JPH07294393A - ダストサンプラー - Google Patents
ダストサンプラーInfo
- Publication number
- JPH07294393A JPH07294393A JP6091126A JP9112694A JPH07294393A JP H07294393 A JPH07294393 A JP H07294393A JP 6091126 A JP6091126 A JP 6091126A JP 9112694 A JP9112694 A JP 9112694A JP H07294393 A JPH07294393 A JP H07294393A
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- Japan
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- pump
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 過不足のない微粒子をフィルター上に収集す
るとともに集塵を行う毎に装置を分解する必要のないダ
ストサンプラーを提供する。 【構成】 大量の空気を吸引するサイクロン１と，該サ
イクロンの下流に配設されたフィルタ４を収納したフィ
ルターホルダー３と，前記フィルターの下流から流体を
吸引して吐出するポンプ５と，前記サイクロンの上部か
ら大流量の流体を吸引して吐出するブロアー７を具備す
るダストサンプラーにおいて，前記サイクロンの下部と
フィルターの間にパーティクルカウンタ１１を設けると
ともに，このカウンタの出力に基づいて前記ブロアーお
よび吸引ポンプの出力を制御する。
るとともに集塵を行う毎に装置を分解する必要のないダ
ストサンプラーを提供する。 【構成】 大量の空気を吸引するサイクロン１と，該サ
イクロンの下流に配設されたフィルタ４を収納したフィ
ルターホルダー３と，前記フィルターの下流から流体を
吸引して吐出するポンプ５と，前記サイクロンの上部か
ら大流量の流体を吸引して吐出するブロアー７を具備す
るダストサンプラーにおいて，前記サイクロンの下部と
フィルターの間にパーティクルカウンタ１１を設けると
ともに，このカウンタの出力に基づいて前記ブロアーお
よび吸引ポンプの出力を制御する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は，クリーンルーム内の浮
遊微粒子（パーティクル）の元素や組成を分析装置で分
析する際に，分析に先立って微粒子を収集するためのサ
イクロンを用いた高速集塵機（ダストサンプラー）に関
し，フィルタに収集するパーティクル（微粒子）の数を
制御すると共にサイクロンの内壁に付着したパーティク
ルの付着度合を検知することが可能なダストサンプラー
に関するものである。
遊微粒子（パーティクル）の元素や組成を分析装置で分
析する際に，分析に先立って微粒子を収集するためのサ
イクロンを用いた高速集塵機（ダストサンプラー）に関
し，フィルタに収集するパーティクル（微粒子）の数を
制御すると共にサイクロンの内壁に付着したパーティク
ルの付着度合を検知することが可能なダストサンプラー
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２はダストサンプラーの従来例を示す
構成図である。図において，１はサイクロンであり，そ
の内壁は鏡面に仕上げられている。２ａはサイクロンの
下部１ｂとフィルターホルダー３を結ぶチューブ，４は
フィルターホルダー３に収納されたフィルター，５は例
えば５ｌ／ｍｉｎ程度の小流量の流体を吸引して吐出す
るポンプ，２ｂはフィルターホルダー３とポンプ５を結
ぶチューブ，６は流量計，７は例えば１ｍ3／ｍｉｎ程
度の大流量の流体を吸引して吐出するブロアー，２ｄは
サイクロンの上部１ａとブロア７を結ぶチューブであ
る。
構成図である。図において，１はサイクロンであり，そ
の内壁は鏡面に仕上げられている。２ａはサイクロンの
下部１ｂとフィルターホルダー３を結ぶチューブ，４は
フィルターホルダー３に収納されたフィルター，５は例
えば５ｌ／ｍｉｎ程度の小流量の流体を吸引して吐出す
るポンプ，２ｂはフィルターホルダー３とポンプ５を結
ぶチューブ，６は流量計，７は例えば１ｍ3／ｍｉｎ程
度の大流量の流体を吸引して吐出するブロアー，２ｄは
サイクロンの上部１ａとブロア７を結ぶチューブであ
る。
【０００３】なお，ポンプ５の吸引量は流量計の流量を
見ながらニードル弁６ａにより所望の値に調整する。上
記の構成においてブロア７が駆動されるとサイクロン１
は，その入り口から例えば１ｍ3／ｍｉｎ程度の大容量
の空気を吸入する。このようにして吸引された空気は図
の破線で示すように，サイクロン１内で円運動をしなが
らサイクロン１内で下方に移動し，その後一気にサイク
ロンの上部１ａに吸上げられる。
見ながらニードル弁６ａにより所望の値に調整する。上
記の構成においてブロア７が駆動されるとサイクロン１
は，その入り口から例えば１ｍ3／ｍｉｎ程度の大容量
の空気を吸入する。このようにして吸引された空気は図
の破線で示すように，サイクロン１内で円運動をしなが
らサイクロン１内で下方に移動し，その後一気にサイク
ロンの上部１ａに吸上げられる。
【０００４】また，サイクロン１内に吸引された空気に
含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１の内
壁に押付けられ，その後鏡面に加工されたサイクロン１
の下部へ落下する。このようにして落下した微粒子はポ
ンプ５により吸引され，チューブ２ａを通ってフィルタ
ー上の例えば５〜１０ｍｍ程度の極く小さな面積上に補
集される。
含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１の内
壁に押付けられ，その後鏡面に加工されたサイクロン１
の下部へ落下する。このようにして落下した微粒子はポ
ンプ５により吸引され，チューブ２ａを通ってフィルタ
ー上の例えば５〜１０ｍｍ程度の極く小さな面積上に補
集される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記のようなダストサ
ンプラーはクリーンルームに配置され，その部屋の清浄
度を測定するための集塵手段として用いるものである
が，集塵は各所で複数回行われる。ところで，フィルタ
に収集した微粒子を分析装置で分析する場合，微粒子は
適当な量が必要であり，多すぎても少なすぎても信頼性
のある結果を得ることは難しい。従って従来は，集塵を
例えば３０分とか２４０分とか時間をかけて行っている
が，集塵後実際に分析してみると過不足があるという問
題点があった。本発明は上記従来技術の問題を解決する
ためになされたもので，微粒子がフィルタに向かう数を
計数することにより常に分析に的量な数の微粒子が収集
されるようにするとともに，サイクロンの内壁への微粒
子の付着防止を図ったダストサンプラーを提供すること
を目的とする。
ンプラーはクリーンルームに配置され，その部屋の清浄
度を測定するための集塵手段として用いるものである
が，集塵は各所で複数回行われる。ところで，フィルタ
に収集した微粒子を分析装置で分析する場合，微粒子は
適当な量が必要であり，多すぎても少なすぎても信頼性
のある結果を得ることは難しい。従って従来は，集塵を
例えば３０分とか２４０分とか時間をかけて行っている
が，集塵後実際に分析してみると過不足があるという問
題点があった。本発明は上記従来技術の問題を解決する
ためになされたもので，微粒子がフィルタに向かう数を
計数することにより常に分析に的量な数の微粒子が収集
されるようにするとともに，サイクロンの内壁への微粒
子の付着防止を図ったダストサンプラーを提供すること
を目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の問題点を解決する
本発明の構成は，大量の空気を吸引するサイクロンと，
該サイクロンの下流に配設されたフィルタを収納したフ
ィルターホルダーと，前記フィルターの下流から流体を
吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの上部から
大流量の流体を吸引して吐出するブロアーを具備するダ
ストサンプラーにおいて，前記サイクロンの下部とフィ
ルタの間にパーティクルカウンタを設けるとともに，こ
のカウンタの出力に基づいて前記ブロアーおよび吸引ポ
ンプの出力を制御するように構成し，更にサイクロンの
外壁に加振手段を設けたものである。
本発明の構成は，大量の空気を吸引するサイクロンと，
該サイクロンの下流に配設されたフィルタを収納したフ
ィルターホルダーと，前記フィルターの下流から流体を
吸引して吐出するポンプと，前記サイクロンの上部から
大流量の流体を吸引して吐出するブロアーを具備するダ
ストサンプラーにおいて，前記サイクロンの下部とフィ
ルタの間にパーティクルカウンタを設けるとともに，こ
のカウンタの出力に基づいて前記ブロアーおよび吸引ポ
ンプの出力を制御するように構成し，更にサイクロンの
外壁に加振手段を設けたものである。
【０００７】
【作用】本発明は次のように作用する。即ち，サイクロ
ンに空気とともに吸引された微粒子はサイクロンの下部
からポンプで吸引されフィルターに付着するが，サイク
ロンの下部とフィルタの間に設けられたパーティクルカ
ウンタにより計数される。所定の計数が行われるとブロ
アー及び吸引ポンプに駆動停止の信号を発する。加振手
段はサイクロンの内壁に付着する微粒子を減少させる。
ンに空気とともに吸引された微粒子はサイクロンの下部
からポンプで吸引されフィルターに付着するが，サイク
ロンの下部とフィルタの間に設けられたパーティクルカ
ウンタにより計数される。所定の計数が行われるとブロ
アー及び吸引ポンプに駆動停止の信号を発する。加振手
段はサイクロンの内壁に付着する微粒子を減少させる。
【０００８】
【実施例】図１は本発明によるダストサンプラーの一実
施例を示す構成図である。図１において，図２と同一部
品には同一符号を付して重複する説明は省略するが，本
実施例においては，サイクロンの下部とフィルタの間に
パーティクルカウンタを設け，このカウンタの出力に基
づいてブロアーおよび吸引ポンプの出力を制御する。
施例を示す構成図である。図１において，図２と同一部
品には同一符号を付して重複する説明は省略するが，本
実施例においては，サイクロンの下部とフィルタの間に
パーティクルカウンタを設け，このカウンタの出力に基
づいてブロアーおよび吸引ポンプの出力を制御する。
【０００９】１１はサイクロン１ｂの下部とフィルタホ
ルダー３を結ぶチューブ２ａの途中に設けられたパーテ
ィクルカウンタであり，ポンプ５で吸引されてフィルタ
ー４に向かうパーティクルの数を計数する。このような
パーティクルカウンタは市販されており，微粒子の大き
さ（粒径）毎に分類（例えば０．３μｍ以上とか０．５
μｍ以上）して計数可能である。パーティクルカウンタ
の出力は点線で示すように吸引ポンプ５ブロアー７の制
御部へ接続されている。
ルダー３を結ぶチューブ２ａの途中に設けられたパーテ
ィクルカウンタであり，ポンプ５で吸引されてフィルタ
ー４に向かうパーティクルの数を計数する。このような
パーティクルカウンタは市販されており，微粒子の大き
さ（粒径）毎に分類（例えば０．３μｍ以上とか０．５
μｍ以上）して計数可能である。パーティクルカウンタ
の出力は点線で示すように吸引ポンプ５ブロアー７の制
御部へ接続されている。
【００１０】上記の構成において，集塵モード時，ブロ
ア７およびポンプ５が駆動されてサイクロンの入り口１
ｃからクリーンルーム内の空気がサイクロン１内に吸入
される。空気とともに吸引された微粒子は図の破線で示
すように，サイクロン１内で円運動をしながらサイクロ
ン１内で下方に移動し，その後一気にサイクロンの上部
１ａに吸上げられる。
ア７およびポンプ５が駆動されてサイクロンの入り口１
ｃからクリーンルーム内の空気がサイクロン１内に吸入
される。空気とともに吸引された微粒子は図の破線で示
すように，サイクロン１内で円運動をしながらサイクロ
ン１内で下方に移動し，その後一気にサイクロンの上部
１ａに吸上げられる。
【００１１】また，サイクロン１内に吸引された空気に
含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１の内
壁に押付けられ，その後サイクロン１の下部へ落下す
る。このようにして落下した微粒子はポンプ５により吸
引され，チューブ２ａおよびパーティクルセンサを通っ
てフィルター４上の例えば直径５〜１０ｍｍ程度の極く
小さな面積上に補集される。
含まれている微粒子は遠心力によってサイクロン１の内
壁に押付けられ，その後サイクロン１の下部へ落下す
る。このようにして落下した微粒子はポンプ５により吸
引され，チューブ２ａおよびパーティクルセンサを通っ
てフィルター４上の例えば直径５〜１０ｍｍ程度の極く
小さな面積上に補集される。
【００１２】空気の収集は連続して行われるがパーティ
クルカウンタで計数された微粒子の数が例えば０．５μ
ｍで１０万個に達した段階でパーティクルカウンタはブ
ロアー７およびポンプ５に駆動停止の信号を発する。上
記の構成によれば，ポンプ５により吸引されフィルター
４に向かう微粒子の数が常に監視され，所定の数に達し
た時点でブロア７が空気の吸引を停止するので過不足の
ない微粒子をフィルター４上に収集することができる。
また，空気の吸入を時間で管理することも可能である
（例えば１時間）。その場合は所定時間で集められた微
粒子の数を知ることができる。
クルカウンタで計数された微粒子の数が例えば０．５μ
ｍで１０万個に達した段階でパーティクルカウンタはブ
ロアー７およびポンプ５に駆動停止の信号を発する。上
記の構成によれば，ポンプ５により吸引されフィルター
４に向かう微粒子の数が常に監視され，所定の数に達し
た時点でブロア７が空気の吸引を停止するので過不足の
ない微粒子をフィルター４上に収集することができる。
また，空気の吸入を時間で管理することも可能である
（例えば１時間）。その場合は所定時間で集められた微
粒子の数を知ることができる。
【００１３】なお，微粒子はサイクロンの内壁に押付け
られた後下方へ落下するが，鏡面に仕上げられていると
はいえ，必ずしも全ての微粒子がフィルター側へ向かう
のではなく一部はサイクロン１の内壁，チューブ２ｂや
フィルタホルダー３等に付着している。収集は各所で行
いフィルタの交換を行うがその都度前回付着した微粒子
を取り除く必要がある。微粒子の除去に当たっては装置
を分解し微粒子を含まない清浄な気体（例えば窒素ガス
等）を吹き付けて付着した微粒子を吹き飛ばしたり，ア
ルコール等で拭取ったりしていた。
られた後下方へ落下するが，鏡面に仕上げられていると
はいえ，必ずしも全ての微粒子がフィルター側へ向かう
のではなく一部はサイクロン１の内壁，チューブ２ｂや
フィルタホルダー３等に付着している。収集は各所で行
いフィルタの交換を行うがその都度前回付着した微粒子
を取り除く必要がある。微粒子の除去に当たっては装置
を分解し微粒子を含まない清浄な気体（例えば窒素ガス
等）を吹き付けて付着した微粒子を吹き飛ばしたり，ア
ルコール等で拭取ったりしていた。
【００１４】しかしながら，装置を分解してガスを吹き
付けたりアルコールで拭取る方法は熟練を要し，多くの
工数がかかるという問題がある。その場合本発明ではパ
ーティクルカウンタを備えているので装置を分解するこ
となくサイクロン内に清浄なガスを吹き込んでカウンタ
の計数値を見ながら除去の度合を知ることができる。
付けたりアルコールで拭取る方法は熟練を要し，多くの
工数がかかるという問題がある。その場合本発明ではパ
ーティクルカウンタを備えているので装置を分解するこ
となくサイクロン内に清浄なガスを吹き込んでカウンタ
の計数値を見ながら除去の度合を知ることができる。
【００１５】１２はサイクロンの外壁に設けた例えばソ
レノイドからなる加振器である。この加振器１２は微粒
子の収集中若しくは除去中にサイクロンの外周に所定の
周期（例えば１０回／１秒）で振動を加え微粒子がサイ
クロンの内壁に付着するのを防止する。このことにより
フィルタ交換に際しての微粒子の除去作業の短縮化を図
ることができる。
レノイドからなる加振器である。この加振器１２は微粒
子の収集中若しくは除去中にサイクロンの外周に所定の
周期（例えば１０回／１秒）で振動を加え微粒子がサイ
クロンの内壁に付着するのを防止する。このことにより
フィルタ交換に際しての微粒子の除去作業の短縮化を図
ることができる。
【００１６】
【発明の効果】以上実施例とともに具体的に説明した様
に本発明によれば，サイクロンの下部とフィルターの間
にパーティクルカウンタを設けるとともに，このカウン
タの出力に基づいて前記ブロアーおよび吸引ポンプの出
力を制御するように構成したので，ポンプにより吸引さ
れフィルターに向かう微粒子の数が常に監視され，所定
の数に達した時点でブロアが空気の吸引を停止させ過不
足のない微粒子をフィルター上に収集することができ
る。また，集塵を行う毎に装置を分解する必要がなく，
熟練も不要で工数も少なくてすむダストサンプラーを実
現することができる。
に本発明によれば，サイクロンの下部とフィルターの間
にパーティクルカウンタを設けるとともに，このカウン
タの出力に基づいて前記ブロアーおよび吸引ポンプの出
力を制御するように構成したので，ポンプにより吸引さ
れフィルターに向かう微粒子の数が常に監視され，所定
の数に達した時点でブロアが空気の吸引を停止させ過不
足のない微粒子をフィルター上に収集することができ
る。また，集塵を行う毎に装置を分解する必要がなく，
熟練も不要で工数も少なくてすむダストサンプラーを実
現することができる。
【図１】本発明の一実施例を示すダストサンプラーの構
成図である。
成図である。
【図２】従来のダストサンプラーを示す構成図である。
１ サイクロン ２ チューブ ３ フィルターホルダ ４ フィルター ５ 吸引ポンプ ６ フローメータ ７ ブロアー １１ パーティクルカウンタ １２ 加振器
Claims (2)
- 【請求項１】大量の空気を吸引するサイクロンと，該サ
イクロンの下流に配設されたフィルタを収納したフィル
ターホルダーと，前記フィルターの下流から流体を吸引
して吐出するポンプと，前記サイクロンの上部から大流
量の流体を吸引して吐出するブロアーを具備するダスト
サンプラーにおいて，前記サイクロンの下部とフィルタ
ーの間にパーティクルカウンタを設けるとともに，この
カウンタの出力に基づいて前記ブロアーおよび吸引ポン
プの出力を制御するように構成したことを特徴とするダ
ストサンプラー。 - 【請求項２】サイクロンの外壁にサイクロンを振動させ
る加振手段を設けたことを特徴とする請求項１記載のダ
ストサンプラー。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09112694A JP3332181B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | ダストサンプラー |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP09112694A JP3332181B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | ダストサンプラー |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07294393A true JPH07294393A (ja) | 1995-11-10 |
| JP3332181B2 JP3332181B2 (ja) | 2002-10-07 |
Family
ID=14017842
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP09112694A Expired - Fee Related JP3332181B2 (ja) | 1994-04-28 | 1994-04-28 | ダストサンプラー |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3332181B2 (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0846800A1 (en) * | 1996-12-04 | 1998-06-10 | White Consolidated Industries, Inc. | Exhaust air particulate contamination sensing for tumbler dryers |
| JP2000035383A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Yokogawa Electric Corp | サイクロン用集塵装置 |
| JP2001519528A (ja) * | 1997-10-06 | 2001-10-23 | パシフィック サイエンティフィック インストゥールメンツ カンパニー | 粒子カウンタのためのマルチローブ形ポンプ |
| US6632271B2 (en) * | 2000-08-21 | 2003-10-14 | Larry Don Robertson | MBI bioaerosol vortex cassette |
| JP2010523967A (ja) * | 2007-04-06 | 2010-07-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 空気汚染センサシステム |
| WO2010143426A1 (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-16 | Ｍｓｉ．Ｔｏｋｙｏ株式会社 | サイクロンセパレータ式質量分析システム |
| CN102735419A (zh) * | 2012-06-29 | 2012-10-17 | 甘肃省治沙研究所 | 沙尘暴输沙量自动收集装置 |
| JP2015135329A (ja) * | 2010-11-11 | 2015-07-27 | 株式会社日立製作所 | 分析装置及び分析方法 |
| KR101888458B1 (ko) * | 2017-09-20 | 2018-08-14 | 이호성 | 에어펄스 백필터를 이용한 사이클론 다중 선별장치 |
| KR101964002B1 (ko) * | 2018-02-23 | 2019-03-29 | 이윤무 | 석재용 도드락다듬 가공장치 |
| WO2019187976A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | 株式会社日立製作所 | 微粒子分析装置、微粒子分析システム及び洗浄方法 |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5428691A (en) * | 1977-08-08 | 1979-03-03 | Hitachi Ltd | High dust gas sampling apparatus |
| JPS57156944U (ja) * | 1981-03-27 | 1982-10-02 | ||
| JPS63191943A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-09 | Toshiba Eng & Constr Co Ltd | 可搬式ダストサンプラ− |
| JPH04136737A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-11 | Yokogawa Electric Corp | ダストサンプラー |
| JPH04231841A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-08-20 | Yokogawa Electric Corp | ダストサンプラ― |
| JPH05143810A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-11 | Mitsubishi Electric Corp | ダスト計数装置 |
-
1994
- 1994-04-28 JP JP09112694A patent/JP3332181B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5428691A (en) * | 1977-08-08 | 1979-03-03 | Hitachi Ltd | High dust gas sampling apparatus |
| JPS57156944U (ja) * | 1981-03-27 | 1982-10-02 | ||
| JPS63191943A (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-09 | Toshiba Eng & Constr Co Ltd | 可搬式ダストサンプラ− |
| JPH04231841A (ja) * | 1990-09-26 | 1992-08-20 | Yokogawa Electric Corp | ダストサンプラ― |
| JPH04136737A (ja) * | 1990-09-28 | 1992-05-11 | Yokogawa Electric Corp | ダストサンプラー |
| JPH05143810A (ja) * | 1991-11-22 | 1993-06-11 | Mitsubishi Electric Corp | ダスト計数装置 |
Cited By (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0846800A1 (en) * | 1996-12-04 | 1998-06-10 | White Consolidated Industries, Inc. | Exhaust air particulate contamination sensing for tumbler dryers |
| JP2001519528A (ja) * | 1997-10-06 | 2001-10-23 | パシフィック サイエンティフィック インストゥールメンツ カンパニー | 粒子カウンタのためのマルチローブ形ポンプ |
| JP2000035383A (ja) * | 1998-07-17 | 2000-02-02 | Yokogawa Electric Corp | サイクロン用集塵装置 |
| US6632271B2 (en) * | 2000-08-21 | 2003-10-14 | Larry Don Robertson | MBI bioaerosol vortex cassette |
| JP2010523967A (ja) * | 2007-04-06 | 2010-07-15 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 空気汚染センサシステム |
| JP5435667B2 (ja) * | 2009-06-10 | 2014-03-05 | Ｍｓｉ．Ｔｏｋｙｏ株式会社 | サイクロンセパレータ式質量分析システム |
| US8410435B2 (en) | 2009-06-10 | 2013-04-02 | Msi. Tokyo, Inc. | Cyclone separator type mass analyzing system |
| WO2010143426A1 (ja) * | 2009-06-10 | 2010-12-16 | Ｍｓｉ．Ｔｏｋｙｏ株式会社 | サイクロンセパレータ式質量分析システム |
| JP2015135329A (ja) * | 2010-11-11 | 2015-07-27 | 株式会社日立製作所 | 分析装置及び分析方法 |
| CN102735419A (zh) * | 2012-06-29 | 2012-10-17 | 甘肃省治沙研究所 | 沙尘暴输沙量自动收集装置 |
| KR101888458B1 (ko) * | 2017-09-20 | 2018-08-14 | 이호성 | 에어펄스 백필터를 이용한 사이클론 다중 선별장치 |
| KR101964002B1 (ko) * | 2018-02-23 | 2019-03-29 | 이윤무 | 석재용 도드락다듬 가공장치 |
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