JP2006247643A - 塗布装置およびそれを用いた洗浄方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ダイコーターのダイヘッド内を洗浄液によって洗浄するため洗浄装置およびそれを用いたダイヘッド内の洗浄方法の提供を目的とする。
【解決手段】ダイヘッドのスリット先端から排出されてくる洗浄液を流入させるための液溜まりを有していて、ダイヘッド先端部を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバーをダイヘッドの先端部分を覆うように装着した後、ダイヘッドのマニホールドとスリット、並びに洗浄カバーの液溜まりの中に制御バルブを経由して洗浄液をその供給量を調整しながら送り込むと共に、洗浄カバー、ダイヘッドブロック、供給管等に付設の超音波振動子で洗浄液を振動させながらダイヘッド内の洗浄を行う。
【選択図】図１

Description

本発明は、ダイコーターのダイヘッド内を洗浄液によって洗浄するための洗浄装置およびそれを用いたダイヘッドの洗浄方法に関する。

従来から、連続的に走行するウエブ状または枚葉状の被塗布基材上に塗布液を安定的に塗布するための塗布装置としてダイコーターがよく利用されている。そして、このようなダイコーターのダイヘッドの洗浄に際しては、一般的にはダイヘッドに塗布液を液送するための配管を利用し、そこから洗浄液をダイヘッド内のマニホールドやスリットの部分に連続的に注入することによりダイヘッド内部の汚れや付着物を除去する方法が取られている。

しかしながら、上記したようなダイヘッドの洗浄方法では、塗布装置におけるダイヘッドへの塗布液供給方式がダイヘッド後部中央から行う中央供給方式の場合やダイヘッド本体を覆うサイドプレートから行う側面供給方式の場合には、洗浄液を使用した洗浄に際しては、ダイヘッド内の端部まで洗浄液が供給し難くなってしまい、洗浄が不十分となってしまうことがよくあった。

このような場合、あるいは塗布液を変更する場合のダイヘッドの洗浄においては、ダイヘッドを分解し、手作業で洗浄を行うことがよくあるが、ダイヘッドは非常に重く、分解や再組立に多大な労力を必要とし、さらには再組立後の調整にも時間を要していた。また、ダイヘッドを分解して洗浄する時に塗布液や洗浄液が作業者の身体に触れることが危惧されるため、ダイヘッドを分解せずにその内部を効率的、かつ確実で安全に洗浄可能な洗浄方法の開発が益々期待されるようになっている。

このような状況に対処するため、ダイコーターのダイヘッドのスリット先端部を着脱式のブロックにより閉じた状態としてから、ダイヘッド側部とスリット先端部からスプレーノズルにより洗浄液を噴霧し、マニホールド及びスリットの付着物をダイヘッドの塗布液の入口から連続的に押し出すことで、ダイヘッドを分解することなく、内部の洗浄を行う方法や装置が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

しかしながら、上記の洗浄方法や装置では、ダイヘッドが広幅になるほどマニホールド及びスリット内の端部に付着した汚れは取りにくくなり、また、洗浄を行うために塗布装置の既存の配管等を組み直す必要もあり、組み立等に時間がかかり作業効率が悪いという問題点があった。
特開２０００−３３３１３号公報

本発明は以上のような状況に基づいてなされたものであり、その課題とするところは、ダイコーターのダイヘッド内に洗浄を、ダイコーターのダイヘッドを分解することなく、特にマニホールド及びスリットの端部に付着した汚れも効率よく除去することができるようにした洗浄装置とそれを用いた洗浄方法の提供にある。

以上の課題を達成するためになされ、請求項１に記載の発明は、 ダイコーターのダイヘッド内を洗浄液で洗浄するための装置であって、ダイヘッドのスリット先端から排出さ
れてくる洗浄液を流入させる液溜まりを一部に有していて、ダイヘッドのダイヘッド先端部を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバーと、さらに、ダイヘッドのマニホールドの一端に連設されている洗浄液供給管並びにこの洗浄液供給管に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとの組合せになるダイヘッド部供給用ユニットと、ダイヘッド後部のスリットセンター部に連設されている洗浄液供給管並びにこの洗浄液供給管に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとの組合せになるスリット部供給用ユニットの少なくとも一方のユニットと、マニホールドの他端に連設されている洗浄液排出管並びにこの洗浄液排出管に排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブの組合せになるマニホールド部排出用ユニットと、洗浄カバー内の液溜まりを経由して排出されてくる洗浄液を排出させる洗浄液排出管並びにこの洗浄液排出管から排出されてくる洗浄液の洗浄カバー外への排出量を制御するための排出制御バルブとの組合せになるカバー部排出用ユニットの少なくとも一方のユニットとを具備していると共に、超音波振動子が付設されていて、洗浄液を超音波で振動できるようになっていることを特徴とする洗浄装置である。

また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の洗浄装置において、ダイヘッドのダイヘッドブロックの一部にはマニホールドとスリット内の洗浄液を振動させるための超音波振動子が、洗浄カバーの一部には液溜まり内の洗浄液を振動させるための超音波振動子がそれぞれ付設されていることを特徴とする。

さらにまた、請求項３に記載の発明は、請求項１に記載の洗浄装置において、洗浄液供給管のマニホールドとの連設個所もしくはスリットセンターとの連設個所に近接する個所の少なくともどちらかには洗浄液を振動させるための超音波振動子が付設されていることを特徴とする。

さらにまた、請求項４に記載の発明は、請求項１記載の洗浄装置を用いたダイヘッドの洗浄方法であって、ダイヘッドのダイヘッド先端から排出されてくる洗浄液を流入させる液溜まりを一部に有していて、ダイヘッドのダイヘッド先端部を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバーをダイヘッドの先端部分を覆うように密閉状態で装着すると共に、ダイヘッドのマニホールドへ供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとダイヘッドのスリットへ供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとを作動させ、少なくともどちらかの洗浄液供給管からダイヘッド内に洗浄液を注入させた後、付設の超音波振動子により洗浄液を振動させることを特徴とする洗浄方法である。

さらにまた、請求項５に記載の発明は、請求項４記載の洗浄方法において、洗浄カバーとダイヘッドブロックに付設の超音波振動子を作動させてダイヘッド内の洗浄液を振動させながら、マニホールドから排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブと洗浄カバー外へ排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブとを作動させることにより、少なくともどちらかの排出制御バルブを経由させて洗浄液をダイヘッドから洗浄液排出管側へと排出させて洗浄を行うようにしたことを特徴とする。

さらにまた、請求項６に記載の発明は、請求項４記載の洗浄方法において、洗浄液供給管のマニホールドもしくはスリットセンター部との連設個所近接する個所の少なくともどちらかに付設されている超音波振動子のいずれかを作動させて洗浄液を振動させながら洗浄を行うことを特徴とする。

本発明によれば、ダイコーターのダイヘッドを分解することなく、マニホールド及びスリットの端部に付着した汚れも効率よく除去することができる。また、洗浄に際しては塗
布装置の塗布液の供給路や排出路の一部を洗浄液の供給や排出のための液送管として利用することができるため、洗浄作業の度に洗浄用の配管を大幅に組み直す従来のものに較べて作業時間の短縮化が一段と図れるようになる。また、ダイコーターは塗布に際してもそのままの構成で使用できるため、塗布液が経時変化してその中に凝集が生じやすい場合などには、そこに付設の超音波振動子から超音波を発振させて塗布液を振動させながら塗布を行うことにより、安定した塗布を行うことができるようにもなる。

以下、本発明の実施の形態を図面を参照にして説明する。図１は、本発明に係る洗浄装置と循環機構の概略の構成を示す一部断面説明図である。また、図２は、着脱式の洗浄カバーのダイヘッドへの装着状態を示す断面説明図である。

この洗浄装置は、ダイコーターのダイヘッド内を洗浄液で洗浄するための装置であって、ダイヘッド１のスリット先端から排出されてくる洗浄液を流入させる液溜まり２７を一部に有していて、ダイヘッド１のヘッド先端部２６を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバー３と、さらに、ダイヘッド１のマニホールド４の一端に連設されている洗浄液供給管１８並びにこの洗浄液供給管１８に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブ１０との組合せになるダイヘッド部供給用ユニットと、ダイヘッド後部のスリットセンター部に連設されている洗浄液供給管１７並びにこの洗浄液供給管１７に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブ１１との組合せになるスリット部供給用ユニットの少なくとも一方のユニットと、マニホールド４の他端に連設されている洗浄液排出管１９並びにこの洗浄液排出管１９に排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブ１２との組合せになるマニホールド部排出用ユニットと、洗浄カバー３内の液溜まり２７を経由して排出されてくる洗浄液を排出するための排出口に連設されている洗浄液排出管２０並びにこの洗浄液排出管２０から排出されてくる洗浄液の洗浄カバー３外への排出量を制御するための排出制御バルブ１３との組合せになるカバー部排出用ユニットの少なく一方のユニットとを具備している。そして、ダイヘッド１のダイヘッドブロック１ｂの一部にはマニホールド４とスリット５内の洗浄液を振動させるための超音波振動子３０が、洗浄カバー３の一部には液溜まり２７内の洗浄液を振動させるための超音波振動子２８がそれぞれ付設されている。

また、図中、６は洗浄液を貯蔵しておくためのタンクであり、ここに貯蔵してある洗浄液が洗浄液供給管１４、ポンプ７、洗浄液供給管１５、フィルター８、洗浄液供給管１６、Ｔ型ジョイント９のそれぞれを経由して洗浄液供給路の一部を構成する供給管１８と洗浄液供給管１７まで液送され、さらに供給制御バルブ１０と供給制御バルブ１１での供給量の制御の元、ダイヘッド内のマニホールド４および／またはスリット５に適宜の供給量で供給されるようになっている。また、２９はシムプレートを示している。

一方、このようにしてダイヘッド１内に供給された洗浄液は、後で詳述する超音波振動素子により超音波振動されながら、排出制御バルブ１２、１３での排出量の制御の元、洗浄液排出路の一部を構成する洗浄液排出管１９および／または洗浄液排出管２０に向かって排出され、Ｔ型ジョイント２２と洗浄液排出管２１を経由してタンク６に液送され、そこに再び貯蔵されるようになっている。

着脱式の洗浄カバー３は、図２や図３にも示すように、ダイヘッド前部のスリット先端（リップ先端）から排出されてくる洗浄液を流入させるハンガー状の空間（液溜まり２７）を一部に有し、ダイヘッド先端部２６を密閉状態で覆うようにカバー固定治具２５で取り外し可能な状態で装着されるような構成となっていると共に、その先端部分の一部には、液溜まり２７内の洗浄液を超音波振動させるための超音波振動子２８が設けられている。これは、この液溜まり２７内の洗浄液を超音波振動子２８により振動させ、スリット内
の付着物を除去したり、凝集物が再集合しないようにするためである。カバー固定治具２５と超音波振動子２８のカバー３の側面部分における付設状態を示しているのが図５である。

他方、ダイヘッド１の側面（ダイヘッドブロック）の一部（１ｂ）には、上述したように、マニホールド４とスリット５内の洗浄液を超音波振動させるための複数個の超音波振動子３０、３０・・・が固定治具３１、３１・・・でそれぞれ取り付けられている（図２、図４参照）。この超音波振動子３０もマニホールド４とスリット５内に洗浄液がある時に作動して、洗浄液を振動させ、内面の付着物を除去したり、凝集物が生成されないようにするために設けられているものである。

これらの超音波振動子は圧電振動子型のものであり、その圧電材料として、圧電セラミックス（ＢａＴｉＯ₃、ＰＺＴ、ＰｂＴｉＯ₃）、圧電薄膜（ＺｎＯ）、圧電高分子膜等を用いたものが採用され得る。

以下、上述したような洗浄装置を用いたダイヘッドの洗浄方法について述べる。

まず、タンク６内に貯蔵してある洗浄液をポンプ７により供給管１４、供給管１５、フィルター８、供給管１６、Ｔ型ジョイント９、供給管１８、供給管１７のそれぞれを経由させて供給制御バルブ１０と供給制御バルブ１１まで液送する。

各供給制御バルブ１０と供給制御バルブ１１まで送られてきた洗浄液は、次に、供給制御バルブ１０と供給制御バルブ１１とで供給量が制御され、ダイヘッド１内のマニホールド４および／またはスリット５に適宜の量で供給される。即ち、ダイヘッド１内への洗浄液の供給方法には、供給制御バルブ１０から供給する方法と、供給制御バルブ１１から供給する方法と、そして、マニホールド４およびスリット５に汚れが沈降しないように液の対流を作ることで汚れを巻き上げ取り除きたい場合には供給制御バルブ１０と供給制御バルブ１１の両方から供給する方法がある。

ダイヘッド３内に供給された洗浄液の中で、マニホールド４とスリット５にあるものはダイヘッドブロック１ｂの側面に付設されている超音波振動子３０、３０・・・により加振され、洗浄液と超音波振動の協働により、内面に付着している付着物が除去され、あるいは洗浄液内の凝集物が分散されながら洗浄カバー３の液溜まり２７へと流れていく。そして、液溜まり２７に流れてきた洗浄液に対してはそこで付着物が留まったり再付着しないように、さらには凝集物が再凝集しないように、洗浄カバー３の先端部分の側面に付設の超音波振動子２８、２８・・・から発振される超音波により振動されながら、排出制御バルブ１３へと流れていく。

この時、ダイヘッド３内での洗浄に携わった洗浄液は、排出制御バルブ１２および／または排出制御バルブ１３を介して、洗浄液排出路の一部を構成する排出管１９と排出管２０とから適宜排出される。この場合、マニホールド３内に使用済みの洗浄液が溜まらないようにする場合には排出制御バルブ１２から、スリット５内に使用済みの洗浄液が溜まらないようにする場合には排出制御バルブ１３から、また、マニホールド４およびスリット５内に使用済みの洗浄液が溜まらないようにするの場合には排出制御バルブ１２と排出制御バルブ１３の両方を介して使用済みの洗浄液を排出すればよい。

排出管１９と排出管２０の一方または両方に排出された洗浄液は、Ｔ型ジョイント２２、排出管２１を経由して液送され、タンク６へ戻り、一連の洗浄作業が終了する。このような一連の洗浄作業はさらに複数回繰り返してもよく、さらには洗浄液の供給、排出のルートを上述したものいずれかに適宜変更しながら洗浄作業を行ってもよい。

図６は、本発明に係る他の洗浄装置とその循環機構における概略の構成を示す一部断面説明図であり、図７は、着脱式の洗浄カバーのダイヘッドへの装着状態を示す断面説明図である。また、図８は、洗浄カバーを装着している時の洗浄カバーとダイヘッドの長手方向における装着状態を示す側面説明図である。

ここに示す洗浄装置は、ダイヘッド１０１のスリット先端から排出されてくる洗浄液を流入させる液溜まり１２７を一部に有していて、ダイヘッド先端部１２６を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバー１０３と、さらに、ダイヘッド１０１のマニホールド１０４の一端に連設されている洗浄液供給管１２０並びにこの洗浄液供給管１２０に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブ１１２との組合せになるダイヘッド部供給用ユニットと、ダイヘッド後部のスリットセンター部に連設されている洗浄液供給管１２１並びにこの洗浄液供給管１２１に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブ１１１との組合せになるスリット部供給用ユニットの少なくとも一方のユニットと、マニホールドの他端に連設されている洗浄液排出管１２３並びにこの洗浄液排出管１２３に排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブ１１５の組合せになるマニホールド部排出用ユニットと、洗浄カバー１０３内の液溜まり１２７を経由して排出されてくる洗浄液を排出するための排出口に連設されている洗浄液排出管１２２並びにこの洗浄液排出管１２２から排出されてくる洗浄液の洗浄カバー外への排出量を制御するための排出制御バルブ１１４との組合せになるカバー部排出用ユニットの少なくとも一方のユニットを具備している。

そして、洗浄液供給管１２０のマニホールド１０４との連設個所と洗浄液供給管１２１のスリットセンターとの連設個所に近接する個所には洗浄液を振動させるための超音波振動子１１２と超音波振動子１１３がそれぞれ付設されている。

また、図６中、１０６は洗浄液を貯蔵しておくためのタンクであり、ここに貯蔵してある洗浄液が洗浄液供給用の供給管１１７、ポンプ１０７、供給管１１８、フィルター１０８、供給管１１９、Ｔ型ジョイント１０９のそれぞれを経由して洗浄液供給路の一部を構成する供給管１２０と供給管１２１まで液送され、さらに供給制御バルブ１１０と供給制御バルブ１１１での供給量の制御の元、ダイヘッド内のマニホールド１０４および／またはスリット１０５に適宜の供給量で供給されるようになっている。また、１２８はシムプレートを示している。

一方、このようにしてダイヘッド１０１内に供給された洗浄液は、超音波振動素子により超音波振動されながら、排出制御バルブ１１５や排出制御バルブ１１４での排出量の制御の元、洗浄液排出路の一部を構成する排出管１２３および／または排出管１２２に向かって排出され、Ｔ型ジョイント１１６と排出管１２４を経由してタンク１０６に液送され、そこに再び貯蔵されるようになっている。

また、着脱式の洗浄カバー１０３は、図７や図８にも示すように、ダイヘッド前部のスリット先端（リップ先端）から排出されてくる洗浄液を流入させるハンガー状の空間（液溜まり１２７）を一部に有し、ダイヘッド先端部１２６を密閉状態で覆うようにカバー固定治具１２５で取り外し可能な状態で装着されるような構成となっている。

図９にも本発明に係る洗浄装置と循環機構の概略の構成が示してあるが、この洗浄装置は、洗浄液が供給制御バルブ２１０と供給管２２９を経由し、超音波振動子２１２の部分で振動されながらマニホールド２０４に供給される構造のものが示してある。また、図１０に示す洗浄装置は、洗浄液が供給制御バルブ３１１と供給管３３０を経由し、超音波振動子３１３の部分で振動されながらダイヘッド３０１のスリットセンター部に供給される
構造のものが示してある。

以下、上述したような洗浄装置を用いたダイヘッドの洗浄方法について述べる。

図６に示す洗浄装置と循環機構において、まず、タンク１０６内に貯蔵してある洗浄液をポンプ１０７により供給管１１７、供給管１１８、フィルター１０８、供給管１１９、Ｔ型ジョイント１０９、供給管１２０、供給管１２１のそれぞれを経由させて供給制御バルブ１１０と供給制御バルブ１１１まで液送する。

供給制御バルブ１１０と供給制御バルブ１１０１１１まで液送されてきた洗浄液は、次に、供給制御バルブ１１０と供給制御バルブ１１１とでその供給量が制御され、さらに超音波振動子１１２や超音波振動子１１３により加振されてから、ダイヘッド１０１内のマニホールド１０４および／またはスリット１０５に適宜の量で供給される。

図６に示す洗浄装置においてはダイヘッド１０１内への洗浄液の供給方法が３通りある。その一つ目は、供給制御バルブ１１０から洗浄液を供給する方法である。このような供給方法のみを行えるようにしたのが図９に示す洗浄装置である。二つ目の方法は、スリットセンター部から洗浄液を供給する方法である。このような供給方法のみを行えるようにしたのが図１０に示す洗浄装置である。そして、三番目の方法は、マニホールドとスリットセンター部から洗浄液を供給する方法である。この方法は、マニホールドとスリットに汚れが沈降しないように洗浄液の対流を作ることで汚れを巻き上げて取り除く場合に特に有効な方法であり、図６に示す洗浄装置により、供給制御バルブ１１０と供給制御バルブ１１１の両方から洗浄液を適宜の量で供給すればよい。

図６に示す洗浄装置による洗浄でダイヘッド１０１内での洗浄に携わった洗浄液は、排出制御バルブ１１５および／または排出制御バルブ１１４を経由し、洗浄液排出路の一部を構成する排出管１２３と排出管１２２とから適宜排出される。この場合、マニホールド１０１内に使用済みの洗浄液が溜まらないようにする場合には排出制御バルブ１１５から、スリット１０５内に使用済みの洗浄液が溜まらないようにする場合には排出制御バルブ１１４から、さらにはマニホールド１０４およびスリット１０５内に使用済みの洗浄液が溜まらないようにするの場合には排出制御バルブ１１５と排出制御バルブ１１４の両方を経由させて使用済みの洗浄液を排出すればよい。

排出管１２３と排出管１２２の一方または両方に排出された洗浄液は、Ｔ型ジョイント１１６、排出管１２４を経由して送液され、タンク１０６へと戻り、一連の洗浄作業が終了する。このような一連の洗浄作業はさらに複数回繰り返してもよく、さらには洗浄液の供給、排出のルートを上述したものいずれかに適宜変更しながら洗浄作業を行ってもよい。 図９と図１０に示す洗浄装置においても同様な方法で排出処理を行えばよい。

本発明の洗浄装置と洗浄方法は以上の如くであるが、洗浄装置の一部が塗布装置の供給路を洗浄液の供給管として併用し、しかもダイヘッドや供給管の一部には超音波振動子が付設されている構造であるので、これらを利用して塗布装置により塗布を行えば、塗布液内に凝集や沈殿物等を生じさせることなく良好な塗布を行うことが可能となる。

即ち、塗布時にダイヘッドブロックや供給管に取り付けられている超音波振動子により塗布液を加振することで、凝集しやすい塗布液でもマニホールド内での凝集を起こさずに所期の塗布を行えることが可能となる。要するに、同一の機構を使用してダイヘッド内部の洗浄および塗布液の材料改善を行うことが可能となる。

本発明の洗浄装置と循環機構の概略の構成を示す一部断面説明図である。 図１に示す洗浄装置におけるダイヘッド部を長手方向に鉛直な水平面で切り取った部分における概略の構成を示す断面説明図である。 図１に示す洗浄装置における洗浄カバーのダイヘッドへの装着状態を示す側面説明図である。 図１に示す洗浄装置のダイヘッド部の側面の状態を示す構成説明図である。 図１に示す洗浄装置の洗浄カバーの側面の状態を示す説明図である。 本発明の他の洗浄装置と循環機構の概略の構成を示す一部断面説明図である。 図６に示す洗浄装置におけるダイヘッド部を長手方向に鉛直な水平面で切り取った部分における概略の構成を示す断面説明図である。 図６に示す洗浄装置における洗浄カバーのダイヘッドへの装着状態を示す側面説明図である。 本発明のさらに他の洗浄装置と循環機構の概略の構成を示す一部断面説明図である。 本発明のさらに他の洗浄装置と循環機構の概略の構成を示す一部断面説明図である。

符号の説明

１、１０１、２０１、３０１・・・ダイヘッド
１ａ、１ｂ・・・ダイヘッドブロック
２、１０２、２０２、３０２・・・サイドプレート
３、１０３、２０３、３０３・・・洗浄カバー
４、１０４、２０４、３０４・・・マニホールド
５、１０５、２０５、３０５・・・スリット
６、１０６、２０６、３０６・・・タンク
７、１０７、２０７、３０７・・・ポンプ
８、１０８、２０８、３０８・・・フィルター
９、１０９、２０２、１１６、２１６・・・Ｔ型ジョイントバルブ
１０、１１、１１０、１１１、２１０、３１１・・・供給制御バルブ
１２、１３、１１４、１１５、２１３、２１５・・・排出制御バルブ
１４、１５、１６、１７、１８、１１７、１１８、１１９、１２０、１２１、２１７、２１８、２２９、３１７、３１８、３３０・・・供給管
１９、２０、２１、１２２、１２３、１２４、２２２、２２３、２２４・・・排出管
２８、３０、１１２、１１３、２１２、３１１・・・超音波振動子
２５、１２５・・・カバー固定治具
２６、１２６・・・ヘッド先端部
２７、１２７、・・・液溜まり
３１・・・固定治具

Claims (6)

1. ダイコーターのダイヘッド内を洗浄液で洗浄するための装置であって、ダイヘッドのスリット先端から排出されてくる洗浄液を流入させる液溜まりを一部に有していて、ダイヘッドのダイヘッド先端部を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバーと、さらに、ダイヘッドのマニホールドの一端に連設されている洗浄液供給管並びにこの洗浄液供給管に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとの組合せになるダイヘッド部供給用ユニットと、ダイヘッド後部のスリットセンター部に連設されている洗浄液供給管並びにこの洗浄液供給管に供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとの組合せになるスリット部供給用ユニットの少なくとも一方のユニットと、マニホールドの他端に連設されている洗浄液排出管並びにこの洗浄液排出管に排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブの組合せになるマニホールド部排出用ユニットと、洗浄カバー内の液溜まりを経由して排出されてくる洗浄液を排出させるための洗浄液排出管並びにこの洗浄液排出管から排出されてくる洗浄液の洗浄カバー外への排出量を制御するための排出制御バルブとの組合せになるカバー部排出用ユニットの少なくとも一方のユニットとを具備していると共に、超音波振動子が付設されていて、洗浄液を超音波で振動できるようになっていることを特徴とする洗浄装置。
2. ダイヘッドのダイヘッドブロックの一部にはマニホールドとスリット内の洗浄液を振動させるための超音波振動子が、洗浄カバーの一部には液溜まり内の洗浄液を振動させるための超音波振動子がそれぞれ付設されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄装置。
3. 洗浄液供給管のマニホールドとの連設個所もしくはスリットセンターとの連設個所に近接する個所の少なくともどちらかには洗浄液を振動させるための超音波振動子が付設されていることを特徴とする洗浄装置。
4. 請求項１記載の洗浄装置を用いたダイヘッドの洗浄方法であって、ダイヘッドのスリット先端から排出されてくる洗浄液を流入させる液溜まりを一部に有していて、ダイヘッドのダイヘッド先端部を密閉状態で覆うための着脱式の洗浄カバーをダイヘッドの先端部分を覆うように密閉状態で装着すると共に、ダイヘッドのマニホールドへ供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとダイヘッドのスリットへ供給されてくる洗浄液の供給量を制御するための供給制御バルブとを作動させ、少なくともどちらかの洗浄液供給管からダイヘッド内に洗浄液を注入させた後、付設の超音波振動子により洗浄液を振動させることを特徴とする洗浄方法。
5. 洗浄カバーとダイヘッドブロックに付設の超音波振動子を作動させてダイヘッド内の洗浄液を振動させながら、マニホールドから排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブと洗浄カバー外へ排出されてくる洗浄液の排出量を制御するための排出制御バルブとを作動させることにより、少なくともどちらかの排出制御バルブを経由させて洗浄液をダイヘッドから洗浄液排出管側へと排出させて洗浄を行うようにしたことを特徴とする請求項４記載の洗浄方法。
6. 洗浄液供給管のマニホールドもしくはスリットセンター部との連設個所に近接する個所の少なくともどちらかに付設されている超音波振動子のいずれかを作動させて洗浄液を振動させながら洗浄を行うことを特徴とする請求項４記載の洗浄方法。

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