JP2006294301A - 走査形電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の収束レンズ及び絞りの穴径を変化させることにより光学系の開き角を変化させる手段をもち、1画素に相当する視野範囲、いわゆる画素サイズに応じて電子ビーム開き角αを変化させる。
【選択図】 図2
Description
図1は、本発明が適用される走査形電子顕微鏡の構成例を示す図である。陰極1と第1陽極2の間には、マイクロプロセッサ(CPU)22で制御される高圧制御電源15により電圧が印加され、所定のエミッション電流で一次電子線4が陰極1から引き出される。陰極1と第2陽極3の間には、CPU22で制御される高圧制御電源15により加速電圧が印加されるため、陰極1から放出された一次電子線4は加速されて後段のレンズ系に進行する。
電子ビーム開き角と分解能及び焦点深度の関係について、図4に示す。試料上での電子ビーム径のみを考慮した場合の走査電子像の分解能は、図4の点線のような関係となる。このとき、開き角がα0において最小の分解能を得る。走査電子像の分解能は通常最適分解能を得てかつ深い焦点深度を得るため、グラフの左半分のα<α0以下の領域にて使用している。この開き角と分解能の関係は、電子軌道シミュレーションや実験により導出しておき、記憶装置に記憶させる。
Claims (5)
- 試料を保持する試料保持部と、
電子線源と、
前記電子線源から放出された電子線を収束するための収束レンズと、
前記収束された電子線を試料上に微小スポットとして照射する対物レンズと、
前記電子線を試料上に走査する走査コイルと、
電子線照射によって試料から発生した試料信号を検出する検出器と、
前記検出器による検出信号をアナログ−デジタル変換するアナログ−デジタル変換器と、
前記アナログ−デジタル変換器によってデジタル変換された信号を画像信号として記憶する記憶部と、
前記記憶部に記憶された画像信号を画像として表示する表示部とを備え、
前記アナログ−デジタル変換器はサンプリングレートを切替えて一画面分の画素数を切替えることができるものであり、
一画面分の画素数に応じて決まる画素サイズ(1画素あたりの視野領域)に応じて、前記電子線の開き角を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。 - 請求項1記載の走査形電子顕微鏡において、前記収束レンズを制御して前記電子線の開き角を変化させることを特徴とする走査形電子顕微鏡。
- 請求項1記載の走査形電子顕微鏡において、前記表示部に表示される画像の画素サイズにより決まる最良の分解能と、当該分解能における最深の焦点深度が実現されるように前記電子線の開き角を設定することを特徴とする走査形電子顕微鏡。
- 請求項1記載の走査形電子顕微鏡において、予め指定された画素サイズの範囲においては画素サイズに応じて前記電子線の開き角を変化させ、前記指定された画素サイズの範囲外では画素サイズによらず所定の開き角に設定することを特徴とする走査形電子顕微鏡。
- 請求項4記載の走査形電子顕微鏡において、前記指定された画素サイズより小さな画素サイズに対しては第1の開き角に設定し、前記指定された画素サイズより大きな画素サイズに対しては第2の開き角に設定することを特徴とする走査形電子顕微鏡。
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