JP2006245188A - 複合コンデンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 第1の誘電体膜1の上には、出力側電極2が形成されている。また、第1の誘電体膜1の上には、出力側電極2を被覆するようにして第2の誘電体膜3が形成されている。出力側電極2の上方で第2の誘電体膜3の上には、第1の入力側電極4が形成されている。さらに、第2の誘電体膜3の上で第1の入力側電極4の両側には、第2の入力側電極5a,5bが形成されている。出力側電極2と第1の入力側電極4とで、MIM型コンデンサが構成される。また、出力側電極2と第2の入力側電極5a,5bとで、櫛型コンデンサが構成される。
【選択図】 図1
Description
図1(a)は、本実施の形態における複合コンデンサの平面図である。また、図1(b)は、図1(a)のA−A´線に沿う断面図である。
図3(a)は、本実施の形態における複合コンデンサの平面図である。また、図3(b)は、図3(a)のB−B´線に沿う断面図である。
図5(a)は、本実施の形態における複合コンデンサの平面図である。また、図5(b)は、図5(a)のC−C´線に沿う断面図である。
図7(a)は、本実施の形態における複合コンデンサの平面図である。また、図7(b)は、図7(a)のD−D´線に沿う断面図である。
2 出力側電極
3 第2の誘電体膜
4 第1の入力側電極
5a,5b 第2の入力側電極
11 第1の誘電体膜
12 第1の出力側電極
13a,13b 第2の出力側電極
14 第2の誘電体膜
15 第1の入力側電極
16a,16b 第2の入力側電極
17 第3の誘電体膜
21 第1の誘電体膜
22 出力側電極
23a,23b 第1の入力側電極
24 第2の誘電体膜
25 第2の入力側電極
26 第3の誘電体膜
27 コンタクト
31 第1の誘電体膜
32a,32b 第1の出力側電極
33a〜33c 入力側電極
34 第2の誘電体膜
35a,35b コンタクト
36 第2の出力側電極
37 第3の誘電体膜
41,43 誘電体膜
42 出力側電極
44 入力側電極
51,54 誘電体膜
52 入力側電極
53 出力側電極
Claims (4)
- 第1の誘電体膜の上に形成された第1の出力側電極と、
前記第1の出力側電極を被覆して前記第1の誘電体膜の上に形成された第2の誘電体膜と、
前記第1の出力側電極の上方で前記第2の誘電体膜の上に形成された第1の入力側電極と、
前記第2の誘電体膜の上で前記第1の入力側電極の両側に形成された第2の入力側電極とを有し、
前記第1の出力側電極と前記第1の入力側電極とでMIM型コンデンサを構成し、
前記第1の出力側電極と前記第2の入力側電極とで櫛型コンデンサを構成していることを特徴とする複合コンデンサ。 - 前記第1の出力側電極の上で前記第1の出力側電極に接続する第2の出力側電極をさらに有し、
前記第2の出力側電極と前記第1および第2の入力側電極で他の櫛型コンデンサを構成する請求項1に記載の複合コンデンサ。 - 第1の誘電体膜の上に形成された出力側電極と、
前記第1の誘電体膜の上で前記出力側電極の両側に形成された第1の入力側電極と、
前記出力側電極および前記第1の入力側電極を被覆して前記第1の誘電体膜の上に形成された第2の誘電体膜と、
前記出力側電極の上方で前記第2の誘電体膜の上に形成され、前記第1の入力側電極に接続する第2の入力側電極とを有し、
前記出力側電極と前記第2の入力側電極でMIM型コンデンサを構成し、
前記出力側電極と前記第1の入力側電極で櫛型コンデンサを構成することを特徴とする複合コンデンサ。 - 第1の誘電体膜の上に形成された複数の第1の出力側電極と、
前記第1の誘電体膜の上に形成されて、前記第1の出力側電極と交互に並んで配置された複数の入力側電極と、
前記第1の誘電体膜の上に形成された第2の誘電体膜と、
前記第2の誘電体膜の上に形成されて、前記第1の出力側電極にコンタクトを介して接続する第2の出力側電極とを有し、
前記第2の出力側電極と前記入力側電極でMIM型コンデンサを構成し、
前記第1の出力側電極と前記入力側電極で櫛型コンデンサを構成することを特徴とする複合コンデンサ。
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