JP2006216788A - 半導体レーザー用単結晶ウェハ - Google Patents
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Abstract
【課題】 光学式のアライメント方式により劈開面を基準としてマスクパターン合わせをする際の精度の向上およびプロセス歩留りの向上を実現できる半導体レーザー用単結晶ウェハを提供することにある。
【解決手段】 劈開によりオリエンテーションフラットを形成したウェハ5の表面を、硬度の高い研磨布8で且つ最適なウェハ押し付け圧力及び研磨レートの下で、ウェハ表面の中心部と外周部の研磨レートが同一になるように研磨することで、劈開面4における稜線部のダレを小さく40μm以下にしたオリエンテーションフラット部を備えた半導体レーザー用単結晶ウェハとする。
【選択図】 図1
【解決手段】 劈開によりオリエンテーションフラットを形成したウェハ5の表面を、硬度の高い研磨布8で且つ最適なウェハ押し付け圧力及び研磨レートの下で、ウェハ表面の中心部と外周部の研磨レートが同一になるように研磨することで、劈開面4における稜線部のダレを小さく40μm以下にしたオリエンテーションフラット部を備えた半導体レーザー用単結晶ウェハとする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、半導体レーザー用単結晶ウェハ、特にそのオリエンテーションフラットを形成する劈開面の稜線部の断面形状に関するものである。
半導体ウェハは、ショットキーゲート電界効果トランジスタ(MESFET)、高移動度トランジスタ(HEMT)、ヘテロ接合バイポーラトランジスタ(HBT)、その他、レーザーダイオード(LD)や発光ダイオード(LED)などのデバイス用基板として用いられている。これらの素子の能動層は、半導体ウェハから製造された鏡面ウェハの表面に、分子線エピタキシャル成長(MBE)、有機金属気相エピタキシャル成長(MOVPE)法およびイオン打ち込み法などにより形成される。
この鏡面ウェハを製造するに際しては、まず、結晶インゴットを所定の厚さでスライスし、ウェハを切り出す。そして、このスライスしたウェハを#800〜#3000のアルミナ砥粒でラップしてソーマークを除去し、平坦性を高める。その後、研磨液として次亜塩素酸系水溶液や、次亜塩素酸水溶液と砥粒(シリカ、アルミナ、ジルコニウム)の混合液を用い、また研磨布として表面に多孔質層を有するものを用い、メカノケミカル研磨により鏡面に仕上げる、いわゆるポリッシングを行う。次に、この鏡面を所定の方法により洗浄し、乾燥させる。乾燥された鏡面ウェハはウェハトレイまたはウェハボックスに収納する。
一方、化合物半導体ウェハは、半導体レーザなどに利用される場合、その共振面が良好な平坦度を有する必要があることや、結晶方位の判別や位置合わせ、焦点合わせ等の理由から、その基準面として劈開面を有する場合がある。特に、レーザ用途の製品はオリエンテーションフラット(OF部)またはインデックスフラット(IF部)が劈開仕様となる。これは、半導体レーザーダイオードを製作する場合、ウェハ上にエピタキシャル層を形成した後、正確に劈開面に沿ってチップに切り出す必要があり、劈開面で形成されたオリエンテーションフラット、またはインデックスフラットを基準とし、角度合わせを行うためである。
このOF部の劈開面の形成は、単結晶インゴットを図4(A)のようにスライスして、OF部1a、IF部1bを有するスライスウェハ1を得た後、ダイヤモンドペンを用いて図4(B)のようにウェハ表面または裏面に短い傷(切り込み)2をつけ、そこに応力を加え点線3の位置でスクライブ(図4(C))することにより形成している。その後、劈開面が残りかつスクライブ傷による劈開面の段差を除去するように面取り(図4(D))をすることにより良好な劈開面(OF劈開面)4を形成し、所定の半導体レーザー用単結晶ウェハ5を得る。
図5に上記半導体レーザー用単結晶ウェハ5を用いて半導体レーザダイオード(LD)チップ6を製造するプロセスの概略を示す。ここでは代表例としてGaAs単結晶ウェハの場合を示す。このLDチップ6は、図5(b)〜(e)に図示するように、(1)エピタキシャル成長、(2)ストライプ構造形成、(3)電極形成、(4)レーザーバー形成(劈開端面コート)、(5)チップ形成(ダイシング)、(6)チップ組立の各工程を経て製造される。
半導体レーザダイオードでは、共振器を構成する光導波路を半導体結晶の中に作り込む。この光導波路は横幅数μm、長さ数百μmの細長い形状で、LDチップの両端には反射鏡が形成される。(100)面の表面を有するGaAs単結晶ウェハの場合、導波路の長手方向を、オリエンテーションフラット(OF:<0l1>面)と垂直な方向に形成する。この反射鏡は、III−V族化合物半導体プロセス特有の「劈開」により自動的に形成される。
このように半導体レーザーチップを作製する場合、GaAs単結晶ウェハでは[011]方向を示す劈開面を基準として、これに垂直にチップを劈開により切り出し、共振面として使用する。そのため、マスクパターンの形成時には、劈開面とマスクパターンの平行性を確保することが重要であり、通常は顕微鏡を用いてOF劈開面とマスクパターンの位置合わせを行っている。
なお、オリエンテーションフラット自体を形成する技術としては、従来、光学的な方法で角度合わせをする場合、例えば顕微鏡により角度合わせをする場合、オリエンテーションフラット部の断面形状が曲線になっているため、表面からみた状態においてオリエンテーションフラット部で顕微鏡観察像の焦点をあわせることが困難であり、角度合わせの精度を悪くしていたことから、パターン合わせ時の焦点合わせを容易にするため、オリエンテーションフラット部には面取りを施さず側面のみを機械加工した半導体ウエハ(特許文献1参照)や、単結晶インゴットの円筒研削工程によるオリエンテーションフラットの形成後、オリエンテーションフラットの結晶方位の誤差分を測定し、前記誤差分を機械加工により補正したオリエンテーションフラット部を備えた半導体ウエハ(特許文献2参照)が提案されている。
特開2000−068171号公報
特開2001−351836号公報
しかしながら、特許文献1、2は、上述したポリッシングと、これによりウェハ外周部のOF劈開部にできる端面ダレの関係について言及したものではない。ここに「端面ダレ」とは、図6に示すように、OF劈開面4の稜線部(鏡面7とOF劈開面4の稜角)の丸みをいい、鏡面7からOF劈開面4に沿って計測したOF劈開面4上の彎曲部と平坦面部の境界までの長さDにて、その程度を表す。
本発明者の研究によれば、ポリッシングにより表面を鏡面仕上げする研磨条件にバラツキが発生する。例えば、研磨液の回り込み方が均一でないと、ウェハの貼り付けプレートである定盤面内の研磨レートにバラツキが発生する。また定盤へのウェハ貼り付け枚数が異なることで、ウェハへの加工圧力が変化する。このような研磨条件のバラツキによって、OF劈開部を含むウェハ外周部に端面ダレ(D>40μm、図6参照)を招き、これによりマスクパターンの合わせ時に顕微鏡によるOF劈開面への焦点合わせが困難となり、アライメント精度が低下する、という問題のあることが分かった。
そこで、本発明の目的は、上記課題を解決し、光学式のアライメント方式により劈開面を基準としてマスクパターン合わせをする際の精度の向上およびプロセス歩留りの向上を実現できる半導体レーザー用単結晶ウェハを提供することにある。
上記目的を達成するため、本発明は、次のように構成したものである。
請求項1の発明に係る半導体レーザー用単結晶ウェハは、劈開によりオリエンテーションフラットを形成したウェハの表面を、硬度の高い研磨布で且つ最適なウェハ押し付け圧力及び研磨レートの下で、ウェハ表面の中心部と外周部の研磨レートが同一になるように研磨することで、劈開面における稜線部のダレを小さくしたオリエンテーションフラット部を備えていることを特徴とする。
請求項2の発明は、請求項1に記載の半導体レーザー用単結晶ウェハにおいて、上記研磨布の硬度がAsker−C基準で75〜79であり、ウェハ押し付け圧力が80〜50g/cm2及び研磨レートが4〜2μm/minであることを特徴とする。
請求項3の発明は、請求項1又は2に記載の半導体レーザー用単結晶ウェハにおいて、上記オリエンテーションフラットを形成する劈開面における稜線部のダレが40μm以下であることを特徴とする。
請求項4の発明は、請求項1又は2に記載の半導体レーザー用単結晶ウェハにおいて、上記オリエンテーションフラットを形成する劈開面における稜線部のダレが20μm以下であることを特徴とする。
請求項5の発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の半導体レーザー用単結晶ウェハにおいて、上記の半導体レーザー用単結晶ウェハの材質が、III−V族又はII−IV族化合物半導体であることを特徴とする。
<発明の要点>
DVD、CD用LD向けデバイスに対する品質要求、低価格化が進む中、パターンのズレによる歩留低下が問題となってきている。原因を調査した結果、ウェハ表面から見たウェハ外周部における約250μm辺りの端面ダレが歩留まりに大きく影響することが判った。特許文献1、2では、微視的なレベルでの説明はされておらず、研磨条件を規定していないので、機械的研磨において外周部の250μm部のダレを小さく制御することは困難であり、現在のLDチップ製造プロセス工程においては、歩留まり低下を招くことが懸念される。
DVD、CD用LD向けデバイスに対する品質要求、低価格化が進む中、パターンのズレによる歩留低下が問題となってきている。原因を調査した結果、ウェハ表面から見たウェハ外周部における約250μm辺りの端面ダレが歩留まりに大きく影響することが判った。特許文献1、2では、微視的なレベルでの説明はされておらず、研磨条件を規定していないので、機械的研磨において外周部の250μm部のダレを小さく制御することは困難であり、現在のLDチップ製造プロセス工程においては、歩留まり低下を招くことが懸念される。
上述のアライメント精度低下問題を解決するために、本発明では、半導体ウェハの構造として、OF劈開部の稜線部のダレが40μm以下である半導体レーザー用単結晶ウェハを提供することができる。なお、アライメントの精度を向上するためには、OF劈開部の稜線部のダレを更に小さくして、20μm以下となるように制御することが望ましい。
本発明によれば、半導体レーザー向けウェハの形状として、OF劈開面の稜線部のダレが、例えば40μm以下と小さい半導体レーザー用単結晶ウェハが提供されるので、これを用いることで光学式のアライメント方式によるマスクパターン合わせ時の精度が向上し、LDチップ製造におけるプロセス歩留の向上を実現することができる。
以下、本発明を図示の実施の形態に基づいて説明する。
図1に本発明によるアライメント不良のない半導体レーザー用単結晶ウェハの端面ダレの状態を、また図2にウェハ研磨プロセスにおける加工圧力と端面ダレの関係を示す。
従来技術では、ポリッシングにより表面を鏡面仕上げする研磨条件のバラツキによって、OF劈開部を含むウェハ外周部に端面ダレ(D>40μm、図6参照)を招き、マスクパターン合わせ時に、顕微鏡による劈開面への焦点合わせが困難となり、アライメント精度が低下する。このポリッシングにおける研磨条件と端面ダレの関係を調査した結果、端面ダレが発生するメカニズムとして、(1)研磨布の硬度、(2)研磨レート、(3)研磨押し付け圧力の三つが、ウェハ外周部の端面ダレの形状に大きく影響していることが分かった。
ここでポリッシングに用いられる研磨装置は、図2に示すように、上面に研磨布8を貼付した回転可能な定盤9と、該定盤9に相対向して設けられたウェハ保持盤10を備えた研磨ヘッド11とを有し、研磨に際しては研磨布8上に研磨液供給管から研磨液を供給するとともに、保持用ワックス(ウェハ接着剤)にてウェハ保持盤10の保持面に複数の半導体レーザー用単結晶ウェハ5を保持し、この研磨ヘッド11を加圧しウェハ表面を研磨布8に押圧して研磨するものである。なお、12は研磨ヘッド11の駆動軸である。
上記の研磨装置においては、一般的に、研磨液がウェハ外周部から周り込み研磨されるため、図2(a)に示すように、各半導体レーザー用単結晶ウェハ5の研磨は外周部の研磨レートが高くなる傾向になる。しかし、本発明者は、上記研磨条件の3つのファクターに関し、研磨布8として硬度の高い研磨布を採用し、半導体レーザー用単結晶ウェハ5に掛かる押し付け圧力が均一となるように、ウェハ押し付け圧力、研磨レートを最適化することで、各半導体レーザー用単結晶ウェハ5の中心部と外周部の研磨レートを制御できることを発見した。そして、図2(b)に示すように、ウェハ外周のOF劈開面における端面ダレDをD≦40μm以下に制御できる技術の開発に成功した。なお図2(c)はウェハ押し付け圧力が大きいため、半導体レーザー用単結晶ウェハ5の中心がダレる状態となっている。
すなわち、劈開によりオリエンテーションフラットを形成した半導体レーザー用単結晶ウェハ5の表面を、硬度の高い研磨布8で且つ最適なウェハ押し付け圧力及び研磨レートの下で、ウェハ表面の中心部と外周部の研磨レートが同一になるように研磨することで、OF劈開面4における稜線部のダレ(端面ダレD)を小さくしたオリエンテーションフラット部を備えた半導体レーザー用単結晶ウェハを得ることができる。
具体的な研磨条件は、例えば上記研磨布8の硬度がAsker−C基準で75〜79であり、ウェハ押し付け圧力が80〜50g/cm2及び研磨レートが4〜2μm/minである。
半導体レーザー用単結晶ウェハのOF劈開面の部分には、光学的なマスク位置合わせのため、顕微鏡による高い焦点合わせ精度が要求されるため、ポリッシングにおいては、従来を上回る更なるウェハ表面の平坦化、つまりOF劈開面と鏡面7がきれいに直角となる精度が求められている。そこで、上述の3つのパラメータの最適化として、研磨布8の硬度がAsker−C基準で75〜79であり、ウェハ押し付け圧力が80〜50g/cm2及び研磨レートが4〜2μm/minであるとしたところ、OF劈開面4の端面ダレDを40μm以下に制御できた。このうち特に、研磨布8の硬度がAsker−C基準で79であり、ウェハ押し付け圧力が50g/cm2及び研磨レートが2μm/minであるとしたところ、OF劈開面4の端面ダレDを20μm以下に制御できるまでに至った。これにより、光学式のアライメント方式によるマスクパターン合わせ歩留を98〜100%にすることが可能となった。
<実施例>
次に、本発明の実施例について説明する。
次に、本発明の実施例について説明する。
図3に示すように、上述の3つのパラメータ(研磨布の硬度、研磨レート、研磨押し付け圧力)に関して、比較例1、実施例1、実施例2とそれぞれ研磨条件を変えて、直径7.62cm(3インチ)のn型GaAs基板から成る半導体レーザー用単結晶ウェハを作製し、各ウェハのOF劈開面における端面ダレDとの関係を調べた。また、得られた半導体レーザー用単結晶ウェハの鏡面上に、MOVPE法によりAlGaAs系エピタキシャル層を成長し、LDチップとしたときのアライメント不良率を調べた。この結果を図3に示す。
比較例の研磨条件は、研磨布8の硬度がAsker−C基準で71(研磨布硬度として柔らかい)であり、ウェハ押し付け圧力(加圧圧力)が100g/cm2(加圧圧力が高い)及び研磨レートが5μm/min(研磨レートが速い)である。この場合、OF劈開面4の端面ダレDは45μmを越える形状であり、アライメント不良率は40〜60%と大きかった。
これに対し、実施例1の研磨条件は、研磨布8の硬度がAsker−C基準で75(研磨布硬度は中程度)であり、ウェハ押し付け圧力が80g/cm2(加圧圧力は中程度)及び研磨レートが4μm/min(研磨レートは中程度)である。この場合、OF劈開面4の端面ダレDは30〜35μmと小さな形状であり、アライメント不良率も5〜10%と小さくなった。
次に、実施例2の研磨条件は、研磨布8の硬度がAsker−C基準で79(研磨布硬度は硬い)であり、ウェハ押し付け圧力が50g/cm2(加圧圧力は中程度)及び研磨レートが2μm/min(研磨レートは遅い)である。この場合、OF劈開面4の端面ダレDは15〜20μmと小さな形状であり、アライメント不良率も1%より小さくなった。
上記の結果から、端面ダレDが45〜50μmを越えると、アライメント不良率が増大し、端面ダレDを20μm以下に制御した場合、アライメント不良率が1%未満にまで低減する傾向にあることが判る。
なお、上記実施形態では、半導体レーザー用単結晶ウェハとしてIII−V族化合物半導体であるGaAsウェハを例にして説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、InP、GaN等のその他のIII−V族、II−IV族化合物半導体ウェハにも適用することができる。
1 スライスウェハ
1a OF部
1b IF部
2 短い傷(切り込み)
3 点線
4 劈開面
5 半導体レーザー用単結晶ウェハ
6 LDチップ
7 鏡面
8 研磨布
9 定盤
10 ウェハ保持盤
11 研磨ヘッド
12 駆動軸
1a OF部
1b IF部
2 短い傷(切り込み)
3 点線
4 劈開面
5 半導体レーザー用単結晶ウェハ
6 LDチップ
7 鏡面
8 研磨布
9 定盤
10 ウェハ保持盤
11 研磨ヘッド
12 駆動軸
Claims (5)
- 劈開によりオリエンテーションフラットを形成したウェハの表面を、硬度の高い研磨布で且つ最適なウェハ押し付け圧力及び研磨レートの下で、ウェハ表面の中心部と外周部の研磨レートが同一になるように研磨することで、劈開面における稜線部のダレを小さくしたオリエンテーションフラット部を備えていることを特徴とする半導体レーザー用単結晶ウェハ。
- 上記研磨布の硬度がAsker−C基準で75〜79であり、ウェハ押し付け圧力が80〜50g/cm2及び研磨レートが4〜2μm/minであることを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザー用単結晶ウェハ。
- 上記オリエンテーションフラットを形成する劈開面における稜線部のダレが40μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザー用単結晶ウェハ。
- 上記オリエンテーションフラットを形成する劈開面における稜線部のダレが20μm以下であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体レーザー用単結晶ウェハ。
- 上記の半導体レーザー用単結晶ウェハの材質が、III−V族又はII−IV族化合物半導体であることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の半導体レーザー用単結晶ウェハ。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008300422A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 化合物半導体基板の研磨方法、化合物半導体基板、化合物半導体エピ基板の製造方法および化合物半導体エピ基板 |
JP2010192824A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Nichia Corp | 窒化物半導体素子の製造方法 |
WO2018198718A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | Jx金属株式会社 | 半導体ウエハ及び半導体ウエハの研磨方法 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
SG11201400917VA (en) * | 2011-10-06 | 2014-07-30 | Heptagon Micro Optics Pte Ltd | Method for wafer-level manufacturing of objects and corresponding semi-finished products |
JP6063436B2 (ja) * | 2014-12-18 | 2017-01-18 | Dowaエレクトロニクス株式会社 | ウェハ群、ウェハの製造装置、およびウェハの製造方法 |
CN117498143A (zh) * | 2023-11-07 | 2024-02-02 | 苏州镓锐芯光科技有限公司 | 一种半导体激光器巴条解理的方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07307316A (ja) * | 1994-05-12 | 1995-11-21 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Iii −v族半導体ウエ−ハ及びその加工方法 |
US6113721A (en) * | 1995-01-03 | 2000-09-05 | Motorola, Inc. | Method of bonding a semiconductor wafer |
JPH08267347A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-15 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | オリエンテーション・フラットを有するウエーハ面取り部の鏡面研磨方法とその装置 |
JP4449088B2 (ja) | 1998-08-19 | 2010-04-14 | 日鉱金属株式会社 | 半導体ウエハーおよびその製造方法 |
US6452091B1 (en) * | 1999-07-14 | 2002-09-17 | Canon Kabushiki Kaisha | Method of producing thin-film single-crystal device, solar cell module and method of producing the same |
JP2002025958A (ja) * | 2000-07-13 | 2002-01-25 | Canon Inc | 半導体基板の精密研磨方法および装置 |
US6709981B2 (en) * | 2000-08-16 | 2004-03-23 | Memc Electronic Materials, Inc. | Method and apparatus for processing a semiconductor wafer using novel final polishing method |
JP2002222785A (ja) * | 2001-01-24 | 2002-08-09 | Dowa Mining Co Ltd | 半導体ウエハおよびその研磨方法 |
JP4011300B2 (ja) | 2001-04-04 | 2007-11-21 | 日鉱金属株式会社 | 半導体ウエハーおよびその製造方法 |
JP2004200529A (ja) | 2002-12-20 | 2004-07-15 | Hitachi Cable Ltd | 半導体ウェハ研磨方法 |
SG116600A1 (en) * | 2004-04-09 | 2005-11-28 | Asml Masktools Bv | Optical proximity correction using chamfers and rounding at corners. |
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JP2008300422A (ja) * | 2007-05-29 | 2008-12-11 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 化合物半導体基板の研磨方法、化合物半導体基板、化合物半導体エピ基板の製造方法および化合物半導体エピ基板 |
JP4552968B2 (ja) * | 2007-05-29 | 2010-09-29 | 住友電気工業株式会社 | 化合物半導体基板の研磨方法、化合物半導体基板、化合物半導体エピ基板の製造方法および化合物半導体エピ基板 |
US8133815B2 (en) | 2007-05-29 | 2012-03-13 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Method of polishing compound semiconductor substrate, compound semiconductor substrate, method of manufacturing compound semiconductor epitaxial substrate, and compound semiconductor epitaxial substrate |
JP2010192824A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Nichia Corp | 窒化物半導体素子の製造方法 |
WO2018198718A1 (ja) * | 2017-04-28 | 2018-11-01 | Jx金属株式会社 | 半導体ウエハ及び半導体ウエハの研磨方法 |
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