JP2006253670A - 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板と、基板上に積層された発光層を含む窒化物半導体層、とを含む窒化物半導体発光素子であって、前記窒化物半導体層の側面を基板の主面に対して傾斜させて光が発光素子の外に出易くした。またウエットエッチングにより素子の破砕面のダメージを少なくした。
【選択図】図1
Description
例えば窒化ガリウム(GaN)の場合、屈折率は2.4であり表面への垂直方向に対して24°の頂角を持つEscape Coneの中に入る光だけが外部に取り出される。
界面での全反射による光取出しの制限を回避するには、界面を粗面化する方法(例えば特許文献1)や素子形状を加工して別の面のEscape Coneを利用する方法が知られている(例えば特許文献2)。
窒化物半導体の成長はMOCVD(有機金属気相法)が多く用いられている。MOCVDは基板上で有機金属と窒素源とを反応させ、窒化物半導体を成長させる方法である。しかし窒化物半導体の単結晶は未だ工業的には得られておらず、またSiやGaAs基板上にHVPE(ハイドライド気相エピタキシャル法)により厚膜エピ成長を行った擬似単結晶基板も市販されているが非常に高価であり発光ダイオード用の基板として、一般的には高温で安定なサファイア(Al2O3)や炭化珪素(SiC)等の異種基板が用いられる。
ダメージの少ない加工法としてのウェットエッチングについても知られているが(例えば特許文献3や特許文献4参照)、これらの各素子の分割切断面は垂直となっている。
(1) 基板と、基板上に積層された発光層を含む窒化物半導体層、とを含む窒化物半導体発光素子であって、前記窒化物半導体層の少なくとも基板と発光層の間の窒化物半導体層の側面の法線が窒化物半導体層表面の法線に対して90度より大きい角度を有することを特徴とする窒化物半導体発光素子。
(2) 表面に対して90度より大きい角度を有する側面をもつ半導体層が発光層を含まず、基板と発光層の間の窒化物半導体層に限られることを特徴とする上記(1)に記載の窒化物半導体発光素子。
(3) 窒化物半導体表面層と発光層の間の窒化物半導体層側面が垂直であることを特徴とする上記(1)または(2)に記載の窒化物半導体発光素子。
(4) 基板と発光層の間の半導体層の側面の法線と半導体層表面の法線とのなす角度θが95度以上170度以下である上記(1)〜(3)のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
(6) 半導体層の側面の法線と半導体層表面の法線とのなす角度θが90度より大きい角度を有する半導体層の層厚が1μmから20μmの間であることを特徴とする上記(1)〜(5)のいずれか記載の窒化物半導体発光素子。
(7) 基板がサファイア(Al2O3)であることを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
(8) 基板が炭化珪素(SiC)であることを特徴とする上記(1)〜(6)のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
(9) 基板上に積層された窒化物半導体層表面が(0001)面を主な面とすることを特徴とする上記(1)〜(8)のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
(11) 基板がサファイアであることを特徴とする上記(10)に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
(12) 基板が炭化珪素であることを特徴とする上記(10)に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
(14) 窒化物半導体層を除去する工程がレーザーによってなされることを特徴とする上記(10)〜(13)のいずれかに記載の窒化物半導体素子の製造方法。
(15) 窒化物半導体層を除去する工程がドライエッチングによってなされることを特徴とする上記(10)〜(13)のいずれかに記載の窒化物半導体素子の製造方法。
(16) 窒化物半導体層を除去する工程がダイサーによってなされることを特徴とする上記(10)〜(13)の何れか1項に記載の窒化物半導体素子の製造方法。
(17) ウェットエッチング処理をオルトリン酸を用いて行うことを特徴とする上記(10)〜(16)のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
以下図面を参考にして具体的に説明する。
図1は本発明の窒化物半導体素子における光の進行の一例を模式的に示す断面図で、半導体層の側面が基板の主面に対して外側に傾斜している場合である。図において、204は半導体層の側面の法線、205は基板主面の法線(半導体層表面の法線と同じ)で、これらのなす角度がθである。図1で、(a)は発光層の箇所の側面が半導体層表面に対して垂直ではない場合、(b)は発光層の箇所の側面が半導体層表面に対して垂直の場合である。
図2は従来の窒化物半導体素子における光の進行の一例を模式的に示す断面図で、半導体層の側面が基板の主面に対して垂直となっている場合である。
図2は従来の窒化物半導体であるが、例えばA点で発光した光が矢線のように進行した場合、半導体の側面に入射した光が臨界角以上であると光はそこで反射し、さらに半導体層と基板の界面でも反射する。その結果光の取り出し率は下がる。
これに対し図1の場合は光は半導体層の側面では反射するが、半導体層と基板の界面では臨界角以内となるので光が透過し素子から取り出すことができる。図1において傾斜角θは90度より大きく、180度より小さい。好ましくはθは95度以上170度以下、さらに好ましくは100度以上、160度以下である。これらの傾斜面の半導体層の層厚は1〜20μmが好ましい。
本発明では、窒化物半導体層と基板の、同一方向の側面において、両側面が連続した面を形成していないことが好ましい。本発明では、光は窒化物半導体層内に集中するが、窒化物半導体層と基板との接合面の外側部において図1のように空間が生ずると、その箇所での屈折率の変化が大きくなり、光が発光面側に戻りやすくなるからである。
傾斜面の作成をオルト燐酸を用いたウェットエッチで行うことは好ましい。ウェットエッチは熱平衡下の反応であるため結晶へのダメージがなく、エッチングされる結晶の透明性を損ねる事がない。
またオルト燐酸を用いて表面が主に(0001)面よりなる窒化物半導体層をウェットエッチすると、側面には表面に対し傾斜をもっている(1-10-1)面に等価なファセット面が発達し易いが、ファセット面は原子レベルで平坦であり高い反射率が得られる。
上記の基板上に窒化ガリウム系化合物半導体を積層するために、特許第3026087号公報や特開平4−297023号公報に開示されている低温バッファ法や特開2003−243302号公報などに開示されているSeeding Process(SP)法と呼ばれる格子不整合結晶エピタキシャル成長技術を用いることができる。
下地層の上に電極と接触し、電流を供給するためn型GaNコンタクト層を成長させる。n型GaNコンタクト層には1×1018cm-3〜1×1019cm-3になる様にn型ドーパントを供給しながら成長させる。n型ドーパントとしては一般的にはSiやGeが選ばれる。ドーピングに関して一様ドープする場合や周期的に低ドープ層と高ドープ層を繰り返す構造をとる場合がある。特に後者の間歇ドープでは結晶成長中に発生するピットの抑制に有効である。
クラッド層上の発光層としては量子井戸構造とするのが好適である。井戸層が1つしかない単一量子井戸構造でも良いし、複数の井戸層を有する多重量子井戸構造でも良い。中でも、多重量子井戸構造は、III族窒化ガリウム系化合物半導体を用いた素子の構造としては高出力と低駆動電圧を兼ね備えることができるので、好適である。なお、多重量子井戸構造の場合、井戸層(活性層)と障壁層を併わせた全体を本明細書では発光層と呼ぶ。
負極は、各種組成および構造の負極が周知であり、これら周知の負極を何ら制限なく用いることができる。nコンタクト層と接する負極用のコンタクト材料としては、Al、Ti、Ni、Auなどのほか、Cr、W、Vなどを用いることができる。負極全体を多層構造としてボンディング性などを付与することができることは言うまでもない。特に、最表面をAuで覆うことは、ボンディングをしやすくするためには好ましい。
透光性の正極材料としては、Pt、Pd、Au、Cr、Ni、Cu、Coなどを含んでも良い。また、その一部が酸化されている構造とすることで、透光性が向上することが知られている。反射型の正極材料としては、上記の材料の他に、Rh、Ag、Alなどを用いることができる。
本発明に用いることができるレーザー加工機としては、半導体ウェハーを各チップに分離可能な割溝を形成できるものであればどのようなタイプでも良い。具体的には連続線状、点線状、破断形状の分離溝が形成できるCO2レーザー、YAGレーザー、エキシマ・レーザーおよびパルスレーザーなどを用いることができる。なかでもパルスレーザーが好ましい。
加工部に吹き付けるガスとしては、酸素、窒素、ヘリウム、アルゴン、水素などを何ら制限無く用いることができる。特に冷却効果の高いヘリウム、水素、窒素などが挙げられるが、好ましくは安価な窒素である。ガスの吹き付けは、先端のノズル径が細いほど好ましい。ノズル径が細いほど、局所的な吹き付けが可能となり、ガス流速を早くすることができる。
素子の分割をするスクライブは機会的に走査するため、直線状での走査を行うことでスクライブ速度をあげることが可能となる。一方向のスクライブ終了後、他方向のスクライブを行うが、特別の理由がない場合、90°違えた方向で直線状スクラブを行うことにより、矩形の素子を得ることが可能である。
本発明により形成される面は(1-10-1)のファセット面が発達し易い。同面は6面の等価面を持つ。そこで素子側面を6角形とし、各辺を(1-100)面方向に一致させると、傾斜面形成後、素子側面は平坦なファセット面より形成され、反射率があげることが可能となる。
ステージの駆動はコンピューター制御によって行うので、この操作は容易である。
本発明による実施例を以下に示す。
基板としてサファイア(Al2O3)C面基板を用い、その上に特開2003−243302号公報にある方法に従ってAlNバッファを介してアンドープのGaN層を6μm、Geを周期的にドープして平均のキャリア濃度が1×1019cm-3となるようにしたn型コンタクト層を4μm、In0.1Ga0.9Nからなる厚さ12.5nmのnクラッド層、GaNからなる厚さ16nmの障壁層とIn0.2Ga0.8Nからなる厚さ2.5nmの井戸層を交互に5回積層させた後、最後に障壁層を設けた多重量子井戸構造の発光層、In0.07Ga0.93Nからなる厚さ10nmのpクラッド層を設け、Mgドープ(濃度8×1019/cm3)Al0.03Ga0.97Nからなる厚さ0.15μmのpコンタクト層を順次積層して基板上の窒化物半導体層とした。
この化合物半導体積層層のpコンタクト層上の所定の位置に公知のリソグラフおよびリフトオフ法を用いて、pコンタクト層側から順にPtおよびAuよりなる透光性の正極を形成した。続いて公知のリソグラフとリフトオフにより、半導体側からボンディング用パッドを形成した。
個々の素子への電極作成工程が終了した図3に示すウェハにリソグラフに用いたフォトレジストを塗布する。再度リソグラフにより素子の境界部分のみを露出させる。
割溝作成後の基板を、加熱装置を用いて240℃に熱したオルトリン酸の入った石英ビーカー中に20分間浸漬してウェットエッチングを行った。窒化物半導体層のエッチング量は5.2μmであった。ウェットエッチングの終了した基板及び窒化物半導体層は超音波中で水洗を行い、更に有機洗浄によりレジストからなるエッチングマスクの除去を行った。
分離した素子の出力を積分球で評価したところ7.1mWであった。また素子側面をSEMにより観察したところ窒化物半導体層の側面は、垂直に割れたサファイア基板側面に対して、図1(a)に示すように側面の法線は基板主面の法線に対し傾き角度(θ)は130度であった。
比較のためにウェットエッチングを実施しない場合の実施例を示す。
実施例1と同じ条件で窒化物半導体層の成長と窒化物半導体層の除去を行った。
割溝作成後、ウェットエッチングを実施しないで素子分離を行った。分離した素子の側面は基板主面に対し垂直であった。
分離した素子の出力を評価したところ5.1mWであった。また素子側面の角度は垂直に割れた基板側面と略同じ法線を持っていた。
101 p側パッド
102 透光性の正極
103 n側パッド
104 個々の素子の境界
105 窒化物半導体層を除去するライン
201 基板
202 窒化物半導体層
203 光の進行矢線
204 窒化物半導体層の側面の法線
205 基板主面の法線
206 発光層
A 発光点
θ 窒化物半導体層の側面の法線と基板主面の法線とのなす角度
Claims (17)
- 基板と、基板上に積層された発光層を含む窒化物半導体層、とを含む窒化物半導体発光素子であって、前記窒化物半導体層の少なくとも基板と発光層の間の窒化物半導体層の側面の法線が窒化物半導体層表面の法線に対して90度より大きい角度を有することを特徴とする窒化物半導体発光素子。
- 表面に対して90度より大きい角度を有する側面をもつ半導体層が発光層を含まず、基板と発光層の間の窒化物半導体層に限られることを特徴とする請求項1に記載の窒化物半導体発光素子。
- 窒化物半導体表面層と発光層の間の窒化物半導体層側面が垂直であることを特徴とする請求項1または2に記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板と発光層の間の半導体層の側面の法線と半導体層表面の法線とのなす角度θが95度以上170度以下である請求項1〜3のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板と発光層の間の半導体層の側面の法線と半導体層表面の法線とのなす角度θが100度以上160度以下である請求項1〜4のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 半導体層の側面の法線と半導体層表面の法線とのなす角度θが90度より大きい角度を有する半導体層の層厚が1μmから20μmの間であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板がサファイア(Al2O3)であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板が炭化珪素(SiC)であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板上に積層された窒化物半導体層表面が(0001)面を主な面とすることを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子。
- 基板と、基板上に積層された発光層を含む窒化物半導体層、とを含む窒化物半導体発光素子の製造方法であって、窒化物半導体層の表面側を所定のパターンをもったマスクで覆う工程と、素子に分割する部位の窒化物半導体層を基板に達するまで除去する工程と、分割する部位の窒化物半導体層の除去後にウェットエッチング処理する工程と、各素子に分割する工程とを、含むことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 基板がサファイアであることを特徴とする請求項10に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 基板が炭化珪素であることを特徴とする請求項10に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- マスクがフォトレジストであることを特徴とする請求項10〜12のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
- 窒化物半導体層を除去する工程がレーザーによってなされることを特徴とする請求項10〜13のいずれかに記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 窒化物半導体層を除去する工程がドライエッチングによってなされることを特徴とする請求項10〜13のいずれかに記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- 窒化物半導体層を除去する工程がダイサーによってなされることを特徴とする請求項10〜13の何れか1項に記載の窒化物半導体素子の製造方法。
- ウェットエッチング処理をオルトリン酸を用いて行うことを特徴とする請求項10〜16のいずれかに記載の窒化物半導体発光素子の製造方法。
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