JP2006222279A - n型トランジスタ、n型トランジスタセンサ及びn型トランジスタ用チャネルの製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 42
- 229910017464 nitrogen compound Inorganic materials 0.000 claims abstract description 134
- 150000002830 nitrogen compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 134
- 108091006146 Channels Proteins 0.000 claims abstract description 108
- 108090000699 N-Type Calcium Channels Proteins 0.000 claims abstract description 75
- 102000004129 N-Type Calcium Channels Human genes 0.000 claims abstract description 75
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 73
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 69
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 claims description 67
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 claims description 67
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 67
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 56
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 44
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 34
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 claims description 34
- 230000008859 change Effects 0.000 claims description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 12
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims description 11
- 239000010408 film Substances 0.000 description 218
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 62
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 44
- 108010075750 P-Type Calcium Channels Proteins 0.000 description 38
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 34
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 31
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 27
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 21
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 21
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 239000008186 active pharmaceutical agent Substances 0.000 description 20
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 20
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 18
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 17
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 16
- 238000002230 thermal chemical vapour deposition Methods 0.000 description 16
- 239000012159 carrier gas Substances 0.000 description 15
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 13
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 12
- 230000006870 function Effects 0.000 description 12
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 12
- 239000002096 quantum dot Substances 0.000 description 12
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 10
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 9
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 9
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 8
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 7
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 7
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 7
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 7
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 6
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 6
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 6
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 6
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 6
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 6
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 6
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 6
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 5
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 description 5
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 5
- VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-methoxyphenyl)piperazin-1-yl]aniline Chemical compound C1=CC(OC)=CC=C1N1CCN(C=2C=CC(N)=CC=2)CC1 VXEGSRKPIUDPQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 4
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 4
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 4
- 239000005049 silicon tetrachloride Substances 0.000 description 4
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 description 4
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 4
- -1 tungsten nitride Chemical class 0.000 description 4
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 4
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910021607 Silver chloride Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 3
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 3
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 3
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 3
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 3
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 150000002431 hydrogen Chemical class 0.000 description 3
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 3
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 3
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 3
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000006722 reduction reaction Methods 0.000 description 3
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 2
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 2
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M Chloride anion Chemical compound [Cl-] VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 2
- 102000007562 Serum Albumin Human genes 0.000 description 2
- 108010071390 Serum Albumin Proteins 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 2
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 2
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005587 bubbling Effects 0.000 description 2
- WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L calcium difluoride Chemical compound [F-].[F-].[Ca+2] WUKWITHWXAAZEY-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- 229910001634 calcium fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N dichlorosilane Chemical compound Cl[SiH2]Cl MROCJMGDEKINLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910000449 hafnium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N hafnium(4+);oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[O-2].[Hf+4] WIHZLLGSGQNAGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 2
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003209 poly(hydridosilsesquioxane) Polymers 0.000 description 2
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 102000004169 proteins and genes Human genes 0.000 description 2
- 108090000623 proteins and genes Proteins 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000012488 sample solution Substances 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M silver monochloride Chemical compound [Cl-].[Ag+] HKZLPVFGJNLROG-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N trimethyl(1,1,2,2,2-pentafluoroethyl)silane Chemical compound C[Si](C)(C)C(F)(F)C(F)(F)F MTPVUVINMAGMJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910021342 tungsten silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N AsGa Chemical compound [As]#[Ga] JBRZTFJDHDCESZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N C60 fullerene Chemical class C12=C3C(C4=C56)=C7C8=C5C5=C9C%10=C6C6=C4C1=C1C4=C6C6=C%10C%10=C9C9=C%11C5=C8C5=C8C7=C3C3=C7C2=C1C1=C2C4=C6C4=C%10C6=C9C9=C%11C5=C5C8=C3C3=C7C1=C1C2=C4C6=C2C9=C5C3=C12 XMWRBQBLMFGWIX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108010078791 Carrier Proteins Proteins 0.000 description 1
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 108090000790 Enzymes Proteins 0.000 description 1
- 102000004190 Enzymes Human genes 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001069 Raman spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 229910018503 SF6 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910003902 SiCl 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K aluminium trichloride Chemical compound Cl[Al](Cl)Cl VSCWAEJMTAWNJL-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 1
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QNHZQZQTTIYAQM-UHFFFAOYSA-N chromium tungsten Chemical compound [Cr][W] QNHZQZQTTIYAQM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N dimethyldichlorosilane Chemical compound C[Si](C)(Cl)Cl LIKFHECYJZWXFJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 1
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 1
- YAPKLBSSEAZLGL-UHFFFAOYSA-N ethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[SiH2]OCC YAPKLBSSEAZLGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 230000003100 immobilizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 230000003993 interaction Effects 0.000 description 1
- 229910052743 krypton Inorganic materials 0.000 description 1
- DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N krypton atom Chemical compound [Kr] DNNSSWSSYDEUBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 1
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000000615 nonconductor Substances 0.000 description 1
- 239000005486 organic electrolyte Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- 150000004760 silicates Chemical class 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004611 spectroscopical analysis Methods 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
- SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N sulfur hexafluoride Chemical compound FS(F)(F)(F)(F)F SFZCNBIFKDRMGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229960000909 sulfur hexafluoride Drugs 0.000 description 1
- 238000010408 sweeping Methods 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003624 transition metals Chemical class 0.000 description 1
- WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N tungsten disilicide Chemical compound [Si]#[W]#[Si] WQJQOUPTWCFRMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005641 tunneling Effects 0.000 description 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 description 1
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】 ソース電極2とドレイン電極3とゲート電極4とソース電極2及びドレイン電極3の間に設けられたナノチューブ状構造体で形成されたn型のチャネル5とを備えたトランジスタ1のチャネル5上に窒素化合物の膜6を直接形成する。
【選択図】 図1
Description
さらに、有機電解質をカーボンナノチューブにコーティングした場合、固体電界質は、耐熱性が低く、トランジスタの耐熱性が十分でなくなる虞がある。
また、熱処理をしてからキャップする場合には、熱処理の手間がかかる。更に、酸化シリコンを成膜する場合には、低温化のためにプラズマ化学気相堆積法(p−CVD)を用いる場合が一般的であるが、プラズマと酸素とによりカーボンナノチューブがダメージを受ける場合がある。
本発明は上記の課題に鑑みて創案されたもので、ナノチューブ状構造体をチャネルに用いたトランジスタにおいて、従来とは異なる新たなn型トランジスタ及びそれを用いたn型トランジスタセンサ、並びに、n型トランジスタ用チャネルの製造方法を提供することを目的とする。
また、該窒素化合物は、窒化シリコンであるであることが好ましい(請求項3)。
さらに、該ゲート電極は、該窒素化合物の膜を介して該チューブ上に形成されたトップゲートであることが好ましい(請求項4)。
また、本発明のn型トランジスタセンサによれば、ナノチューブ状構造体をn型チャネルとして用いた高感度なトランジスタセンサを得ることができる。
図1は、本発明のn型トランジスタの一実施形態について、その概要を模式的に表わす断面図である。
図1に示すように、本実施形態のn型トランジスタ1は、ソース電極2と、ドレイン電極3と、ゲート電極4と、ナノチューブ状構造体で形成されたn型の半導体的特性を示すチャネル(以下適宜、「n型チャネル」という)5と、n型チャネル5上に直接形成された窒素化合物の膜(以下適宜、「窒素化合物膜」という)6とを備える。また、通常、これらは基板7に設けられる。
基板7は、絶縁性を有する基板であれば任意の素材で形成された基板を用いることができるが、通常は、絶縁性基板、又は、絶縁された半導体基板を用いる。なお、本明細書において絶縁性という場合には、特に断らない限り電気絶縁性のことを指し、絶縁体という場合には、特に断らない限り電気絶縁体の事を指す。
また、半導体基板は、半導体で形成された基板である。半導体基板を形成する半導体の具体例としては、シリコン、ガリウム砒素、窒化ガリウム、酸化亜鉛、インジウム燐、炭化シリコン等が挙げられる。なお、半導体は1種を単独で用いても良く、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
また、基板7として絶縁した半導体基板を用いる場合には、この半導体基板は、ゲート電極(バックゲート)としても機能させることも可能である。ただし、絶縁した半導体基板をゲート電極に用いる場合、その基板7は電気抵抗が小さいことが望ましく、例えば、高濃度にドナーあるいはアクセプタが添加され、抵抗率が低く金属的伝導性を示す半導体を用いた半導体基板が望ましい。
さらに、基板7の形状は任意であるが、通常は平板状に形成する。また、その寸法についても特に制限は無いが、基板7の機械的強度を保つため100μm以上であることが好ましい。なお、図1では絶縁性基板を基板1として用いる例を示している。
ソース電極2は、本実施形態のn型トランジスタ1のキャリアを供給できる電極であれば他に制限は無い。また、ドレイン電極3は、本実施形態のn型トランジスタ1のキャリアを受け取ることができる電極であれば、他に制限は無い。よって、ソース電極2及びドレイン電極3は公知のものを任意に用いることができる。ただし、本実施形態のn型トランジスタ1を、後述する本発明のn型トランジスタ用チャネルの製造方法を用い、窒素化合物膜形成工程を経て製造する場合には、当該製造方法での窒素化合物膜6の形成時の温度条件よりも高い耐熱性を備えるようにすることが好ましい。また、ソース電極2及びドレイン電極3は、通常、同一の基板7上に設けられる。
さらに、ソース電極2及びドレイン電極3の寸法、形状、形成方法も任意である。ただし、本実施形態のn型トランジスタ1の性能を向上させるためには、先端(チャネルに接続された部分)の形状が急峻な形状であることが望ましい。
ゲート電極4は、本実施形態のn型トランジスタ1のn型チャネル5にゲート電圧を印加することができ、ソース電極2、ドレイン電極3及びn型チャネル5と電気的に絶縁されているものであれば他に制限は無く、本発明の効果を著しく損なわない限り任意のものを用いることができる。
したがって、ゲート電極4を構成する導体は任意であり、例えば、金、白金、チタン、炭化チタン、タングステン、ケイ化タングステン、窒化タングステン、アルミニウム、モリブデン、クロム、多結晶シリコンなどで形成することができる。なお、ゲート電極4の材料である導体は1種を単独で用いてもよく、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
さらに、ゲート電極4を形成する位置も任意である。ただし、通常は、ゲート電極4は、対応するソース電極2及びドレイン電極3が設置された基板7に対し、n型チャネル5と反対の面に固定されたゲート電極4であるバックゲート、n型チャネル5と同一の面でn型チャネル5の近傍に形成されたゲート電極7であるサイドゲート、並びに、窒素化合物膜6を介してn型チャネル5上に形成されたトップゲートのいずれかとして形成される。
また、ゲート電極4は、1個のみを単独で設けても良く、2個以上設けてもよい。したがって、例えばゲート電極4として、トップゲート、サイドゲート及びバックゲートのうちの2個以上を組み合わせて用いることも可能である。
さらに、ゲート電極4の形成方法も任意であるが、通常は、フォトリソグラフィー法を用いてパターニングすることにより形成する。
一般に、トランジスタにおいて、チャネルは、ソース電極2及びドレイン電極3の間に設けられ、ソース電極2及びドレイン電極3の間の電流の通路となりうるようにものである。本実施形態のn型トランジスタ1においては、n型チャネル5として、その半導体特性がn型を示すナノチューブ状構造体を用いる。ここで、ナノチューブ状構造体とは、ナノスケールのチューブ状の構造体のことを言い、通常、その長手方向に直交する断面の直径が0.4nm以上50nm以下のものをいう。
また、ナノチューブ状構造体の具体的な形状に特に制限は無いが、例えば、構造体の長手方向の長さと、これに垂直な方向のうち最も長い一方向の長さとの比が10以上10000以下の範囲にある形状が挙げられる。また、ロッド状(断面形状が略円形)、リボン状(断面形状が扁平な略方形)等の各形状を含む。
また、n型チャネル5の数は任意であり、1本でも、2本以上であってもよい。さらに、n型チャネル5と組み合わせて、p型チャネルも用いるようにしても良い。
なお、ナノチューブ状構造体は、そのカイラリティに応じて半導体的な電気的性質及び金属的な電気的性質の両方を示すが、本実施形態のn型トランジスタのn型チャネルをFETチャネルにする場合、ナノチューブ状構造体は、その電気的性質として半導体的性質を有することがより望ましい。なお、ナノチューブ状構造体が金属的か半導体的かを確認する手法の例としては、ラマン分光法でカーボンナノチューブのカイラリティを決定することにより確認する手法や、走査トンネル顕微鏡(STM)分光法を用いてカーボンナノチューブの電子状態密度を測定することにより確認する手法が挙げられる。
ただし、FETチャネルと異なり、SETチャネルは量子ドット構造を有する。したがって、SETチャネルは量子ドット構造を有する物質で形成することになる。このため、ナノチューブ状構造体の中でも、量子ドット構造を有するナノチューブ状構造体でSETチャネルを形成する。その具体例を挙げると、欠陥を導入したカーボンナノチューブをSETチャネルとして用いることができる。詳しくは、欠陥と欠陥との間に通常0.1nm以上50nm以下の量子ドット構造を有するカーボンナノチューブをSETチャネルとして用いることができる。
窒素化合物膜6は、n型チャネル5上に直接形成された窒素化合物の膜である。
窒素化合物膜6を形成する窒素化合物は窒素を含有する絶縁性の化合物であれば他に制限は無く、本発明の効果を著しく損なわない限り任意であるが、例えば、窒化ボロン、窒化アルミニウム、窒化シリコンを用いることができる。なかでも、窒化シリコンが好ましい。なお、窒素化合物は1種を単独で用いても良い、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
なお、窒素化合物膜6は、n型チャネル5表面のみならず、基板7、ソース電極2、ドレイン電極3及びゲート電極4の表面などに対しても、本発明の効果を著しく損なわない範囲において任意に形成するようにしてもよい。
本実施形態のn型トランジスタ1には、上記のソース電極2、ドレイン電極3、ゲート電極4、n型チャネル5及び窒素化合物膜6以外にも、他の部材、膜などを設けるようにしても良い。
例えば、基板7の表面や、窒素化合物膜6の表面に、その他の絶縁膜を形成するようにしても良い。これらの絶縁膜は、チャネル5や各電極2,3,4などを保護したり、チャネル5により確実に電流を流れるようにしたりするためのものである。このような絶縁膜は絶縁性の任意の材料で形成することができるが、例えば、フォトレジスト(感光性樹脂)、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、ポリイミド、テフロン(登録商標)などの高分子材料、アミノプロピルエトキシシランなどの自己組織化膜、PER−フルオロポリエーテル、フォンブリン(商品名)などのルブリカント、フラーレン類化合物、あるいは酸化シリコン、弗化ケイ酸塩ガラス、HSQ(Hydrogen Silsesquioxane)、MLQ(Methyl Lisesquioxane)、多孔質シリカ、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化チタン、弗化カルシウム、ダイヤモンド薄膜などの無機物質を用いることができる。また、これらは1種を単独で用いても良く、また、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
本実施形態のn型トランジスタ1によれば、ナノチューブ状構造体をn型チャネル5に用いた新たなn型トランジスタを提供することができる。
また、本実施形態のn型トランジスタ1は、空気中で安定であるため、経時的に空気中の酸素によってn型チャネル5がp型の半導体的特性を示すようになることを抑制することができる。なお、ここで大気中で安定というのは、温度26℃、相対湿度26%の大気中に、窒素化合物膜6の形成後、通常1週間以上、好ましくは1ヶ月以上、より好ましくは1年以上、さらに好ましくは10年以上放置した後に、バックゲートを作製し、その半導体特性を評価してもn型の半導体的特性を示すことをいう。
例えば、窒素化合物膜6中に酸素が存在しない、若しくは、所定値以下しか存在しないことにより、n型チャネル5のn型の半導体的特性を安定した状態で保持できるという利点を得ることができる。このように、本実施形態のn型トランジスタ1を、ソース電極2と、ドレイン電極3と、ゲート電極4と、該ソース電極2及びドレイン電極3の間に設けられたナノチューブ状構造体で形成されたn型のチャネル5と、該チャネル5上に直接形成された酸素を所定値以下しか含有しない絶縁体の膜(即ち、窒素化合物膜)6とを備えて構成するようにすることは、多くの利点を得ることができる優れた技術である。
本発明のn型トランジスタ用チャネルの製造方法では、p型半導体的な特性を示すチャネルであるナノチューブ状構造体に、酸素濃度1%以下、温度200℃以上1600℃以下の条件下、窒素化合物の原料ガスの存在下において、窒素化合物の膜を直接に形成させる工程(窒素化合物膜形成工程)を行なうにより、上記のp型半導体的な特性を示すナノチューブ状構造体の半導体的な特性をn型に変えると共に、ナノチューブ状構造体の表面に本発明に係る窒素化合物膜を形成して、n型トランジスタ用チャネルを得ることができる。
以下、本発明のn型トランジスタ用チャネルの製造方法とともに、本発明のn型トランジスタの製造方法について、一実施形態を示して説明する。
本実施形態のn型トランジスタを製造するには、まず、p型の半導体的特性を示すナノチューブ構造体のチャネル(以下適宜、「p型チャネル」という)を備えたトランジスタ又はその製造途中の素子を用意する。具体的方法は任意であるが、例えば、p型チャネルを形成するナノチューブ状構造体としてカーボンナノチューブを用いる場合には、以下に示す工程により用意することができる。
図2(a),(b)は、カーボンナノチューブを用いたチャネルの作製方法の各工程における操作を説明するための模式的な断面図である。なお、図2(a),(b)において、図1と実質的に同様のものを表わす符号は、図1と同様のものを用いることとする。
チャネルの形成方法に制限は無く任意であるが、n型チャネル5として使用するカーボンナノチューブは、通常、その位置と方向とを制御して形成する。このため、通常はフォトリソグラフィー法などによりパターニングした触媒(成長触媒)8を利用して、カーボンナノチューブの成長位置と方向とを制御して作製する。具体的には、例えば、以下の工程(1)〜(4)を行ない、カーボンナノチューブからなるp型チャネルを形成することができる。なお、図2(a),(b)においては、p型チャネルとカーボンナノチューブとは同じものを表わしているため、両者を同様の符号5′で示す。
工程(2):金属の触媒8を蒸着する。
工程(3):リフトオフを行ない、触媒8のパターンを形成する。{図2(a)}
工程(4):原料ガスを流して、熱CVD法により触媒8間にカーボンナノチューブ5′を形成する。{図2(b)}
以下、各工程について説明する。
次に、工程(2)において、パターニングを行なった基板7の表面に、触媒8となる金属を蒸着する。触媒8となる金属の例としては、鉄、ニッケル、コバルトなどの遷移金属、あるいはそれらの合金などが挙げられる。
最後に、工程(4)において、図2(b)に示すように、CVD炉で、高温においてメタンガスやアルコールガスなどのナノチューブ用原料ガスを流し、触媒8と触媒8との間にカーボンナノチューブ5′を形成する。高温においては、触媒8は直径数nmの微粒子状になり、これを核としてカーボンナノチューブ5′が成長する。なお、ここで高温とは、300℃以上1200℃以下を指す。
また、本実施形態のn型トランジスタ1を単一電子トランジスタとして製造する場合には、この後の工程において、カーボンナノチューブ5′に酸化処理によって欠陥を導入し、量子ドットを作製するようにしても良い。これにより、SETチャネルを作製することができる。
形成されたカーボンナノチューブ5′は、この段階では、通常、チャネルとして用いた場合にp型の半導体的特性を示すp型チャネル5′として機能するようになっている。
次に、図3に示すように、カーボンナノチューブ5′の両端にオーミック電極等を用いてソース電極2及びドレイン電極3を形成する。
ソース電極2やドレイン電極3の形成には公知の方法を任意に用いることができるが、一般的には、フォトリソグラフィー法を用いる。この際、ソース電極2やドレイン電極3はカーボンナノチューブ5′の先端に取り付けてもよいし、側面に取り付けてもよい。また、ソース電極2やドレイン電極3の電極形成の際に、よりよい電気的接続を目的として、300℃〜1000℃の範囲の熱処理を行なうようにしても良い。
なお、図3は本実施形態のn型トランジスタの製造方法を説明するため、ソース電極及びドレイン電極の形成時の様子を説明するための模式的な断面図である。また、図3において、図1及び図2と実質的に同様のものを表わす符号は、図1及び図2と同様のものを用いることとする。
また、適宜、後述する窒素化合物膜形成工程の前又は後に、ゲート電極4を形成する。ゲート電極4の形成方法は任意であるが、例えば、ソース電極2やドレイン電極3の形成方法と同様にして形成することができる。
窒素化合物膜形成工程では、用意したp型チャネル5′に、所定の条件下、窒素化合物の原料ガスの存在下において、p型チャネル5′の表面に窒素化合物膜6を直接に形成し、これにより、n型の半導体的な性質を示すn型チャネル5を得る。
ここで、窒素化合物膜6を形成する対象であるp型チャネル5′の状態は、基板7上にp型チャネル5′だけが形成されている状態の素子でもよく、p型チャネル5′にソース電極2及びドレイン電極3の一方又は両方が形成されている状態の素子でも良く、さらに、p型チャネル5′、ソース電極2、ドレイン電極3及びゲート電極4を備えた状態の素子(即ち、p型のトランジスタ)であってもよい。通常は、基板7上にp型チャネル5′を形成しその両端にソース電極2及びドレイン電極3両方が形成されている状態、又は、基板7上にp型チャネル5′、ソース電極2、ドレイン電極3及びゲート電極4を備えた状態の素子に対して窒素化合物膜6の形成を行なう。
なお、通常用いられる熱CVD法においては、窒素化合物膜6の形成の際には系内に窒素化合物の原料となる気体(以下適宜、「原料ガス」という)を充満又は流通させ、系内では原料ガスの基板表面での気相化学反応(熱分解、還元、置換反応など)によって窒素化合物生成反応を行なわせることになる。したがって、熱CVD法では、窒素化合物膜6を形成する時点においては系内に原料ガス及び適宜用いられる不活性ガス、還元性ガス、キャリアガス等が充満又は流通し、特別な制御を行なわなくても系内雰囲気を上記の酸素濃度以下とさせることが可能となる。よって、上記のように雰囲気中の酸素濃度を制御して不活性雰囲気或いは還元性雰囲気とするのは、熱CVD法を用いる場合には、通常は、窒素化合物膜6形成前後の温度調整工程、即ち、昇温工程及び降温工程において行なうようにすることが望ましい。
例えば、系内には不活性ガスや還元性ガスを充填又は流通させるようにしてもよい。これにより、酸素濃度を確実に低下させ、窒素化合物膜6を形成する系内を確実に不活性雰囲気とすることができる。ここで不活性ガスとは、窒素、ヘリウム、ネオン、アルゴン、クリプトンなどが挙げられる。また、還元性ガスとしては、水素などが挙げられる。
窒素を含有する原料化合物は、窒素化合物膜6を形成する窒素化合物に応じて選択するが、例えば、アンモニアや窒素などが挙げられる。なお、窒素は不活性ガスとしても機能する。また、これらは1種を単独で用いても良く、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
一方、窒素とともに窒素化合物を構成する原子を含有する原料化合物も、窒素化合物膜6を形成する窒素化合物に応じて選択するが、例えば、モノシラン、ジクロロシラン、四塩化ケイ素、ジメチルジクロロシラン、三塩化ボロン、三塩化アルミニウムなどが挙げられる。なお、これらも1種を単独で用いても良く、2種以上を任意の組み合わせ及び比率で併用しても良い。
SiCl4 + 2H2 → Si + 2HCl
さらに、キャリアガスには、気化しにくい液体原料にキャリアガスを通じてバブリングを行なうことによって、液体原料を気化させ輸送する機能もある。例えば、液体状態の四塩化ケイ素にキャリアガスによるバブリングを行なえば、四塩化ケイ素の気化を促進させることが可能となる。
このように、塩化物系の原料ガスなどを用いる場合には、還元性ガスをキャリアガスとして用いることで、成膜が円滑に進行させることができるようになる場合がある。
熱CVD法を用いる場合、以上のようにして窒素化合物膜6を形成することができる。
文献1:麻蒔立男著、日刊工業新聞社、「微細加工の基礎-電子デバイスプロセス技術-第2版」、ISBN4−526−04812−7
文献2:K. L. Choy: Progress in Materials Science 48(2003)57-170, Chemical vapor deposition of coatings.
窒素化合物膜6の形成後、当該素子(トランジスタを含む)12には、適宜、その他の工程を行なうようにしてもよい。
例えば、形成した窒素化合物膜6に対してエッチングを行なうようにしてもよい。このエッチングは、窒素化合物膜6の下の電極2,3に電圧印加用の配線を接続する目的や、あるいは、パターニングなどを行なう目的で行なわれる。エッチングには、ウェットエッチングや反応性イオンエッチング(RIE)などの公知のものを任意に用いることができる。なお、ウェットエッチングの場合のエッチャントおよびRIEのエッチャントには、公知のものを任意に用いることができる。
本発明に係る上記の方法、即ち、本発明のn型トランジスタ用チャネルの製造方法や本発明のn型トランジスタの製造方法によれば、窒素化合物膜形成工程を経ているため、ナノチューブ状構造体をチャネルに用いた新たなn型トランジスタ用チャネルを従来よりも簡単に得ることができ、さらに、ナノチューブ状構造体をチャネルに用いた新たなn型トランジスタも、従来よりも簡単に得ることができる。
即ち、上記の温度条件及び酸素濃度条件下において窒素化合物膜6の形成を行なうことにより、p型チャネル5′、若しくは、p型チャネル5′、ソース電極2及びドレイン電極3それぞれの界面から酸素が脱離され、これにより、p型チャネル5′の半導体特性がn型へと変化したものであると推察される。
また、上記の半導体特性の変化には、原料ガスによるドーピングが関与している可能性もある。例えば、原料ガスとしてアンモニアを用いた場合、p型チャネル5′に対して電子のドーピングが行なわれ、これにより、p型チャネル5′の半導体特性がn型に変化したとも推察される。
本発明のn型トランジスタは、化学センサやバイオセンサなどとして使用されるトランジスタセンサとして用いることができる。この場合、本発明のn型トランジスタを用いた本発明のn型トランジスタセンサは、ソース電極と、ドレイン電極と、ソース電極及びドレイン電極の間に設けられたn型チャネルと、n型チャネル上に直接形成された本発明に係る窒素化合物膜とを備えて構成される。
なお、図5は本発明のn型トランジスタセンサの一実施形態の構成を模式的に示す断面図であり、図1〜図4と実質的に同様のものを表わす符号は、図1〜図4と同様のものを用いることとする。
感応膜の固定化方法あるいは測定方法も、ISFETで知られている方法を任意に用いることが出来る。また、図5を用いて説明したのと同様、トップゲートとしてゲート電極4を設けた場合でも、そのゲート電極4上に検出物質に対応する感応膜を固定化することにより、同様のセンサを構成できる。
文献3:軽部征夫 監修、シーエムシー出版、「バイオセンサー」、ISBN4−88231−759−1
文献4:大森豊明 監修、(株)フジ・テクノシステム、「普及版センサ技術」、ISBN4−938555−64−6
文献5:P. Bergveld: Sensors and Actuators B 88(2003)1-20, Thirty years of ISFETOLOGY
以上、本発明の一実施形態について詳細に説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において任意に変形して実施することができる。
例えば、上記n型トランジスタを集積して用いても良い。
さらに、例えば、上記実施形態で説明したものはそれぞれ任意に組み合わせて実施するようにしても良い。
また、例えば、上述したn型トランジスタ用チャネルの製造方法で製造したナノチューブ状構造物を、トランジスタ以外の用途に用いることも可能である。
さらに、上記n型トランジスタは、p型トランジスタと組み合わせて相補型回路を作製することも可能である。
[窒化シリコンを窒素化合物膜とする、バックゲート型のカーボンナノチューブトランジスタ]
[1.カーボンナノチューブトランジスタの作製]
図6(a)〜(d)はいずれも、実施例1について、チャネルにカーボンナノチューブを用いたナノチューブトランジスタの作製工程について説明する模式的な断面図である。なお、図6(a)はチャネル形成用の触媒パターニング直後の状態を表わし、図6(b)はカーボンナノチューブ形成直後の状態を表わし、図6(c)はソース電極及びドレイン電極形成直後の状態を表わし、図6(d)はバックゲート形成直後の状態を表わす。また、以下の説明において、本発明のn型トランジスタの作製途中の状態の素子を、適宜「試料」と呼ぶ。さらに、図6(a)〜(d)において、図1〜図5と実質的に同様のものを表わす符号は、図1〜図5と同様のものを用いることとする。なお、以下の説明において、符号はカッコ「〔〕」内に示すものとする。
導電性n型シリコン単結晶{Si単結晶の面方位:(100)}の基板〔7〕を、体積比が硫酸:過酸化水素=4:1となるように混合した酸に5分間浸して表面を酸化した後、流水で5分間すすぎ、その次に、体積比がフッ化水素酸:純水=1:4となるように混合した酸で酸化膜を除去し、最後に、流水で5分間すすぎ、基板〔7〕の表面を洗浄した。洗浄した基板〔7〕の表面を1100℃、5時間、酸素流量3L/minの条件で熱酸化し、基板〔7〕の表面に厚さ約400nmの酸化シリコンの絶縁膜〔17〕を成膜した。
続いて、以下の方法により酸化シリコンの絶縁膜の表面に、カーボンナノチューブ(ナノチューブ状構造体)成長用の触媒〔8〕を作製した。
まず、フォトリソグラフィー法を用いてカーボンナノチューブ〔5′〕を架橋させたい場所にフォトレジストをパターニングした。フォトリソグラフィーは次のように行なった。まず、酸化シリコンの絶縁膜〔17〕の上に、ヘキサメチルジシラザンを500rpmで10秒間、4000rpmで30秒間の条件でスピンコートし、その上にフォトレジスト(シプレイ・ファーイースト社製microposit S1818)を同条件でスピンコートした。
次に、煮沸したアセトンに試料を浸しながらフォトレジストをリフトオフし、アセトン、エタノール、流水の順に各3分間試料を洗浄し、窒素ブローで乾燥させ、カーボンナノチューブ〔5′〕の成長用の触媒〔8〕をパターニングした試料を作製した{図6(a)}。
次に、カーボンナノチューブ〔5′〕の両端にソース電極〔2〕及びドレイン電極〔3〕を作製するために、上述したフォトリソグラフィー法により、フォトレジストをパターニングした。
パターニング後、EB真空蒸着法により、クロム及び金の順に、それぞれ20nm、200nmの膜厚で成膜した。次に、煮沸したアセトンに試料を浸しながらフォトレジストをリフトオフし、アセトン、エタノール、流水の順に各3分間試料を洗浄し、窒素ブローで乾燥させ、ソース電極〔2〕及びドレイン電極〔3〕を作製した{図6(c)}。この際、ソース電極〔2〕とドレイン電極〔3〕との最短間隔は4μmであった。また、図6(c)には示していないが、ソース電極〔2〕及びドレイン電極〔3〕はそれぞれカーボンナノチューブのチャネル〔5′〕から引出されており、また、それぞれコンタクト用パッドを有している。なお、コンタクト用パッドとは、電極配線の先端にあるプローブを接触させるための大き目の正方形の電極(パッド)を指す。
基板〔7〕の裏面の酸化シリコンの絶縁膜〔17〕を、反応性イオンエッチング(RIE)装置を用いてドライエッチングし除去した。このとき、使用したエッチャントは六フッ化硫黄ガスで、RF出力100Wのプラズマ中で6分間エッチングを行なった。裏面の酸化シリコンの絶縁膜〔17〕を除去した後、EB真空蒸着法によりチタン及び金の順に、それぞれ10nm、100nmの膜厚で成膜し、バックゲート〔4′〕を作製した。
次に基板〔7〕の表面に形成した仮保護膜を、煮沸したアセトン、アセトン、エタノール、流水の順に各3分間洗浄除去し、窒素ブローにより乾燥させた{図6(d)}。
窒化シリコンの保護膜(窒素化合物膜)〔6〕の形成に用いた装置〔9〕の要部構成を、図7に模式的に示す。なお、図7において、図1〜図6と実質的に同様のものを表わす符号は、図1〜図6と同様のものを用いることとする。
窒素化合物である窒化シリコンの成膜は、図7に示すように、石英炉〔10〕中に試料を設置して熱CVD法を用いて行なった。試料は抵抗加熱ヒータ〔11〕を備える回転式のステージ〔18〕上に設置した。成膜はアルゴンガスで希釈した3体積%モノシランガス(原料ガス)を20mL/min、アンモニアガス(原料ガス)を1000mL/min、及び、窒素ガス(原料ガス,不活性ガス)を3000mL/minで流しながら、大気圧下で800℃、5分間でステージを回転させながら行なった。また、昇温および降温は、窒素ガスを3000mL/min流しながら行なった。得られた窒化シリコンの保護膜〔6〕(図8参照)の膜厚は200nmであった。
次に、前述したソース電極〔2〕及びドレイン電極〔3〕のコンタクトパッド上の窒化シリコンの保護膜〔6〕にコンタクト用(配線接続用)のホール(孔)を作製するため、フォトリソグラフィー法を用いて窒化シリコンの保護膜〔6〕の表面にコンタクト用のホールをフォトレジストでパターニングした。具体的には、窒化シリコンの保護膜〔6〕の表面にフォトレジストをスピンコートし、次いで、ホールとなる部分のレジストをパターニングにより除去した。その後、オーブンにて110℃、30分間の条件でフォトレジストをベークした。続いて、「(4)バックゲートの作製」と同様にして、RIEを用いてソース電極〔2〕及びドレイン電極〔3〕上の窒化シリコンの保護膜〔6〕をエッチングし、コンタクト用のホール(図示省略)を作製した。
次に、煮沸したアセトン、アセトン、エタノール、流水の順に各3分間洗浄し、フォトレジストを除去し、窒素ブローにより乾燥させた。
以上の工程で製造した窒化シリコンの保護膜〔6〕を有する、バックゲート型カーボンナノチューブトランジスタ(n型トランジスタ)〔1′〕の模式的な概略図を図8に示す。なお、図8において、図1〜図7と実質的に同様のものを表わす符号は、図1〜図7と同様のものを用いることとする。
本実施例で作製したカーボンナノチューブトランジスタ〔1′〕の電気特性評価は、Agilent社製 4156A半導体パラメータアナライザを用いて、室温大気中で行なった。具体的には、ソース電極〔2〕を基準とし、ドレイン電極〔3〕にドレイン電圧VDS=0.1Vを印加し、バックゲートへはゲート電圧VGSを−5から+5Vまで20mVステップでスイープさせながら印加した時のドレイン電流IDSを測定した。
なお、特性測定は、窒化シリコンの保護膜〔6〕の成膜前と、窒化シリコンの保護膜〔6〕を成膜しコンタクト用ホールを作製した後とのそれぞれにおいて、同じカーボンナノチューブトランジスタを用いて行なった。
[窒化シリコンを窒素化合物膜とする、トップゲート型のカーボンナノチューブトランジスタ]
[1.カーボンナノチューブトランジスタの作製]
上記[実施例1]の、「(3)ソース・ドレイン電極の作製」の工程においてクロムの代わりにチタンを用い、また、金の代わりに白金を用い、さらに、それぞれの膜厚を10nm、90nmとし、「(5)窒化シリコン膜の成膜」の工程において窒化シリコンの絶縁膜(実施例1の保護膜に相当)〔6〕の膜厚を50nmとし、「(4)バックゲートの作製」の工程を「(6)コンタクト用ホールの作製」の工程の後に行なった以外は、実施例1と同様にして、窒化シリコンの絶縁膜(保護膜,ゲート絶縁膜)〔6〕を有するバックゲート構造のカーボンナノチューブトランジスタ〔1′〕を作製した。
次に、以下の方法により、前述したカーボンナノチューブトランジスタ〔1′〕のチャネル〔5〕直上の窒化シリコンの絶縁膜〔6〕の表面に、トップゲート〔4〕を作製した。
上記の[実施例1]のフォトリソグラフィー法と同様にして、窒化シリコンの絶縁膜〔6〕表面に塗布したレジストをパターニングした。次に、EB真空蒸着法により、チタンおよび金の順にそれぞれ10nm、100nmの膜厚で成膜した。煮沸したアセトンに試料を浸しながらリフトオフし、アセトン、エタノール、流水の順に各3分間試料を洗浄し、窒素ブローで乾燥させトップゲート〔4〕を作製した。トップゲート〔4〕もソース電極〔2〕およびドレイン電極〔3〕と同様に、チャネル〔5〕から引出した構造をしておりコンタクト用パッド(図示省略)を有している。
以上の工程により作製した窒化シリコンの絶縁膜(ゲート絶縁膜)〔6〕を有するトップゲート型のカーボンナノチューブトランジスタ〔1″〕の断面の模式的な概略図を図10に示す。なお、図10において、図1〜図8と実質的に同様のものを表わす符号は、図1〜図8と同様のものを用いることとする。
本実施例で作製したトップゲート型カーボンナノチューブトランジスタ〔1″〕の電気特性評価は、上記[実施例1]と同様の装置と環境で行なった。図11に、バックゲート〔4′〕を用いた場合、及び、トップゲート〔4〕を用いた場合それぞれのゲート電圧VGS−ドレイン電流IDS特性を示す。ドレイン電圧VDSはどちらのゲート電極〔4〕,〔4′〕を用いた場合も0.1Vにした。また、バックゲート〔4′〕を用いる場合は、トップゲート〔4〕をフローティングにし、トップゲート〔4〕を用いる場合はバックゲート〔4′〕をソース電極〔2〕と同電位にした。さらに、ゲート電圧VGSは−5Vから5Vまで20mVステップでスイープさせた。
この電界効果トランジスタの弱反転膜領域においてドレイン電流IDSを1桁変化させるのに必要なゲート電圧VDSはサブスレッショルド係数Sと定義され、電界効果トランジスタのスイッチング特性を表すパラメータであり、小さい値であることが望ましい。また、サブスレッショルド係数Sは、ゲート容量が大きい程小さくなる。
[窒化シリコンの絶縁膜を有するトップゲート型のカーボンナノチューブトランジスタのバイオセンサへの応用例]
[1.センサ作製]
上記の[実施例2]で、基板〔7〕を酸化シリコン絶縁膜〔17〕を有するシリコン単結晶基板〔7〕から絶縁性のアルミナ単結晶基板に代え、「(5)窒化シリコン膜の成膜」の工程で、原料ガスをアルゴンで希釈した3%のモノシランガスから、アルゴンで希釈した0.3%のモノシランガスに代え、また、原料ガスの流量を20mL/minから50mL/minに代え、さらに、窒化シリコンの絶縁膜(実施例1の保護膜や実施例2の絶縁膜に相当)〔6〕の膜厚を37nmにした以外は、[実施例2]と同様にして、トップゲート型のカーボンナノチューブトランジスタ〔1″〕を作製した。
次いで、図14に示すような検出装置を組み立てた。即ち、上記のトランジスタセンサ〔15′〕の上面にシリコーンでウェル〔21〕を設け、トップゲート〔4〕のコンタクトホール〔20〕を通じてトップゲート〔4〕表面をpH7.4の10mMのリン酸緩衝液(PB)に浸した。また、Agilent社製 4156A半導体パラメータアナライザ〔22〕を用いて、ソース電極〔2〕、ドレイン電極〔3〕及びバックゲート〔4′〕の電圧を制御するようにした。なお、図14において、図1〜図8、図10、図12及び図13と実質的に同様のものを表わす符号は、図1〜図8、図10、図12及び図13と同様のものを用いることとする。
図15に、PSAのPB溶液をウェル〔21〕に滴下した時のドレイン電流IDSの時間変化のグラフを示す。測定開始後180sで、10μLの同濃度のPBを滴下したが、ドレイン電流ISDに大きな変化が見られなかった。また、測定開始後300s後にウェル〔21〕内のPSA濃度が0.3μg/mLになるようにPSAのPB溶液を滴下すると、ドレイン電流IDSが測定開始後1200sにおいて約1.5nA減少した。
2 ソース電極
3 ドレイン電極
4,4′ ゲート電極
5 チャネル(ナノチューブ状構造体,n型チャネル)
5 チャネル(ナノチューブ状構造体,p型チャネル)
6 窒素化合物の膜
7 基板
8 触媒
9 熱CVD装置
10 炉(石英炉)
11 ヒータ
12 素子
13 検出すべき物質(検出対象)
14 特定物質
15,15′ n型トランジスタセンサ
16 液溜め
17 絶縁膜
18 ステージ
19 レジスト膜
20 ホール
21 ウェル
22 半導体パラメータアナライザ
23 銀/塩化銀参照電極
Claims (6)
- ソース電極と、
ドレイン電極と、
ゲート電極と、
該ソース電極及び該ドレイン電極の間に設けられたナノチューブ状構造体で形成されたn型のチャネルと、
該チャネル上に直接形成された窒素化合物の膜とを備える
ことを特徴とする、n型トランジスタ。 - 該ナノチューブ状構造体が、カーボンナノチューブである
ことを特徴とする、請求項1記載のn型トランジスタ。 - 該窒素化合物が、窒化シリコンである
ことを特徴とする、請求項1又は請求項2に記載のn型トランジスタ。 - 該ゲート電極が、該窒素化合物の膜を介して該チューブ上に形成されたトップゲートである
ことを特徴とする、請求項1〜3のいずれか1項に記載のn型トランジスタ。 - ソース電極と、
ドレイン電極と、
該ソース電極及び該ドレイン電極の間に設けられたナノチューブ状構造体で形成されたn型のチャネルと、
該チャネル上に直接形成された窒素化合物の膜とを備え、
検出対象を該チャネルを流れる電流の変化として検知する
ことを特徴とする、n型トランジスタセンサ。 - p型半導体的な特性を示すナノチューブ状構造体に、酸素濃度1体積%以下、温度200℃以上1600℃以下の条件下、窒素化合物の原料ガスの存在下において、窒素化合物の膜を直接に形成させる工程を有する
ことを特徴とする、n型トランジスタ用チャネルの製造方法。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005034476A JP4891550B2 (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | n型トランジスタ、n型トランジスタセンサ及びn型トランジスタ用チャネルの製造方法 |
PCT/JP2006/302349 WO2006085611A1 (ja) | 2005-02-10 | 2006-02-10 | n型トランジスタ、n型トランジスタセンサ及びn型トランジスタ用チャネルの製造方法、並びにn型半導体的な特性を示すナノチューブ状構造体の製造方法 |
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Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005034476A JP4891550B2 (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | n型トランジスタ、n型トランジスタセンサ及びn型トランジスタ用チャネルの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006222279A true JP2006222279A (ja) | 2006-08-24 |
JP4891550B2 JP4891550B2 (ja) | 2012-03-07 |
Family
ID=36793182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005034476A Expired - Fee Related JP4891550B2 (ja) | 2005-02-10 | 2005-02-10 | n型トランジスタ、n型トランジスタセンサ及びn型トランジスタ用チャネルの製造方法 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US7902089B2 (ja) |
JP (1) | JP4891550B2 (ja) |
KR (1) | KR100924668B1 (ja) |
WO (1) | WO2006085611A1 (ja) |
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CN105810747B (zh) | 2014-12-31 | 2018-11-30 | 清华大学 | N型薄膜晶体管 |
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US9250210B2 (en) | 2012-01-13 | 2016-02-02 | The University Of Tokyo | Gas sensor |
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JP2019525200A (ja) * | 2016-06-30 | 2019-09-05 | グラフウェア テクノロジーズ インコーポレイテッド | 極性流体がゲートの電界効果デバイス |
JP7129405B2 (ja) | 2016-06-30 | 2022-09-01 | グラフウェア テクノロジーズ インコーポレイテッド | 極性流体がゲートの電界効果デバイス |
WO2022039148A1 (ja) * | 2020-08-17 | 2022-02-24 | 株式会社村田製作所 | 半導体センサ |
JP7487780B2 (ja) | 2020-08-17 | 2024-05-21 | 株式会社村田製作所 | 半導体センサ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20070095991A (ko) | 2007-10-01 |
KR100924668B1 (ko) | 2009-11-03 |
US7902089B2 (en) | 2011-03-08 |
US20110068324A1 (en) | 2011-03-24 |
WO2006085611A1 (ja) | 2006-08-17 |
US8008650B2 (en) | 2011-08-30 |
JP4891550B2 (ja) | 2012-03-07 |
US20090008629A1 (en) | 2009-01-08 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071015 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110816 |
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