JP2006215035A5 - - Google Patents

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Families Citing this family (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100707963B1 (ko) * 2005-05-04 2007-04-16 김선태 가스상 배출물질의 발산속도를 측정하기 위하여 반도체센서를 사용하는 챔버 시스템
US20070261559A1 (en) * 2006-05-09 2007-11-15 Maroulis Peter J Analysis of a reactive gas such as silane for particle generating impurities
US8510272B2 (en) 2007-04-20 2013-08-13 General Electric Company Decision support response systems and methods
JP4973937B2 (ja) * 2007-08-24 2012-07-11 オルガノ株式会社 高圧流体中の微粒子測定システムおよび微粒子測定方法
JP4997568B2 (ja) * 2007-08-24 2012-08-08 オルガノ株式会社 高圧二酸化炭素の微粒子測定システムおよび微粒子測定方法
GB0808385D0 (en) * 2008-05-08 2008-06-18 Naneum Ltd A condensation apparatus
TWI385374B (zh) * 2009-01-21 2013-02-11 Taiwan Textile Res Inst 檢測裝置及檢測方法
CN102252953B (zh) * 2010-05-21 2013-07-03 武汉新芯集成电路制造有限公司 用于液体颗粒测试的适配装置
JP5690188B2 (ja) * 2011-03-31 2015-03-25 大陽日酸株式会社 モノシランガスの供給方法
DE102012005719A1 (de) * 2012-03-20 2013-09-26 Hydac Accessories Gmbh Prüfvorrichtung zum Ermitteln der Partikelbelastung von unter einem hohen Druck stehendem Wasserstoff
JP2015036658A (ja) * 2013-08-14 2015-02-23 大陽日酸株式会社 試料ガス中の金属のサンプリング方法およびサンプリング装置
FR3010482B1 (fr) * 2013-09-12 2015-10-16 Air Liquide Dispositif d'echantillonnage de gaz et station de remplissage comprenant un tel dispositif
JP2018512581A (ja) * 2015-03-12 2018-05-17 プロフタガレン アクチエボラグＰｒｏｖｔａｇａｒｅｎ 流体流中の粒子および気相の有機および非有機成分の能動的または受動的なサンプリングの方法
JP6790691B2 (ja) * 2015-10-05 2020-11-25 日本製鉄株式会社 微粒子分析方法
EP3223181B1 (en) 2016-03-24 2019-12-18 Sofradim Production System and method of generating a model and simulating an effect on a surgical repair site
KR101798601B1 (ko) * 2016-09-12 2017-11-16 연세대학교 산학협력단 포터블 바이오 에어로졸 포집 장치 및 분석방법
DE102017006063A1 (de) * 2017-06-27 2018-12-27 Hydac Accessories Gmbh Prüfvorrichtung zum Ermitteln der Partikelbelastung von unter einem hohen Druck stehendem Wasserstoff
CN107436269B (zh) * 2017-09-14 2023-11-17 辽宁工程技术大学 一种挥发性颗粒物浓度检测装置、控制系统及方法
CN110880445B (zh) * 2018-09-06 2025-04-18 同方威视技术股份有限公司 一种基于脉冲采样的离子迁移谱仪及嗅探装置
US12270748B2 (en) 2018-09-12 2025-04-08 Lam Research Corporation Method and apparatus for measuring particles
CN109838686B (zh) * 2019-02-14 2025-01-28 昊华气体有限公司 一种钢瓶处理系统及其使用方法和应用
JP7045348B2 (ja) * 2019-05-21 2022-03-31 Ckd株式会社 フィルタ装置
CN110187067B (zh) * 2019-06-21 2024-03-22 上海至纯系统集成有限公司 一种水氧颗粒自动分析系统及其分析方法
TWI712774B (zh) * 2019-06-27 2020-12-11 鄭慶煥 用於量測氣體的裝置及用於量測氣體的方法
CN116907927B (zh) * 2023-09-13 2023-11-14 上海兄弟微电子技术有限公司 一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0663961B2 (ja) * 1986-03-24 1994-08-22 日本科学工業株式会社 液中不純物測定方法とその測定装置
IL86892A (en) * 1987-07-08 1993-04-04 Lafon Labor Filter comprising a material obtained by freeze-drying, its preparation and its use, especially in pharmacy
JPH0298652A (ja) * 1988-10-05 1990-04-11 Mitsubishi Electric Corp ダストカウンタ
US4964278A (en) * 1989-03-06 1990-10-23 American Air Liquide Method of separating condensible vapors from particles in highly compressed gases
JPH04303738A (ja) * 1991-03-29 1992-10-27 Japan Electron Ind Dev Assoc<Jeida> 微粒子計
JPH0534260A (ja) * 1991-07-29 1993-02-09 Shimadzu Corp 表面積測定用試料セル
US5665902A (en) * 1994-05-10 1997-09-09 American Air Liquide, Inc. Method to analyze particle contaminants in compressed gases
KR0176152B1 (ko) * 1995-05-29 1999-04-15 김광호 반도체 장치의 제조과정에서 발생하는 오염입자의 측정장치, 측정방법 및 그 분석 방법
US5872622A (en) * 1996-08-12 1999-02-16 Met One, Inc. Condensation nucleus counter having vapor stabilization and working fluid recovery
JP3545161B2 (ja) * 1997-03-11 2004-07-21 株式会社島津製作所 エアロゾル中化学成分の捕集抽出装置
KR100251645B1 (ko) * 1997-03-21 2000-04-15 윤종용 반도체 공정용 가스 평가장치에 결합되는 샘플가스 분배 장치 및 구동방법
US6248217B1 (en) * 1997-04-10 2001-06-19 The University Of Cincinnati Process for the enhanced capture of heavy metal emissions
JP2000180342A (ja) * 1998-12-14 2000-06-30 L'air Liquide ガス容器及び容器弁の評価方法
KR101110391B1 (ko) * 2002-01-22 2012-02-15 프랙스에어 테크놀로지, 인코포레이티드 이산화탄소 중의 불순물 분석 방법
US6796165B2 (en) * 2002-11-18 2004-09-28 Southwest Research Institute Apparatus and method for real-time measurement of mass, size and number of solid particles of particulate matter in engine exhaust
CN1836160A (zh) * 2003-04-28 2006-09-20 约翰逊马西有限公司 分析颗粒的方法和装置

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