JP2006278356A - 固体撮像素子の製造方法及び固体撮像素子 - Google Patents
固体撮像素子の製造方法及び固体撮像素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006278356A JP2006278356A JP2005090282A JP2005090282A JP2006278356A JP 2006278356 A JP2006278356 A JP 2006278356A JP 2005090282 A JP2005090282 A JP 2005090282A JP 2005090282 A JP2005090282 A JP 2005090282A JP 2006278356 A JP2006278356 A JP 2006278356A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- microlens
- overcoat
- overcoat layer
- solid
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】固体撮像素子基板の受光部の上に形成され、受光部に集光するマイクロレンズと、該マイクロレンズの表面上に形成されたオーバーコート層とを備えた固体撮像素子を製造する方法であって、前記マイクロレンズ表面にオーバーコート材料を塗布する工程と、前記オーバーコート材料をグレースケールマスクを介して露光する工程と、前記露光したオーバーコート材料を現像する工程とを含むことを特徴とする固体撮像素子の製造方法、並びに、前記オーバーコート層が、前記マイクロレンズ表面上に塗布されたオーバーコート材料をグレースケールマスクを介して露光し、該露光後のオーバーコート材料を現像することによって形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
【選択図】図4
Description
また、特許文献5のようにエッチングによりオーバーコート層を理想的な形状とする方法は、エッチングレートや用いるガスの種類等のプロセス条件検討、オーバーコート層の材料検討等に大きな手間を要し、且つ、理想的なオーバーコート層の形状や膜厚分布が実現するとは限らない。
また、本発明は、均一な若しくは理想的な膜厚分布を有するオーバーコート層を備えた固体撮像素子を提供することを目的とするものである。
マイクロレンズ表面に設けられるオーバーコート層を形成する方法として、グレースケールマスクを用いる階調露光法を採用した本発明によれば、所望の形状、膜厚を有するオーバーコート層、典型的にはマイクロレンズの全面を覆い、均一な膜厚を有するオーバーコート層を確実に形成することが可能である。
このとき、マイクロレンズを形成するためのグレースケールマスクとしては、作製が容易であることから、前記マイクロレンズを形成する際の露光波長では解像しない微細なパターンの分布状態により露光する際の透過光量分布を制御するものが好ましい。
本発明の固体撮像素子は、オーバーコート層がグレースケールマスクを用いて形成されているため、マイクロレンズの形状や曲率を変化させることなく、オーバーコート層による機能が付加されている。従って、優れた集光効率を示し、且つ、オーバーコート層による付加的な機能を有するものである。
従って、本発明によれば、光学特性のみならず、その他の特性を向上させた優れた固体撮像素子を提供することができる。
ここで、マイクロレンズ表面とは、マイクロレンズ自体の表面の他、マイクロレンズ自体の表面に設けられた付加的な層の表面も含むものである。
まず、撮像素子基板を準備する。撮像素子の具体的な構成、製造方法等は特に限定されない。撮像素子基板としては、例えば、シリコーンウェハ1、該シリコーンウェハ1上に形成された信号転送部2、及び該信号転送部2の相互間のシリコーンウェハ1表面に形成された受光部3等から構成されるものが挙げられる。撮像素子基板の表面全面には、通常、樹脂からなる下平坦化膜4、次に下平坦化膜4上の受光部3に対応する位置に各受光部に必要な分光特性に合わせて赤、緑、青(RGB)の組み合わせ、シアン、マゼンタ、イエロー(CMY)の組み合わせ又はその他の色のカラーフィルター層5、さらに、カラーフィルター層5の上には、樹脂からなる上平坦化膜6が全面に設けられる(図1参照)。これら各層の形成は、一般的な方法により行うことができる。
例えば、均一な膜厚を有するオーバーコート層や、所望の膜厚分布を有するオーバーコート層を形成することができる。具体的には、マイクロレンズ表面の頂部(最もレンズの膜厚が大きい箇所)におけるオーバーコート層の厚みをH1、レンズ間ギャップ若しくはレンズ間の境界部(最もレンズの膜厚が小さい箇所)におけるオーバーコート層の厚みをH2としたときに、従来のウェットプロセスによる方法ではマイクロレンズ表面に均一な膜厚を有するオーバーコート層を形成しようとしても、H1/H2を0.87以上にすることが非常に困難であったが、本発明によればH1/H2を0.87以上、さらには0.95以上とすることが可能である。
また、表面に微細な凹凸(ボイド)を有するオーバーコート層も形成可能である。表面に微細凹凸を形成することで見かけ上の屈折率を小さくした層を、マイクロレンズ表面に設けることによって、マイクロレンズ表面での入射光の反射を防止できることが知られている(例えば、特開2003−37257号公報参照)が、本発明によればこのような微細凹凸を有するオーバーコート層も容易に形成できる。
従って、本発明の製造方法によれば、光学特性のみならず、その他の特性を向上させた優れた固体撮像素子を提供することができる。
このように、本発明によれば生産性に優れた固体撮像素子を提供することが可能である。
尚、図2においてはレンズ1つに対応するドットパターンを中心に説明しているが、実際に使用するグレースケールマスクには、通常、一度の露光により複数のレンズにオーバーコート層を一括形成することができるようにドットパターンが形成されている。また、ここでは、光透過性支持体上にドットを位置選択的に描画することで遮光パターンを形成し、透過光量分布を変化させたグレースケールマスクについて説明しているが、一面に遮光膜が形成された光透過性支持体に、遮光膜を開口させるドットを位置選択的に描画することでマスクの透過光量分布を変化させることもできる。
まず、マイクロレンズ7を覆うように、オーバーコート層8を形成するオーバーコート材料8’(感光性材料)を塗布する(図4a)。このとき、オーバーコート材料8’は、マイクロレンズ7が配置される下層(図1、図4においては、上平坦化膜6)の表面からオーバーコート材料8’の表面までの高さHが、レンズの位置に関わらずほぼ一定となるように、すなわち、マイクロレンズが形成された下層を平坦化するように塗布する。グレースケールマスクの透過光量分布によって、設計通りの膜厚や形状を有するオーバーコート層を形成できるようにするためである。
設計した通りの露光量分布でオーバーコート材料を露光し、より確実に設計通りのオーバーコート層を形成するためには、オーバーコート層より下の層、好ましくはレンズ層に、オーバーコート層形成時に照射する紫外線を吸収する化合物を含有させることが好ましい。オーバーコート層の下層が紫外線を吸収する化合物を含有することによって、露光時における下層からの微量なハレーションを防止することができるからである。
また、現像工程とポストベーク工程との間に再度露光工程を含んでいてもよい。オーバーコート材料が、キノンジアジド化合物を含む場合には、現像後に再度露光を行うことによって、キノンジアジド化合物を分解し、オーバーコート層の光(特に可視光)透過性を向上させることができる。この露光工程における露光量は、通常、10〜2000mJ/cm2程度とすればよい。
従って、オーバーコート層を形成するオーバーコート材料は、オーバーコート層の機能等に応じて適宜選択すればよい。
ここで、残膜率とは下記式にて表されるものである。
残膜率(%)=(現像後膜厚(μm)÷現像前膜厚(μm))×100
次に、露光した塗膜を現像し、ポストベークする。ポストベーク後、フォトマスクの開口率の異なる領域に対応する各位置の塗膜の厚さを測定し、「現像後膜厚」とする。
従って、上記したようなマスク開口率と残膜率の関係を有する感光性材料を、オーバーコート材料として用いる場合には、オーバーコート層の設計における自由度がより高く、且つ、設計通りの形状、膜厚を有するオーバーコート層を形成することが可能であり、オーバーコート層の形状及び厚みを精密に制御することが可能である。
これら反射防止膜、紫外線吸収膜、赤外線吸収膜は、以下のような感光性材料としての基本成分を含むものを用いて形成される。
反射防止膜用材料は、通常、上記したような基本成分を主成分として含むものが用いられ、得られる反射防止膜の屈折率がマイクロレンズの屈折率よりも低くなるように、各成分が選定される。必要に応じて、屈折率を低くするための低屈折率樹脂を添加してもよい。反射防止膜の屈折率は、所望の屈折率を有する反射防止膜が得られるように、反射防止膜用材料全体として屈折率を調節すればよいが、主に、アルカリ可溶性樹脂、又は、光酸発生剤若しくは光塩基発生剤による加水分解によってアルカリ可溶性を示す樹脂や、光/熱感光剤(ナフトキノンジアジド化合物、光酸発生剤、光塩基発生剤、光重合開始剤等)、熱硬化成分によって低く調節されることが一般的である。
また、より効果的に屈折率を低下させるために、ボイドや空隙を有する低屈折率なフィラーを添加することも可能である。
紫外線吸収膜用材料は、通常、上記したような基本成分に紫外線吸収剤を添加したものを主成分として含むものが用いられる。紫外線吸収剤の一例としては、ベンゾトリアゾール系化合物、ベンゾフェノン系化合物、サリチル酸系化合物、クマリン系化合物などが挙げられる。これら紫外線吸収剤と共に、例えば、紫外線エネルギーにより生じるフリーラジカルを捕捉し、フリーラジカルによる当該紫外線吸収膜の下層の劣化を抑制する光安定化剤や、紫外線エネルギーを吸収して生成した励起種を元の基底状態に戻し、励起種による当該紫外線吸収膜の下層の劣化を抑制するクエンチャー等を添加してもよい。光安定化剤としては、例えば、ヒンダードアミン系化合物等、クエンチャーとしては、例えば、一重項酸素クエンチャー等が挙げられる。
赤外線吸収膜用材料は、通常、上記したような基本成分に赤外線吸収剤を添加したものを主成分として含むものが用いられる。赤外線吸収剤としては、アントラキノン系化合物、フタロシアニン系化合物、シアニン系化合物、ポリメチレン系化合物、アルミニウム系化合物、ジイモニウム系化合物、イモニウム系化合物、アゾ系化合物などが挙げられる。赤外線吸収剤の多くは、その吸収波長域が限定されるため、一層の赤外線吸収膜に2種から6種類程度の複数の赤外線吸収剤を混合して用いるか、或いは、赤外線吸収膜を多層とし、全体として2種から6種類程度の赤外線吸収剤を含有するようにすることが好ましい。
続いて、浸漬法、スプレー法、パドル法等により露光部分を現像液で溶解して現像することによってレンズ形状を形成する。現像液としては、上記したようなアルカリ性水溶液、その他溶剤や界面活性剤溶液等用いることができる。現像後、適切な条件で、例えば170〜240℃で、3〜60分間、ポストベークする。
まず、シリコーンウェハに信号転送部、及び受光部を備えた撮像素子基板に下平坦下膜、カラーフィルター層、上平坦化膜が設けられた基板(以下、単に基板という)上に、3μm角の外接回転楕円体型マイクロレンズ(隣接するレンズ間のギャップゼロ)が作製されたものを準備した。次にこのマイクロレンズが形成された基板上に、上面が平らになるように(上平坦化膜の表面からの厚みが均一となるように)オーバーコート材料(MFR401L、JSR製:ナフトキノンジアジド−ポリヒドロキシスチレン系ポジ型感光性樹脂組成物)をスピンコーターによって塗布し、続いて100℃で2分間プリベークした。
得られたオーバーコート層は、H1/H2が0.97であった。
まず、表面に、3μm角のマイクロレンズ(隣接するレンズ間のギャップ0.6μm)が作製された基板を準備した。次にこのマイクロレンズが形成された基板上に、上面が平らになるようにオーバーコート材料(MFR401L、JSR製)をスピンコーターによって塗布し、100℃で2分間プリベークした。
得られたオーバーコート層は、H1/H2が0.95であった。
まず、表面に、3μm角の外接回転楕円体型マイクロレンズ(隣接するレンズ間のギャップゼロ)が作製された基板を準備した。次にこのマイクロレンズが形成された基板上に、上面が平らになるようにオーバーコート材料(TMR−P11PM、東京応化製:ナフトキノンジアジド−ポリヒドロキシスチレン系ポジ型感光性樹脂組成物)をスピンコーターによって塗布し、続いて100℃で2分間プリベークした。
得られたオーバーコート層は、H1/H2が0.95であった。
まず、表面に、3μm角のマイクロレンズ(隣接するレンズ間のギャップ0.6μm)が作製された基板を準備した。次にこのマイクロレンズが形成された基板上に、上面が平らになるようにオーバーコート材料(TMR−P11PM、東京応化製)をスピンコーターによって塗布し、100℃で2分間プリベークした。
得られたオーバーコート層は、H1/H2が0.94であった。
まず、表面に、3μm角の外接回転楕円体型のマイクロレンズ(隣接するレンズ間のギャップゼロ)が作製された基板を準備した。次に、このマイクロレンズが形成された基板上に、オーバーコート材料(TMR−P11PM、東京応化製)を、スピンコーターによって8インチSi基板表面(平坦面)にできるだけ薄く均一な膜厚を有する塗膜が形成される条件で塗布し、続いて100℃で2分間プリベークした。その後、高圧水銀灯で500mJ/cm2全面露光を行い、さらにポストベークを200℃で15分間行った。
得られたオーバーコート層は、H1/H2が0.53であり、膜厚を均一にすることはできなかった。
まず、表面に、3μm角の外接回転楕円体型のマイクロレンズ(隣接するレンズ間のギャップゼロ)が作製された基板を準備した。次に、このマイクロレンズが形成された基板上に、オーバーコート材料(MFR401L、JSR製)を、スピンコーターによって8インチSi基板表面にできるだけ薄く均一な膜厚を有する塗膜が形成される条件で塗布し、続いて100℃で2分間プリベークした。その後、高圧水銀灯で500mJ/cm2全面露光を行い、さらにポストベークを200℃で15分間行った。
得られたオーバーコート層は、H1/H2が0.67であり、膜厚を均一にすることはできなかった。
まず、表面に、3μm角の外接回転楕円体型マイクロレンズ(隣接するレンズ間のギャップゼロ)が作製された基板を準備した。次にこのマイクロレンズが形成された基板上に、オーバーコート材料(オプツールDSX、ダイキン工業製:含フッ素硬化性樹脂組成物)を、スピンコーターによって、8インチSi基板表面に出来るだけ薄く均一な膜厚を有する塗膜が形成されるように種々の条件で塗布し、続いて80℃で5分間加熱した。その後、室温大気下(約25℃)で1時間以上放置して硬化させた。どの塗布条件によっても、得られたオーバーコート層のH1/H2は0.69以上にならず、膜厚を均一にすることはできなかった。
2…信号転送部
3…受光部
4…下平坦化膜
5(5R,5G,5B)…カラーフィルター層
6…上平坦化膜
7…レンズ
8…オーバーコート層(8’…オーバーコート材料)
9…グレースケールマスク
10…光透過性支持体
11…ドット
Claims (5)
- 少なくとも、受光部及び信号転送部が形成された固体撮像素子基板と、該固体撮像素子基板の受光部の上に形成され、受光部に集光するマイクロレンズと、該マイクロレンズの表面上に形成されたオーバーコート層とを備えた固体撮像素子を製造する方法であって、前記マイクロレンズ表面にオーバーコート材料を塗布する工程と、前記オーバーコート材料をグレースケールマスクを介して露光する工程と、前記露光したオーバーコート材料を現像する工程とを含むことを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
- 前記グレースケールマスクが、前記オーバーコート層を形成する際の露光波長では解像しない微細なパターンの分布状態により露光する際の透過光量分布を制御するものである、請求項1に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記マイクロレンズが、グレースケールマスクを用いて形成される、請求項1又は2に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 前記マイクロレンズを形成する際に用いるグレースケールマスクが、前記マイクロレンズを形成する際の露光波長では解像しない微細なパターンの分布状態により露光する際の透過光量分布を制御するものである、請求項3に記載の固体撮像素子の製造方法。
- 少なくとも、受光部及び信号転送部が形成された固体撮像素子基板と、該固体撮像素子基板の受光部の上に形成され、受光部に集光するマイクロレンズと、該マイクロレンズの表面上に形成されたオーバーコート層とを備える固体撮像素子であって、
前記オーバーコート層が、前記マイクロレンズ表面上に塗布されたオーバーコート材料をグレースケールマスクを介して露光し、該露光後のオーバーコート材料を現像することによって形成されていることを特徴とする固体撮像素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005090282A JP4629473B2 (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 固体撮像素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005090282A JP4629473B2 (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 固体撮像素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006278356A true JP2006278356A (ja) | 2006-10-12 |
JP4629473B2 JP4629473B2 (ja) | 2011-02-09 |
Family
ID=37212854
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005090282A Expired - Fee Related JP4629473B2 (ja) | 2005-03-25 | 2005-03-25 | 固体撮像素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4629473B2 (ja) |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100937656B1 (ko) * | 2007-11-26 | 2010-01-19 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 소자 및 그의 제조 방법 |
WO2010050297A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | コニカミノルタオプト株式会社 | 撮像用レンズ、撮像用レンズユニット及び撮像装置 |
JP2011053699A (ja) * | 2007-04-17 | 2011-03-17 | Canon Inc | フォトマスクの製造方法 |
US7945873B2 (en) | 2007-04-17 | 2011-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Mask pattern data generating method, information processing apparatus, photomask fabrication system, and image sensing apparatus |
WO2011090115A1 (ja) | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 日産化学工業株式会社 | マイクロレンズの製造方法 |
JP2013161848A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Toppan Printing Co Ltd | マイクロレンズ用フォトマスクおよびそれを用いるカラー固体撮像素子の製造方法 |
JP2018032792A (ja) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及びカメラ |
WO2021210440A1 (ja) * | 2020-04-17 | 2021-10-21 | ローム株式会社 | 拡散カバーの製造方法、拡散カバーおよびこれを備えた半導体発光装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0548057A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-02-26 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JP2004226962A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロレンズの製造方法 |
-
2005
- 2005-03-25 JP JP2005090282A patent/JP4629473B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0548057A (ja) * | 1991-08-09 | 1993-02-26 | Sony Corp | 固体撮像装置 |
JP2004226962A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロレンズの製造方法 |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011053699A (ja) * | 2007-04-17 | 2011-03-17 | Canon Inc | フォトマスクの製造方法 |
US7945873B2 (en) | 2007-04-17 | 2011-05-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Mask pattern data generating method, information processing apparatus, photomask fabrication system, and image sensing apparatus |
US8209641B2 (en) | 2007-04-17 | 2012-06-26 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of fabricating a photomask used to form a lens |
KR100937656B1 (ko) * | 2007-11-26 | 2010-01-19 | 주식회사 동부하이텍 | 반도체 소자 및 그의 제조 방법 |
WO2010050297A1 (ja) * | 2008-10-31 | 2010-05-06 | コニカミノルタオプト株式会社 | 撮像用レンズ、撮像用レンズユニット及び撮像装置 |
WO2011090115A1 (ja) | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 日産化学工業株式会社 | マイクロレンズの製造方法 |
KR20120123409A (ko) | 2010-01-25 | 2012-11-08 | 닛산 가가쿠 고교 가부시키 가이샤 | 마이크로 렌즈의 제조 방법 |
US8766158B2 (en) | 2010-01-25 | 2014-07-01 | Nissan Chemical Industries, Ltd. | Production method of microlens |
JP2013161848A (ja) * | 2012-02-02 | 2013-08-19 | Toppan Printing Co Ltd | マイクロレンズ用フォトマスクおよびそれを用いるカラー固体撮像素子の製造方法 |
JP2018032792A (ja) * | 2016-08-25 | 2018-03-01 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及びカメラ |
WO2021210440A1 (ja) * | 2020-04-17 | 2021-10-21 | ローム株式会社 | 拡散カバーの製造方法、拡散カバーおよびこれを備えた半導体発光装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4629473B2 (ja) | 2011-02-09 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4629473B2 (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
JP4296943B2 (ja) | 露光用マスクの製造方法および露光方法ならびに3次元形状の製造方法 | |
JP2008032912A (ja) | マイクロレンズの製造方法 | |
JP2007528515A (ja) | レンズアレイとその製造方法 | |
JP4710693B2 (ja) | カラー撮像素子及びカラー撮像素子製造方法 | |
JP6035744B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP6012692B2 (ja) | マイクロレンズアレイの形成方法および固体撮像装置の製造方法 | |
JPH04206966A (ja) | 固体撮像素子の製造方法 | |
KR100698071B1 (ko) | 씨모스 이미지 센서 및 그 제조방법 | |
JP4489471B2 (ja) | マイクロレンズアレイの形成方法 | |
JP4641169B2 (ja) | 固体撮像素子レンズの形成方法 | |
JP2004070087A (ja) | パターンデータの作製方法およびフォトマスク | |
JP5031173B2 (ja) | 撮像装置と撮像装置におけるマイクロレンズの形成方法 | |
JP4249459B2 (ja) | 撮像装置と撮像装置における屈折部の形成方法 | |
JP2006053558A (ja) | フォトジストプロフィールのパターン転写によるレンズ形成 | |
JP6311771B2 (ja) | 固体撮像素子 | |
JP4249586B2 (ja) | マイクロレンズの形成方法 | |
JP5136288B2 (ja) | 濃度分布マスク及びその製造方法 | |
JP2012109541A (ja) | 固体撮像装置の製造方法 | |
JP5412892B2 (ja) | レンズ形状の設計方法、レンズの形成方法、撮像素子、およびフォトマスクの設計方法 | |
JP5565771B2 (ja) | マイクロレンズの製造方法および撮像素子 | |
WO2017030025A1 (ja) | カラー固体撮像素子およびその製造方法 | |
JP2829066B2 (ja) | マイクロレンズ付き固体撮像素子及びその製造方法 | |
JP2006003422A (ja) | パターン形成方法及びtftアレイ基板並びに液晶表示素子 | |
KR100929734B1 (ko) | 반도체 소자의 제조 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071024 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100831 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101020 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20101109 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20101111 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131119 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4629473 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |