CN116907927B - 一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置 - Google Patents

Abstract

本申请涉及取样装置的领域，尤其是涉及一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其包括取样管和过滤器，所述取样管的一端用于与管道连接，所述取样管的另一端用于与粒子计数器连接，所述过滤器的一端安装有通气管，所述通气管远离过滤器的一端与取样管的管身连接，所述过滤器用于过滤气体中的固体颗粒。本申请具有提高粒子计数器检测的准确性的效果。

Description

一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置

技术领域

本申请涉及取样装置的领域，尤其是涉及一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置。

背景技术

半导体气体输送使用的管道安装完毕后，需要不断向管道内部通入清扫气体，从而将管道内部的颗粒排出，进而方便管道用于输送高纯度气体。在对管道进行清扫时，一般会在管道设置取样点，管道的取样点上设置有粒子计数器和气体取样装置。

取样装置一般包括取样管，取样管上开设有排气孔。取样管的一端与管道连接，取样管的另一端与粒子计数器连接。管道内部的清扫气体的气压高，从而使取样管内部的气压也高。取样管内部的气压高时，粒子计数器直接抽取取样管内部的清扫气体，清扫气体进入粒子计数器的速度快，从而使粒子计数器还未对清扫气体进行检测，清扫气体已经排出粒子计数器，进而降低了粒子计数器检测的准确性。通过取样管上的排气孔排出取样管内部的清扫气体，从而降低取样管内部的压强。取样管内部的压强降低，粒子计数器抽取清扫气体时，清扫气体流过粒子计数器的速度降低，从而提高粒子计数器检测的准确性。

但是送入管道内部的清扫气体需要经过一些过滤装置进行过滤，过滤装置在过滤清扫气体会逐渐堵塞；或者向管道内部泵送清扫气体时出现故障；还有清扫气体在管道内部输送受到的摩擦力阻碍等问题，从而使管道内部的气压难以保持稳定，进而使取样管内部的气压难以保持稳定。而管道内部的气压不稳定时，管道内部的气压可能会降低。管道内部的气压降低时，空气可能会从排气孔进入抽样管内部。之后粒子计数器会抽取空气，从而影响到粒子计数器检测的准确性。

发明内容

为了提高粒子计数器检测的准确性，本申请提供一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置。

本申请提供的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，采用如下的技术方案：

一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，包括取样管和过滤器，所述取样管的一端用于与管道连接，所述取样管的另一端用于与粒子计数器连接，所述过滤器的一端安装有通气管，所述通气管远离过滤器的一端与取样管的管身连接，所述过滤器用于过滤气体中的固体颗粒。

通过采用上述技术方案，在取样管内部的气压低时，空气从依次经过过滤器和通气管后进入取样管内部。过滤器过滤了空气中的固体颗粒，从而提高粒子计数器检测的准确性。在取样管内部的气压高时，取样管内部多余的清扫气体依次经过通气管和过滤器后排出，从而方便降低取样管内部的气压，进而提高粒子计数器检测的准确性。

可选的，所述通气管的管身开设有出气口，所述通气管内部由下至上依次设置有支撑环、遮挡套筒和限位环，所述支撑环的周侧壁和限位环的周侧壁均与通气管的内壁固定连接，所述遮挡套筒与通气管之间安装有升降机构，所述升降机构用于驱动遮挡套筒升降，所述出气口位于支撑环和限位环之间，所述遮挡套筒的外壁抵贴于通气管的内壁，所述限位环的内部设置有遮挡板，所述遮挡板的周侧与限位环的内壁之间固定安装有第一连接杆，所述遮挡板直径大于遮挡套筒的内直径，所述遮挡套筒抵贴于支撑环时，所述遮挡套筒封堵出气口，所述遮挡套筒抵贴于限位环时，所述遮挡套筒所在位置高于出气口所在位置。

通过采用上述技术方案，在管道送入取样管内部的清扫气体的气压低时，升降机构带动遮挡套筒向下移动抵贴于支撑环，从而使遮挡套筒封堵出气口。之后空气依次经过过滤器和通气管后进入取样管内部，从而降低进入取样管内部的空气携带的固体颗粒，进而提高粒子计数器检测的准确性。

在管道送入取样管内部的清扫气体的气压高时，升降机构带动遮挡套筒向上移动抵贴于限位环。遮挡套筒封堵限位环的内壁与遮挡板周侧壁之间的缝隙，取样管内部的清扫气体从出气口排出，从而降低取样管内部清扫气体流向过滤器的情况出现，进而降低固体颗粒堵塞过滤器靠近取样管的一端。

可选的，所述升降机构包括吊绳和配重块，所述吊绳的一端与遮挡套筒的顶端固定连接，所述吊绳的另一端与配重块固定连接，所述配重块位于通气管的外部，所述通气管的管壁开设有第一通孔，所述第一通孔所在位置高于遮挡板所在位置，所述吊绳滑动穿设于第一通孔，所述配重块用于减小遮挡套筒向上移动需要的推力，所述遮挡套筒内直径小于支撑环的内直径。

通过采用上述技术方案，在清扫气体从取样管流向通气管时，清扫气体对遮挡套筒施加向上的推力，再加上配重块通过吊绳对遮挡套筒施加向上的拉力，从而使遮挡套筒向上移动抵贴于限位环，进而方便驱动遮挡套筒向上移动。在取样管内部的清扫气体不足以供粒子计数器抽取时，遮挡套筒缺少清扫气体施加的向上的推力，从而使遮挡套筒向下移动抵贴于支撑环，进而方便驱动遮挡套筒向下移动。在空气从过滤器流向通气管时，空气对遮挡套筒施加向下的推力，从而有利于加快遮挡套筒向下移动的速度，进而方便遮挡套筒及时遮挡出气口。

可选的，所述升降机构还包括第二连接杆和升降环，所述升降环位于支撑环的下方，所述第二连接杆有多根，每一所述第二连接杆的一端与遮挡套筒的底端固定连接，每一所述第二连接杆的另一端与升降环的顶面固定连接，所述支撑环开设有供第二连接杆滑动穿设的第二通孔，所述升降环的内直径小于支撑环的内直径。

通过采用上述技术方案，清扫气体从取样管流向通气管时，清扫气体会推动升降环，从而方便带动遮挡套筒向上移动。在空气从过滤器进入通气管时，空气向下推动遮挡套筒，从而方便驱动遮挡套筒向下移动。同时通过第二连接杆与第二通孔的孔壁卡接，从而降低遮挡套筒在通气管内部转动的情况出现。

可选的，所述通气管的外壁固定安装有封堵罩，所述封堵罩具有柔性，所述吊绳固定贯穿封堵罩，所述配重块位于封堵罩的外部。

通过采用上述技术方案，封堵罩起到密封作用，从而降低空气从第一通孔进入通气管内部的情况出现。

可选的，所述通气管的管壁开设有燕尾槽，所述燕尾槽沿高度方向设置，所述配重块的一侧固定安装有燕尾块，所述燕尾块滑移设置于燕尾块内部。

通过采用上述技术方案，燕尾槽与燕尾块配合，从而起到导向作用，方便配重块垂直升降移动。同时通过燕尾槽与燕尾块卡接，从而降低配重块晃动的情况出现，进而降低配重块晃动带动遮挡套筒升降的情况出现。

可选的，所述通气管的外壁固定安装有第一定滑轮，所述吊绳绕设于第一定滑轮，所述第一定滑轮所在高度高于配重块。

通过采用上述技术方案，第一定滑轮对吊绳进行导向，从而方便吊绳竖直方向拉动配重块上升，进而降低配重块与通气管的外壁摩擦重量减少情况出现。

可选的，所述通气管的内壁固定安装有第二定滑轮，所述第二定滑轮所在高度低于第一通孔所在高度，所述第二定滑轮所在高度高于限位环所在位置。

通过采用上述技术方案，第二定滑轮对吊绳进行导向，从而方便吊绳竖直方向拉动遮挡套筒上升，进而降低遮挡套筒与通气管的内壁摩擦重量减小的情况出现。

可选的，所述通气管的外壁固定安装有水平管，所述水平管与出气口连通，所述水平管远离通气管的一端固定安装有竖管，所述竖管远离水平管的一端固定安装有导气管，所述导气管位于过滤器的上方，所述导气管远离竖管的一端朝向过滤器呈倾斜设置。

通过采用上述技术方案，水平管、竖管和导气管用于延长空气从出气口进入通气管的路径，从而降低遮挡套筒下降封堵出气口的过程中，空气从出气口进入通气管内部的情况出现。同时清扫气体依次沿水平管、竖管和导气管喷向过滤器远离取样管的一端，从而方便将过滤器远离取样管的一端粘附的固体颗粒吹落，进而降低固体颗粒堵塞过滤器的情况出现。

可选的，所述过滤器远离取样管的一端固定安装有储气箱，所述储气箱与过滤器远离取样管的一端连通，所述导气管固定贯穿储气箱的侧壁，所述储气箱的顶侧开设有多个换气孔。

通过采用上述技术方案，导气管倾斜向下喷出清扫气体时，清扫气体扰动沉淀于储气箱底侧的空气和固体颗粒，从而方便储气箱内部充满清扫气体，进而有利于进一步增大空气从出气口进入通气管的路径。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.在管道送入取样管的清扫气体流量降低时，空气依次经过过滤器和通气管后进入取样管，过滤器过滤空气中携带的固体颗粒，从而降低粒子计数器抽取的空气所携带的固体颗粒，进而提高粒子计数器检测的准确性；

2.在取样管内部的气压高时，升降机构带动遮挡套筒抵贴于限位环，然后取样管内部的清扫气体从出气口排出，从而降低清扫气体携带的固体颗粒堵塞过滤器靠近取样管的一端的情况出现，在取样管内部的气压低时，升降机构带动遮挡套筒抵贴于支撑环，从而方便空气依次经过过滤器和通气管后流入取样管，过滤器过滤空气携带的固体颗粒，从而提高粒子计数器检测的准确性；

3.通过水平管、竖管和导气管延长空气从出气口进入通气管的路径，从而降低遮挡套筒下降遮挡出气口时，空气从出气口进入通气管内部的情况出现。

附图说明

图1是本申请实施例的正视图；

图2是本申请实施例的俯视图；

图3是图2在A-A处的剖视图；

图4是图3在A处的放大图。

附图标记说明：1、取样管；2、管道；3、粒子计数器；4、通气管；5、过滤器；6、出气口；7、支撑环；8、遮挡套筒；9、限位环；10、遮挡板；11、第一连接杆；12、升降机构；121、第二连接杆；122、升降环；123、吊绳；124、配重块；13、第一通孔；14、第二通孔；15、封堵罩；16、燕尾槽；17、燕尾块；18、第一定滑轮；19、第二定滑轮；20、水平管；21、竖管；22、导气管；23、储气箱；24、换气孔。

具体实施方式

以下结合附图1-4对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置。

参照图1、图2，一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，包括取样管1。取样管1一端用于与管道2连接，取样管1的另一端用于与粒子计数器3连接。管道2内部的清扫气体进入取样管1内部，然后粒子计数器3抽取取样管1内部的清扫气体。

参照图1、图2，取样管1固定安装有通气管4，通气管4竖直设置。通气管4远离取样管1的一端固定安装有过滤器5。

在取样管1内部的气压高时，取样管1内部的清扫气体从通气管4和过滤器5排出，从而降低取样管1内部的气压，进而提高粒子计数器3检测的准确性。同时通气管4会向上排出的清扫气体，而粉尘在大气中会沉淀，从而降低通气管4排出的清扫气体扰动大气中的粉尘的情况出现。

在取样管1内部的气压低时，取样管1外部的空气会从过滤器5和通气管4进入取样管1内部。过滤器5过滤空气中携带的固体颗粒，从而降低空气携带的固体颗粒进入取样管1内部的情况出现，进而提高粒子计数器3检测的准确性。而且通气管4竖直设置，从而使空气进入过滤器5时，空气本身携带的固体颗粒量减少，进而降低固体颗粒堵塞过滤器5的情况出现。

参照图1、图2，清扫气体从过滤器5排出时，固体颗粒粘在过滤器5靠近取样管1的一端。之后在空气从过滤器5进入取样管1时，空气会吹落过滤器5靠近取样管1一端的固体颗粒进入取样管1内部。

粒子计数器3检测固体颗粒是为了检测是否清理干净管道2，所以一般是管道2通入一段时间的清扫气体后，粒子计数器3开始对管道2进行检测，从而使清扫气体进入取样管1时，清扫气体携带的固体颗粒少。清扫气体携带的固体颗粒少，从而使清扫气体从过滤器5排出时，过滤器5靠近取样管1一端粘的固体颗粒的量也少。若空气不经过过滤器5直接进入取样管1，空气携带的固体颗粒多，从而对粒子检测器检测固体颗粒的影响大；过滤器5靠近取样管1一端粘附的固体颗粒少，从而对粒子检测器检测固体颗粒的影响小，进而提高粒子计数器3检测的准确性。

参照图3、图4，通气管4的管身开设有出气口6，通气管4内部由下至上依次设置有支撑环7和遮挡套筒8。支撑环7的周侧壁与通气管4的内壁固定连接，遮挡套筒8的周侧壁抵贴于通气管4的内壁。遮挡套筒8与通气管4之间安装有升降机构12。升降机构12用于驱动遮挡套筒8升降。支撑环7的顶面和出气口6内顶壁之间的高度差小于遮挡套筒8的底端和顶端之间的高度差，从而使遮挡套筒8抵贴于支撑环7时，遮挡套筒8封堵出气口6。

在取样管1内部的气压低时，升降机构12带动遮挡套筒8向下移动抵贴于支撑环7，从而使遮挡套筒8封堵出气口6。之后空气从过滤器5进入通气管4，通气管4内部的空气进入取样管1内部。过滤器5将空气中的固体颗粒过滤，粒子计数器3抽取取样管1内部的空气和清扫气体时，空气中携带的固体颗粒少，从而提高粒子计数器3检测的准确性。

参照图3、图4，通气管4内部设置有限位环9，限位环9位于遮挡套筒8的上方。限位环9的内部设置有遮挡板10，遮挡板10的周侧与限位环9的内壁之间固定安装有第一连接杆11。遮挡板10直径大于遮挡套筒8的内直径。

在取样管1内部的气压高时，升降机构12带动遮挡套筒8抵贴于限位环9和遮挡板10，从而遮挡限位环9与遮挡板10之间的缝隙，打开出气口6。之后取样管1内部的清扫气体进入通气管4后，清扫气体从出气口6排出，从而有利于降低取样管1内部的气压，降低清扫气体从过滤器5排出的情况出现。清扫气体从过滤器5排出的情况出现减少，从而减少固体颗粒粘在过滤器5靠近取样管1的一端的情况出现。在空气从过滤器5进入取样管1时，固体颗粒粘在过滤器5靠近取样管1的一端的量少，从而有利于减少进入取样管1内部的固体颗粒的量，进而有利于提高粒子计数器3检测的准确性。

参照图3、图4，升降机构12包括第二连接杆121、升降环122、吊绳123和配重块124，吊绳123的一端与遮挡套筒8的顶端固定连接，吊绳123的另一端与配重块124固定连接。配重块124位于通气管4的外部，通气管4的管壁开设有供吊绳123滑动穿设的第一通孔13。第一通孔13所在位置高于遮挡板10所在位置。遮挡套筒8内直径小于支撑环7的内直径。配重块124通过吊绳123对遮挡套筒8施加向上的拉力，从而减小遮挡套筒8向上移动需要的推力。

参照图3、图4，升降环122位于支撑环7的下方，第二连接杆121有多根，每一根第二连接杆121均固定安装于升降环122与遮挡套筒8之间。支撑环7开设有供第二连接杆121滑动穿设的第二通孔14，升降环122的内直径小于支撑环7的内直径。

在取样管1内部的压力高时，清扫气体从取样管1进入通气管4内部。之后清扫气体对升降环122和遮挡套筒8施加向上的推力，再加上配重块124通过吊绳123对遮挡套筒8施加的向上的拉力，从而使遮挡套筒8向上移动抵贴于限位环9，进而方便驱动遮挡套筒8上升。

在取样管1内部的压力低时，遮挡套筒8缺少清扫气体施加的向上的推力，同时空气从过滤器5进入通气管4，空气对遮挡套筒8施加向下的推力，从而使遮挡套筒8向下移动抵贴于支撑环7，进而方便驱动遮挡套筒8下降。

参照图3、图4，第二连接杆121与第二通孔14配合，从而方便引导遮挡套筒8升降。同时通过第二连接杆121与第二通孔14的内壁卡接，从而降低遮挡套筒8在通气管4内部转动的情况出现。

参照图3、图4，通气管4的外壁固定安装有封堵罩15，封堵罩15具有柔性。吊绳123固定贯穿封堵罩15，配重块124位于封堵罩15的外部。封堵罩15起到密封作用，从而降低空气从第一通孔13进入通气管4内部的情况出现。同时封堵罩15具有柔性，从而方便吊绳123在第一通孔13中滑移穿设。

参照图3、图4，通气管4的管壁沿高度方向开设有燕尾槽16，配重块124的一侧固定安装有燕尾块17。燕尾块17滑移设置于燕尾槽16内部。燕尾块17与燕尾槽16配合，从而方便配重块124升降移动。同时通过燕尾块17与燕尾槽16的内壁相互卡接，从而降低配重块124晃动的情况出现。

参照图3、图4，通气管4的外壁固定安装有第一定滑轮18，通气管4的内壁固定安装有第二定滑轮19。第一定滑轮18所在高度高于配重块124，第二定滑轮19所在高度低于第一通孔13所在高度，第二定滑轮19所在高度高于限位环9所在位置。吊绳123绕设于第一滑轮和第二滑轮。第一滑轮引导吊绳123沿竖直方向拉动配重块124升降，第二滑轮引导吊绳123沿竖直方向拉动遮挡套筒8升降。

参照图3、图4，通气管4的外壁固定安装有水平管20，水平管20与出气口6连通。水平管20远离通气管4的一端固定安装有竖管21，竖管21远离水平管20的一端固定安装有导气管22。过滤器5远离取样管1的一端固定安装有储气箱23，储气箱23与过滤器5远离取样管1的一端连通。储气箱23的顶侧开设有多个换气孔24。导气管22固定贯穿储气箱23的侧壁，导气管22远离竖管21的一端朝向过滤器5呈倾斜设置。

在取样管1内部的气压高时，清扫气体从出气口6进入水平管20，然后从竖管21和导气管22排入储气箱23内部。在导气管22排出清扫气体时，清扫气体清扫过滤器5远离取样管1一端的固体颗粒，从而降低固体颗粒堵塞过滤器5的情况出现。固体颗粒会在储气箱23内部沉淀，通过导气管22倾斜向下吹出清扫气体，从而扰动沉淀于储气箱23内部的固体颗粒和空气。然后固体颗粒和空气从换气孔24排出，从而使储气箱23内部充满清扫气体。

若出气口6不与水平管20连通，在取样管1内部的气压高时，清扫气体从出气口6直接排出，从而使出气口6周围充满清扫气体。之后在取样管1内部的气压低时，升降机构12带动遮挡套筒8下降封堵出气口6需要时间。而出气口6周围充满清扫气体，从而降低空气从出气口6进入通气管4内部的情况出现。

在本申请中，出气口6与水平管20连通。通过水平管20、竖管21和导气管22延长气体流动的路径，从而使升降机构12有充足的时间带动遮挡套筒8遮挡出气口6。同时储气箱23内部充满清扫气体，从出气口6进入通气管4的气体也是清扫气体，从而有利于降低空气进入通气管4内部的情况出现。

本申请实施例一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置的实施原理为：在取样管1内部的气压高时，升降机构12带动遮挡套筒8上升，遮挡套筒8封堵限位环9与遮挡板10之间的缝隙，从而使取样管1内部的清扫气体进入通气管4，然后通气管4内部的清扫气体从出气口6排出。通过出气口6排出清扫气体，从而降低过滤器5过滤清扫气体后，固体颗粒粘在过滤器5靠近取样管1的一端的情况出现，进而减少滤器靠近取样管1的一端的固体颗粒。

在取样管1内部的气压低时，升降机构12带动遮挡套筒8向上移动抵贴于支撑环7，从而封堵出气口6。之后空气从过滤器5进入通气管4，然后再进入取样管1内部。过滤器5过滤空气的固体颗粒，还有过滤器5靠近取样管1一端的固体颗粒少，从而降低空气携带固体颗粒进入取样管1内部，进而提高粒子计数器3检测的准确性。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：包括取样管（1）和过滤器（5），所述取样管（1）的一端用于与管道（2）连接，所述取样管（1）的另一端用于与粒子计数器（3）连接，所述过滤器（5）的一端安装有通气管（4），所述通气管（4）远离过滤器（5）的一端与取样管（1）的管身连接，所述过滤器（5）用于过滤气体中的固体颗粒，所述通气管（4）的管身开设有出气口（6），所述通气管（4）内部由下至上依次设置有支撑环（7）、遮挡套筒（8）和限位环（9），所述支撑环（7）的周侧壁和限位环（9）的周侧壁均与通气管（4）的内壁固定连接，所述遮挡套筒（8）与通气管（4）之间安装有升降机构（12），所述升降机构（12）用于驱动遮挡套筒（8）升降，所述出气口（6）位于支撑环（7）和限位环（9）之间，所述遮挡套筒（8）的外壁抵贴于通气管（4）的内壁，所述限位环（9）的内部设置有遮挡板（10），所述遮挡板（10）的周侧与限位环（9）的内壁之间固定安装有第一连接杆（11），所述遮挡板（10）直径大于遮挡套筒（8）的内直径，所述遮挡套筒（8）抵贴于支撑环（7）时，所述遮挡套筒（8）封堵出气口（6），所述遮挡套筒（8）抵贴于限位环（9）时，所述遮挡套筒（8）所在位置高于出气口（6）所在位置，所述升降机构（12）包括吊绳（123）和配重块（124），所述吊绳（123）的一端与遮挡套筒（8）的顶端固定连接，所述吊绳（123）的另一端与配重块（124）固定连接，所述配重块（124）位于通气管（4）的外部，所述通气管（4）的管壁开设有第一通孔（13），所述第一通孔（13）所在位置高于遮挡板（10）所在位置，所述吊绳（123）滑动穿设于第一通孔（13），所述配重块（124）用于减小遮挡套筒（8）向上移动需要的推力，所述遮挡套筒（8）内直径小于支撑环（7）的内直径。

2.根据权利要求1所述的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：所述升降机构（12）还包括第二连接杆（121）和升降环（122），所述升降环（122）位于支撑环（7）的下方，所述第二连接杆（121）有多根，每一所述第二连接杆（121）的一端与遮挡套筒（8）的底端固定连接，每一所述第二连接杆（121）的另一端与升降环（122）的顶面固定连接，所述支撑环（7）开设有供第二连接杆（121）滑动穿设的第二通孔（14），所述升降环（122）的内直径小于支撑环（7）的内直径。

3.根据权利要求1所述的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：所述通气管（4）的外壁固定安装有封堵罩（15），所述封堵罩（15）具有柔性，所述吊绳（123）固定贯穿封堵罩（15），所述配重块（124）位于封堵罩（15）的外部。

4.根据权利要求1所述的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：所述通气管（4）的管壁开设有燕尾槽（16），所述燕尾槽（16）沿高度方向设置，所述配重块（124）的一侧固定安装有燕尾块（17），所述燕尾块（17）滑移设置于燕尾块（17）内部。

5.根据权利要求1所述的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：所述通气管（4）的外壁固定安装有第一定滑轮（18），所述吊绳（123）绕设于第一定滑轮（18），所述第一定滑轮（18）所在高度高于配重块（124）。

6.根据权利要求1所述的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：所述通气管（4）的内壁固定安装有第二定滑轮（19），所述第二定滑轮（19）所在高度低于第一通孔（13）所在高度，所述第二定滑轮（19）所在高度高于限位环（9）所在位置。

7.根据权利要求1所述的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：所述通气管（4）的外壁固定安装有水平管（20），所述水平管（20）与出气口（6）连通，所述水平管（20）远离通气管（4）的一端固定安装有竖管（21），所述竖管（21）远离水平管（20）的一端固定安装有导气管（22），所述导气管（22）位于过滤器（5）的上方，所述导气管（22）远离竖管（21）的一端朝向过滤器（5）呈倾斜设置。

8.根据权利要求7所述的一种半导体气体管道固体颗粒测试的气体取样装置，其特征在于：所述过滤器（5）远离取样管（1）的一端固定安装有储气箱（23），所述储气箱（23）与过滤器（5）远离取样管（1）的一端连通，所述导气管（22）固定贯穿储气箱（23）的侧壁，所述储气箱（23）的顶侧开设有多个换气孔（24）。