JP2006272100A - 揮発性物質の揮発供給システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 RuO4原料を収納する揮発装置2と、揮発装置2内の温度を調整する温度調整部3と、揮発装置2に供給するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部4と、パージガス流量調整部4で流量調整されたパージガスを揮発装置2内に導入するパージガス配管5Bと、揮発装置2から揮発Ruのを含むガスを搬送する搬送配管6と、搬送配管6に送出するキャリアガスの流量を調整するキャリアガス流量調整部7とを備える。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明に係る揮発性物質の揮発供給システム1を示す説明図である。この揮発供給システム1は、揮発物質である、例えば固体状態のRuO4原料を収納して原料を揮発させる揮発装置2と、この揮発装置2内の温度を調整する温度調整部3と、揮発装置2にパージガスを適切な流量で供給するように調整を行うパージガス流量調整部(マスフローコントローラ)4と、このパージガス流量調整部4で流量調整されたパージガスを揮発装置2内に導入するパージガス配管5Bと、揮発装置2から揮発性物質を含むガスを搬送する搬送配管6と、この搬送配管6に送出するキャリアガスの流量を調整するキャリアガス流量調整部(マスフローコントローラ)7と、を備えて大略構成されている。
次に、上述のような、蒸気圧法を用いた揮発性物質の揮発供給システム1を用いて、揮発性物質の供給方法について説明する。
以下、実施例について説明する。下表1は、本実施の形態に係る構成の揮発供給システム1を用いて、揮発性物質収納部21内に収納するRuO4原料の量(張込量)を調整し、揮発性物質収納部21の温度を−10℃に調整して、1時間毎に揮発Ruの量(μg/min)を算出した。なお、下表1に示す、試料No.は、例えば20であれば、経過時間20分で測定したものを意味する。
上述した実施の形態の開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
2 揮発装置
3 温度調整部
4 パージガス流量調整部
5A パージガス配管
5B パージガス配管
5B1 先端ノズル
6 搬送配管
7 キャリアガス流量調整部
9 空気供給タンク
12A キャリアガス配管
12B キャリアガス配管
14 恒温水漕
16 温度調節器
17 温度指示調節器
21 揮発性物質収納部
22 揮発装置蓋体
23 開口部
25 開口部
27 クランプ部材
30 搬送用蓋体
Claims (8)
- 揮発性物質を収納する揮発装置と、
前記揮発装置内の温度を調整する温度調整部と、
前記揮発装置に供給するパージガスの流量を調整するパージガス流量調整部と、
前記パージガス流量調整部で流量調整されたパージガスを前記揮発装置内に導入するパージガス配管と、
前記揮発装置から揮発性物質を含むガスを搬送する搬送配管と、
前記搬送配管に送出するキャリアガスの流量を調整するキャリアガス流量調整部と、
を備えることを特徴とする蒸気圧法を用いた揮発性物質の揮発供給システム。 - 前記揮発装置は、上部に開口部が形成された容器形状であり、且つ揮発性物質が収納される、交換可能な揮発性物質収納部と、前記揮発性物質収納部が着脱可能に装着されて前記揮発性物質収納部の前記開口部を閉塞する揮発装置蓋体と、を備え、
前記揮発装置蓋体は、前記パージガス配管および前記搬送配管が前記揮発装置の内部空間と連通するように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の揮発性物質の揮発供給システム。 - 前記揮発装置は、揮発性物質収納部が着脱可能であることを特徴とする請求項2に記載の揮発性物質の揮発供給システム。
- 揮発装置に揮発性物質が収納され、
前記揮発性物質の収納量に基づいて、前記揮発装置内に導入するパージガスの流量が調整され、且つ前記揮発装置内の温度が調整されて、
前記揮発装置から発生する揮発性物質の揮発量が制御されることを特徴とする蒸気圧法を用いた揮発性物質の揮発供給システム。 - 前記揮発装置から揮発性物質を含むガスを搬送するキャリアガス流量を調整することを特徴とする請求項4に記載の揮発性物質の揮発供給システム。
- 前記搬送配管を含む搬送系統は、内部のガス温度を保持する断熱手段を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の揮発性物質の揮発供給システム。
- 前記揮発装置は、内部圧力の制御が可能であることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の揮発性物質の揮発供給システム。
- 前記揮発装置に供給するパージガスの温度調整部を備えることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載された揮発物質の揮発供給システム。
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- 2005-03-28 JP JP2005093246A patent/JP2006272100A/ja active Pending
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