JP2006270657A - 撮像装置、及び固体撮像素子、固体撮像素子の駆動方法 - Google Patents

撮像装置、及び固体撮像素子、固体撮像素子の駆動方法 Download PDF

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Abstract

【課題】装置の小型化に有利で、かつ信頼性の高い手ブレ防止機能を備えた撮像装置、及びそれに用いる固体撮像素子等を提供する。
【解決手段】2層状態に設けられた感光部21及び蓄積転送部22と、水平転送部23、出力部24を備え、感光部21から蓄積転送部22への電荷の転送(Z移動)、及び蓄積転送部22内における面内の電荷の転送(XY移動)が可能なCCD2を使用する。CCD2に複数回の露光動作を露光時間内に行わせ、各露光動作では感光部21での電荷の蓄積、及び蓄積電荷の蓄積転送部22への転送(Z移動)を行わせる。それと並行して2回目以降の露光動作中に、先の露光動作に伴い蓄積転送部22に蓄積した全ての電荷を、装置本体の揺れ方向と逆の方向へXY移動させて蓄積転送部22に揺れのない電荷像を形成させる。その後、水平転送部23、出力部24を介して蓄積転送部22の蓄積電荷を1ライン分ずつ撮像信号として取り出す。
【選択図】 図3

Description

本発明は、例えばデジタルカメラに用いて好適な撮像装置、及びそれに用いる固体撮像素子と、その駆動方法に関するものである。
従来、デジタルカメラ等において、静止画撮影時におけるカメラ本体の揺れに起因した手ブレを自動的に防止(補正)する手ブレ防止方法には種々の方法が知られている。例えば撮像レンズの一部光学系を移動可能に構成したり、光学系にバリアブル光学系(可変頂角プリズム等)を設けたりすることにより、CCDやMOS型の撮像素子の露光期間中における撮像素子に対する結像位置を移動(光軸を変化)させながら撮像を行う方法や、撮像素子自体を移動させる方法等が知られている。また、結像位置や撮像素子の移動を制御するためには、カメラ本体に水平・垂直に2個の角速度センサ等を設けて各方向の揺れを検出し、その検出結果に基づき行われるのが一般的である(例えば、下記特許文1参照)。
特開平10−301157号公報
しかしながら、前述したように撮像素子における結像位置や、撮像素子それ自体を移動させる構成においては、機械的な可動部分が存在することから、装置の小型化には不利であるとともに、外部衝撃が加わった場合や、使用期間の長期化した場合等における信頼性にも自ずと限界があるという問題があった。
本発明は、かかる従来の課題に鑑みてなされたものであり、装置の小型化に有利であるとともに、信頼性の高い手ブレ防止機能を備えた撮像装置、及びそれに用いる固体撮像素子とその駆動方法を提供することを目的とする。
前記課題を解決するため請求項1の発明にあっては、装置本体の揺れに起因する手ブレを防止する機能を備えた撮像装置であって、光電変換された光学像の画素毎の電荷を蓄積する特定の電荷結合素子を含む二次元配列された多数の電荷結合素子からなる蓄積転送部、及びこの蓄積転送部からライン毎の蓄積電荷を撮像信号として取り出すための水平転送部を有する固体撮像素子と、撮像時における露光時間内に、複数回の露光動作を行わせる第1の駆動信号、及び前記特定の電荷結合素子の蓄積電荷を縦又は横方向へ転送させる第2の駆動信号により前記固体撮像素子を駆動する駆動手段と、装置本体における揺れ方向及び揺れ量を示す揺れ情報を検出する揺れ検出手段と、この揺れ検出手段により検出された揺れ情報に基づく前記第2の駆動信号を前記駆動手段に生成させる制御手段とを備えたものとした。
かかる構成において、撮像時には、露光時間内に複数回の露光動作が行われることにより固体撮像素子の蓄積転送部には光学像に応じた電荷が蓄積され、蓄積された電荷が撮像信号として取り出される。その際には、各露光動作を行う毎に、前回の露光動作で特定の電荷結合素子に蓄積された蓄積電荷を、装置本体における揺れ方向及び揺れ量に基づき装置本体における揺れと逆方向に転送させることにより、次回の露光動作で光電変換される電荷であって光学像における任意の光点に対応する電荷を位置ずれなく重ねて蓄積させ、それにより蓄積転送部に揺れのない電荷像を形成させることができる。したがって、装置内に機械的な可動部分を設けることなく、装置本体の揺れに起因した手ブレを防止することができる。
また、請求項2の発明にあっては、前記固体撮像素子は、前記蓄積転送部の上層に設けられた、二次元配列された画素を構成する多数の光電変換素子からなる感光部を備え、前記駆動手段は、前記第1の駆動信号による駆動によって、前記感光部に光電変換を行わせるとともに、前記多数の光電変換素子により光電変換された画素毎の電荷を、前記蓄積転送部における前記特定の電荷結合素子に転送させるものとした。
また、請求項3の発明にあっては、前記制御手段は、前記第1の駆動信号による駆動に伴い前記固体撮像素子の感光部において光電変換が行われている間に、前記駆動手段に前記第2の駆動信号を生成させるものとした。
かかる構成においては、撮像時において露光時間内に複数回の行われる露光動作の間隔を短縮させることにより、効率的な撮像動作が可能となる。
また、請求項4の発明にあっては、光学像を光電変換により撮像信号に変換する固体撮像素子において、光電変換された光学像の画素毎の電荷を蓄積する特定の電荷結合素子を含む二次元配列された多数の電荷結合素子からなる蓄積転送部と、この蓄積転送部からライン毎の蓄積電荷を撮像信号として取り出すための水平転送部とを備え、露光時間内に、複数回の露光動作を行わせる第1の駆動信号、及び前記特定の電荷結合素子の蓄積電荷を縦又は横方向へ転送させる第2の駆動信号によって駆動されるものとした。
また、請求項5の発明にあっては、前記蓄積転送部の上層に、二次元配列された画素を構成する多数の光電変換素子からなるとともに、露光動作に際し、その多数の光電変換素子により光電変換された画素毎の電荷が前記蓄積転送部における前記特定の電荷結合素子に転送させる感光部が設けられたものとした。
また、請求項6の発明にあっては、光電変換された光学像の画素毎の電荷を蓄積する特定の電荷結合素子を含む二次元配列された多数の電荷結合素子からなる蓄積転送部、及びこの蓄積転送部からライン毎の蓄積電荷を撮像信号として取り出すための水平転送部を有する固体撮像素子の駆動方法であって、撮像時における露光時間内に第1の駆動信号により複数回の露光動作を行わせる工程と、前記露光時間内に装置本体における揺れ方向及び揺れ量を示す揺れ情報を検出する工程と、前記複数回の露光動作を行わせる毎に、前記揺れ情報に基づく第2の駆動信号により前記特定の電荷結合素子の蓄積電荷を縦又は横方向へ転送させる工程とを含む方法とした。
以上のように本発明の撮像装置においては、装置内に機械的な可動部分を設けることなく、装置本体の揺れに起因した手ブレを防止することができるようにした。装置の小型化に有利であるとともに、信頼性の高い手ブレ防止機能を得ることが可能となる。また、撮像時において露光時間内に複数回の行われる露光動作の間隔を短縮させることにより、撮像時間の短縮化が可能となる。
また、本発明の固体撮像素子、及び固体撮像素子の駆動方法によれば、それを用いることにより上記撮像装置が実現可能となる。
以下、本発明の一実施の形態を図にしたがって説明する。図1は、本発明に係る撮像装置の概略構成を示すブロック図である。なお、以下の説明においては、撮像装置が主として静止画撮影に用いられるデジタルカメラに組み込まれているものとして説明する。
撮像装置は、撮影レンズ1によって結像された撮像物(被写体)の光学像を撮像する電荷転送型の固体撮像素子であるとともに後述する2層構造を有するCCD2を備えている。図2は、撮影レンズ1及びCCD2の配置を示した撮像系の模式図であり、撮像物Aの撮影光は撮影レンズ1により集光されるとともに反転状態の光学像としてCCD2の受光面2aに結像される。
ここで前記CCD2の詳細を先に説明する。図3はCCD2の概略構造を示す模式図であり、CCD2には2層状態に設けられた感光部21及び蓄積転送部22と、水平転送部23、出力部24が設けられている。
感光部21は蓄積転送部22の上層に位置しており、水平・垂直方向(XY方向)に二次元配列されて前記受光面2aを形成するとともに、各々が画素を構成する多数の光電変換素子21aによって構成されている。なお、各光電変換素子21aの表面には、図示しないが例えばベイヤー配列等の所定の色配置に応じたRGB等のカラーフィルタが設けられている。
感光部21の下層に位置する蓄積転送部22は、水平・垂直方向に二次元配列された多数の電荷結合素子22aにより構成されている。電荷結合素子22aの配置数は光電変換素子21aよりも多く、1つの光電変換素子21aにつき1組の電荷結合素子22aが設けられている。なお、図3には便宜的に1つの光電変換素子21aに対して4つの電荷結合素子22aを示したが、実際には図4に示したように1つの光電変換素子21aについて、互いに隣接する位置θ1〜θ9に設けられている9つの電荷結合素子22aが組を成して設けられている。そして、各組の電荷結合素子22aのうちの1つ、例えば図4に「θ5」で示した位置の特定の電荷結合素子22aが読み出しゲート25を介して光電変換素子21aと接続されている。
これにより、CCD2の駆動時には、感光部21で蓄積された全画素(1画面分)の蓄積電荷が読み出しゲート25を介して蓄積転送部22に下方向(Z方向)に転送され、蓄積転送部22から1ラインずつ水平転送部23に順次転送された後、出力部24から出力されことにより、感光部21で蓄積された水平方向の1ライン分の蓄積電荷が一定の周期で撮像信号として出力部24から取り出し可能となっている。
ここで前述した蓄積転送部22における信号電荷の転送方法について説明する。本実施の形態における転送方法は、従来から行われている3相駆動によるものである。図5は3相駆動による信号電荷の転送方法を示した模式図であり、各々の電荷結合素子22aの転送電極a1,b1,c1,a2,b2,・・・は三つ目ごとに接続されており、各転送電極a1,b1,c1,a2,b2,・・・に図示した駆動パルスを印加することによって、3相の駆動パルス波形の1/3周期で1電極分の転送を行い、1周期で3電極分の電荷転送を完了させる方法である。
また、前記CCD2においては、蓄積転送部22に垂直転送用と水平転送用との3相駆動パルスを印加するための電圧供給線が設けられている。これにより垂直転送用の3相駆動パルスを連続して印加することにより信号電荷を水平転送部23に、又はその逆方向へ転送できると同時に、水平転送用の3相駆動パルスを印加することにより、蓄積転送部22内での水平方向への一方又は他方への信号電荷の転送ができる回路構成となっている。つまりCCD2は、垂直転送用と水平転送用のそれぞれに供給する3相駆動パルス(以下、9相駆動信号と呼ぶ。)を制御することにより、感光部21から転送された蓄積電荷を蓄積転送部22内で水平及び垂直方向に自在に移動させることができる構成であり、例えば以下のような信号電荷の一連の転送が可能となっている。
図6は、いずれかの光電変換素子21aに対応する互いに隣接するθ1〜θ9の位置にある9つの電荷結合素子22aのうち、例えば「θ1」に位置する電荷結合素子22aに電荷eが蓄積されている状態から、その電荷eを最終的に「θ9」の位置まで移動させる場合の転送例を示した図であって、同図(a)は転送経路を示した図、同図(b)は信号電荷の遷移を示す図である。また、図7は、図6(b)の各遷移状態(丸1〜丸9)における、各位置θ1〜θ9(電荷結合素子22a)の電圧の印加状態の変化を示したタイミングチャートである。この場合は、垂直転送を連続して2回行った後、水平転送を連続して2回行うこととなる。また、図8は、上記と異なる転送経路によって信号電荷eを「θ9」の位置まで移動させる場合の転送方法を示した図、図9は、その場合の各遷移状態(丸1〜丸9)における電圧の印加状態の変化を示したタイミングチャートである。この場合は、垂直転送、水平転送を交互に2回繰り返して行うこととなる。
一方、上述したCCD2は、TG(Timing Generator)3により生成される駆動タイミングに基づいてCCDドライバ4が生成する前述した3相駆動パルスを含む複数視の駆動信号により駆動され、撮像時には各画素の蓄積電荷レベルに応じた撮像信号をアナログ処理部5に出力する。アナログ処理部5は、AGC(Auto Gain Control)アンプ、CDS(Correlated Double Sampling:相関二重サンプリング)回路、ADコンバータを含み、入力した撮像信号のゲインを調整するととともに、TG3からの駆動タイミングに同期した信号を用いて入力した撮像信号のサンプリングを行い、所定のビット数でデジタルデータ化して撮像データとしてCPU6へ出力する。
また、上記画像データはCPU6によってRGBの色毎の画像データに変換された後、図外の処理部へ送られる。すなわち上記画像データはビデオ信号生成部へ送られ、ビデオ信号に変換された後、図外のモニタによってスルー画像として表示されたり、また撮影操作に応じてJPEG等の所定フォーマットに従い圧縮された後、画像記録用のメモリに記録される。
また、撮像装置には揺れ検出部7、内蔵メモリ8、キー入力部9が設けられている。揺れ検出部7は、装置本体の揺れを検出するための、例えば水平・垂直の2個の角速度センサ、或いは6軸方向毎に設けられた複数のジャイロセンサと、それらセンサの検出信号をデジタル信号に変換するA/Dコンバータ等から構成されており、検出結果すなわち装置本体における揺れ方向(水平及び垂直方向)と揺れ量を示す揺れ検出信号をCPU6に出力する。
前記内蔵メモリ8は、CPU6に前述した動作や、撮像時におけるAE(自動露出制御)等の一般的な制御を含む装置全体の制御を行わせるための各種制御プログラムが格納されたプログラムメモリである。また、内蔵メモリ8には、静止画像の撮像動作時に、揺れ検出部7から送られる揺れ検出信号に基づき、前記CCDドライバ4に装置本体の揺れに応じた駆動信号を生成させる制御をCPU6に行わせ、CPU6を本発明の駆動制御手段として機能させるための駆動制御プログラムが格納されている。
キー入力部9は、撮像装置に設けられている各種のスイッチ類、例えば電源キーや、撮影指示用のシャッタキー等から構成され、いずれかのスイッチ類がユーザによって操作されると、操作されたキーに応じた操作信号(シャッタ信号等)がCPU6へ送出される。
そして、以上の構成からなる本実施の形態においては、ユーザーによるシャッタキーの操作に応じた静止画像の撮影時には、CPU6が、前記CCDドライバ4が生成する駆動信号を制御することによって後述するようにCCD2の駆動を制御し、1回の撮影期間内には複数回の露光動作によって必要な露光時間を確保する。
図10は、静止画撮影時のCPU6によるCCD駆動制御処理の内容を示すフローチャート。図11は、その駆動制御に伴うCCD2の動作内容を示したタイミングチャートである。
図10に示したように、静止画撮影時においてCPU6は、シャッタ信号を検出と共に動作を開始し、直ちにAE制御によりCCD2における露光時間を決定する(ステップS1)、決定した露光時間に基づき分割露光の回数、分割露光時間(t1)、露光間隔(t2)を演算する(ステップS2)。そして、係る演算結果に基づく駆動信号であって、感光部21における複数回の光電変換(電荷蓄積)、及び感光部21から蓄積転送部22への蓄積電荷の転送(Z移動)を行わせるための第1の駆動信号をCCDドライバ4に生成させるとともに、生成した第1の駆動信号のCCD2への供給を指示する(ステップS3)。これによりCCD2にN回目(当初は1回目)の分割露光(撮影)を開始させる(ステップS4:図11参照)。
引き続き、1回目の分割露光で続く処理スキップし(ステップS5でYES)、2回目以降の分割露光を開始させた後には(ステップS5でNO)、CPU6は、前回(N−1回目)の露光動作期間、すなわち(N−1)回目の分割露光の開始時点から、N回目の分割露光の開始直前までの間(t1+t2)において揺れ検出部7により検出された装置本体の揺れ方向及び揺れ量に基づき、装置本体の揺れに応じた揺れ補正用の蓄積転送部22におけるXY方向への電荷の移動量(転送方向及び転送回数)、つまり装置本体の揺れと逆方向の移動量を演算する(ステップS6)。そして、前回の露光によって感光部21で光電変換された電荷の蓄積転送部22への転送(Z移動)が完了するタイミングで、ステップS6の上記演算した移動方向及び移動量で蓄積転送部22内に転送されている信号電荷を垂直及び水平方向へ転送するための第2の駆動信号、すなわち先に説明した9相駆動信号をCCDドライバ4に生成させるとともに、生成した第2の駆動信号のCCD2への供給を指示する(ステップS7)。
これにより、CCD2にあっては、蓄積転送部22内の信号電荷が装置本体の揺れと逆方向に垂直及び水平方向へ転送(XY移動)される(図11参照)。つまり前回の露光動作に伴い感光部21において光電変換された光学像の任意の光点に対応する電荷が、次回の露光動作で新たに光電変換され転送されてくる上記任意の光点の電荷が転送されることが予想される位置に予め移動するように、蓄積転送部22内の電荷の位置が全体的に移動される。
これ以後、CPU6はステップS2で演算した回数の分割露光が完了するまで(ステップS8でNO)、前述したステップS4〜S7の処理を繰り返す。これにより、図12に示したように、複数回の分割露光が行われる毎に、感光部21において光電変換された光学像の任意の光点に対応する電荷(図中で塗りつぶされている部分)が位置ずれなく重ねて蓄積され、その結果、撮像期間中に、蓄積転送部22に揺れのない電荷像が形成されることとなる。なお、図12は分割露光回数が3回であるとき、各露光動作(Z移動を含む)の完了直後における蓄積転送部22の電荷の蓄積状態の変化を示した模式図であって、便宜上、蓄積転送部22を構成する電荷結合素子22aのうち読み出しゲート25を介して光電変換素子21aと接続されている特定の電荷結合素子22aのみを示した図である。
しかる後、CPU6は最終回の分割露光が完了した時点で(ステップS8でYES)、蓄積転送部22から水平転送部23への電荷の垂直転送、及び水平転送部23における水平転送(水平掃出し)を行わせ(ステップS9)、処理を終了する。
以上のように本実施の形態の撮像装置においては、装置本体の揺れに起因した手ブレを、撮像期間中に蓄積転送部22内の電荷の転送(移動)のみによって防止することができる。つまり装置本体に機械的な可動部分を設けなくとも、装置本体の揺れに起因した手ブレを防止することができ、撮像装置の小型化が容易であるとともに、信頼性の高い手ブレ防止機能を得ることができる。また、撮像期間中での蓄積転送部22内における蓄積電荷の移動によって画像揺れを防止するため、例えば短かい露光時間で複数回の撮像を行って取得した複数画面分の画素データを位置ズレを補正して合成する場合等に比べると、画像データに含まれるノイズ量を僅かなものとすることができる。
また、本実施の形態では、2層構造をなす感光部21と蓄積転送部22とを備えたCCD2を用い、蓄積転送部22に蓄積されている電荷のXY移動を次回の分割露光と並行して行うため、撮像時において露光時間内に複数回の行われる露光動作の間隔t2を短縮させることにより、効率的な撮像動作を行うことができる。
なお、本実施の形態においては、水平転送用、及び垂直転送用の2種類の3相駆動パルスにより蓄積転送部22を駆動することによって蓄積転送部22内の全ての電荷をXY方向へ移動可能としたCCD2を用いた場合を説明したが、これ以外にも、水平転送用、及び垂直転送用の2種類の4相駆動パルスにより蓄積転送部22を駆動することによって蓄積転送部22内の全ての電荷をXY方向へ移動可能としてもよい。その場合には、感光部21における1つの光電変換素子21aに対して蓄積転送部22に16(4×4)個の電荷結合素子22aを設けることとなる。
また、2層構造をなす感光部21と蓄積転送部22とを備えたCCD2を用いたが、これに限らず、前述した感光部21を省いて、蓄積転送部22における一組の電荷結合素子22aの1つに、例えば公知のFF−CCD(full frame−CCD)における転送CCDと同様の方法によって光電変換機能を持たせ、電荷結合素子22a自体で光電変換を行い、そこに蓄積された電荷を垂直及び水平方向に転送させる構造のCCDであっても使用することができる。ただし、その場合には前述したZ移動は不要となるものの、分割露光とXY移動とを時分割で個別に行わせるとともに、メカニカルシャッタ等によって分割露光のみ被写体光を入射させる必要がある。
さらに、本発明は、静止画像の撮像を行うものであれば、デジタルカメラ以外にも、例えばカメラ付き携帯電話等の他の機器に組み込まれている撮像装置にも適用することができる。
本発明に係る撮像装置の概略構成を示すブロック図である。 撮像装置における撮像系の模式図である。 撮像装置が有するCCDの構造を示す模式図である。 CCDの蓄積転送部を示す模式図である。 3相駆動による信号電荷の転送方法を示した模式図である。 蓄積転送部における水平垂直方向への電荷の転送例を示す模式図である。 図6の転送例に対応する蓄積転送部の駆動方法を示すタイミングチャートである。 蓄積転送部における水平垂直方向への他の電荷の転送例を示す模式図である。 図8の転送例に対応する蓄積転送部の駆動方法を示すタイミングチャートである。 静止撮影時におけるCPUによるCCD駆動制御処理の内容を示すフローチャート。 静止撮影時におけるCCDの動作内容を示したタイミングチャートである。 複数回の露光動作の完了直後における蓄積転送部の電荷の蓄積状態の変化を示した模式図である。
符号の説明
1 撮影レンズ
2 CCD
2a 受光面
21 感光部
21a 光電変換素子
22 蓄積転送部
22a 電荷結合素子
23 水平転送部
24 出力部
25 読み出しゲート
3 TG
4 CCDドライバ
5 アナログ処理部
6 CPU
7 揺れ検出部
8 内蔵メモリ

Claims (6)

  1. 装置本体の揺れに起因する手ブレを防止する機能を備えた撮像装置であって、
    光電変換された光学像の画素毎の電荷を蓄積する特定の電荷結合素子を含む二次元配列された多数の電荷結合素子からなる蓄積転送部、及びこの蓄積転送部からライン毎の蓄積電荷を撮像信号として取り出すための水平転送部を有する固体撮像素子と、
    撮像時における露光時間内に、複数回の露光動作を行わせる第1の駆動信号、及び前記特定の電荷結合素子の蓄積電荷を縦又は横方向へ転送させる第2の駆動信号により前記固体撮像素子を駆動する駆動手段と、
    装置本体における揺れ方向及び揺れ量を示す揺れ情報を検出する揺れ検出手段と、
    この揺れ検出手段により検出された揺れ情報に基づく前記第2の駆動信号を前記駆動手段に生成させる制御手段と
    を備えたことを特徴とする撮像装置。
  2. 前記固体撮像素子は、前記蓄積転送部の上層に設けられた、二次元配列された画素を構成する多数の光電変換素子からなる感光部を備え、
    前記駆動手段は、前記第1の駆動信号による駆動によって、前記感光部に光電変換を行わせるとともに、前記多数の光電変換素子により光電変換された画素毎の電荷を、前記蓄積転送部における前記特定の電荷結合素子に転送させる
    ことを特徴とする請求項1記載の撮像装置。
  3. 前記制御手段は、前記第1の駆動信号による駆動に伴い前記固体撮像素子の感光部において光電変換が行われている間に、前記駆動手段に前記第2の駆動信号を生成させることを特徴とする請求項2記載の撮像装置。
  4. 光学像を光電変換により撮像信号に変換する固体撮像素子において、
    光電変換された光学像の画素毎の電荷を蓄積する特定の電荷結合素子を含む二次元配列された多数の電荷結合素子からなる蓄積転送部と、
    この蓄積転送部からライン毎の蓄積電荷を撮像信号として取り出すための水平転送部とを備え、
    露光時間内に、複数回の露光動作を行わせる第1の駆動信号、及び前記特定の電荷結合素子の蓄積電荷を縦又は横方向へ転送させる第2の駆動信号によって駆動される
    ことを特徴とする固体撮像素子。
  5. 前記蓄積転送部の上層に、二次元配列された画素を構成する多数の光電変換素子からなるとともに、露光動作に際し、その多数の光電変換素子により光電変換された画素毎の電荷が前記蓄積転送部における前記特定の電荷結合素子に転送させる感光部が設けられたことを特徴とする請求項4記載の固体撮像素子。
  6. 光電変換された光学像の画素毎の電荷を蓄積する特定の電荷結合素子を含む二次元配列された多数の電荷結合素子からなる蓄積転送部、及びこの蓄積転送部からライン毎の蓄積電荷を撮像信号として取り出すための水平転送部を有する固体撮像素子の駆動方法であって、
    撮像時における露光時間内に第1の駆動信号により複数回の露光動作を行わせる工程と、
    前記露光時間内に装置本体における揺れ方向及び揺れ量を示す揺れ情報を検出する工程と、
    前記複数回の露光動作を行わせる毎に、前記揺れ情報に基づく第2の駆動信号により前記特定の電荷結合素子の蓄積電荷を縦又は横方向へ転送させる工程と
    を含むことを特徴とする固体撮像素子の駆動方法。
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