JP2006278381A - 検査装置および位置ずれ量取得方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】プローバでは、既存の針痕が形成されたパッドにプローブが接触した後に、基板を撮像してパッドを含む領域を示す接触後画像が取得される。画像記憶部44には、プローブのパッドへの接触前のパッドを含む領域を示す接触前画像が予め記憶されており、最新針痕位置取得部42では接触前画像と接触後画像とを比較することにより、パッド上の複数の針痕にそれぞれ対応する接触後画像中の複数の針痕領域のうち、プローブのパッドへの接触による最新の針痕領域の位置が取得される。これにより、プローバでは、パッド上の複数の針痕のうち最新の針痕の位置が取得され、位置ずれ量取得部43にてパッドに対するプローブの接触位置のずれ量が取得される。
【選択図】図2
Description
3 撮像部
9 基板
42 最新針痕位置取得部
43 位置ずれ量取得部
44 画像記憶部
52 プローブ
72,72a〜72c 針痕存在領域
75 増加領域
78 最新の針痕領域
81 全針痕包含領域
82 元矩形
83 対称矩形
422 増加領域取得部
423 増加領域補完部
441 接触前画像データ
791 針痕領域
S12〜S14 ステップ
Claims (8)
- 基板上に形成された被検査体の電気的な検査を行う検査装置であって、
基板上に形成された電極に接触するプローブと、
少なくとも1つの針痕が形成された前記電極に前記プローブが接触した後に、前記基板を撮像して前記電極を含む領域を示す第1画像を取得する撮像部と、
前記プローブの前記電極への接触前の前記電極を含む領域を示す第2画像を記憶する画像記憶部と、
前記第1画像と前記第2画像とを比較することにより、前記電極上の複数の針痕にそれぞれ対応する前記第1画像中の複数の針痕領域のうち前記プローブの前記電極への接触による最新の針痕領域の位置を取得する最新針痕位置取得部と、
前記最新の針痕領域の位置に基づいて、前記電極に対する前記プローブの接触位置のずれ量を求める位置ずれ量取得部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項1に記載の検査装置であって、
前記位置ずれ量取得部にて求められた前記接触位置のずれ量が、前記プローブまたは他の検査装置におけるプローブによる前記基板の前記電極への次のコンタクトの際における補正量として利用されることを特徴とする検査装置。 - 請求項1または2に記載の検査装置であって、
前記最新針痕位置取得部が、
前記第1画像と前記第2画像とを比較することにより、前記複数の針痕領域が占める針痕存在領域のうち前記プローブの前記電極への接触により増加した増加領域を取得する増加領域取得部と、
前記増加領域の面積が所定値を下回る場合に、前記針痕存在領域から前記増加領域を除いた領域において補完領域を前記増加領域に結合して前記最新の針痕領域を取得する増加領域補完部と、
を備えることを特徴とする検査装置。 - 請求項3に記載の検査装置であって、
前記増加領域補完部が、前記第1画像の前記複数の針痕領域の外接矩形である全針痕包含領域内において、前記全針痕包含領域の中心点を中心として、前記少なくとも1つの針痕に対応する前記第2画像中の少なくとも1つの針痕領域の外接矩形に対して点対称となる対称矩形を設定し、前記対称矩形内に前記補完領域が配置されることを特徴とする検査装置。 - 請求項3または4に記載の検査装置であって、
前記補完領域の大きさが、1つの針痕領域の面積として予め設定された値と前記増加領域の面積との差に基づいて決定されることを特徴とする検査装置。 - 請求項3ないし5のいずれかに記載の検査装置であって、
前記第2画像が2値の画像であり、前記増加領域取得部において、前記第1画像が前記第2画像によりマスクされた上で2値化が行われることにより、前記増加領域が取得されることを特徴とする検査装置。 - 請求項1ないし5のいずれかに記載の検査装置であって、
前記第2画像が前記プローブの前記電極への接触直前に前記撮像部により取得された画像であることを特徴とする検査装置。 - 基板上に形成された被検査体の電気的な検査を行う検査装置において、前記基板上に形成された電極に接触するプローブの接触位置のずれ量を求める位置ずれ量取得方法であって、
少なくとも1つの針痕が形成された電極へのプローブの接触後に、基板を撮像して前記電極を含む領域を示す第1画像を取得する工程と、
前記第1画像と前記プローブの前記電極への接触前の前記電極を含む領域を示す第2画像とを比較することにより、前記電極上の複数の針痕にそれぞれ対応する前記第1画像中の複数の針痕領域のうち前記プローブの前記電極への接触による最新の針痕領域の位置を取得する工程と、
前記最新の針痕領域の位置に基づいて、前記電極に対する前記プローブの接触位置のずれ量を求める工程と、
を備えることを特徴とする位置ずれ量取得方法。
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