JP2006261232A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ソース32aを形成する領域及びドレイン32bを形成する領域と、エクステンション部32c、32dを形成する領域とをアモルファス化した後に再結晶化し、不純物を、固溶限界を超えて熱拡散を抑制して活性化させる。このようにすると、不純物が固溶限界を超えて活性化するので、エクステンション部32c、32d等の活性領域における寄生抵抗が減少する。また、不純物の熱拡散を抑制して活性化するので、イオン注入直後の不純物プロファイルをほとんど維持できる。
【選択図】 図1
Description
まず、本発明の実施の形態のトランジスタについて説明する。図1は、トランジスタの要部断面模式図である。
不純物濃度の分布は、図3に例示するように、チャネルにおいて、エクステンション部と逆の導電型不純物濃度は低く、エクステンション部32c、32dにおいて、不純物が固溶限界を超えて活性化して不純物濃度は高い。そして、チャネルとエクステンション部32c、32dとの間において、不純物濃度の差は急峻であり、急峻な不純物プロファイルとなる。
次に、本発明の実施の形態のトランジスタ30における各製造工程について説明する。図4は、第1の製造工程の例を示す図である。図5は、第2の製造工程の例を示す図である。図6は、第3の製造工程の例を示す図である。図7は、第4の製造工程の例を示す図である。図8は、第5の製造工程の例を示す図である。図9は、第6の製造工程の例を示す図である。図10は、第7の製造工程の例を示す図である。図11は、第8の製造工程の例を示す図である。図12は、第9の製造工程の例を示す図である。
ソースを形成する領域及びドレインを形成する領域と、前記ソース及び前記ドレインのエクステンション部を形成する領域とをアモルファス化した後に再結晶化し、不純物を、固溶限界を超えて熱拡散を抑制して活性化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記4) 前記トランジスタがSOI基板を用いて形成される場合には、前記トランジスタの前記ソースを形成する領域及び前記ドレインを形成する領域の下のBOX界面上を残してアモルファス化することを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
(付記8) 前記トランジスタは、プレーナ型トランジスタであることを特徴とする付記1記載の半導体装置の製造方法。
32a ソース
32b ドレイン
32c、32d エクステンション部
36 BOX
37 ゲート絶縁膜
38 ゲート
Claims (5)
- エクステンション部を備えたトランジスタを有する半導体装置の製造方法において、
ソースを形成する領域及びドレインを形成する領域と、前記ソース及び前記ドレインのエクステンション部を形成する領域とをアモルファス化した後に再結晶化し、不純物を、固溶限界を超えて熱拡散を抑制して活性化させることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記トランジスタのゲートの下のチャネルを残してアモルファス化することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トランジスタがSOI基板を用いて形成される場合には、前記トランジスタの前記ソースを形成する領域及び前記ドレインを形成する領域の下のBOX界面上を残してアモルファス化することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トランジスタがSOI基板を用いて形成される場合には、前記ソース及び前記ドレインの前記エクステンション部を形成する領域は、SOI基板平面と平行方向に再結晶化することを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
- 前記トランジスタは、完全空乏型トランジスタであることを特徴とする請求項1記載の半導体装置の製造方法。
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