JP2006264939A - 基板の搬送システムおよび基板の搬送方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】搬送システムは,搬送ステージ100と浮上搬送装置とから構成される。浮上搬送装置は,搬送ステージ100に形成された多孔からエアを噴出入することにより基板105を浮上させた後,基板105の後方下面の圧力が前方下面の圧力よりも高くなるように基板105の下面に噴出入するエアを制御することにより基板105をロードロック室120内まで浮上搬送する。室内が減圧された後,基板105の下面の圧力と上面の圧力とが一定の関係になるように基板105の下面と上面とに噴出入するエアを制御する。このようにして減圧下にある基板105を浮上させた後,基板105の後方下面の圧力が前方下面の圧力よりも高くなるように基板105の下面に噴出入するエアを制御することにより減圧下にある基板105を浮上搬送する。
【選択図】図3
Description
(搬送システムの構成の概要)
まず,本発明の第1実施形態にかかる基板の搬送システムの構成の概要について,図1および図2を参照しながら説明する。図1は,本実施形態にかかる搬送システムの一部を示した斜視図であり,図2は,この搬送システムの概略を示した平面図である。
つぎに,図2の1−1面にて搬送システム10を切断した断面である図3を参照しながら,本実施形態にかかる搬送方法の概要を説明する。
つぎに,領域A1または領域A2に配設されたエア噴出装置110aおよびエア吸入装置110bの内部構成について,図4を参照しながら説明する。図4は,図2の2−2面にて搬送システム10を切断した断面を示している。エア噴出装置110aはガラス基板105と搬送ステージ100との間の気体を加圧する側の装置である。エア吸入装置110bはガラス基板105と搬送ステージ100との間の気体を減圧する側の装置である。
つぎに,領域A1および領域A2に配設された浮上搬送装置110が,大気中において,ガラス基板105を浮上搬送する動作について,図5を参照しながら説明する。図5は,図2の搬送システム10を搬送方向に対して左側面から示したものである。
この状態で,図示しない真空ポンプが,ロードロック室120内を粗引きすることによりロードロック室120内は,大気圧から減圧される。
つぎに,領域B1,領域B2および領域Cに配設された浮上搬送装置110が,減圧下において,ガラス基板105を浮上させる動作について説明する。図2の3−3面にて搬送システム10を切断した断面である図6に示したように,浮上搬送装置110は,エア噴出装置110a,エア吸入装置110bおよびエア調整装置110cから構成されている。
P1=WG/AG×9.8×104+P2・・・(1)
T=(L/C)1/α・・・(2)
ここで,Lはチャンバ容積,Cは真空度による定数,αはエジェクタの型番による指数である。
また,ガラス基板105の搬送を開始するとき,およびその搬送を停止するときには図7に示した搬送始動装置700aおよび搬送停止装置700bが用いられてもよい。搬送始動装置700aは,ガラス基板105の搬送を接触式で開始するために用いられる。搬送始動装置700aは,圧力計701a,圧力制御回路702a,電空比例制御回路703aおよびエアシリンダ704aから構成されている。
つぎに,第1実施形態の変形例について説明する。本変形例では,搬送ステージ100に電磁石と基板支持枠とを設け,減圧下においてガラス基板105の外周部分を磁気浮上させる点において,ガラス基板105全体をエアにより浮上させる第1実施形態と異なる。よって,以下,この相異点を中心に本変形例について説明する。
本変形例の浮上搬送装置110は,図2の3−3面にて搬送システム10を切断した断面である図8に示したように,エア噴出装置110a,エア吸入装置110bおよびエア調整装置110cから構成されている。各装置の内部構成は第1実施形態と同様であり符号は省略する。
(搬送システムの構成および動作)
本実施形態では,図10に示したように,ゲートバルブ(ゲートバルブ161,ゲートバルブ162,ゲートバルブ163,ゲートバルブ164・・・)により開閉可能な複数の室を持つチャンバ170が搬送システム10に配置されている点で,ロードロック室,プロセスチャンバ,ロードロック室の順にチャンバが搬送システム10に配置されている第1実施形態と異なる。よって,以下,この相異点を中心に第2実施形態にかかる搬送システム10について説明する。
100 搬送ステージ
105 基板
110 浮上搬送装置
110a エア噴出装置
110b エア吸入装置
110c エア調整装置
120 ロードロック室
124 基板支持枠
125 電磁石
130 プロセスチャンバ
140 ロードロック室
170 チャンバ
700a 搬送始動装置
700b 搬送停止装置
Claims (6)
- 多孔質板により形成された搬送ステージと,前記搬送ステージに形成された多孔からガスを噴出入することにより基板を浮上させながら搬送する浮上搬送装置と,を備える基板の搬送システムであって:
前記浮上搬送装置は;
内部が大気圧より減圧された所定の容器内に位置する前記基板に対して,前記基板の下面の圧力と前記基板の上面の圧力とが一定の関係になるように,前記基板の下面に噴出入するガスと前記基板の上面に噴出入するガスとをそれぞれ制御することにより減圧下にある前記基板を浮上させることを特徴とする基板の搬送システム。 - 前記減圧下において墳出入するガスは,不活性ガスであることを特徴とする請求項1に記載された基板の搬送システム。
- 前記浮上搬送装置は,
搬送方向に対して前記基板の後方下面の圧力が前記基板の前方下面の圧力よりも高くなるように前記基板の下面に噴出入するガスを制御することにより前記基板を搬送することを特徴とする請求項1または請求項2のいずれかに記載された基板のき搬送システム。 - 前記ガスは,クリーンホットドライエアであることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれかに記載された基板の搬送システム。
- 前記搬送ステージは,
所定の位置に電磁石と磁性体とを備え,
前記浮上搬送装置は,
前記基板が前記磁性体の上部に位置したとき,前記電磁石に通電する電流を制御することにより生じる前記電磁石と前記磁性体との間の反発力によって前記基板を浮上させることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載された基板の搬送システム。 - 多孔質板により形成された搬送ステージと,基板を浮上させながら搬送する浮上搬送装置と,を用いて前記基板を浮上させながら搬送する基板の搬送方法であって:
前記搬送ステージに形成された多孔からガスを噴出入することにより前記基板を浮上させる工程と;
搬送方向に対して前記基板の後方下面の圧力が前記基板の前方下面の圧力よりも高くなるように前記基板の下面に噴出入するガスを制御することにより前記基板を所定の容器内まで搬送する工程と;
前記容器内を減圧する工程と;
前記減圧された容器内に位置する基板に対して,前記基板の下面の圧力と前記基板の上面の圧力とが一定の関係になるように,前記基板の下面に噴出入する不活性ガスと前記基板の上面に噴出入する不活性ガスとをそれぞれ制御することにより減圧下にある前記基板を浮上させる工程と;
搬送方向に対して前記基板の後方下面の圧力が前記基板の前方下面の圧力よりも高くなるように前記基板の下面に噴出入する不活性ガスを制御することにより減圧下にある前記基板を搬送する工程と;を含むことを特徴とする基板の搬送方法。
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