JP2006216679A - パルス分割供給によるプラズマ処理方法及び装置並びにプラズマcvd方法 - Google Patents
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Abstract
大面積基板に均一な膜厚及び膜質分布で成膜できるプラズマ処理方法及び装置を提供する。
【解決手段】
電極の離間した複数の位置に複数のパルス変調された高周波電力を供給する高周波電力供給手段が設けられ、複数のパルス変調された高周波電力をそれぞれ電極表面上に全体的に伝播するように構成される。
【選択図】 図1
Description
基板上に堆積される薄膜としては、代表的にはアモルファスシリコン(a―Si)、窒化珪素(SiNx)、酸化珪素(SiOx)、酸化窒化珪素(SiOxNy)、nドープアモルファスシリコン(n+a―Si)を拳げることができる。
2:基板ホルダー
3:電極
4:ヒーター
5:大面積基板
6:絶縁部材
7:成膜ガス供給口
8:水晶発振器
9:高周波増幅器
10:整合器
11:給電部材
12:パルス発振器
13:絶縁部材
Claims (21)
- 真空槽内に、大面積基板を載置する基板ホルダーと、前記基板ホルダーに対向する電極と、前記真空槽内にガスを導入する手段とを設け、また前記電極の離間した複数の位置に複数のパルス変調された高周波電力を供給する高周波電力供給手段を設け、前記複数のパルス変調された高周波電力をそれぞれ前記電極表面上に全体的に伝播するように高周波電力供給手段が構成されることを特徴とするプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力の周波数が13MHz乃至30MHzの範囲にあることを特徴とする請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力供給手段が、前記複数のパルス変調された高周波電力のパルス変調の相対的な位相差を調整する手段を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力を供給する位置が電極端部から調整可能な距離(Ka、Kb)離間していることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記パルス変調の出力デューティー比が30%乃至70%の範囲にあることを特徴とする請求項3又は4のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力を供給する位置が前記電極上の離間した二つの位置であり、前記二つの位置にそれぞれ供給される前記高周波電力のパルス変調の相対的な位相差が180°であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力供給手段が、二つの高周波電源と、それぞれの高周波電源の高周波電力をパルス変調ししかも高周波電力の相対的な位相差が所定値となるように位相制御するパルス発振器とを備えている請求項6に記載のプラズマ処理装置。
- 前記パルス発振器は、各高周波電源からの高周波電力が互いに干渉しないような時間分割した二種類のパルス変調出力となるようにする分割パルス変調機能を備えている請求項7に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力を供給する位置が前記電極上の離間した四つの位置であり、前記四つの位置のうち左右又は上下に相対した二つの位置にそれぞれ供給される前記高周波電力のパルス変調の相対的な位相差が180°であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 前記高周波電力供給手段が、四つの高周波電源と、各高周波電源の高周波電力をパルス変調し、しかも前記電極上の離間した四つの位置のうち左右又は上下に相対した二つの位置に供給される高周波電力が互いに干渉しないような時間分割した二種類のパルス変調出力を発生するように構成した一つのパルス発振器とを備えている請求項9に記載のプラズマ処理装置。
- 前記パルス変調の周波数が1kHz乃至500kHzの範囲にあることを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載のプラズマ処理装置。
- 真空槽内に大面積基板を載置する基板ホルダーと前記基板ホルダーに対向する電極を設け、前記真空槽内にガスを導入し、前記電極上の離間した位置に複数のパルス変調された高周波電力を供給して、前記電極上の離間した位置に複数のパルス変調された高周波電力を前記電極表面上に全体的に伝播させプラズマを発生させて、前記大面積基板上に処理を行うことを特徴とするプラズマ処理方法。
- 前記高周波電力の周波数が13MHz乃至30MHzの範囲にあることを特徴とする請求項12に記載のプラズマ処理方法。
- 前記複数のパルス変調された高周波電力のパルス変調の相対的な位相差を調整することを特徴とする請求項12又は13に記載のプラズマ処理方法。
- 前記高周波電力を供給する前記電極上の位置を調整することを特徴とする請求項12〜14のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 前記パルス変調の出カデューティー比を30%乃至70%の範囲で調整することを特徴とする請求項14又は15に記載のプラズマ処理方法。
- 前記高周波電力を供給する位置が前記電極上の離間した二つの位置であり、前記二つの位置にそれぞれ供給される前記高周波電力のパルス変調の相対的な位相差が180°となるように高周波電力のパルス変調の相対的な位相差を調整することを特徴とする請求項12〜16のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 前記高周波電力を供給する位置が前記電極上の離間した四つの位置であり、前記四つの位置のうち左右又は上下に相対した二つの位置にそれぞれ供給される前記高周波電力のパルス変調の相対的な位相差が180°となるように高周波電力のパルス変調の相対的な位相差を調整することを特徴とする請求項12〜16のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 前記パルス変調の周波数を1kHz乃至500kHzの範囲で調整することを特徴とする諸求項12〜18のいずれか1項に記載のプラズマ処理方法。
- 真空槽内に、大面積基板を載置する基板ホルダーと前記基板ホルダーに対向する電極を設け、前記真空槽内に成膜ガスを導入し、前記電極に離間した位置に複数のパルス変調された高周波電力を供給して、前記電極上の離間した位置に複数のパルス変調された高周波電力を前記電極表面上に全体的に伝播させプラズマを発生させて、前記大面積基板上に処理を行うことを特徴とするプラズマCVD方法。
- 前記パルス変調の周波数を調整することにより前記大面積基板上に堆積する薄膜の膜質を制御することを特徴とする請求項20に記載のプラズマCVD方法。
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