JP2006222401A - ウオーキングビーム式熱処理装置 - Google Patents
ウオーキングビーム式熱処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006222401A JP2006222401A JP2005036939A JP2005036939A JP2006222401A JP 2006222401 A JP2006222401 A JP 2006222401A JP 2005036939 A JP2005036939 A JP 2005036939A JP 2005036939 A JP2005036939 A JP 2005036939A JP 2006222401 A JP2006222401 A JP 2006222401A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- movable
- heat treatment
- treatment apparatus
- walking
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Tunnel Furnaces (AREA)
- Reciprocating Conveyors (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】 ウオーキングビーム式熱処理装置10によれば、共通の基板16を協働して搬送するための固定ビーム(第1ビーム)20および可動ビーム(第2ビーム)22のうちの外側に位置する固定ビーム20に、その固定ビーム20により支持された基板16の側縁に係合してその基板16を案内する横方向案内突起74が備えられているので、固定ビーム20および可動ビーム22の協働によって搬送される基板16のずれや脱落が好適に防止される。
【選択図】 図5
Description
16:基板
20:固定ビーム(第1ビーム)
22:可動ビーム(第2ビーム)
28:入口側昇降プレート
30:出口側昇降プレート
42:タイミングベルト(伝動部材)
44:減速機付モータ(回転駆動源)
46:カム軸
48:上下カム
50:前後カム
74:横方向案内突起
76:搬送方向案内突起
78:ハロゲンヒータ(近赤外線放射体、加熱体)
88:隔壁
90:加熱室
94:支持突起
Claims (9)
- 炉長方向の相対移動と上下方向の相対移動とが交互に行われる第1ビームおよび第2ビームと、該第1ビームおよび第2ビームの協働により搬送される基板を輻射加熱するための加熱体を有する加熱炉とを備えるウオーキングビーム式熱処理装置であって、
協働して基板を搬送するための前記第1ビームおよび第2ビームのうちの外側に位置するビームに、該ビームにより支持された基板の側縁に係合して該基板を案内する横方向案内突起を備えたことを特徴とするウオーキングビーム式熱処理装置。 - 前記横方向案内突起は、前記基板の側縁を案内するために、外側に向かうほど上側へ向かうように傾斜させられたものである請求項1のウオーキングビーム式熱処理装置。
- 前記基板をその下面から支持するために上側へ突き出す複数の支持突起が、前記第1ビームおよび第2ビームの少なくとも一方に設けられたものである請求項1または2のウオーキングビーム式熱処理装置。
- 前記第1ビームおよび第2ビームの少なくとも一方から上側へ突き出す複数の支持突起は、該第1ビームおよび第2ビームの長手方向に直交する断面において側方へ傾斜したものである請求項3のウオーキングビーム式熱処理装置。
- 前記横方向案内突起は、前記支持突起から分岐させられたものである請求項3または4のウオーキングビーム式熱処理装置。
- 前記基板を搬送方向において位置決めするために該基板の前縁および後縁に係合可能な間隔で設けられ、先端に向かうほど該基板から離れる方向に傾斜する一対の搬送方向案内突起が、前記第1ビームおよび第2ビームの少なくとも一方に設けられたものである請求項1乃至5のいずれかのウオーキングビーム式熱処理装置。
- 前記第1ビームは位置固定に設けられた固定ビームであり、
前記第2ビームは該固定ビームに対して相対移動可能に設けられた可動ビームであり、
協働して前記基板を搬送させるために、前記固定ビームに対して炉長方向の相対移動と上下方向の相対移動とを前記可動ビームに交互に行わせる搬送装置をさらに備え、
該搬送装置は、
前記可動ビームに上下方向の往復運動を与えるための上下カムと該可動ビームに炉長方向の往復運動を与えるための前後カム50とが固定されて回転可能に設けられたカム軸と、
該カム軸を単一の伝動部材を介して回転駆動する単一の回転駆動源と
を、含むものである請求項1乃至6のいずれかのウオーキングビーム式熱処理装置。 - 前記搬送装置は、
前記加熱炉の入口側において昇降可能に設けられ、前記可動ビームの入口側端部を長手方向の移動可能に支持する入口側昇降プレートと、
該入口側昇降プレートに上下動を伝達するために該入口側昇降プレートと作動的に連結された入口側上下レバーと、
前記加熱炉の出口側において昇降可能に設けられ、前記可動ビームの出口側端部を長手方向の移動可能に支持する出口側昇降プレートと、
該出口側昇降プレートに上下動を伝達するために該出口側昇降プレートと作動的に連結された出口側上下レバーと、
前記入口側上下レバーと出口側上下レバーとに作動的に連結された、前記加熱炉の炉長よりも長い長手状のリンクと
を、含み、前記入口側上下レバーまたは出口側上下レバーが前記上下カムにより直接回動させられることを特徴とする請求項7のウオーキングビーム式熱処理装置。 - 炉長方向の相対移動と上下方向の相対移動とが交互に行われる第1ビームおよび第2ビームと、該第1ビームおよび第2ビームの協働により搬送される基板を輻射加熱するための加熱体を有する加熱炉とを備えるウオーキングビーム式熱処理装置であって、
協働して基板を搬送するための前記第1ビームおよび第2ビームのうちの少なくとも一方に、前記基板を搬送方向において位置決めするために該基板の前縁および後縁に係合可能な間隔で設けられ、先端に向かうほど該基板から離れる方向に傾斜する一対の搬送方向案内突起を備えたことを特徴とするウオーキングビーム式熱処理装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005036939A JP4447482B2 (ja) | 2005-02-14 | 2005-02-14 | ウオーキングビーム式熱処理装置 |
TW094146139A TW200630580A (en) | 2005-02-14 | 2005-12-23 | Working-beam heat treatment apparatus |
CN 200610007486 CN1821694B (zh) | 2005-02-14 | 2006-02-14 | 步进式热处理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005036939A JP4447482B2 (ja) | 2005-02-14 | 2005-02-14 | ウオーキングビーム式熱処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006222401A true JP2006222401A (ja) | 2006-08-24 |
JP4447482B2 JP4447482B2 (ja) | 2010-04-07 |
Family
ID=36923180
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005036939A Expired - Fee Related JP4447482B2 (ja) | 2005-02-14 | 2005-02-14 | ウオーキングビーム式熱処理装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4447482B2 (ja) |
CN (1) | CN1821694B (ja) |
TW (1) | TW200630580A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2009044463A1 (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-09 | Kabushiki Kaisha Ishiihyoki | 塗布膜用乾燥装置 |
US8428448B2 (en) | 2007-04-03 | 2013-04-23 | Noritake Co., Limited | Walking beam type heat treatment apparatus |
TWI395623B (zh) * | 2007-10-01 | 2013-05-11 | Ishii Hyoki Kk | 塗佈膜用乾燥裝置 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102706142A (zh) * | 2012-01-16 | 2012-10-03 | 苏州工业园区姑苏科技有限公司 | 一种防止工件位移的限位装置 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1983003785A1 (en) * | 1982-04-30 | 1983-11-10 | Koyo Chuki Co., Ltd | Molten metal filling table in molding machine |
DE3331341C2 (de) * | 1983-08-31 | 1986-07-10 | Rolf Dipl.-Ing. 5828 Ennepetal Peddinghaus | Vorrichtung zum Quertransport eines Profilstabes für Profilstab-Bearbeitungsstraßen mit Längstransport-Rollgang |
-
2005
- 2005-02-14 JP JP2005036939A patent/JP4447482B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2005-12-23 TW TW094146139A patent/TW200630580A/zh not_active IP Right Cessation
-
2006
- 2006-02-14 CN CN 200610007486 patent/CN1821694B/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8428448B2 (en) | 2007-04-03 | 2013-04-23 | Noritake Co., Limited | Walking beam type heat treatment apparatus |
TWI395623B (zh) * | 2007-10-01 | 2013-05-11 | Ishii Hyoki Kk | 塗佈膜用乾燥裝置 |
WO2009044463A1 (ja) * | 2007-10-03 | 2009-04-09 | Kabushiki Kaisha Ishiihyoki | 塗布膜用乾燥装置 |
KR101378049B1 (ko) * | 2007-10-03 | 2014-03-27 | 이시이 효키 가부시키가이샤 | 도포막용 건조장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN1821694B (zh) | 2010-05-26 |
TW200630580A (en) | 2006-09-01 |
CN1821694A (zh) | 2006-08-23 |
JP4447482B2 (ja) | 2010-04-07 |
TWI361879B (ja) | 2012-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4335825B2 (ja) | ウオーキングビーム式熱処理装置 | |
US20100267188A1 (en) | Diffusion Furnaces Employing Ultra Low Mass Transport Systems and Methods of Wafer Rapid Diffusion Processing | |
JP4447482B2 (ja) | ウオーキングビーム式熱処理装置 | |
KR101162517B1 (ko) | 워킹 빔식 반송 장치 | |
RU2695914C1 (ru) | Система обработки листов стекла, имеющая охлаждение концов роликов конвейера | |
JP4738372B2 (ja) | ウオーキングビーム式熱処理装置 | |
WO2004079283A1 (ja) | 線材を用いた搬送機構並びにそれを使用した熱処理炉及び熱処理方法 | |
JP5843456B2 (ja) | 熱処理装置及び熱処理方法 | |
JP4523479B2 (ja) | 連続式熱処理炉及び熱処理方法 | |
JP2003292154A (ja) | 厚膜印刷基板用熱処理装置および搬送ローラ | |
JP4445476B2 (ja) | 熱処理炉及び太陽電池セル | |
JP4515117B2 (ja) | 線材を用いた搬送機構並びにそれを使用した熱処理炉及び熱処理方法 | |
KR101994895B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
JP4456033B2 (ja) | 連続式熱処理炉及び熱処理方法 | |
JP3987064B2 (ja) | 熱処理装置 | |
KR100776370B1 (ko) | 소성로 | |
JP2007178037A (ja) | 搬送機構及び熱処理炉 | |
RU2798136C1 (ru) | Устройство и способ изготовления радиантных труб | |
JP2007178038A (ja) | 搬送機構、熱処理炉及び熱処理方法 | |
JP2023034757A (ja) | 連続加熱炉およびそれを用いた被処理物の加熱処理方法 | |
JP2003014375A (ja) | 被焼成板の連続式焼成炉装置 | |
KR20080057832A (ko) | 가열로의 슬라브 이송 장치 | |
JP2008020078A (ja) | 連続式熱処理炉 | |
JP2005265202A (ja) | 加熱装置 | |
JPH0550225A (ja) | 自動半田付装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090703 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100112 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100120 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130129 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130129 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |