JPH0298652A - ダストカウンタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、生化学や半導体製造などの高い清浄度の環境
を必要とする分野に利用され、気体中のダストの量を測
定するダストカウンタに関する。

［従来の技術］ 第２図は、従来例のダストカウンタの概略構成図である
。同図において、■は吸気用ファン（ポンプ）、２は吸
気口、３は吸気された空気中のダストの量を測定する粒
子測定部、５．７はフィルタ、４，６はパルプ、９は排
気口である。

このダストカウンタでは、吸気用ファン１によって吸気
口２から吸気された空気は、粒子測定部３に導かれ、こ
の粒子測定部３では、ダストに光が照射され、該ダスト
に光が当ったときに生じる散乱光を用いてダストの数が
測定される。ダストが測定された空気は、フィルタ５を
経て、その一部がパルプ４およびフィルタ７を介して再
び粒子測定部３に導かれるとともに、残部がパルプ６を
介して排気口９から排気される。

［発明が解決しようとする課題］ このようなダストカウンタでは、空気中のダストの量を
、連続的に測定できるけれども、例えば、ダストの量が
急激に増加したような場合に、その増加したダストの成
分を分析するために、ダストを捕集するといったことが
できず、かかる場合には、第３図に示されるように、吸
気用ファン１５およびダスト捕集用のフィルタ１６を有
するダスト捕集器を使用して市１記ダスト捕集用フィル
タ１６に捕集されたダストを分析しなければならず、面
倒であった。

本発明は、上述の点に鑑みて為されたものであって、気
体中のダストの量の測定とともに、ダストか増加したよ
うな場合に、その増加したダストを容易に捕集できるよ
うにしたダストカウンタを提供することを目的とする。

し課題を解決するための手段］ 本発明では、上述の目的を達成するために、気体中のダ
ストの量を測定するダストカウンタであって、吸気口を
介して測定すべき気体を吸気する吸気用ファンと、該吸
気用ファンと前記吸気口との間の流路の途中に設けられ
、吸気された気体中のダストの量を測定する１５１＋１
定部と、前記流路の途中から分岐されて前記吸気用ファ
ンに連結された分岐流路と、該分岐流路に設けられた開
閉弁と、該分岐流路の前記開閉弁よりも下流側に着脱自
在に設けられたダスト捕集用フィルタと、前記測定部で
測定されたダストの飛に基づいて、前記吸気用ファンの
吸気量および前記開閉弁の開度を制御する制御回路とを
備えている。

［作用］ 上記構成によれば、通常は、分岐流路の開閉弁を閉じて
おくことにより、従来のダストカウンタと同様に、ダス
トの量が測定され、急激にダストの量が増加したような
場合には、前記分岐流路の開閉弁を開くことによって、
該分岐流路に設けられているダスト捕集用フィルタによ
ってダストが捕集されることになり、従来例のように、
ダスト捕集器によってダストを捕集するといった手間が
省けることになる。しかも、吸気用ファンをダストの測
定と捕集とに兼用することにより、コン１くクトに実現
できる。

［実施例］ 以下、図面によって本発明の実施例について、詳細に説
明する。

第１図は、本発明の一実施例のダストカウンタの概略構
成図であり、第２図の従来例に対応する部分には、同一
の参照符を付す。

同図において、ｌは吸気口２から測定すべき空気を吸気
するための吸気用ファン（ポンプ）であり、この吸気用
ファンｌと前記吸気口２との間の流路の途中には、吸気
された空気中のダストの量を測定する粒子測定部３が設
けられるとともに、バルブ４およびフィルタ５が介装さ
れている。吸気用ファン１からの空気は、その一部がバ
ルブ６およびフィルタ７を介して粒子測定部３に戻され
るととらに、残部がフィルタ８を介して排気口９から排
気されるようになっている。

以上の構成は、第２図の従来例のダストカウンタと基本
的に同様である。

この実施例のダストカウンタでは、空気中のダストの量
を測定するとともに、ダストの量が急激に増加したよう
な場合に、その増加したダストの成分の分析のために、
該ダストを容易に捕集できるように次のように構成して
いる。

すなわち、吸気口２と吸気用ファン１との間の流路の途
中、この実施例では、粒子測定部３の上流側から分岐さ
れて再び吸気用ファン１に連結された分岐流路１０が形
成されるとともに、この分岐流路ｌＯには、開閉弁１１
およびその下流側にダスト捕集用フィルタＩ２が設けら
れている。さらに、粒子測定部３で測定されたダストの
量に基づいて、前記分岐流路１０の開閉弁１１の開度の
制御および吸気用ファン１の吸気量を制御する制御回路
１３が設けられている。

ダスト捕集用フィルタ１２は、補集されたダストを分析
する際に、ダストカウンタから容易に取り外しができる
ように着脱自在に設けられている。

この実施例の制御回路１３は、粒子測定部３で測定され
たダストの量が、予め設定されている設定値を越えたと
きには、分岐流路１０の開閉弁ｌＩを開くとともに、吸
気用ファンｌの吸気量を上げ、前記設定値具ドのときに
は、前記開閉弁１１を閉じるとともに、吸気用ファン１
の吸気量を下げて一定に制御している。

次に、上記構成を存するダストカウンタの動作を説明す
る。

先ず、測定の立ち上がりにおいては、分岐流路ｌＯの開
閉弁１１は、閉じられており、吸気用ファン１によって
吸気口２から吸気された空気は、粒子測定部３に導かれ
、この粒子測定部３では、ダストに光が照射され、該ダ
ストに光が当ったときに生じる散乱光を用いてダストの
数が測定される。

測定されたデータは、制御回路１３に与えられる。

ダストが測定された空気は、バルブ４、フィルタ５およ
び吸気用ファンｌを経てその一部が、バルブ６およびフ
ィルタ７を介して再び粒子測定部３に導かれるとともに
、残部がフィルタ８を介して排気口９から排気される。

粒子測定部３で測定されたダストの頃が、設定値以下で
あるときには、開閉弁１１は閉じられており、上述の状
態が維持されている。

次に、粒子測定部３で測定されたダストの量が、設定値
を越えると、制御回路１３によって分岐流路１０の開閉
弁１１が開かれるとともに、吸気用ファン１の吸気量が
増加する。この増加した分の空気が、分岐流路１０の開
閉弁１１を介してダスト捕集用フィルタ１２に導かれ、
このダスト捕集用フィルタ１２Ｊこよってダストが捕集
される。この間にも、ダストの測定は、連続して行われ
ており、ダストの量が設定値以下の状態に戻ると、再び
分岐流路１０の開閉弁１１が閉じるとともに、吸気用フ
ァン１の吸気量が下がり元の状態に復帰する。

このようにダストの量が設定値を越えると、分岐流路１
０のダスト捕集用フィルタ！２にダストが捕集されるの
で、ダストの量が急激に増加したような場合に、そのダ
ストの成分を分析して汚染の原因を解明するのが従来例
に比べて容易となる。

［発明の効果］ 以上のように本発明によれば、開閉弁およびダスト捕集
用フィルタが設けられた分岐流路と、ｉｒｉ記開開開閉
弁び吸気用ファンを制御する制御回路とを備えているの
で、従来のダストカウンタと同様に、ダストの量を測定
できろとともに、急激にダストの量が増加したような場
合には、分岐流路の開閉弁を開いてダスト捕集用フィル
タによってダストを捕集することが可能となり、従来例
のように、ダスト捕集器によりダストを捕集するといっ
た手間が省けることになり、汚染の原因の解明が従来よ
りも容易となる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例のダストカウンタの概略構成
図、第２図は従来例のダストカウンタの概略構成図、第
３図はダスト捕集器の概略構成図である。 ！・・・吸気用ファン、２・・・吸気口、３・・・粒子
測定部、１０・・・分岐流路、１！・・・開閉弁、＋２
・・・ダスト捕集用フィルタ、１３・・制御回路。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）気体中のダストの量を測定するダストカウンタで
   あって、 吸気口を介して測定すべき気体を吸気する吸気用ファン
   と、 該吸気用ファンと前記吸気口との間の流路の途中に設け
   られ、吸気された気体中のダストの量を測定する測定部
   と、 前記流路の途中から分岐されて前記吸気用ファンに連結
   された分岐流路と、 該分岐流路に設けられた開閉弁と、 該分岐流路の前記開閉弁よりも下流側に着脱自在に設け
   られたダスト捕集用フィルタと、前記測定部で測定され
   たダストの量に基づいて、前記吸気用ファンの吸気量お
   よび前記開閉弁の開度を制御する制御回路とを備えるこ
   とを特徴とするダストカウンタ。