JP2006237543A - ワンチップ高電圧光電池 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコンウエハとプリント基板を重ね合わせ、シリコンウエハに形成したフォトダイオード素子の各電極パッドと銅配線を設けたプリント基板の配線パッドをハンダにより接合する。その後、シリコンウエハのみを切断しフォトダイオードを電気的に分離する。さらに必要な電圧を発生するブロック毎にプリント基板を切断する。
【選択図】図1
Description
▲2▼p型拡散層
▲3▼シリコン基板スルーホール孔
▲4▼−1シリコンn層電極
▲4▼−2シリコンp層電極
▲5▼プリント基板スルーホールハンダ
▲6▼プリント基板
▲7▼プリント基板上の銅配線(ジャンピング配線、引き出し電極等)
▲8▼シリコン基板分離溝
▲9▼シリコン基板及びプリント基板分離溝
▲10▼シリコン基板内の位置決め用スルーホール孔
▲11▼プリント基板上の位置決め用パターン
▲12▼単位素子領域
▲13▼単位素子群領域
Claims (4)
- 複数個のフォトダイオード素子を搭載して光電池集合体を形成したシリコンウエハーと、受光して必要な電圧を発生する様に直列接続配線処理を施したプリント基板を直接ハンダ付け接合処理するワンチップ高電圧光電池。
- プリント基板とハンダ付け処理したシリコンウエハーをフォトダイオード素子毎に切断し、次に必要な電圧を発生するブロック毎に切断することで構成するワンチップ高電圧光電池。
- シリコンウエハー側の適切な位置に複数個のスルーホール孔を開け、それらの孔位置に対向する位置のプリント基板に位置出し用パッドを設けて、それらを用いて両者の位置出しを行うワンチップ高電圧光電池。
- シリコンウエハー側の適切な位置に複数個のハンダを付け、それらのハンダ付け位置に対向するプリント基板に位置出し用ハンダを設けてX線透過することでシリコンウエハーとプリント基板の位置出しを行うワンチップ高電圧光電池。
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