JP2006266722A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006266722A5 JP2006266722A5 JP2005081606A JP2005081606A JP2006266722A5 JP 2006266722 A5 JP2006266722 A5 JP 2006266722A5 JP 2005081606 A JP2005081606 A JP 2005081606A JP 2005081606 A JP2005081606 A JP 2005081606A JP 2006266722 A5 JP2006266722 A5 JP 2006266722A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- inspection
- moving
- fine movement
- observing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims 27
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims 18
- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 5
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims 4
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 2
- 238000000034 method Methods 0.000 claims 2
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims 1
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081606A JP2006266722A (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 基板検査システム及び基板検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005081606A JP2006266722A (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 基板検査システム及び基板検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006266722A JP2006266722A (ja) | 2006-10-05 |
JP2006266722A5 true JP2006266722A5 (de) | 2008-05-01 |
Family
ID=37202880
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005081606A Pending JP2006266722A (ja) | 2005-03-22 | 2005-03-22 | 基板検査システム及び基板検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006266722A (de) |
Families Citing this family (17)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4652351B2 (ja) * | 2007-02-02 | 2011-03-16 | 大日本印刷株式会社 | 基板支持装置、基板支持方法 |
KR100903530B1 (ko) * | 2007-02-09 | 2009-06-23 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
KR100890282B1 (ko) * | 2007-02-09 | 2009-03-24 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
US7607647B2 (en) * | 2007-03-20 | 2009-10-27 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Stabilizing a substrate using a vacuum preload air bearing chuck |
JP5373331B2 (ja) * | 2008-07-29 | 2013-12-18 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板処理装置 |
KR101470591B1 (ko) * | 2008-08-04 | 2014-12-11 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장치 |
KR100971288B1 (ko) * | 2008-08-22 | 2010-07-20 | 주식회사 탑 엔지니어링 | 어레이 테스트 장비 |
CN101814407B (zh) * | 2008-10-06 | 2013-11-06 | 株式会社日立高新技术 | 显示面板组装装置及方法及处理作业装置及基板输送装置 |
JP5317618B2 (ja) * | 2008-10-06 | 2013-10-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 表示パネルモジュール組立装置及び基板搬送装置 |
JP5553532B2 (ja) * | 2009-06-04 | 2014-07-16 | パナソニック株式会社 | 光学検査装置 |
JP5247664B2 (ja) * | 2009-11-18 | 2013-07-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 基板検査装置及びその測定運用システム |
TW201118972A (en) * | 2009-11-30 | 2011-06-01 | Schmid Yaya Technology Co Ltd | Wafer testing conveyor and its conveyor detection method |
JP2014123769A (ja) * | 2014-03-06 | 2014-07-03 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | 紫外線照射装置および紫外線照射方法 |
TWI735438B (zh) * | 2015-03-30 | 2021-08-11 | 日商尼康股份有限公司 | 物體搬運裝置、曝光裝置、平板顯示器的製造方法、元件製造方法、物體搬運方法以及曝光方法 |
KR102614210B1 (ko) * | 2017-09-29 | 2023-12-14 | 가부시키가이샤 니콘 | 기판 반송 장치, 노광 장치, 플랫 패널 디스플레이의 제조 방법, 디바이스 제조 방법, 기판 반송 방법, 및 노광 방법 |
KR102231462B1 (ko) * | 2019-09-25 | 2021-03-24 | 주식회사 나노프로텍 | 비접촉식 휴대폰 커버 그라스 이송장치 |
WO2024134777A1 (ja) * | 2022-12-20 | 2024-06-27 | Jswアクティナシステム株式会社 | 観察装置、観察方法、及び半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0496679A (ja) * | 1990-08-08 | 1992-03-30 | Omron Corp | 燃焼制御装置 |
JPH10300676A (ja) * | 1997-04-23 | 1998-11-13 | Sumitomo Chem Co Ltd | 微細欠陥検査装置 |
JP2000009661A (ja) * | 1998-06-26 | 2000-01-14 | Ntn Corp | フラットパネル検査装置 |
JP3929285B2 (ja) * | 2001-11-05 | 2007-06-13 | オリンパス株式会社 | 基板検査装置 |
JP4130552B2 (ja) * | 2002-03-22 | 2008-08-06 | 株式会社ブイ・テクノロジー | ガラス基板の検査装置 |
JP4789399B2 (ja) * | 2003-05-01 | 2011-10-12 | オリンパス株式会社 | 浮上ユニット |
-
2005
- 2005-03-22 JP JP2005081606A patent/JP2006266722A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006266722A5 (de) | ||
JP5565430B2 (ja) | 露光装置、露光方法、デバイス製造方法 | |
TWI421911B (zh) | An exposure method, an exposure apparatus, and an element manufacturing method | |
ATE549129T1 (de) | Vakuumgreifvorrichtung | |
JP2007107945A5 (de) | ||
TW201222165A (en) | Movable body apparatus, exposure apparatus, device manufacturing method, flat-panel display manufacturing method, and object exchange method | |
JP2012042970A5 (de) | ||
TW200841129A (en) | Exposure apparatus, exposure method and device manufacturing method | |
JP2005128493A5 (de) | ||
TW201832017A (zh) | 元件製造系統 | |
JP6663914B2 (ja) | 露光用照明装置、露光装置及び露光方法 | |
CN1704797A (zh) | 投影光学系统和图形描画装置 | |
CN101551597B (zh) | 一种自成像双面套刻对准方法 | |
JP2013044578A (ja) | 基板検査方法及び装置 | |
ATE530942T1 (de) | Mikroskop | |
KR100758198B1 (ko) | 오토포커싱 장치 | |
JP5133709B2 (ja) | レーザリペア装置 | |
JP2011175025A (ja) | 近接走査露光装置及び基板の製造方法 | |
JP2016205985A (ja) | 測定装置 | |
CN101063826A (zh) | 投影曝光装置 | |
JP5325406B2 (ja) | 基板検査装置 | |
JP2005268412A (ja) | 露光装置、露光方法、及びデバイスの製造方法 | |
JP2008082703A5 (de) | ||
JP2012002893A (ja) | プロキシミティ露光装置、及びプロキシミティ露光装置のギャップ制御方法 | |
KR102025704B1 (ko) | 필름 검사 장치 |