXsから延びる部分である。
図2のA−A’線の断面を示す図3を参照すれば、基板11にSiONなどの絶縁物質からなるバッファ層12が形成され、この上にスイッチングトランジスタQ1が形成される。スイッチングトランジスタQ1は、バッファ層12上に形成されるソースQ1s、チャンネルQ1c、及びドレインQ1dを有する単結晶シリコン層とその上のSiO2による第1絶縁層13及びゲートQ1gを備える。スイッチングトランジスタQ1上には、SiO2のIMD(Inter Metal Dielectric)14が形成され、その上に金属によるソース電極Q1se、ドレイン電極Q1deが形成される。これら電極Q1se,Q1deは、その下部は、IMD14に形成される貫通孔を通じて下部のソースQ1sとドレインQ1dとに電気的に接続される。これら電極及びメモリキャパシタの上部電極Cmb、ZラインZdは、Mo/Al/MoまたはTi/Al−Cu合金/Tiの積層構造を有しうる。スイッチングトランジスタQ1のゲートQ1gは、前述したXラインXsから延びるものであって、タングステンによって形成される。
メモリキャパシタCmの誘電層は、IMD14の一部であり、下部電極Cmaは、前述したようにドライビングトランジスタQ2のゲートと一体にタングステンで形成される。
ZラインZdと一体に形成される上部電極Cmb、ソース電極15及びドレイン電極16の上には、第2絶縁層17及び第3絶縁層18が形成され、この上には、正孔輸送層(HTL:Hole Transport Layer)、OLEDのカソードとしての共通電極K、そして第4絶縁層19が設けられる。第4絶縁層19は、OLEDを保護するパッシベーション層である。
図2のB−B’線の断面図を示す図4は、ドライビングトランジスタQ2とOLEDとの全体積層構造を示す。
プラスチック基板11上のバッファ層12が形成され、この上にスイッチングトランジスタQ1と同時に形成されるドライビングトランジスタQ2が形成される。ドライビングトランジスタQ2のシリコン層は、スイッチングトランジスタQ2の製作時に利用されたシリコン層と同一物質層から得られる。単結晶シリコンは、ソースQ2s、チャンネルQ2c、及びドレインQ2dを含み、その上のSiO2による第1絶縁層13及びゲートQ2gを備える。ゲートQ2gは、前述したように、メモリキャパシタCmの上部電極Cmb及びタングステンで一体に形成される。
ドライビングトランジスタQ2上には、スイッチングトランジスタQ1を覆うSiO2のIMD14が形成され、その上に金属によるソース電極Q2se、ドレイン電極Q2deが形成される。これら電極Q2se,Q2deは、その下部はIMD14に形成される貫通孔を通じて下部のソースQ2sとドレインQ2dとに電気的に接続され、その上には、第2絶縁層17及び第3絶縁層18が形成される。
第3絶縁層18上にHTLが設けられ、その上の所定領域に発光層(EML:Emitting Layer)、電子輸送層(ETL:Electron Transport Layer)が形成され、その上にカソードである共通電極Kが形成される。共通電極K上には、前述した第4絶縁層19が形成される。一方、第2電極17と第3電極18との間には、ドレイン電極Q2deに連結され、OLEDの下部に位置するアノードAnが設けられる。アノードAnは、第3絶縁層18に形成されたウィンドウ18aによってHTLに物理的に接触されて電気的に連結される。
前述した構造の電界発光ディスプレイのレイアウトは、実現可能な本発明の具体的な一例であって、かかるレイアウト及びその修正は、本発明の技術的範囲を制限しない。
このような本発明の電界発光ディスプレイは、プラスチックなど熱に弱い基板上に単結晶シリコンによって既存の補償回路なしに単結晶シリコン2T−1C構造のOLED駆動用の半導体回路部を有する点に特徴がある。
このような本発明による電界発光ディスプレイの製造方法は、次の通りである。
図5Aに示したように、結晶成長板であるサファイア(アルミナ:Al2O3)基板30上に結晶成長法によってシリコン成長膜、すなわち、単結晶シリコンフィルム31と酸化物、例えばバッファ層32を順次に形成する。望ましくは、単結晶シリコンフィルム(単結晶シリコン層)31は、0.5ミクロン以下の厚さに調節することが望ましい。
図5Bに示したように、水素イオン(H+)を注入して単結晶シリコンフィルム31の中間部分に分割層31aで不純物注入層を形成する。
図5Cに示したように、ボンド層33によって板状サポータ(支持基板)34に接着されているガラスまたはプラスチック基板11をシリコンフィルム31に接着する。このために、バッファ層32及び下部のシリコンフィルム31は、酸素プラズマによって活性化され、常温空気雰囲気で基板11が接着される。
図5Dに示したように、結晶成長板30から熱エネルギー、例えば、308nmのエキシマーレーザ(excimer laser)を全面的に均一に加える。このような高熱エネルギーによれば、不純物によってストレイン(strain)が集中した不純物注入層、すなわち、分割層31aが分離されて、図5Gに示したように、サファイア基板30側のシリコンフィルム31’と図5Eに示したようにプラスチック基板11上のシリコンフィルム31とに両分される。
図5Fに示したように、基板11の底面から板状サポータ34を分離した後、TFTの製造工程及びOLEDの製造工程に連続投入して、図1ないし図4に示したような単結晶シリコンTFTを有する有機発光ディスプレイを製造する。そして、サファイア基板30は、新たな単結晶シリコンフィルム成長のために工程に再投入される。半導体回路部の形成工程の再投入前にサファイア基板30上の結晶層は研磨される。
半導体製造工程の投入前に、基板11上の単結晶シリコンは、研磨装置によって所定の厚さ及び平坦面を有するように十分に研磨することが望ましい。
図6Aないし図6Nは、単結晶シリコンを利用した半導体回路部の製造工程を示す。
図6Aに示したように、前述した工程によってガラスまたはプラスチック基板11に単結晶シリコン(x−Si)を形成する。図6Aは、有機発光ディスプレイの単位画素に該当する部分を一部示す。
図6Bに示したように、単結晶シリコン(x−Si)をパターニングしてスイッチングトランジスタQ1とドライビングトランジスタQ2とに利用される単結晶シリコンアイランドを形成する。単結晶シリコンのパターニングは、既存のフォトリソグラフィ法などの公知のパターニング法を利用する。
図6Cに示したように、CVD(Chemical Vapor Deposition)法などによって、前記積層上にSiO2などのゲート絶縁層13を形成する。
図6Dに示したように、ゲート絶縁層13上にモリブデン(Mo)またはタングステン(W)などの金属層を蒸着法またはスパッタリング法などで形成した後、それをフォトレジストを利用した湿式エッチング法によってパターニングしてXラインXs、連結するゲートQ1g,Q2g、及びメモリキャパシタの下部電極Cmaを形成する。
図6Eに示したように、イオン注入法によって前記ゲートQ1g,Q2gに覆われていない単結晶シリコン(x−Si)にリン(P+)イオンを注入してスイッチングトランジスタQ1のソースQ1sとドレインQ1dとを得る。ここで、ゲート絶縁層上にドライビングトランジスタの単結晶シリコンを保護するマスク層を追加した後にドーピングを実施することによって、ドライビングトランジスタの単結晶にはドーピングが起きないようにできる。
図6Fに示したように、スイッチングトランジスタQ1を保護するフォトレジストマスク(PR MASK)を形成した後にボロン(B+)などのイオン注入を実施して、ドライビングトランジスタQ2のP型ソースQ2sとドレインQ2dとを得る。このとき、先行された工程でドライビングトランジスタがN型にドーピングされている場合、十分なB+イオンのドーピングによってP型に反転される。前記のようなP+及びB+イオンのドーピングが完了した後、アニーリングによってスイッチングトランジスタQ1とドライビングトランジスタQ2との単結晶シリコンを活性化させる。
図6Gに示したように、前記積層上にCVD法などでSiO2を蒸着してIMD14層を形成した後、ここにスイッチングトランジスタQ1、ドライビングトランジスタQ2などのコンタクトのためのコンタクトホールを形成する。
図6Hに示したように、IMD14上に金属層を形成した後、それをパターニングして、YラインYs、ZラインZd、スイッチングトランジスタQ1のドレイン電極Q1de、及びソース電極Q1se、ドライビングトランジスタQ2のドレイン電極Q2de、及びソース電極Q2se、メモリキャパシタCmの上部電極Cmbなどを形成する。
図6Iに示したように、前記積層上にSiO2の第2絶縁膜17を形成した後、ここにドライビングトランジスタQ2のドレイン電極Q2deを露出させるコンタクトホール17aを形成する。
図6Jに示したように、第2絶縁膜17上にITOなどの導電性物質層を形成した後、それをパターニングしてOLEDのアノードAnを形成する。
図6Kに示したように、前記積層上に第3絶縁層18を形成した後、OLED領域で前記ITOアノードAnが露出されるウィンドウ18aを形成する。
図6Lに示したように、第3絶縁層18及びITOアノードAn上の全体にHTLを形成する。
図6Mに示したように、前記HTL上にEM、ETLを順次に形成する。
図6Nに示したように、前記ETLを備える積層の最上面にOLEDのカソードである共通電極K及びその上の第4絶縁層19を形成して、所望の有機発光ディスプレイを得る。
上述の説明では、画素を駆動するトランジスタ及びキャパシタの製造過程について説明されたが、本発明によれば、プラスチック基板に単結晶シリコンが形成されるので、前記TFTの製造と同時に、ディスプレイ駆動用のLSIの製造も同一基板上で同時に行われることによってSOPを具現できる。
以上で説明された製造方法は、本発明によって製造された単結晶シリコンフィルムを利用してTFTを製造する一例として多様な変更が可能である。
このような本願発明の理解を助けるために、幾つかの模範的な実施形態が説明され、かつ、図示されたが、このような実施形態は、単に広い発明を例示し、これを制限しないという点が理解されねばならず、そして、本発明は、図示されて説明された構造及び配列に限定されないという点が理解されねばならず、当業者によって多様な他の修正が可能である。
本発明は、有機発光ディスプレイ関連の技術分野に適用可能である。
1 ディスプレイ素子、
11 プラスチック基板、
K 共通電極、
Xs Xライン、
Ys Yライン、
Zd Zライン、
Cm キャパシタ、
Cma 下部電極、
Cmb 上部電極、
Q1 スイッチングトランジスタ、
Q2 ドライビングトランジスタ、
Q1g,Q2g ゲート。
11 プラスチック基板、
K 共通電極、
Xs Xライン、
Ys Yライン、
Zd Zライン、
Cm キャパシタ、
Cma 下部電極、
Cmb 上部電極、
Q1 スイッチングトランジスタ、
Q2 ドライビングトランジスタ、
Q1g,Q2g ゲート。
Claims (11)
- 基板上に垂直走査信号が入力されるXラインと水平駆動信号が入力されるYラインとが相互直交するマトリックス状に配置され、前記Xラインと前記Yラインとによって画定される画素領域ごとに設けられるOLED及びOLEDを駆動する半導体回路部と、前記半導体回路部にOLED駆動用電源を供給するZラインと、を備える有機発光ディスプレイにおいて、
前記基板は、プラスチック基板であり、
前記半導体回路部は、
前記Xラインと前記Yラインとに連結され、単結晶シリコンで形成されるスイッチングトランジスタと、
前記OLEDに連結され、単結晶シリコンで形成されるドライビングトランジスタと、
一つのメモリキャパシタと、を備え、
前記半導体回路部が前記プラスチック基板上に単結晶シリコンで形成される二つのトランジスタと一つのキャパシタとからなる構造を有することを特徴とする単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイ。 - 前記プラスチック基板上に絶縁層が形成され、前記絶縁層上に前記二つのトランジスタおよび一つのキャパシタからなる構造の半導体回路部が設けられることを特徴とする請求項1に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイ。
- 前記スイッチングトランジスタおよびドライビングトランジスタのチャンネルを構成する単結晶シリコンは、<100>または<111>結晶方向を有することを特徴とする請求項1に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイ。
- 基板上に単結晶シリコンを形成する工程と、
前記単結晶シリコンを利用してOLED画素のスイッチング及びドライビングのための半導体回路部を製造する工程と、
前記半導体回路部上に有機発光層を備えるOLEDを製造する工程と、を含み、
前記単結晶シリコンを形成する工程は、
結晶成長板に前記単結晶シリコンを所定の厚さに成長させる工程と、
前記単結晶シリコン層上にバッファ層を蒸着する工程と、
絶縁層上から水素イオンを注入して前記単結晶シリコン層から所定の深さに位置する分割層を形成する工程と、
前記バッファ層に基板を接着する工程と、
前記結晶成長板から熱エネルギーを加えて、前記単結晶シリコン層の分割層を切断して前記基板上に所定の厚さの前記単結晶シリコン層を形成する工程と、を含むことを特徴とする単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。 - 前記半導体回路部は、一つのスイッチングトランジスタとドライビングトランジスタ及び一つのキャパシタからなる構造を有することを特徴とする請求項4に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。
- 前記単結晶シリコン層の分割層に熱を加える前に、前記基板に基板支持用の板状サポータを接着する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4または5に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。
- 前記結晶成長板は、アルミナ基板であることを特徴とする請求項4ないし6のうちいずれか1項に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。
- 前記基板は、ガラスまたはプラスチック基板であることを特徴とする請求項4ないし7のうちいずれか1項に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。
- 前記単結晶シリコン層を0.5ミクロン以下の厚さに形成することを特徴とする請求項4に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。
- 前記半導体回路部の形成工程前に前記基板の単結晶シリコン層を研磨する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。
- 前記分割層を切断する前に前記基板を板状サポータに接着する工程をさらに含むことを特徴とする請求項4に記載の単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイの製造方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020050031689A KR100634543B1 (ko) | 2005-04-16 | 2005-04-16 | 단결정 실리콘 tft 유기발광 디스플레이 및 그 제조방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006301629A true JP2006301629A (ja) | 2006-11-02 |
Family
ID=37469908
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006111209A Pending JP2006301629A (ja) | 2005-04-16 | 2006-04-13 | 単結晶シリコン薄膜トランジスタの有機発光ディスプレイ及びその製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006301629A (ja) |
KR (1) | KR100634543B1 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130060140A (ko) | 2011-11-29 | 2013-06-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
KR20130130011A (ko) * | 2010-12-07 | 2013-11-29 | 유니버시티 오브 플로리다 리서치 파운데이션, 인크. | 액티브 매트릭스 감쇄 소스 인에이블형 수직 유기 발광 트랜지스터 |
JP2018515901A (ja) * | 2015-05-01 | 2018-06-14 | イマジン・コーポレイション | 大面積oledマイクロディスプレイおよびその製造方法 |
US10089930B2 (en) | 2012-11-05 | 2018-10-02 | University Of Florida Research Foundation, Incorporated | Brightness compensation in a display |
-
2005
- 2005-04-16 KR KR1020050031689A patent/KR100634543B1/ko active IP Right Grant
-
2006
- 2006-04-13 JP JP2006111209A patent/JP2006301629A/ja active Pending
Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20130130011A (ko) * | 2010-12-07 | 2013-11-29 | 유니버시티 오브 플로리다 리서치 파운데이션, 인크. | 액티브 매트릭스 감쇄 소스 인에이블형 수직 유기 발광 트랜지스터 |
JP2014505324A (ja) * | 2010-12-07 | 2014-02-27 | ユニバーシティ オブ フロリダ リサーチ ファンデーション インコーポレーティッド | アクティブマトリクス式希薄ソース使用可能縦型有機発光トランジスタ |
US9214644B2 (en) | 2010-12-07 | 2015-12-15 | University Of Florida Research Foundation, Inc. | Active matrix dilute source enabled vertical organic light emitting transistor |
KR101943595B1 (ko) * | 2010-12-07 | 2019-04-17 | 유니버시티 오브 플로리다 리서치 파운데이션, 인크. | 액티브 매트릭스 감쇄 소스 인에이블형 수직 유기 발광 트랜지스터 |
KR20130060140A (ko) | 2011-11-29 | 2013-06-07 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
US9390641B2 (en) | 2011-11-29 | 2016-07-12 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and electronic device |
KR20190090752A (ko) | 2011-11-29 | 2019-08-02 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
KR20200056971A (ko) | 2011-11-29 | 2020-05-25 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
KR20210080337A (ko) | 2011-11-29 | 2021-06-30 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
KR20240012599A (ko) | 2011-11-29 | 2024-01-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시 장치 및 전자 기기 |
US10089930B2 (en) | 2012-11-05 | 2018-10-02 | University Of Florida Research Foundation, Incorporated | Brightness compensation in a display |
JP2018515901A (ja) * | 2015-05-01 | 2018-06-14 | イマジン・コーポレイション | 大面積oledマイクロディスプレイおよびその製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100634543B1 (ko) | 2006-10-13 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7416924B2 (en) | Organic light emitting display with single crystalline silicon TFT and method of fabricating the same | |
TWI606581B (zh) | 陣列基板、顯示裝置及陣列基板的製備方法 | |
JP4989415B2 (ja) | 有機電界発光表示装置 | |
KR100201715B1 (ko) | 활성 매트릭스 표시 장치용 고이동도 집적화 구동기 및 그 제조 방법 | |
JP4109265B2 (ja) | 有機電界発光素子及びその製造方法 | |
TWI402982B (zh) | 影像顯示系統及其製造方法 | |
US8227808B2 (en) | Method for manufacturing thin film transistor (TFT) and OLED display having TFTS manufactured by the same | |
JP5301971B2 (ja) | 薄膜トランジスタ、その製造方法、及びこれを含む有機電界発光表示装置 | |
JP2005340822A (ja) | 薄膜トランジスタ基板、薄膜トランジスタ基板の製造方法、および平板表示装置 | |
US20070075369A1 (en) | Thin film transistor and method of fabricating the same | |
KR100458710B1 (ko) | Oeld용 결정질 실리콘 박막트랜지스터 패널 및 제작방법 | |
US7402950B2 (en) | Active matrix organic light emitting display device and method of fabricating the same | |
JP2009506563A (ja) | アモルファス多結晶シリコン薄膜回路の製造方法 | |
KR100458714B1 (ko) | Oeld용 결정질 실리콘 박막트랜지스터 패널 및 제작방법 | |
JP4675680B2 (ja) | 薄膜トランジスタ基板の製造方法 | |
TWI375282B (en) | Thin film transistor(tft)manufacturing method and oled display having tft manufactured by the same | |
JP3748827B2 (ja) | 有機el表示装置製造方法 | |
KR100634543B1 (ko) | 단결정 실리콘 tft 유기발광 디스플레이 및 그 제조방법 | |
JP2006330719A (ja) | 有機発光ディスプレイ及びその製造方法 | |
JP4749994B2 (ja) | 薄膜トランジスタ及びその製造方法 | |
JP5687448B2 (ja) | 薄膜トランジスタ及びこれを用いた表示装置、並びに、薄膜トランジスタの製造方法 | |
WO2012172714A1 (ja) | 表示装置、表示装置に用いられる薄膜トランジスタ、及び薄膜トランジスタの製造方法 | |
KR100627333B1 (ko) | 유기 이엘 발광셀 및 그 제조 방법 | |
EP1615262A1 (en) | Active matrix for oled display | |
JP2015161701A (ja) | ディスプレイ |