KR102025704B1

KR102025704B1 - 필름 검사 장치

Info

Publication number: KR102025704B1
Application number: KR1020120102108A
Authority: KR
Inventors: 김규범; 박재석
Original assignee: 삼성디스플레이 주식회사
Priority date: 2012-09-14
Filing date: 2012-09-14
Publication date: 2019-09-27
Also published as: US20140078497A1; KR20140035629A; US8792093B2

Abstract

필름 검사 장치가 개시된다. 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치는 필름을 편평한 상태로 고정하여 이송시키는 이송 유닛; 및 이송 유닛을 통하여 이송된 필름을 검사하는 검사 유닛을 포함하되, 이송 유닛은, 검사 유닛 측으로 이동 가능한 캐리어; 캐리어에 설치되며 필름이 장착되는 트레이; 및 캐리어에 설치되며 트레이에 장착된 필름이 편평한 상태가 유지되도록 필름을 흡착하는 흡착부를 포함한다.

Description

필름 검사 장치{APPARATUS FOR INSPECTING FILM}

본 발명은 필름 검사 장치에 관한 것이다.

유기 발광 다이오드(OLED)를 사용하는 표시 장치 제조 공정에서 패널에 화소를 형성하기 위해서는 레이저를 이용하여 유기물을 전사시키는 방법이 사용될 수 있는데, 이 때, 고분자 필름에 유기물을 코팅한 도너 필름(donor film)이 사용된다.

이에 따라, OLED 표시 장치 제조 공정에서는 도너 필름을 사용하여 유기물 증착, 라미네이션 및 레이저 전사 과정을 거치게 된다.

이러한 공정에서, 도너 필름은 글래스(glass)와 대응되도록 시트(sheet) 형태 즉 낱개로 투입되고, 공정의 정밀도를 높이기 위해서 필름을 장착하는 트레이(tray)와 결합되어 이동될 필요가 있다.

이 때, 도너 필름을 이용한 증착 및 전사 공정에서 품질을 향상을 위해서는 도너 필름의 상태, 특히 이물 검사가 매우 중요하다.

이 때, 필름의 결함에 의해 발생되는 불량은 글래스와 1:1로 대응하여 분석될 필요가 있고, 이를 위해서는 필름의 검사 공정 역시 길이가 매우 긴 상태의 롤(roll) 단위가 아닌 낱개의 시트 단위로 진행되어야 한다.

한편, 정밀한 필름 검사를 위해서는 필름의 평탄도가 중요한데, 특히, 소형 이물을 측정하기 위한 광학 시스템에서는 광학계의 초점 심도(DOF: Depth of Focus)를 벗어나지 않아야 하므로 촬영 대상 필름의 처짐없이 편평한 상태를 유지하는 것이 중요하다.

이에 따라, 소형 이물일수록 광학계의 초점 심도가 작아지므로 요구되는 필름의 평탄도는 수백 μm 이하가 되어야 한다.

그러나, 일반적인 필름 장착용 트레이를 사용하는 경우에는 필름의 처짐 문제가 발생할 수 있으며, 처짐을 방지하기 위하여 별도로 필름을 고정하는 수단을 사용하는 경우에는 필름에 주름이나 손상이 발생하기 쉬운 문제가 있다.

또한, 필름을 건식 세정 시스템을 사용하여 세정하는 경우, 세정기의 흡착력 또는 분사력에 의하여 필름이 흡착되거나 구겨지는 문제가 발생할 수 있다.

본 발명의 일 실시예는 정밀한 이물 검사가 가능하도록 낱개의 필름이 편평한 상태를 유지할 수 있는 필름 검사 장치를 제공하고자 한다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 필름의 상태를 검사하는 필름 검사 장치로서, 상기 필름을 편평한 상태로 고정하여 이송시키는 이송 유닛; 및 상기 이송 유닛을 통하여 이송된 상기 필름을 검사하는 검사 유닛을 포함하되, 상기 이송 유닛은, 상기 검사 유닛 측으로 이동 가능한 캐리어; 상기 캐리어에 설치되며 상기 필름이 장착되는 트레이; 및 상기 캐리어에 설치되며 상기 필름이 편평한 상태가 유지되도록 상기 필름을 흡착하는 흡착부를 포함하는 필름 검사 장치가 제공된다.

이 때, 상기 흡착부는 상기 필름을 진공 흡착하는 진공 척을 포함하되, 상기 진공 척은, 공기를 흡입하도록 복수 개의 흡입구가 형성되며, 상기 필름을 중심에서 바깥 방향으로 순차적으로 흡착할 수 있도록 형성될 수 있다.

이 때, 상기 복수 개의 흡입구는 상기 진공 척의 흡착면에 분산 배치되며, 상기 진공 척의 흡착면은 흡착하는 순서에 대응되도록 중심에서 바깥 방향으로 복수 개의 구획이 형성될 수 있다.

또한, 상기 흡착부는 상기 진공척이 상기 필름에 근접 및 이격되도록 상기 진공척을 이동시키는 구동 수단을 더 포함하되, 상기 구동 수단은, 상기 진공척을 상하 방향으로 이동시키는 이동 레일 및 구동 모터를 포함할 수 있다.

또한, 상기 트레이는, 상기 필름의 가장자리측과 접촉하며 중심부에 개구가 형성될 수 있다.

한편, 상기 검사 유닛은, 상기 흡착부와 대향되는 방향에 위치되며, 상기 필름을 촬영하는 카메라 및 상기 필름에 빛을 조사하는 광원을 포함할 수 있다.

한편, 상기 필름을 세정하는 세정 유닛을 더 포함하며, 상기 이송 유닛은 상기 필름을 상기 세정 유닛으로 이송시킬 수 있다.

이 때, 상기 세정 유닛은, 상기 흡착부와 대향되는 방향에 위치되며, 공기를 흡입하는 흡입 노즐 및 공기를 분사하는 분사 노즐 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 필름이 편평한 상태를 유지함으로써, 정밀한 필름 검사를 수행할 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 필름이 편평한 상태를 유지함으로써, 필름의 세정 작업시 필름의 손상을 방지할 수 있다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치의 정면도이다.
도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ'의 단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치에서 진공 척의 흡착면을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치에서 필름을 검사하는 모습을 도시한 도면이다.
도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치가 필름 검사 작업을 수행하는 과정을 도시한 도면이다.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 검사 장치의 정면도이다.

이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다. 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 동일 또는 유사한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 붙였다.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치의 정면도이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는 이송 라인(110), 이송 유닛(120), 및 검사 유닛(140)을 포함한다.

이 때, 이송 라인(110)은 이송 유닛(120)이 이동할 수 있는 경로를 안내하는 구성으로, 이송 유닛(120)을 이송시킬 수 있는 동력을 제공하는 구동 수단을 포함할 수 있으며, 서보모터 및 볼스크류 등의 공지의 기구들이 조합되어 구성될 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는 이송 유닛(120)이 이송 라인(110)을 따라 이동이 가능하며, 이송 유닛(120)에 장착되는 필름(50)이 필름 상태를 검사하는 검사 유닛(140)으로 이동할 수 있다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)의 이송 유닛(120) 및 검사 유닛(140)의 구성에 대하여 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 2는 도 1에서 Ⅱ-Ⅱ'의 단면도이다. 도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치에서 진공 척의 흡착면을 도시한 도면이다. 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치에서 필름을 검사하는 모습을 도시한 도면이다.

도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)에서 이송 유닛(120)은 캐리어(122), 트레이(123) 및 흡착부(130)를 포함할 수 있다.

캐리어(122)는, 도 1에 화살표로 도시한 바와 같이, 이송 라인(110)을 따라 이동이 가능한 구성으로서, 이송 유닛(120)을 구성하는 부분들이 설치되는 베이스(base)가 되는 구성이다.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐리어(122)의 일측에는 이송 라인(110)을 따라서 이동이 가능하도록 이송 라인(110)에 대응되는 구성, 예를 들어, 서보모터 및 볼스크류 등에 대응하는 구조나 장치가 형성될 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐리어(122)는 이송 라인(110)을 따라 수평 이동이 가능하도록, 평판 형태로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 아니하며 다양한 형태로 형성될 수 있다.

예를 들어, 도 2를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 캐리어(122)는 한 쌍으로 형성된 이송 라인(110)을 따라 이동이 가능하도록, 필름(50)의 하부에 대응하는 위치가 개방된 형태의 한 쌍의 부재로 형성될 수 있다.

이는, 캐리어(122)의 하부측에 위치되는 후술할 검사 유닛(140)을 통한 검사가 가능하도록 하기 위함이다.

후술하겠지만, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 유닛(140)은 이송 유닛(120)에 대향하는 방향에 위치, 예를 들어, 필름(50)의 하부에 위치될 수 있으므로, 검사 유닛(140)을 구성하는 광원(144)이나 카메라(142)의 빛이 통과할 수 있도록, 필름(50)의 검사면의 위치에 대응하는 하부 위치는 개방된 상태이어야 하기 때문이다.

따라서, 캐리어(122)가 평판 형태로 형성되는 경우에는 중심부에 개구가 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 도 1에 도시된 바와 같이, 캐리어(122)의 상부측에는 필름(50)을 장착하는 트레이(123)가 설치될 수 있다.

트레이(123)는 필름(50)을 매우 긴 상태의 롤(roll) 형태가 아닌, 필름(50)이 직접 적용되는 부재, 예를 들어, 표시 장치의 글래스에 1:1로 대응되도록 시트 형태의 낱개 상태로 이송 유닛(120)에 장착하기 위한 구성이다.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 트레이(123)는 필름(50)의 가장자리를 고정하는 방식으로 필름(50)을 장착할 수 있다.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 트레이(123)에 장착된 필름(50) 하부측은, 후술할 검사 유닛(150)의 광원(144) 및 카메라(142)를 통한 검사를 위하여, 개방된 상태일 수 있으며, 예를 들어, 도 2 및 도 4에 도시된 바와 같이, 개구(124)가 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 트레이(123)는 필름(50)의 가장자리가 위치되는 측에 필름(50) 고정을 위한 고정 수단(미도시)이 형성될 수 있다.

이 때, 고정 수단은 클램프(clamp)일 수 있으며, 필름(50)을 용이하게 고정할 수 있도록 자성체나 탄성체를 포함할 수 있다.

한편, 트레이(123)에 장착된 필름(50)은 자중(自重) 등의 요인에 의하여 처짐이 발생할 수 있는데, 흡착부(130)를 통하여 이를 방지하여 필름(50)을 편평하게 유지할 수 있다.

즉, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 흡착부(130)는 이송 유닛(120)에 장착되어 검사 유닛(140)을 통과하는 필름(50)이 편평한 상태가 유지되도록 하기 위한 구성이다.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 흡착부(130)는 진공 척(131) 및 구동 수단(133)을 포함할 수 있다.

진공 척(131)은 필름(50)을 흡착하기 위한 구성으로, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 공기를 흡입하여 진공을 형성함으로써, 도 4에 도시된 바와 같이, 트레이(123)에 장착된 검사 대상 필름(50)을 편평한 상태로 흡착하여 고정할 수 있다.

이 때, 진공 척(131)은 필름(50)을 편평하게 유지시키기 위하여 흡착할 필름(50)에 인접하게 위치되도록 이동될 수 있으며, 필름(50)의 일면에 직접 접촉할 수도 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 척(131)은 도 3에 도시된 바와 같이, 다수 개의 흡입구(132)가 흡착면에 형성되는 다공성 척(porous chuck)으로 형성될 수 있다. 이 때, 도 3에서 흡입구(132)는 다소 과장되게 도시되었다.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 다수 개의 흡입구(132)는 진공 척(131)의 흡착면에 분산 배치되며, 그 분포가 균일할 수 있다.

이에 따라, 진공 척(131)의 흡착면에 흡착되는 필름(50)이 구겨짐을 방지하면서 흡착된 필름(50)이 편평한 상태를 유지할 수 있도록 한다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 척(131)은 세라믹 재질로 이루어질 수 있으며, 흡착면의 표면 조도는 1μm 미만으로 형성될 수 있다.

이에 따라, 필름(50)이 진공 척(131)에 접촉되어 흡착되는 경우, 필름(50)의 손상을 방지할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 척(131)에 형성된 흡입구(132)의 크기는 균일할 수 있으며, 후술할 검사 유닛(140)의 광원(144)에서 조사되는 빛이 새어나가는 것을 방지하기 위하여 흡입구(132)의 사이즈는 충분히 작게 형성될 수 있으며, 예를 들어, 2~3μm 정도로 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 척(131)은 필름(50)을 중심에서 바깥 방향으로 순차적으로 흡착할 수 있도록 형성될 수 있다.

이는, 필름(50)의 편평한 상태를 유지하면서 진공 척(131)에 흡착되는 필름(50)의 구겨짐과 주름을 최소화하기 위함이다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 척(131)의 흡착면은 전술한 필름(50)의 흡착 순서, 즉, 필름(50)의 중심에서 바깥 방향의 순서에 대응되도록 중심에서 바깥 방향으로 복수 개의 구획이 형성될 수 있다.

보다 상세히, 도 2를 참조하면, 진공 척(131)의 흡착면은 그 중심에서 동심원을 형성하도록 구획이 형성될 수 있으며, 예를 들어, 도 3에서 A, B, C로 도시한 3개의 구획으로 형성될 수 있다.

이 때, 도 3을 참조하면, 진공 척(131)이 필름(50)을 흡착하는 경우, A구역, B구역, C구역의 순서대로 각 구역에 형성된 흡입구(132)를 통해 공기를 흡입하고, 이에 따라, 필름(50)은 진공 척(131)의 A, B, C 구역의 흡착 순서에 따라 필름(50)의 중심에서 바깥 방향의 순서로 진공 척(131)에 흡착될 수 있다.

이 때, A, B, C 각 구역에 형성된 흡입구(132)를 통해 공기를 흡입하는 흡입 장치(미도시)는 각 구역별로 구비될 수 있으며, 흡입되는 시간차도 조절할 수 있도록 흡입 장치가 구성될 수 있다.

이에 따라, 진공 척(131)에 흡착되는 필름(50)은 구겨짐과 주름이 방지될 수 있으며, 진공 척(131)에 흡착되어 완전히 편평한 상태로 고정될 수 있다.

한편, 도 1에서 화살표로 도시된 바와 같이, 진공 척(131)은 상하 방향으로 이동이 가능함으로써, 필름(50)에 근접할 수 있는데, 구동 수단(133)을 통하여 이러한 이동이 가능할 수 있다.

즉, 구동 수단(133)은 진공 척(131)이 필름(50)에 근접 및 이격되도록 진공 척(131)을 상하 방향으로 이동시키기 위한 구성이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 구동 수단(133)은 이동 레일(134) 및 구동 모터(135)를 포함할 수 있다.

이동 레일(134)은 진공 척(131)이 상하 방향으로 이동되는 경로를 안내하도록 상하 방향으로 길게 형성될 수 있다, 이 때, 진공 척(131)이 안정되게 이동되도록 이동 레일(134)은 복수 개로 형성될 수 있다.

또한, 구동 모터(135)는 진공 척(131)이 이동하는 구동력을 제공하는 수단으로서, 복수 개로 형성될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 구동 수단(133)은 전술한 이동 레일(134) 및 구동 모터(135)에 한정되지 아니하며, 구동력 전달 수단이나 센서, 제어 장치 등의 다양한 공지의 구성이 결합될 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는, 구동 수단(133)에 의하여 이동된 진공 척(131)이 필름(50)에 근접하여 필름(50)을 편평한 상태로 흡착 고정한 후에, 이송 유닛(120)을 검사 유닛(140)으로 이동시킴으로써 필름(50)의 상태를 검사할 수 있다.

검사 유닛(140)은 필름(50)의 상태, 예를 들어, 표시 장치에 적용되는 필름의 이물을 검사하기 위한 구성이다.

본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 유닛(140)은 광학계로 구성될 수 있으며, 도 4를 참조하면, 카메라(142) 및 광원(144)을 포함할 수 있다.

카메라(142)는 필름(50)의 상태를 스캔(scan)하기 위한 구성이며, 광원(144)은 카메라(142)가 필름(50)의 상태를 촬영할 수 있도록 빛을 공급하는 구성이다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 검사 유닛(140)은 흡착부(130), 보다 상세히, 필름(50)을 기준으로 진공 척(131)의 흡착면과 대향되는 방향에 위치될 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 척(131)이 필름(50)의 상부에 위치되고, 검사 유닛(140)은 필름(50)의 하부에 위치될 수 있다.

이 때, 전술하였듯이, 검사 유닛(140)의 카메라(142) 및 광원(144)을 통한 검사가 가능하기 위하여, 카메라(142) 및 광원(144)의 상부에 위치되는 필름(50)의 하부측은 개방되어 있어야 한다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 필름(50)이 장착되는 트레이(123) 및 트레이(123)가 설치되는 캐리어(122)에는 광원(144)에서 조사되는 빛과 카메라(142)의 렌즈의 빛이 통과할 수 있도록 개구가 형성될 수 있다.

이하, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)를 통한 필름 검사 과정을 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 5 내지 도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)가 필름 검사 작업을 수행하는 과정을 도시한 도면이다.

도 5를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)에서 검사 대상 필름(50)은, 낱개의 시트 형태로, 이송 라인(110)을 따라 이동하는 캐리어(122)에 설치된 트레이(123)에 장착될 수 있다.

이 때, 도 5에 도시한 바와 같이, 필름(50)은 자체의 하중에 의하여 처짐이 발생할 수 있다.

따라서, 정밀한 검사를 위해서는 필름(50)을 편평하게 하여 편평도를 향상시킬 필요가 있다.

이에 따라, 흡착부(130)를 통하여 필름(50)을 편평한 상태로 고정할 수 있는데, 도 6을 참조하면, 구동 수단(133)을 이용하여 필름(50)을 흡착할 수 있는 진공 척(131)을 필름(50)에 근접하게 이동시킬 수 있다.

필름(50)에 근접한 진공 척(131)이 공기를 흡입함으로써 진공을 형성하여, 처짐이 발생하였던 필름(50)은 편평하게 유지되어 진공 척(131)에 고정될 수 있다.

이어서, 도 7을 참조하면, 편평한 상태의 필름(50)을 검사하기 위하여 이송 유닛(120)이 검사 유닛(140)이 위치한 곳으로 이동될 수 있다.

이 때, 이송 유닛(120)에 장착된 필름(50)이 검사 유닛(140)의 상부를 통과하면서, 필름(50)의 상태가 검사 유닛(140)에 의하여 검사될 수 있다.

이와 같은 과정을 통하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는 필름(50)을 편평한 상태로 고정함으로써, 필름(50)의 상태를 보다 정밀하게 검사할 수 있다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는 필름(50)을 세정할 수 있는 세정 유닛(160)을 더 포함할 수 있는데, 이하, 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)의 정면도이다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 필름(50)을 검사하기 전 또는 후에 필름(50)에 부착된 이물을 제거하기 위한 세정 유닛(160)을 포함할 수 있다.

도 8을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 세정 유닛(160)은 이송 유닛(120)이 검사 유닛(140)을 통과하기 전에 세정 유닛(160)이 통과되도록 위치될 수 있다.

또한, 세정 유닛(160)은 검사 유닛(140)과 동일하게 흡착부(130), 보다 상세히, 필름(50)을 기준으로 진공 척(131)의 흡착면에 대향되는 방향에 위치될 수 있다.

이에 따라, 필름(50)이 장착된 이송 유닛(120)이 세정 유닛(160)이 위치된 곳으로 이동됨으로써 세정 유닛(160)을 통과하여 필름(50)에 부착된 이물을 제거할 수 있다.

이어서, 세정된 필름(50)이 장착된 이송 유닛(120)은 검사 유닛(140)이 위치된 곳으로 이동됨으로써, 검사 유닛(140)을 통과하여 필름(50)의 최종 상태를 검사할 수 있다.

이 때, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 필름(50)은 진공 척(131)에 의하여 고정된 상태에서 세정 유닛(160)을 통과하기 때문에, 보다 용이한 필름의 세정 작업이 가능할 수 있으며, 세정 유닛(160)과 검사 유닛(140)을 순차적으로 배치함으로써, 하나의 플랫폼(platform)을 공유하는 간단한 장치의 구성으로 보다 효율적인 필름의 세정 및 검사 공정이 가능해질 수 있다.

필름(50)이 세정 유닛(160)을 통과하여 세정되는 과정은 도 5 내지 7을 참조하여 전술한 필름 검사 과정과 동일하므로 상세한 설명은 생략한다.

한편, 본 발명의 일 실시예에 따르면, 세정 유닛(160)은 건식 세정 방식으로 구성될 수 있다.

이 때, 건식 세정 방식은 액체가 아닌 기체를 이용하여 필름(50)에 부착된 이물질 등을 제거하는 방식을 의미한다.

이 때, 세정 유닛(160)은 공기를 흡입하는 흡입 노즐(162) 및 공기를 분사하는 분사 노즐(164) 중 적어도 어느 하나를 포함할 수 있다.

이에 따라, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는, 진공 척(131)을 통하여 편평한 상태로 고정된 필름(50)이 세정 유닛(160)을 통과할 때, 필름(50)이 흡입 노즐(162)에 흡착되거나 분사 노즐(164)에 의한 세정 작업에 의하여 손상되는 것을 방지할 수 있다.

이와 같이, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는 필름(50)을 낱개의 시트 상태로 장착하여 검사할 수 있으며, 순차적으로 흡착이 가능한 진공 척(131)을 통하여 검사 대상 필름(50)을 편평한 상태로 고정함으로써, 보다 정밀한 검사 작업이 가능할 수 있다.

또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 필름 검사 장치(100)는 세정 유닛(160)과 검사 유닛(140)을 순차적으로 배치함으로써, 하나의 플랫폼(platform)을 공유하는 간단한 장치의 구성으로 효율적으로 필름의 세정 및 검사 작업을 함께 수행할 수 있다.

이상에서 본 발명의 일 실시예에 대하여 설명하였으나, 본 발명의 사상은 본 명세서에 제시되는 실시 예에 제한되지 아니하며, 본 발명의 사상을 이해하는 당업자는 동일한 사상의 범위 내에서, 구성요소의 부가, 변경, 삭제, 추가 등에 의해서 다른 실시 예를 용이하게 제안할 수 있을 것이나, 이 또한 본 발명의 사상범위 내에 든다고 할 것이다.

50 필름 100 필름 검사 장치
110 이송 라인 120 이송 유닛
122 캐리어 123 트레이
124 개구 130 흡착부
131 진공 척 132 흡입구
133 구동 수단 134 이동 레일
135 구동 모터 140 검사 유닛
142 카메라 144 광원
160 세정 유닛 162 흡입 노즐
164 분사 노즐

Claims

필름의 상태를 검사하는 필름 검사 장치로서,
상기 필름을 편평한 상태로 고정하여 이송시키는 이송 유닛; 및
상기 이송 유닛을 통하여 이송된 상기 필름을 검사하는 검사 유닛을 포함하되,
상기 이송 유닛은,
상기 검사 유닛 측으로 이동이 가능한 캐리어;
상기 캐리어에 설치되며 상기 필름이 장착되는 트레이; 및
상기 캐리어에 설치되며 상기 트레이에 장착된 상기 필름이 편평한 상태가 유지되도록 상기 필름을 흡착하는 흡착부를 포함하고,
상기 흡착부는 상기 필름을 진공 흡착하는 진공 척을 포함하되,
상기 진공 척은,
중심으로부터 동심원으로 구분된 복수의 구역을 포함하는 흡착면을 포함하고,
상기 흡착면에는 공기를 흡입하도록 복수 개의 흡입구가 상기 구역에 따라 전면에 형성되며,
상기 흡착면은 상기 구역에 형성된 흡입구에 따라 흡착하는 순서에 대응되도록 중심에서 바깥 방향으로 순차적으로 흡착될 수 있도록 형성되는, 필름 검사 장치.
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제 1항에 있어서,
상기 흡착부는 상기 진공 척이 상기 필름에 근접 및 이격되도록 상기 진공 척을 이동시키는 구동 수단을 더 포함하되,
상기 구동 수단은,
상기 진공 척을 상하 방향으로 이동시키는 이동 레일 및 구동 모터를 포함하는, 필름 검사 장치.
제 1항에 있어서,
상기 트레이는,
상기 필름의 가장자리측과 접촉하며 중심부에 개구가 형성되는, 필름 검사 장치.
제 1항에 있어서,
상기 검사 유닛은,
상기 흡착부와 대향되는 방향에 위치되며,
상기 필름을 촬영하는 카메라 및 상기 필름에 빛을 조사하는 광원을 포함하는, 필름 검사 장치.
제 1항 및 제 4항 내지 제 6항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 필름을 세정하는 세정 유닛을 더 포함하며,
상기 이송 유닛은 상기 필름을 상기 세정 유닛으로 이송시키는, 필름 검사 장치.
제 7항에 있어서,
상기 세정 유닛은,
상기 흡착부와 대향되는 방향에 위치되며,
공기를 흡입하는 흡입 노즐 및 공기를 분사하는 분사 노즐 중 적어도 어느 하나를 포함하는, 필름 검사 장치.