JPH04303738A - 微粒子計 - Google Patents
微粒子計Info
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- JPH04303738A JPH04303738A JP3092883A JP9288391A JPH04303738A JP H04303738 A JPH04303738 A JP H04303738A JP 3092883 A JP3092883 A JP 3092883A JP 9288391 A JP9288391 A JP 9288391A JP H04303738 A JPH04303738 A JP H04303738A
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Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は微粒子計に関し、例えば
光散乱式粒子計数器に適用して好適なものである。
光散乱式粒子計数器に適用して好適なものである。
【０００２】
【従来の技術】微粒子計、例えば光散乱式粒子計数器は
、液体、気体等の流体内に浮遊する微粒子を光学的に検
出して計数しようとするもので、導入部の流路から被検
流体を計測用光学セルに流し込んで排出部の流路から排
出させるようにすると共に、レーザ光源でなる照射光源
から射出される照射光束を収束光学系によつて計測用光
学セルの流路に収束させることにより被検流体内に微粒
子が浮遊しているとき当該微粒子によつて照射光束を散
乱させるようになされている。
、液体、気体等の流体内に浮遊する微粒子を光学的に検
出して計数しようとするもので、導入部の流路から被検
流体を計測用光学セルに流し込んで排出部の流路から排
出させるようにすると共に、レーザ光源でなる照射光源
から射出される照射光束を収束光学系によつて計測用光
学セルの流路に収束させることにより被検流体内に微粒
子が浮遊しているとき当該微粒子によつて照射光束を散
乱させるようになされている。
【０００３】当該散乱光は集光光学系によつて光検出器
に集光され、かくして流路に微粒子が通過するごとに光
検出器から電気的な粒子検出信号を送出する。実際上こ
の粒子検出信号は後段の検出信号処理回路（図示せず）
において処理され、かくして例えば計測用光学セルの流
路を単位容積の被検流体が通過したときの粒子数によつ
て浮遊微粒子の濃度を判定したり、微粒子の粒径を判別
したりするようになされている。
に集光され、かくして流路に微粒子が通過するごとに光
検出器から電気的な粒子検出信号を送出する。実際上こ
の粒子検出信号は後段の検出信号処理回路（図示せず）
において処理され、かくして例えば計測用光学セルの流
路を単位容積の被検流体が通過したときの粒子数によつ
て浮遊微粒子の濃度を判定したり、微粒子の粒径を判別
したりするようになされている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】かかる構成の微粒子計
において、被検流体として反応性、有毒性の高いガス中
に浮遊する微粒子を計測しようとする場合には、安全性
を確保するため、当該微粒子計を被検流体を使用する対
象システムのパイプラインにインラインに挿入する際に
、当該反応性、有毒性の高い被検流体をリークさせない
ようにリークタイト構造にする必要がある。従つてこの
ような用途に使用する微粒子計においては、微粒子計の
構成要素から汚染物質が流路内に放出させないようにす
る必要がある。
において、被検流体として反応性、有毒性の高いガス中
に浮遊する微粒子を計測しようとする場合には、安全性
を確保するため、当該微粒子計を被検流体を使用する対
象システムのパイプラインにインラインに挿入する際に
、当該反応性、有毒性の高い被検流体をリークさせない
ようにリークタイト構造にする必要がある。従つてこの
ような用途に使用する微粒子計においては、微粒子計の
構成要素から汚染物質が流路内に放出させないようにす
る必要がある。
【０００５】因に光学的に透明な計測用光学セルとして
通常石英ガラスで構成されたものを使用するが、この場
合当該計測用光学セルを対象システムのパイプラインに
挿入結合する方法として、例えばＳＵＳ材料でなる導入
部及び排出部を用意し、導入部及び排出部間に計測用光
学セルを両側から挟み込むように強く押圧することによ
りリークタイトに計測用光学セルを保持するような構造
のものが考えられている。
通常石英ガラスで構成されたものを使用するが、この場
合当該計測用光学セルを対象システムのパイプラインに
挿入結合する方法として、例えばＳＵＳ材料でなる導入
部及び排出部を用意し、導入部及び排出部間に計測用光
学セルを両側から挟み込むように強く押圧することによ
りリークタイトに計測用光学セルを保持するような構造
のものが考えられている。
【０００６】このようにすれば、導入部及び排出部をＳ
ＵＳ材料で構成したことにより、対象システムのパイプ
ラインに簡易に結合できる結合手段を容易に得ることが
できることにより、石英ガラス製の計測用光学セルを対
象システムにインラインに挿入することができる。
ＵＳ材料で構成したことにより、対象システムのパイプ
ラインに簡易に結合できる結合手段を容易に得ることが
できることにより、石英ガラス製の計測用光学セルを対
象システムにインラインに挿入することができる。
【０００７】ところがこのように構成すると実際上、Ｓ
ＵＳ材料に水分や被検流体と反応するガス成分等が吸着
されている場合には、計測用光学セルにおける計測結果
に誤差が生じたり、システムラインに汚染物質を放出す
る結果になつたり、被検流体と危険な反応をしたりする
おそれがある。
ＵＳ材料に水分や被検流体と反応するガス成分等が吸着
されている場合には、計測用光学セルにおける計測結果
に誤差が生じたり、システムラインに汚染物質を放出す
る結果になつたり、被検流体と危険な反応をしたりする
おそれがある。
【０００８】例えば被検流体がＳｉＨ４ ガスの場合、
微粒子計の構成要素から水分が放出されるとこれがＳｉ
Ｈ４ と反応してＳｉＯ２系の固形物でなる微粒子を生
成し、これが計測用光学セルにおいて浮遊微粒子として
計測されることにより計測結果に誤差を生じさせる。
微粒子計の構成要素から水分が放出されるとこれがＳｉ
Ｈ４ と反応してＳｉＯ２系の固形物でなる微粒子を生
成し、これが計測用光学セルにおいて浮遊微粒子として
計測されることにより計測結果に誤差を生じさせる。
【０００９】実際上この問題を解決する方法として、微
粒子計をシステムに挿入する前に、予め所定時間の間窒
素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスを微粒子計に流す
ようなパージ処理をすることにより、水分やガス成分な
どを微粒子計の構成要素から離脱させるような方法が用
いられている。
粒子計をシステムに挿入する前に、予め所定時間の間窒
素ガス、アルゴンガス等の不活性ガスを微粒子計に流す
ようなパージ処理をすることにより、水分やガス成分な
どを微粒子計の構成要素から離脱させるような方法が用
いられている。
【００１０】このようにすれば実際上微粒子の誤計測や
システムへの汚染物質の放出などの問題を十分に解決で
きると考えられるが、実用上微粒子計をシステムに挿入
するときその都度長い時間の間パージ処理をすることは
実用上煩雑であり、パージ処理時間をできるだけ短縮で
きるようにすることが望ましい。本発明は以上の点を考
慮してなされたもので、微粒子計を構成している金属材
料から放出される水分や汚染物質の放出量を実用上十分
に低減できるようにした微粒子計を提案しようとするも
のである。
システムへの汚染物質の放出などの問題を十分に解決で
きると考えられるが、実用上微粒子計をシステムに挿入
するときその都度長い時間の間パージ処理をすることは
実用上煩雑であり、パージ処理時間をできるだけ短縮で
きるようにすることが望ましい。本発明は以上の点を考
慮してなされたもので、微粒子計を構成している金属材
料から放出される水分や汚染物質の放出量を実用上十分
に低減できるようにした微粒子計を提案しようとするも
のである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】かかる課題を解決するた
め本発明においては、金属製の導入部２及び排出部４に
よつて計測用光学セル３を挟着保持すると共に、導入部
２の流路２Ａを通つて計測用光学セル３に導入された被
検流体ＦＬを排出部４の流路４Ａを通つて排出させるよ
うになされ、計測用光学セル３を通過する被検流体ＦＬ
に照射光束ＬＡ１を照射して被検流体ＦＬ中の微粒子に
よつて散乱された散乱光ＬＡ２に基づいて当該微粒子を
計測する微粒子計１において、導入部２及び排出部４の
流路２Ａ、４Ａの壁面に酸化不動態膜１１、１２を付着
させるようにする。
め本発明においては、金属製の導入部２及び排出部４に
よつて計測用光学セル３を挟着保持すると共に、導入部
２の流路２Ａを通つて計測用光学セル３に導入された被
検流体ＦＬを排出部４の流路４Ａを通つて排出させるよ
うになされ、計測用光学セル３を通過する被検流体ＦＬ
に照射光束ＬＡ１を照射して被検流体ＦＬ中の微粒子に
よつて散乱された散乱光ＬＡ２に基づいて当該微粒子を
計測する微粒子計１において、導入部２及び排出部４の
流路２Ａ、４Ａの壁面に酸化不動態膜１１、１２を付着
させるようにする。
【００１２】
【作用】計測用光学セル３を対象システムにリークタイ
トに結合する導入部２及び排出部４の流路２Ａ及び４Ａ
の壁面に酸化不動態膜１１及び１２を付着させるように
したことにより、導入部２及び排出部４から流路２Ａ及
び４Ａに放出される水分、汚染成分を格段的に低減する
ことができ、かくしてパージ処理時間が一段と短い微粒
子計を得ることができる。
トに結合する導入部２及び排出部４の流路２Ａ及び４Ａ
の壁面に酸化不動態膜１１及び１２を付着させるように
したことにより、導入部２及び排出部４から流路２Ａ及
び４Ａに放出される水分、汚染成分を格段的に低減する
ことができ、かくしてパージ処理時間が一段と短い微粒
子計を得ることができる。
【００１３】
【実施例】以下図面について、本発明の一実施例を詳述
する。
する。
【００１４】図１は、光散乱式粒子計数器１でなる微粒
子計を示し、金属材料、例えばＳＵＳ材料でなる導入部
２の流路２Ａから被検流体ＦＬを石英ガラスで構成され
た透明な計測用光学セル３の流路３Ａに導入すると共に
、流路３Ａから排出した被検流体ＦＬを金属材料、例え
ばＳＵＳ材料でなる排出部４の流路４Ａから排出させる
ようになされている。
子計を示し、金属材料、例えばＳＵＳ材料でなる導入部
２の流路２Ａから被検流体ＦＬを石英ガラスで構成され
た透明な計測用光学セル３の流路３Ａに導入すると共に
、流路３Ａから排出した被検流体ＦＬを金属材料、例え
ばＳＵＳ材料でなる排出部４の流路４Ａから排出させる
ようになされている。
【００１５】実際上導入部２及び排出部４は、金属材料
で構成されていることにより、適用対象システムのパイ
プラインに容易に結合できると共に、導入部２及び排出
部４の押付用フランジ２Ｂ及び４Ｂを計測用光学セル３
の両端に設けられている連結用フランジ３Ｂ１及び３Ｂ
２にこれを挟み付けるように強く押し付けることにより
計測用光学セル３に対して導入部２及び排出部４をリー
クタイトに結合することができる。
で構成されていることにより、適用対象システムのパイ
プラインに容易に結合できると共に、導入部２及び排出
部４の押付用フランジ２Ｂ及び４Ｂを計測用光学セル３
の両端に設けられている連結用フランジ３Ｂ１及び３Ｂ
２にこれを挟み付けるように強く押し付けることにより
計測用光学セル３に対して導入部２及び排出部４をリー
クタイトに結合することができる。
【００１６】計測用光学セル３には例えばレーザ光源で
なる照射光源５が設けられ、この照射光源５から射出さ
れる照射光束ＬＡ１を収束光学系６及びミラー７を介し
て計測用光学セル３の流路３Ａに収束させることにより
被検流体ＦＬ内に微粒子が浮遊しているとき当該微粒子
によつて照射光束ＬＡ１を散乱させるようになされてい
る。当該散乱光ＬＡ２は集光光学系８によつて光検出器
９に集光され、かくして流路３Ａに微粒子が通過するご
とに光検出器９から電気的な粒子検出信号Ｓ１を送出す
る。
なる照射光源５が設けられ、この照射光源５から射出さ
れる照射光束ＬＡ１を収束光学系６及びミラー７を介し
て計測用光学セル３の流路３Ａに収束させることにより
被検流体ＦＬ内に微粒子が浮遊しているとき当該微粒子
によつて照射光束ＬＡ１を散乱させるようになされてい
る。当該散乱光ＬＡ２は集光光学系８によつて光検出器
９に集光され、かくして流路３Ａに微粒子が通過するご
とに光検出器９から電気的な粒子検出信号Ｓ１を送出す
る。
【００１７】実際上この粒子検出信号Ｓ１は後段の検出
信号処理回路（図示せず）において処理され、かくして
例えば計測用光学セル３の流路３Ａを単位容積の被検流
体ＦＬが通過したときの粒子数によつて浮遊微粒子の濃
度を判定したり、微粒子の粒径を判別したりするように
なされている。以上の構成に加えて導入部２及び排出部
４の流路２Ａ及び４Ａの壁面には、それぞれ酸化不動態
膜１１及び１２が付着されている。
信号処理回路（図示せず）において処理され、かくして
例えば計測用光学セル３の流路３Ａを単位容積の被検流
体ＦＬが通過したときの粒子数によつて浮遊微粒子の濃
度を判定したり、微粒子の粒径を判別したりするように
なされている。以上の構成に加えて導入部２及び排出部
４の流路２Ａ及び４Ａの壁面には、それぞれ酸化不動態
膜１１及び１２が付着されている。
【００１８】この実施例の場合酸化不動態膜１１及び１
２は、ＳＵＳ材料によつて製作された導入部２及び排出
部４を融点近傍まで熱することにより、ＳＵＳ材料中の
鉄、クロムを析出させて酸素と反応させることにより鉄
、クロムの水酸化物でなる酸化不動態膜１１及び１２を
形成させる。
２は、ＳＵＳ材料によつて製作された導入部２及び排出
部４を融点近傍まで熱することにより、ＳＵＳ材料中の
鉄、クロムを析出させて酸素と反応させることにより鉄
、クロムの水酸化物でなる酸化不動態膜１１及び１２を
形成させる。
【００１９】以上の構成において、導入部２及び排出部
４の流路２Ａ及び４Ａの壁面に、酸化不動態膜１１及び
１２を付着させたことにより、ＳＵＳ材料でなる導入部
２及び排出部４の肉厚部分に存在する水分や汚染成分が
酸化不動態膜１１及び１２を透過し難くなる。
４の流路２Ａ及び４Ａの壁面に、酸化不動態膜１１及び
１２を付着させたことにより、ＳＵＳ材料でなる導入部
２及び排出部４の肉厚部分に存在する水分や汚染成分が
酸化不動態膜１１及び１２を透過し難くなる。
【００２０】従つて流路２Ａ及び４Ａを被検流体ＦＬが
通過したとき、当該被検流体ＦＬに放出される水分、汚
染成分の量を実用上格段的に少なくすることができ、こ
れにより微粒子計１を適用対象システムにインラインに
挿入する際にこれに先立つてパージ処理をしたとき当該
パージ処理時間を格段的に短縮することができる。
通過したとき、当該被検流体ＦＬに放出される水分、汚
染成分の量を実用上格段的に少なくすることができ、こ
れにより微粒子計１を適用対象システムにインラインに
挿入する際にこれに先立つてパージ処理をしたとき当該
パージ処理時間を格段的に短縮することができる。
【００２１】実験によれば、図２において常温でのパー
ジ処理時間（分）に対する水分濃度（ｐｐｂ）を計測し
たところ、図１の構成によれば、曲線Ｋ１に示すように
、従来の場合と比較してパージ時間が短時間の間に水分
濃度を実用上十分に低いレベルにまで引き下げることが
できた。
ジ処理時間（分）に対する水分濃度（ｐｐｂ）を計測し
たところ、図１の構成によれば、曲線Ｋ１に示すように
、従来の場合と比較してパージ時間が短時間の間に水分
濃度を実用上十分に低いレベルにまで引き下げることが
できた。
【００２２】なお図２の実験結果において、曲線Ｋ２は
導入部２及び排出部４の流路２Ａ及び４Ａを電解研磨処
理をした場合の水分濃度の変化を表すと共に、曲線Ｋ３
は導入部２及び排出部４の流路２Ａ及び４Ａをブライト
アニール処理をした場合の水分濃度の変化を表す。
導入部２及び排出部４の流路２Ａ及び４Ａを電解研磨処
理をした場合の水分濃度の変化を表すと共に、曲線Ｋ３
は導入部２及び排出部４の流路２Ａ及び４Ａをブライト
アニール処理をした場合の水分濃度の変化を表す。
【００２３】曲線Ｋ２及びＫ３と比較して図１の構成の
場合の曲線Ｋ１においては、例えば常温でのパージ時間
が２０分程度で実用上十分に水分濃度を低減させること
ができたことが分る。
場合の曲線Ｋ１においては、例えば常温でのパージ時間
が２０分程度で実用上十分に水分濃度を低減させること
ができたことが分る。
【００２４】
【発明の効果】上述のように本発明によれば、計測用光
学セルを金属製導入部及び排出部によつて挟着保持する
微粒子計において、導入部及び排出部の流路の壁面に酸
化不動態膜を付着させるようにしたことにより、流路に
放出される水分、汚染成分を十分に低減させることがで
き、その結果パージ処理時間を格段的に短縮することが
できる。
学セルを金属製導入部及び排出部によつて挟着保持する
微粒子計において、導入部及び排出部の流路の壁面に酸
化不動態膜を付着させるようにしたことにより、流路に
放出される水分、汚染成分を十分に低減させることがで
き、その結果パージ処理時間を格段的に短縮することが
できる。
【図１】本発明による微粒子計の一実施例の全体構成を
示す略線図である。
示す略線図である。
【図２】実験結果を示す特性曲線図である。
１……微粒子計、２……導入部、２Ａ……流路、３……
計測用光学セル、４……排出部、４Ａ……流路、１１、
１２……酸化不動態膜。
計測用光学セル、４……排出部、４Ａ……流路、１１、
１２……酸化不動態膜。
Claims (1)
- 【請求項１】金属製の導入部及び排出部によつて計測用
光学セルを挟着保持すると共に、上記導入部の流路を通
つて計測用光学セルに導入された被検流体を上記排出部
の流路を通つて排出させるようになされ、上記計測用光
学セルを通過する被検流体に照射光束を照射して上記被
検流体中の微粒子によつて散乱された散乱光に基づいて
当該微粒子を計測する微粒子計において、上記導入部及
び上記排出部の流路の壁面に酸化不動態膜を付着したこ
とを特徴とする微粒子計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092883A JPH04303738A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 微粒子計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3092883A JPH04303738A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 微粒子計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04303738A true JPH04303738A (ja) | 1992-10-27 |
Family
ID=14066855
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3092883A Pending JPH04303738A (ja) | 1991-03-29 | 1991-03-29 | 微粒子計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04303738A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006215035A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Air Products & Chemicals Inc | ガス流中粒子の測定及び／又は分析のためのシステム及び方法 |
| JP2020020623A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置のセルホルダおよび光散乱検出装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0285358A (ja) * | 1987-10-24 | 1990-03-26 | Tadahiro Omi | 減圧装置 |
-
1991
- 1991-03-29 JP JP3092883A patent/JPH04303738A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0285358A (ja) * | 1987-10-24 | 1990-03-26 | Tadahiro Omi | 減圧装置 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006215035A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Air Products & Chemicals Inc | ガス流中粒子の測定及び／又は分析のためのシステム及び方法 |
| JP2020020623A (ja) * | 2018-07-31 | 2020-02-06 | 株式会社島津製作所 | 光散乱検出装置のセルホルダおよび光散乱検出装置 |
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