JP2006261339A - 有機半導体装置の製造方法、有機半導体装置、電子デバイスおよび電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、ゲート電極50と、ソース電極20aと、ドレイン電極20bと、有機半導体層30と、ゲート電極50に対してソース電極20aおよびドレイン電極20bを絶縁するゲート絶縁層40と、これらを支持する基板500とを有するアクティブマトリクス装置(有機半導体装置)の製造方法であり、有機半導体層30を形成するのに先立って、基板500上に、主として液晶性のコアを有する有機高分子材料で構成され、所定方向に配向したバッファ層(下地層)60を形成し、その後、有機半導体層30を形成することにより、有機半導体層30をバッファ層60の配向方向に沿って配向させる。
【選択図】図2
Description
このような薄膜トランジスタとしては、ゲート電極、ソース電極、ドレイン電極、有機半導体層およびゲート絶縁層を、それぞれ有機材料で構成したものが提案されている(例えば、非特許文献1参照)。
ところが、有機半導体層は、一般にシリコン等で構成される無機半導体層に比べて、キャリア移動度が2桁以上低く、有機半導体層を有する薄膜トランジスタでは、その作動速度を上げるのが非常に難しい。
そして、実用化に向けて、さらなるキャリア移動度の向上を目指し、種々の研究がなされている。
本発明の有機半導体装置の製造方法は、ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体層と、前記ゲート電極に対して前記ソース電極および前記ドレイン電極を絶縁するゲート絶縁層と、これらを支持する基板とを有する有機半導体装置の製造方法であって、
前記有機半導体層を形成するのに先立って、前記基板上に、液晶性のコアを有する有機高分子材料を含み、所定方向に配向した下地層を形成し、
その後、前記有機半導体層を形成することにより、該有機半導体層を前記下地層の配向方向に沿って配向させることを特徴とする。
これにより、作動速度の速い有機半導体装置を容易に製造することができる。
次いで、前記有機半導体層の一部を前記下地層に接触するように形成することにより、前記有機半導体層を前記下地層の配向方向に沿って配向させることが好ましい。
これにより、作動速度の速いトップゲート型の有機薄膜トランジスタを備える有機半導体装置を容易に製造することができる。
次いで、前記ゲート絶縁層の一部を前記下地層に接触するように形成することにより、前記ゲート絶縁層を前記下地層の配向方向に沿って配向させ、
その後、前記有機半導体層を形成することにより、該有機半導体層を前記ゲート絶縁層の配向方向に沿って配向させることが好ましい。
これにより、作動速度の速いボトムゲート型の有機薄膜トランジスタを備える有機半導体装置を容易に製造することができる。
次いで、前記有機半導体層の一部を前記ゲート絶縁層に接触するように形成することにより、前記有機半導体層を前記ゲート絶縁層の配向方向に沿って配向させることが好ましい。
これにより、作動速度の速いボトムゲート型の有機薄膜トランジスタを備える有機半導体装置を容易に製造することができる。
これにより、ゲート絶縁層を下地層の配向方向に沿って、より確実に配向させることができる。
本発明の有機半導体装置の製造方法では、前記ソース電極およびドレイン電極を、前記所定方向に沿って離間して形成することが好ましい。
これにより、有機半導体層のチャネル領域におけるキャリア移動度の向上を図ることができる。
これにより、下地層をより確実に配向させることができる。
本発明の有機半導体装置の製造方法では、前記配向処理は、ラビング処理により行われることが好ましい。
ラビング処理によれば、比較的容易に基板の配向処理を行うことができる。
これにより、より配向性の高い下地層を形成することができる。
本発明の有機半導体装置の製造方法では、前記混合物が室温にて液晶相を示すことが好ましい。
これにより、より配向性の高い下地層を形成することができる。
これにより、より配向性の高い下地層を形成することができる。
本発明の有機半導体装置の製造方法では、前記混合物がスメクティック相を有することが好ましい。
これにより、より配向性の高い下地層を形成することができる。
前記基板と前記有機半導体層との間に、液晶性のコアを有する有機高分子材料を含み、所定方向に配向した下地層が形成され、
前記有機半導体層が前記下地層の配向方向に沿って配向されていることを特徴とする。
これにより、作動速度の速い有機半導体装置が得られる。
これにより、有機半導体層のチャネル領域におけるキャリア移動度の向上を図ることができる。
これにより、高分子の有機半導体材料は、キャリア輸送に優れ、簡易な方法で比較的容易に配向させることができることから好ましい。
本発明の有機半導体装置では、前記有機半導体層は、主としてアリール基を有する有機半導体材料で構成されていることが好ましい。
下地層の構成材料として用いられる有機高分子材料は、アリール基を有するものが多いため、アリール基を有する有機半導体材料を主材料として有機半導体層を構成することにより、下地層との高い密着性が得られる。
これにより、信頼性の高い電子デバイスが得られる。
本発明の電子機器は、本発明の電子デバイスを備えることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
以下では、本発明の有機半導体装置をアクティブマトリクス装置に適用した場合を一例に説明する。
<第1実施形態>
まず、アクティブマトリクス装置の第1実施形態について説明する。
図1は、本発明の有機半導体装置を適用したアクティブマトリクス装置の構成を示すブロック図、図2は、第1実施形態のアクティブマトリクス装置が備える有機薄膜トランジスタの構成を示す図(縦断面図および平面図)、図3および図4は、それぞれ、図2に示す有機薄膜トランジスタの製造方法を説明するための図(縦断面図)である。なお、以下の説明では、図2〜図4中上側を「上」、下側を「下」として説明する。
そして、薄膜トランジスタ1が有するゲート電極50は走査線302に、ソース電極20aはデータ線301に、ドレイン電極20bは後述する画素電極(個別電極)303に、それぞれ接続されている。
基板500は、薄膜トランジスタ1(アクティブマトリクス装置300)を構成する各層(各部)を支持するものである。
基板500には、例えば、ガラス基板、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)、ポリエーテルスルホン(PES)、芳香族ポリエステル(液晶ポリマー)、ポリイミド(PI)等で構成されるプラスチック基板(樹脂基板)、石英基板、シリコン基板、金属基板、ガリウム砒素基板等を用いることができる。
基板500上には、バッファ層60が設けられている。
このバッファ層60は、所定方向に配向、本実施形態では、チャネル領域のチャネル長方向(図2(a)中、左右方向)とほぼ平行となるように配向しており、後述する有機半導体層30を配向させる機能を有するものである。
これにより、薄膜トランジスタ1の層構成の複雑化を招くことなく、有機半導体層30の配向方向を所定方向に揃えることができ、チャネル領域におけるキャリア移動度の向上を図ることができる。その結果、作動速度の速い薄膜トランジスタ1、ひいては、作動速度の速いアクティブマトリクス装置300が得られる。
ここで、バッファ層60が配向しているとは、これを構成する有機高分子材料の大多数のものがほぼ等しい方向に整列する傾向にあることを言い、中には、全く異なる方向を向く有機高分子材料が含まれていてもよい。
また、後述するように、有機半導体層30の構成材料として、アリールアミン骨格を有する化合物を用いる場合には、有機半導体層30とバッファ層60との密着性を向上させることができる。
なお、このような有機高分子材料は、絶縁性も高いため、後述する第2実施形態におけるゲート絶縁層40の構成材料としても好ましく用いられる。
バッファ層60の平均厚さは、特に限定されないが、1〜1000nm程度であるのが好ましく、10〜700nm程度であるのがより好ましい。
バッファ層60上には、ソース電極20aおよびドレイン電極20bが、バッファ層60の配向方向に沿って、離間して設けられている。
これらの中でも、ソース電極20aおよびドレイン電極20bの構成材料としては、それぞれ、Au、Ag、Cu、Ptまたはこれらを含む合金を主とするものが好ましい。これらのものは、比較的仕事関数が大きいため、有機半導体層30がp型である場合には、ソース電極20aをこれらの材料で構成することにより、有機半導体層30への正孔(キャリア)の注入効率を向上させることができる。
なお、ソース電極20aおよびドレイン電極20bの平均厚さは、特に限定されないが、それぞれ、10〜2000nm程度であるのが好ましく、50〜1000nm程度であるのがより好ましい。
また、ソース電極20aおよびドレイン電極20bの長さ、すなわち、図2(b)に示すチャネル幅Wは、0.1〜5mm程度であるのが好ましく、0.3〜3mm程度であるのがより好ましい。このような範囲にチャネル幅Wの値を設定することにより、寄生容量を低減させることができ、薄膜トランジスタ1の特性の劣化を防止することができる。また、薄膜トランジスタ1の大型化を防止することもできる。
この有機半導体層30は、その一部(チャネル領域)において、バッファ層60に接触しており、これにより、バッファ層60の配向方向、すなわち、チャネル長方向(ソース電極20aおよびドレイン電極20bのいずれか一方から他方に向かう方向)に沿って配向している。
これらの中でも、特に、高分子の有機半導体材料主成分とするものを用いるのが好ましい。高分子の有機半導体材料は、キャリア輸送に優れ、簡易な方法で比較的容易に配向させることができることから好ましい。
また、バッファ層60の構成材料として用いられる有機高分子材料は、アリール基を有するものが多いため、フルオレン−トリアリールアミン共重合体や、トリアリールアミン系ポリマー、アセン分子材料のようにアリール基を有する有機半導体材料を主材料として有機半導体層30を構成することにより、バッファ層60との高い密着性が得られる。
なお、有機半導体層30は、ソース電極20aとドレイン電極20bとの間の領域(チャネル領域)に選択的に設けられた構成のものであってもよく、ソース電極20aおよびドレイン電極20bのほぼ全体を覆うように設けられた構成のものであってもよい。
このゲート絶縁層40は、ソース電極20aおよびドレイン電極20bに対して、後述するゲート電極50を絶縁するものである。
ゲート絶縁層40は、主として有機材料(特に有機高分子材料)で構成されているのが好ましい。有機高分子材料を主材料とするゲート絶縁層40は、その形成が容易であるとともに、有機半導体層30との密着性の向上を図ることもできる。
また、ゲート絶縁層40は、単層構成のものに限定されず、前述したような有機または無機材料を組み合わせた複数層の積層構成とすることもできる。
このゲート電極50の構成材料としては、公知の電極材料であれば、種類は特に限定されるものではない。具体的には、Pd、Pt、Au、W、Ta、Mo、Al、Cr、Ti、Cuまたはこれらを含む合金等の金属材料、カーボンブラック、カーボンナノチューブ、フラーレン等の炭素材料、ポリアセチレン、ポリピロール、PEDOT(poly−ethylenedioxythiophene)のようなポリチオフェン、ポリアニリン、ポリ(p−フェニレン)、ポリ(p−フェニレンビニレン)、ポリフルオレン、ポリカルバゾール、ポリシランまたはこれらの誘導体等の導電性高分子材料等が挙げられる。
ゲート電極50の平均厚さは、特に限定されないが、0.1〜2000nm程度であるのが好ましく、1〜1000nm程度であるのがより好ましい。
この保護層70は、有機半導体層30に水分が浸入するのを防止する機能や、ゲート電極50に異物が接触して、隣接する薄膜トランジスタ1同士がショートするのを防止する機能を有する。
保護層70の構成材料としては、前記ゲート絶縁層40で挙げたものと同様のものが挙げられる。
保護膜70の平均厚さは、特に限定されないが、0.01〜10μm程度であるのが好ましく、0.1〜5μm程度であるのがより好ましい。
なお、保護層70は、必要に応じて設けるようにすればよく、省略することもできる。
すなわち、ゲート電極50に電圧が印加されていないOFF状態では、ソース電極20aおよびドレイン電極20bとの間に電圧を印加しても、有機半導体層30中にほとんどキャリアが存在しないため、微少な電流しか流れない。
一方、ゲート電極50に電圧が印加されているON状態では、有機半導体層30のゲート絶縁層40に面した部分に電荷が誘起され、チャネル(キャリアの流路)が形成される。この状態でソース電極20aおよびドレイン電極20bの間に電圧を印加すると、チャネル領域を通って電流が流れる。
以下、アクティブマトリクス装置300の製造方法(本発明の有機半導体装置の製造方法)について説明する。
なお、以下では、薄膜トランジスタ1の製造方法を中心に説明する。
まず、基板500を用意し、この基板500の上面に配向処理を施す。
これにより、バッファ層60をより確実に配向させることができる。
この配向処理の方法としては、例えば、ラビング処理、レーザー加工、ブラスト処理等が挙げられるが、これらの中でも、特に、ラビング処理を用いるのが好ましい。
ここで、ラビング処理とは、基板500に対して、例えばポリアミド(ナイロン)製の布900を巻いたローラ910を、一定圧力で押し込みながら回転させることにより、基板500の上面を一定方向に擦る(ラビングする)方法である。かかるラビング処理によれば、比較的容易に基板500の配向処理を行うことができる。
次に、基板500の配向処理が施された面に、バッファ層60を形成する。
バッファ層60は、前述した有機高分子材料をそのまま用いて形成するようにしてもよいが、有機高分子材料の前駆体を用いて形成するのが好ましい。これにより、より配向性の高いバッファ層60を形成することができる。
有機低分子が有する重合性基としては、例えば、(メタ)アクリル基、エポキシ基、ビニル基、スチレン基、オキセタン基等が挙げられる。
このような有機低分子材料の一例としては、例えば、下記化1〜化19で表される化合物等が挙げられる。
また、有機低分子材料を重合する方法としては、例えば、光重合反応、熱重合反応等を利用することができる。なお、これらの反応の形態は、有機低分子材料の種類、溶液に添加する重合開始剤の種類、重合促進剤の種類等に応じて適宜設定することができる。
次に、バッファ層60上に、ソース電極20aおよびドレイン電極20bを、バッファ層60の配向方向に沿って、所定距離離間して形成する。
まず、バッファ層60上に金属膜(金属層)を形成する。これは、例えば、プラズマCVD、熱CVD、レーザーCVDのような化学蒸着法(CVD)、真空蒸着、スパッタリング(低温スパッタリング)、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、浸漬メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、ゾル・ゲル法、MOD法、金属箔の接合等により形成することができる。
その後、レジスト層を除去することにより、ソース電極20aおよびドレイン電極20bが得られる。
なお、導電性材料を供給する方法には、前記工程[A2]で挙げた方法を用いることができる。
また、このとき、データ線301および画素電極303も形成する。
次に、ソース電極20aおよびドレイン電極20bとに接触するように、有機半導体層30を形成する。
このとき、有機半導体層30は、その一部がソース電極20aおよびドレイン電極20bとの間の領域において露出するバッファ層60に接触することにより、バッファ層60の配向方向に沿って配向する。
したがって、ソース電極20aとドレイン電極20bとの間の領域(チャネル領域)では、有機半導体層30はチャネル長方向に沿って配向する。
なお、溶液を供給する方法には、前記工程[A2]で挙げた方法を用いることができる。
次に、ソース電極20a、ドレイン電極20bおよび有機半導体層30を覆うように、ゲート絶縁層40を形成する。
ゲート絶縁層40は、前記有機半導体層30と同様にして形成することができる。
[A6] ゲート電極形成工程(図4(f)参照)
次に、ゲート絶縁層40上に、ソース電極20aとドレイン電極20bとの間の領域に対応するように、ゲート電極50を形成する。
ゲート電極50は、前記ソース電極20aおよびドレイン電極20bと同様にして形成することができる。
また、このとき、走査線302を形成する。
なお、本実施形態では、走査線302は、ゲート電極50とは別途形成されるが、隣接する薄膜トランジスタ1のゲート電極50を連続して形成することにより走査線302としてもよい。
[A7] 保護層形成工程(図3(g)参照)
次に、ゲート絶縁層40上に保護層70を形成する。
保護層70は、前記有機半導体層30と同様にして形成することができる。
次に、アクティブマトリクス装置の第2実施形態について説明する。
図5は、第2実施形態のアクティブマトリクス装置が備える有機薄膜トランジスタの構成を示す図(縦断面図)である。なお、以下の説明では、図5中上側を「上」、下側を「下」として説明する。
第2実施形態では、薄膜トランジスタ1がボトムゲート構造であり、それ以外は、前記第1実施形態と同様である。
図5に示すように、本実施形態の薄膜トランジスタ1は、基板500上に設けられたバッファ層(下地層)60と、バッファ層60上に設けられたゲート電極50と、ゲート電極50を覆うようにバッファ層60上に設けられたゲート絶縁層40と、ゲート絶縁層40上に、互いに分離して設けられたソース電極20aおよびドレイン電極20bと、ソース電極20aおよびドレイン電極20bに接触して設けられた有機半導体層30と、これらの各層を覆うように設けられた保護層70とを有している。
この場合、ゲート絶縁層40の構成材料とバッファ層60の構成材料とは、異種のものであってもよいが、同種のものであるのが好ましい。これにより、ゲート絶縁層40をバッファ層60の配向方向に沿って、より確実に配向させることができる。このため、有機半導体層30がバッファ層60から離間していても、バッファ層60の配向方向に沿って確実に配向させることができる。
なお、前述したように、バッファ層60に用いられる有機高分子材料は、高い絶縁性を有するため、ゲート絶縁層40の構成材料としても好適である。
第2実施形態の構成によっても、前記第1実施形態と同様の効果が得られる。
このような薄膜トランジスタ1は、次のようにして製造することができる。
前記工程[A1]と同様の工程を行う。
[B2] バッファ層形成工程
前記工程[A2]と同様の工程を行う。
[B3] ゲート電極形成工程
前記工程[A6]と同様の工程を行う。
前記工程[A5]と同様の工程を行う。
このとき、ゲート絶縁層40は、その一部がゲート電極50から露出するバッファ層60に接触することにより、バッファ層60の配向方向に沿って配向する。
[B5] ソース電極およびドレイン電極形成工程
前記工程[A3]と同様の工程を行う。
前記工程[A4]と同様の工程を行う。
このとき、有機半導体層30は、その一部がソース電極20aとドレイン電極20bとの間の領域において露出するゲート絶縁層40に接触することにより、ゲート絶縁層40の配向方向に沿って配向する。すなわち、バッファ層60の配向方向に沿って配向する。
[B7] 保護層形成工程
前記工程[A7]と同様の工程を行う。
次に、本発明の電子デバイスとして、前述したようなアクティブマトリクス装置が組み込まれた電気泳動表示装置を一例に説明する。
図6は、電気泳動表示装置の実施形態を示す縦断面図である。なお、以下の説明では、図6中上側を「上」、下側を「下」として説明する。
この電気泳動表示部400は、透明電極(共通電極)403を備える透明基板404と、バインダ材405により透明電極403に固定されたマイクロカプセル402とで構成されている。
各カプセル402内には、それぞれ、特性の異なる複数種の電気泳動粒子、本実施形態では、電荷および色(色相)の異なる2種の電気泳動粒子421、422を含む電気泳動分散液420が封入されている。
これにより、かかる薄膜トランジスタ1に接続されているデータ線301と画素電極303とは、実質的に導通する。このとき、データ線301に所望のデータ(電圧)を供給した状態であれば、このデータ(電圧)は画素電極303に供給される。
これにより、画素電極303と透明電極403との間に電界が生じ、この電界の方向、強さ、電気泳動粒子421、422の特性等に応じて、電気泳動粒子421、422は、いずれかの電極に向かって電気泳動する。
したがって、走査線302への選択信号の供給および停止、あるいは、データ線301へのデータの供給および停止を適宜組み合わせて行うことにより、電気泳動表示装置200の表示面側(透明基板404側)に、所望の画像(情報)を表示させることができる。
特に、本実施形態の電気泳動表示装置200では、電気泳動粒子421、422の色を異ならせていることにより、多階調の画像を表示することが可能となっている。
また、本実施形態の電気泳動表示装置200は、低い駆動電圧で作動するため、省電力化が可能である。
このような電気泳動表示装置200は、各種電子機器に組み込むことができる。以下、電気泳動表示装置200を備える本発明の電子機器について説明する。
<<電子ペーパー>>
まず、本発明の電子機器を電子ペーパーに適用した場合の実施形態について説明する。
図7は、本発明の電子機器を電子ペーパーに適用した場合の実施形態を示す斜視図である。
この図に示す電子ペーパー600は、紙と同様の質感および柔軟性を有するリライタブルシートで構成される本体601と、表示ユニット602とを備えている。
このような電子ペーパー600では、表示ユニット602が、前述したような電気泳動表示装置200で構成されている。
次に、本発明の電子機器をディスプレイに適用した場合の実施形態について説明する。
図8は、本発明の電子機器をディスプレイに適用した場合の実施形態を示す図であり、(a)は断面図、(b)は平面図である。
この図に示すディスプレイ800は、本体部801と、この本体部801に対して着脱自在に設けられた電子ペーパー600とを備えている。なお、この電子ペーパー600は、前述したような構成、すなわち、図7に示す構成と同様のものである。
このようなディスプレイ800では、電子ペーパー600は、本体部801に着脱自在に設置されており、本体部801から取り外した状態で携帯して使用することもできる。
また、このようなディスプレイ800では、電子ペーパー600が、前述したような電気泳動表示装置200で構成されている。
以上、本発明の有機半導体装置の製造方法、有機半導体装置、電子デバイスおよび電子機器を、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものでない。
Claims (18)
- ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体層と、前記ゲート電極に対して前記ソース電極および前記ドレイン電極を絶縁するゲート絶縁層と、これらを支持する基板とを有する有機半導体装置の製造方法であって、
前記有機半導体層を形成するのに先立って、前記基板上に、液晶性のコアを有する有機高分子材料を含み、所定方向に配向した下地層を形成し、
その後、前記有機半導体層を形成することにより、該有機半導体層を前記下地層の配向方向に沿って配向させることを特徴とする有機半導体装置の製造方法。 - 前記有機半導体層を形成するのに先立って、前記下地層上に、前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成し、
次いで、前記有機半導体層の一部を前記下地層に接触するように形成することにより、前記有機半導体層を前記下地層の配向方向に沿って配向させる請求項1に記載の有機半導体装置の製造方法。 - 前記有機半導体層を形成するのに先立って、前記下地層上に、前記ゲート電極を形成し、
次いで、前記ゲート絶縁層の一部を前記下地層に接触するように形成することにより、前記ゲート絶縁層を前記下地層の配向方向に沿って配向させ、
その後、前記有機半導体層を形成することにより、該有機半導体層を前記ゲート絶縁層の配向方向に沿って配向させる請求項1に記載の有機半導体装置の製造方法。 - 前記有機半導体層を形成するのに先立って、前記ゲート絶縁層上に、前記ソース電極および前記ドレイン電極を形成し、
次いで、前記有機半導体層の一部を前記ゲート絶縁層に接触するように形成することにより、前記有機半導体層を前記ゲート絶縁層の配向方向に沿って配向させる請求項3に記載の有機半導体装置の製造方法。 - 前記下地層の構成材料と前記ゲート絶縁層の構成材料とは、同種のものである請求項3または4に記載の有機半導体装置の製造方法。
- 前記ソース電極およびドレイン電極を、前記所定方向に沿って離間して形成する請求項1ないし5のいずれかに記載の有機半導体装置の製造方法。
- 前記基板に配向処理を施した後、前記下地層を形成する請求項1ないし6のいずれかに記載の有機半導体装置の製造方法。
- 前記配向処理は、ラビング処理により行われる請求項7に記載の有機半導体装置の製造方法。
- 前記下地層は、重合性基を有し、かつ液晶性のコアを有する有機低分子材料の少なくとも一種類または二種類以上を含有する混合物を重合して形成される請求項1ないし8のいずれかに記載の有機半導体装置の製造方法。
- 前記混合物が室温にて液晶相を示す請求項9に記載の有機半導体装置の製造方法。
- 前記混合物がネマティック相を有する請求項10に記載の有機半導体装置の製造方法。
- 前記混合物がスメクティック相を有する請求項10に記載の有機半導体装置の製造方法。
- ゲート電極と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体層と、前記ゲート電極に対して前記ソース電極および前記ドレイン電極を絶縁するゲート絶縁層と、これらを支持する基板とを有し、
前記基板と前記有機半導体層との間に、液晶性のコアを有する有機高分子材料を含み、所定方向に配向した下地層が形成され、
前記有機半導体層が前記下地層の配向方向に沿って配向されていることを特徴とする有機半導体装置。 - 前記下地層の配向方向は、前記ソース電極および前記ドレイン電極のいずれか一方から他方に向かう方向とほぼ平行となっている請求項13に記載の有機半導体装置。
- 前記有機半導体層は、高分子の有機半導体材料を含む請求項13または14に記載の有機半導体装置。
- 前記有機半導体層は、主としてアリール基を有する有機半導体材料で構成されている請求項13ないし15のいずれかに記載の有機半導体装置。
- 請求項13ないし16のいずれかに記載の有機半導体装置を備えることを特徴とする電子デバイス。
- 請求項17に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする電子機器。
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