JP2006253653A - 平板表示装置製造システム - Google Patents
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Abstract
本発明は、レーザービームに与える気流の影響を最小化することができる、平板表示装置製造システムを提供することを技術的課題とする。
【解決手段】
このために、本発明の実施例による平板表示装置製造システムは、非晶質物質が塗布された表示板を移送する移送ユニット(20)、及び非晶質物質にレーザービームを照射するレーザーユニット(10)を含む。そして、レーザーユニット(10)は、レーザービームを選択的に通過させるマスク(14)、マスクを通過したレーザービームを非晶質物質に照射するために設定された比率で縮小する縮小レンズ部(15)、そしてレーザービームの焦点が結ばれるマスクと縮小レンズ部との間への外部気流の流入を遮断する遮断部(16)を含む。
【選択図】図1
Description
例えば、液晶表示装置は、共通電極や色フィルター(color filter)などが形成されている上部表示板と画素電極や薄膜トランジスタなどが形成されている下部表示板との間に液晶物質を注入しておいて、共通電極及び画素電極に互いに異なる電位を印加することによって電界を生成して液晶分子の配向を変更させ、これによって光の透過率を調節することによって画像を表示する装置である。
まず、上部表示板に共通電極や色フィルターなどを形成し、下部表示板に画素電極や薄膜トランジスタなどを形成する。
次に、二つの表示板に液晶物質の液晶分子を配向するための配向膜を塗布して、配向処理する。
次に、下部表示板に密封材を使用して所定の閉殻形状の枠組で定義されたアクティブ領域(active area)を形成する。
次に、アクティブ領域に液晶物質を滴下する。
そして、二つの表示板を真空雰囲気下で組立て、前記密封材を硬化する。
特に、下部表示板に形成される薄膜トランジスタの性能を向上させるためには、薄膜トランジスタの半導体層の非晶質シリコンを結晶化することが重要である。
非晶質シリコンを結晶化するための液晶表示装置製造システムとしては様々な種類が知られており、最近では、レーザーを利用した順次横方向結晶化(SLS、sequential lateral solidification)方式の装置が主に使用されている。
前記移送ユニットは、レールが形成されたフレーム、レールに相応するように形成され、レールに沿って移動するガイダー、レールとガイダーとの間に形成され、ガイダーをレールから設定された距離だけ離隔させる空気ベアリング、そしてガイダーに形成され、表示板が搭載されるステージを含む。
ステージの移送時に発生する気流、空気ベアリングによって発生する気流、そしてマスクで発生する熱による自然対流などによって、マスクと縮小レンズ部との間に結ばれるレーザービームの焦点(focus)がぶれる現象が発生することがある。
そして、前記レーザーユニットは、前記レーザービームを選択的に通過させるマスクと、前記マスクを通過したレーザービームを前記非晶質物質に照射するために設定された比率で縮小する縮小レンズ部と、前記レーザービームの焦点が結ばれる前記マスクと前記縮小レンズ部との間への外部気流の流入を遮断する遮断部とを含む。
本発明によれば、マスクと縮小レンズ部との間に遮断部が形成されることによって、マスクと縮小レンズ部との間をすぎるレーザービームが気流の影響を受けない利点がある。
11 レーザー発生部
12 調節レンズ部
13 集束レンズ部
14 マスク
15 縮小レンズ部
16、30 遮断部
20 移送ユニット
21 フレーム
22 ガイダー
23 空気ベアリング
24 ステージ
Claims (15)
- 表示板上の非晶質物質にレーザービームを照射するレーザーユニットを含む平板表示装置製造システムにおいて、前記レーザーユニットは、
前記レーザービームを選択的に通過させるマスクと、
前記マスクを通過したレーザービームを前記非晶質物質に照射するために縮小する縮小レンズ部と、
前記レーザービームの焦点が結ばれる前記マスクと前記縮小レンズ部との間への外部気流の流入を遮断する遮断部とを有することを特徴とする平板表示装置製造システム。 - 前記遮断部は、
上部が開放されて下部が閉鎖された中空形状の外囲器を含み、
前記外囲器の上部の開放部分は前記マスクに固定され、
前記縮小レンズ部は前記外囲器の内部に位置することを特徴とする請求項1記載の平板表示装置製造システム。 - 前記外囲器の内部は、所定の真空度に保持されることを特徴とする請求項2記載の平板表示装置製造システム。
- 前記外囲器の内部は、不活性気体で満たされることを特徴とする請求項2に記載の平板表示装置製造システム。
- 前記外囲器は、透明材質または半透明材質からなることを特徴とする請求項2記載の平板表示装置製造システム。
- 前記外囲器は、不透明材質からなり、前記外囲器の下部に前記レーザービームが通過することができるビーム通過部が形成されることを特徴とする請求項2記載の平板表示装置製造システム。
- 前記ビーム通過部は、前記外囲器の下部に形成され、前記レーザービームが通過する部位に形成される通過孔と、前記通過孔に形成され、前記通過孔を閉鎖する透明材質からなる窓部を含むことを特徴とする請求項6記載の平板表示装置製造システム。
- 前記透明材質は、石英であることを特徴とする請求項7記載の平板表示装置製造システム。
- 前記遮断部は、その上部及び下部が開放された中空形状の外囲器を含み、
前記外囲器の上部の開放部分は前記マスクに固定され、
前記外囲器の下部の開放部分は前記縮小レンズ部に固定されていることを特徴とする請求項1記載の平板表示装置製造システム。 - 前記外囲器の内部は、所定の真空度に保持されることを特徴とする請求項9記載の平板表示装置製造システム。
- 前記外囲器の内部は、不活性気体で満たされることを特徴とする請求項9記載の平板表示装置製造システム。
- 請求項1記載の平板表示装置製造システムにおいて、前記非晶質物質が塗布された表示板を移送する移送ユニットをさらに含み、前記移送ユニットは、
レールが形成されたフレームと、
前記レールに沿って移動するガイダーと、
前記レールと前記ガイダーとの間に形成され、前記ガイダーを前記レールから設定された距離だけ離隔させる空気ベアリングと、
前記ガイダーに形成され、前記表示板が搭載されるステージとを含み、前記ステージの角部分には下向きに傾斜して形成された気流ガイダーを具備することを特徴とする平板表示装置製造システム。 - 前記気流ガイダーは、曲面形状であることを特徴とする請求項12記載の平板表示装置製造システム。
- 非晶質物質が塗布された表示板を移送する移送ユニットと、前記非晶質物質にレーザービームを照射するレーザーユニットとを含む平板表示装置製造システムにおいて、前記移送ユニットは、
レールが形成されたフレームと、
前記レールに沿って移動するガイダーと、
前記レールと前記ガイダーとの間に形成され、前記ガイダーを前記レールから設定された距離だけ離隔させる空気ベアリングと、
前記ガイダーに形成され、前記表示板が搭載されるステージとを含み、前記ステージの角部分には下向きに傾斜して形成された気流ガイダーを具備することを特徴とする平板表示装置製造システム。 - 非晶質物質が塗布された表示板を移送する移送ユニットと、前記非晶質物質にレーザービームを照射するレーザーユニットとを含む平板表示装置製造システムにおいて、前記レーザーユニットは、
前記レーザービームを発生させるレーザー発生部と、
前記発生したレーザービームのエネルギーの大きさを調節する調節レンズ部と、
前記エネルギーの大きさが調節されたレーザービームを集束する集束レンズ部と、
前記レーザービームを選択的に通過させるマスクと、
前記マスクを通過したレーザービームを前記非晶質物質に照射するために設定された比率で縮小する縮小レンズ部と、
前記レーザービームの焦点が結ばれる前記マスクと前記縮小レンズ部との間への外部気流の流入を遮断する遮断部を含み、前記遮断部は、
上部が開放された中空形状の外囲器を含み、
前記外囲器の上部の開放部分は前記マスクに固定され、
前記縮小レンズ部は前記外囲器の内部に位置し、
前記移送ユニットは、
レールが形成されたフレームと、
前記レールに相応するように形成され、前記レールに沿って移動するガイダーと、
前記レールと前記ガイダーとの間に形成され、前記ガイダーを前記レールから所定の距離だけ離隔させる空気ベアリングと、
前記ガイダーに形成され、前記表示板が搭載されるステージとを含み、
前記ステージの角部分には下向きに傾斜して形成された気流ガイダーを具備することを特徴とする平板表示装置製造システム。
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