JP2006214815A - 電流センサー - Google Patents

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Hiroshi Ito
寛 伊藤
Takahiro Urakabe
隆浩 浦壁
Tatsuya Okuda
達也 奥田
Yuji Kuramoto
祐司 蔵本
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Abstract

【課題】 磁束感受素子に接続された配線ループを鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を無くし、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去した基板実装型の電流センサーを得る。
【解決手段】 導体1を囲み、空隙部を有する磁性体からなるコア2と、空隙部に配置されて導体1に流れる電流を、その値に応じて空隙部に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する磁束感受部4を有する磁束感受素子5とを基板3に設け、磁束感受素子5と接続され、前記基板の異なる平面上の第1の信号線8と第2の信号線9とが磁束の方向で磁束感受部4と重なり、前記磁束感受部4から第1の信号線8の終端までの間で、少なくとも前記磁束の変化の影響を受ける範囲内で第1の信号線8と第2の信号線9とが前記磁束の方向で重なるように配線する。
【選択図】 図1

Description

この発明は、電流センサー、特に基板に実装した磁束感受素子により電流を測定する基板実装型の電流センサーに関する。
従来の基板実装型の電流センサーとして、基板に所望の電流を流すことができる大電流パターンを形成し、その近傍で前記基板に磁束を感受するホール素子を実装するものがある。そして、この基板の一部を磁性体からなるコアに挿入し、更にケース内に収容して、大電流パターンを接続端子に接続し、基板を固定している。その際、コアの空洞部に基板の大電流パターンが、コアの空隙部にホール素子が位置するように配置している(例えば特許文献1)。
特開2003−167009号(第3−4頁、第1図)
従来の基板実装型の電流センサーでは、コアの空隙部に配置された磁束感受部であるホール素子に磁束(φ)を直交させると、ホール素子の2本の出力信号線が作る配線ループにも磁束が直交する。測定対象機器の電流周波数が高くなると、この配線ループを鎖交する磁束の時間変化率(dφ/dt)に対応した誘導起電力が発生する。この誘導起電力は信号電圧と位相がずれ、信号電圧に対して無視できない大きさになることがあるので、信号電圧に対するノイズの原因となる問題があった。
この発明は、上述のような課題を解決するためになされたもので、磁束感受部を有する磁束感受素子に接続された出力信号線により形成される配線ループを鎖交する磁束の変化に応じて発生する誘導起電力を無くし、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去する電流センサーを得るものである。
この発明に係る基板実装型の電流センサーにおいては、測定すべき電流が流れる導体を囲み空隙部を有する磁性体からなるコアと、前記空隙部に配置されて前記導体に流れる電流を、その値に応じて前記空隙部での磁束の値に対応した信号電圧として検出する磁束感受部を有する磁束感受素子と、この磁束感受素子を実装した基板とを有し、前記磁束感受素子の第1の出力端子に接続され、前記基板の第1の平面上に配線された第1の信号線が、前記磁束の通過する方向で磁束感受部から前記第1の出力端子に至る通電ルートと重なり、前記磁束感受素子の第2の出力端子に接続され、前記基板の第1の平面とは異なる第2の平面上に配線された第2の信号線が、前記磁束の通過する方向で磁束感受部から前記第2の出力端子に至る通電ルートと重なるように配線され、更に前記磁束感受部から前記各信号線の終端までの間で、少なくとも磁束の変化の影響を受ける範囲内で前記各信号線が前記磁束の通過する方向で重なるように配線するものである。
この発明による電流センサーによれば、磁束感受素子と接続された第1の信号線及び第2の信号線による配線ループが形成されないので、従来の電流センサーのように配線ループを鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が無くなり、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができ、電流検出精度の高い基板実装型の電流センサーを得ることができる。
実施の形態1.
図1は、この発明を実施するための実施の形態1を示す基板実装型の電流センサーの断面図である。図1において、磁性体からなるコア2は対向するコア端部16a、16bの間に形成される空隙部13を有し、測定したい電流が流れるブスバーなどの導体1を囲んで配置されている。磁束感受部4を有する磁束感受素子5は基板3の上に実装されており、空隙部13に配置されている。磁束感受部4は導体1に流れる電流を、その値に応じて空隙部13に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する。また、基板3には磁束感受素子5からの信号電圧を増幅する増幅器10、磁束感受素子5の第1の出力端子6及び第2の出力端子7が実装されている。第1の信号線8は、基板3の第1の平面である表面上に配線され、第2の信号線9は、基板3の第2の平面である裏面に配線されている。なお、第1の信号線8の一部分、及び第2の信号線9の一部分は図において磁束感受部4の下側に配線されている。
第1の出力端子6は基板3の表面で第1の信号線8と接続されている。第2の出力端子7は基板3に設けられた第1の開口部11を貫通して、基板3の裏面にて第2の信号線9と接続されている。増幅器10の一方の端子は基板3に設けられた第2の開口部12を貫通して、基板3の裏面にて第2の信号線9と接続され、増幅器10の他方の端子は第1の信号線8と基板3の表面で接続されている。なお、基板3の第1の平面と第2の平面は異なる面であればよいので、上記のように2つの面が基板の表裏の関係であってもよいし、基板3が多層基板の場合では第1の平面と第2の平面のいずれかまたは両方が多層基板の層上の面であってもよい。また、増幅器10は基板3と異なる基板に設けられてもよい。
図2は、実施の形態1における基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。図2(a)は磁束感受素子5が基板3に設けられた側から見た平面図で、磁束感受素子5の外形及びコアの間隙部に相当するコア端部16a、16bを破線で示しており、コア2、基板3及び磁束感受素子5の内部は示していない。図2(b)は図2(a)とは反対の側(裏面側)から見た平面図である。なお、磁束が通過する方向は紙面に対して垂直方向である。図2において、第1の出力端子6に接続された第1の信号線8が磁束感受部4に磁束の通過する方向で重なるように配線され、第2の出力端子7に接続された第2の信号線9が磁束感受部4に磁束の通過する方向で重なるように配線されている。そして、磁束感受部4から第1の信号線8の終端である増幅器10の端子部までの間で、第1の信号線8と第2の信号線9が磁束の通過する方向で重なるように配線されている。なお、磁束感受素子5には電源電圧を供給するための第1の電源端子21、この第1の電源端子21に接続された第1の電源配線23、第2の電源端子22、及びこの第2の電源端子22に接続された第2の電源配線24が配設されている。
図3は、実施の形態1における基板実装型の電流センサーの磁束感受部4と信号線8、9との配線の詳細を示す拡大平面図で、図2(a)の磁束感受素子5の領域を拡大して詳細を示したものである。磁束感受素子5の外形を破線で示している。なお磁束感受部4としてホール素子が用いられている。図3において、第1の出力端子6は第1の素子内出力端子31と第1の導通部である第1の導線35とを介して磁束感受部4の電極41に接続されており、これらは磁束感受部4から第1の出力端子6に至る通電ルートを形成している。同様に、第2の出力端子7は第2の素子内出力端子32と第2の導通部である第2の導線36とを介して磁束感受部4の電極42に接続されており、これらは磁束感受部4から第2の出力端子7に至る通電ルートを形成している。第1の電源端子21は第1の素子内電源端子33と第3の導線37とを介して磁束感受部4の電極43に接続され、第2の電源端子22は第2の素子内電源端子34と第4の導線38とを介して磁束感受部4の電極44に接続されている。
次に、導線及び信号線の配線について説明する。第1の導線35は第1の信号線8に、第2の導線36は第2の信号線9にそれぞれ磁束の通過する方向(紙面に対して垂直方向)で重なるように配線されている。つまり、第1の信号線8は、磁束感受部4、第1の導線35、第1の素子内出力端子31及び第1の出力端子6からなる磁束感受部4から第1の出力端子6に至る通電ルートと磁束の通過する方向から見て重なるように配線されている。同様に、第2の信号線9も、磁束感受部4、第2の導線36、第2の素子内出力端子32及び第2の出力端子7からなる磁束感受部4から第2の出力端子7に至る通電ルートと磁束の通過する方向から見て重なるように配線され、磁束と鎖交する配線ループを作らないよう構成されている。
なお、磁束感受部4へは第3の導線37と第4の導線38とを介して電流が流れている。磁束感受部4はホール効果を利用しており、磁束感受部4へ磁束が通過することにより、磁束感受部4内に流れていた電流は曲げられ、磁束の量に応じた信号電圧が、第1の導線35と第2の導線36とを介して第1の素子内出力端子31と第2の素子内出力端子32との間に出力される。
図4は、実施の形態1における基板実装型の電流センサーの、コア2からの距離と磁束密度との関係を示したグラフである。図4において、横軸はコア2の空隙部13の中心からの距離〔mm〕、縦軸は磁束密度〔任意単位〕を示す。この図からわかるように、磁束密度の最も高い部分はコア2の空隙部13である。前記したようにコア2の空隙部13に磁束感受部4が配置され、更に、第1の信号線8の一部と第2の信号線9の一部とが配置されている。また、前記したように第1の出力端子6に接続された第1の信号線8は磁束感受部4に磁束の通過する方向で重なるように配線され、第2の出力端子7に接続された第2の信号線9は磁束感受部4に磁束の通過する方向で重なるように配線されている。このため、磁束密度が高い磁束感受部4周辺に配線ループができず、磁束の変化により発生する誘導起電力を無くすことができ、信号電圧に重畳するノイズの発生を除去することができる。
また、磁束感受部4から第1の信号線8の終端である増幅器10の端子部までの間で、第1の信号線8と第2の信号線9が磁束の通過する方向で重なるように配線されているので、増幅器10へ向かうまでの間で配線ループができず、磁束の変化により発生する誘導起電力を無くすことができる。
以上のように、この発明の実施の形態1による電流センサーによれば、第1の出力端子6に接続された第1の信号線8が磁束感受部4から第1の出力端子6に至る通電ルートに磁束の通過する方向で重なるように配線され、第2の出力端子7に接続された第2の信号線9が磁束感受部4から第2の出力端子7に至る通電ルートに磁束の通過する方向で重なるように配線され、かつ磁束感受部4から第1の信号線8の終端までの間で、第1の信号線8と第2の信号線9が磁束の通過する方向で重なるように配線されているので、磁束と鎖交する配線ループができず、磁束の変化により発生する誘導起電力を無くすことができる。このため、信号電圧に対し位相のずれた誘導起電力によるノイズの発生を除去することができ、電流検出精度の高い基板実装型の電流センサーを得ることができる。
なお、実施の形態1では、第1の信号線8と第2の信号線9が磁束の通過する方向で重なるように配線されているとしたが、少なくとも磁束の変化の影響を受ける範囲内で重なるように配線されていればよい。また、実施の形態1では、各導線35〜38により磁束感受部4と各端子31〜34を接続している場合を説明しているが、導電性があれば導線以外のもので接続してもよい。
実施の形態2.
図5は、この発明を実施するための実施の形態2を示す基板実装型の電流センサーの一部の構成図である。図5(a)は基板3の側面から見た側面図、図5(b)は実施の形態1の図2(a)に相当する平面図である。ブスバー等の導線1、コア2は図示していないが、それらの配置は実施の形態1と同様である。また、図5(b)では、図2(a)と同様に磁束感受素子5の外形を破線で示している。図5において、第1の出力端子6は、基板3の第1の平面である表面に設けられた第1の信号線45に接続されている。第2の出力端子7は基板3に設けられた第1の開口部11を貫通して、基板3の第2の平面である裏面に設けられた第2の信号線46と接続されている。増幅器10の一方の端子は基板3に設けられた第2の開口部12を貫通して、第2の信号線46と接続され、増幅器10の他方の端子は第1の信号線45と接続されている。なお、基板3の第1の平面と第2の平面は異なる面であればよいので、上記のように2つの面が基板の表裏の関係であってもよいし、基板3が多層基板の場合では第1の平面と第2の平面のいずれかまたは両方が多層基板の層上の面であってもよい。また、増幅器10は基板3と異なる基板に配置されてもよい。
図5(b)において、磁束は紙面に対して垂直方向に流れている。第2の出力端子7に接続された第2の信号線46が磁束感受部4と第1の出力端子6とに磁束の通過する方向で重なるように配線されている、第1の信号線45は、第1の出力端子6との接続部から磁束感受素子5の外部へ導出され、増幅器10の一方の端子まで延びている。また、第1の出力端子6から第1の信号線45の終端である増幅器10の端子部までの間で、第1の信号線45と第2の信号線46が磁束の通過する方向で重なるように配線されている。
図6は、実施の形態2における基板実装型の電流センサーの磁束感受部4と信号線45、46との配線の詳細を示す拡大平面図で、図5(b)の磁束感受素子5の領域を拡大して詳細を示したものである。磁束感受素子5の外形を破線で示し、磁束感受素子5内の構成は実施の形態1と同じである。図6において、第1の出力端子6は第1の素子内出力端子31と第1の導通部である第1の導線35とを介して磁束感受部4の電極41に接続され、第2の出力端子7は第2の素子内出力端子32と第2の導通部である第2の導線36とを介して磁束感受部4の電極42に接続されており、これらは磁束感受部4から第1の出力端子6及び第2の出力端子7に至る通電ルートを形成している。第2の信号線46は磁束感受部4、第2の導線36、第2の素子内出力端子32、第2の出力端子7、第1の導線35、第1の素子内出力端子31、第1の出力端子6と磁束の通過する方向から見て重なるように配線されている。つまり、磁束と鎖交する配線ループを作らないように、第2の信号線46は磁束感受部4から第1の出力端子6及び第2の出力端子7に至る通電ルートに重なるように配線されている。
このような構成により、磁束密度が高い磁束感受部4周辺及び増幅器10へ向かうまでの磁束密度がある程度高い領域に配線ループができず、配線ループを鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を無くすことができる。なお、第1の出力端子6に接続されている第1の信号線45を磁束感受部4、第2の導線36、第2の素子内出力端子32、第2の出力端子7、第1の導線35、第1の素子内出力端子31、第1の出力端子6と磁束の通過する方向から見て重なるように配線し、第2の出力端子7に接続されている第2の信号線46を磁束感受素子5の外部へ導出し、増幅器10の一方の端子まで延びるように配線してもよい。
以上のように、この発明の実施の形態2による基板実装型の電流センサーによれば、第2の出力端子7に接続された第2の信号線46が磁束感受部4から第1の出力端子6及び第2の出力端子7に至る通電ルートに磁束の通過する方向で重なるように配線され、かつ磁束感受部4から第1の信号線45の終端までの間で、第1の信号線45と第2の信号線46が磁束の通過する方向で重なるように配線されているので磁束と鎖交する配線ループができず、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができ、電流検出精度の高い基板実装型の電流センサーを得ることができる。
なお、実施の形態2では、第1の信号線45と第2の信号線46が磁束の通過する方向で重なるように配線されているとしたが、少なくとも磁束の変化の影響を受ける範囲内で重なるように配線されていればよい。また、実施の形態2では、導線35〜38により磁束感受部4と端子31〜34を接続している場合を説明しているが、導電性があれば導線以外のもので接続してもよい。
実施の形態3.
図7は、この発明を実施するための実施の形態3を示す基板実装型の電流センサーの磁束感受部と信号線の配線の詳細を示す拡大平面図である。図7において、第2の信号線47以外の構成は実施の形態2と同じである。第2の信号線47は磁束の通過する方向(紙面に対して垂直方向)から見て、磁束感受素子4全体を覆うように配線されている。これにより、磁束感受素子5内で第1の導線35、第2の導線36の位置がずれても、磁束感受部4から第1の出力端子6及び第2の出力端子7に至る通電ルートと第2の信号線47とによる配線ループができず、配線ループを鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を無くすことができ、信号電圧に重畳するノイズの発生を除去することができる。
以上のように、この発明の実施の形態3による基板実装型の電流センサーによれば、磁束感受素子4全体を覆うように第2の信号線47が配線されているので、第1の導線35及び第2の導線36の位置に関係なく配線ループができず、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができる。
実施の形態4.
図8は、この発明を実施するための実施の形態4を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。図8において、コア(図示せず)、基板(図示せず)及び磁束感受素子5の配置は実施の形態1と同様であり、磁束は紙面に対して垂直方向に流れている。磁束感受素子5の外形及びコアの間隙部に相当するコア端部16a、16bを破線で示している。また、実施の形態1と同様に磁束感受素子5内部には磁束感受部(図示せず)、素子内の端子(図示せず)、導線(図示せず)が設置されている。第1の出力端子6は第1の信号線51と接続され、第2の出力端子7は基板の第1の開口部(図示せず)を貫通して、第2の信号線52と接続されている。コア端部16a、16bの内側(コアの間隙部)において、磁束感受部4から第1の出力端子6及び第2の出力端子7に至る通電ルートと、第1の信号線51及び第2の信号線52とにより配線ループ53が形成されている。また、第1の信号線51は、コア端部16a、16bから第1の信号線51の終端である増幅器10の端子部までの間で、その一部を図の上側に湾曲されて補正ループ54を形成している。
次に動作について説明する。磁束感受部4は磁束密度が最も高い領域に設置されている。この領域で配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が発生し、この誘導起電力は磁束感受部4からの信号電圧に重畳されノイズとなる。そこで、配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力と極性が異なり、ほぼ同じ大きさの誘導起電力を、補正ループ54を鎖交する磁束の変化により発生させることで、配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を打ち消すことができる。これにより、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができる。
図3に示したグラフから、コア端部16a、16bの内側に形成される配線ループ53に鎖交する磁束密度は、コア端部16a、16bから離れた位置に形成され補正ループ54を鎖交する磁束密度より高い。誘導起電力は配線ループ53、補正ループ54のループの面積と磁束密度に比例する。そこで、配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力とほぼ同一の大きさの誘導起電力を得るために、補正ループ54の面積を配線ループ53の面積より大きくする。この結果、補正ループ54を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力で配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が打ち消すことができるので、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができる。
次に、補正ループ54の面積の算出方法を説明する。補正ループ54の面積は、配線ループ53の面積と、コア端部16a、16bから補正ループ54の中心までの距離Lから求めることができる。磁束感受部4の位置での磁束密度の振幅最大値をB0、配線ループ53の面積をS1とすると、配線ループ53で発生する誘導起電力e1は式(1)のように表すことができる。
e1=S1・B0・ω・cos(ωt) …(1)
ここで、tは時間、ωは角速度である。一方、補正ループ54の面積をS2とすると、補正ループ54で発生する誘導起電力e2は式(2)のように表すことができる。
e2=S2/(2・π・L)・B0・ω・cos(ωt) …(2)
ここでπは円周率である。配線ループ53で発生した誘導起電力ノイズを補正ループ54で発生する誘導起電力で打ち消すためにはe1とe2を絶対値でほぼ同一の値にする必要がある。そこで、e1=e2として式(1)と式(2)をまとめると、式(3)のような関係が成り立つ。
S2=S1・(2・π・L) …(3)
つまり、補正ループ54の面積を配線ループ53の面積にコア端部16a、16bから補正ループ54の中心までの距離の2倍の値と円周率とを乗じた値にほぼ等しくすることで、補正ループ54を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力で配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が打ち消すことができる。
以上のように、この発明の実施の形態4による基板実装型の電流センサーによれば、磁束の変化により第1の信号線51と第2の信号線52とで形成される配線ループ53から発生する誘導起電力とは逆方向の誘導起電力を発生する補正ループ54をコア端部16a、16bから第1の信号線51の終端までの間で、第1の信号線51の一部湾曲させて形成することにより、補正ループ54を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力で配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が打ち消すことができる。これにより、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができ、電流検出精度の高い基板実装型の電流センサーを得ることができる。
実施の形態5.
図9は、この発明を実施するための実施の形態5を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。図9において、第1の信号線55及び補正ループ56以外の構成は実施の形態4と同じである。図9において、第1の信号線55の一部を図の下側に湾曲させて補正ループ56を形成している。このような構成により、補正ループ56を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力の極性を容易に変えることができ、補正ループ56を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力で配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が打ち消すことができる。
以上のように、この発明の実施の形態5による基板実装型の電流センサーによれば、配線ループ53から発生する誘導起電力とは逆方向の誘導起電力を発生する補正ループ56を第1の信号線55の一部湾曲させて形成することにより、補正ループ56を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力の極性を容易に変えることができ、配線ループ53を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を打ち消すことができる。
実施の形態6.
図10は、この発明を実施するための実施の形態6を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。図10において、コア(図示せず)、基板(図示せず)及び磁束感受素子5の配置は実施の形態1と同様であり、磁束は紙面に対して垂直方向に流れている。磁束感受素子5の外形及びコアの間隙部に相当するコア端部16a、16bを破線で示している。また、実施の形態1と同様に磁束感受素子5内部には磁束感受部(図示せず)、素子内の端子(図示せず)、導線(図示せず)が設置されている。第1の出力端子6は第1の分割信号線61と接続され、第2の出力端子7は基板の第1の開口部(図示せず)を貫通して、第2の信号線64と接続されている。第2の信号線9は第1の分割信号線61と基板の異なる面に配線されている。コア端部16a、16bの内側(コアの間隙部)において、磁束感受部(図示せず)から第1の出力端子6に至る通電ルートと、第1の分割信号線61と第2の信号線64とによる配線ループ65が形成されている。
更に詳しく述べると、第1の出力端子6と接続されている第1の信号線を第1の出力端子側と第1の信号線の終端側とに分離し、第1の信号線を第1の分割信号線61と第2の分割信号線62と分ける。第1の分割信号線61と第2の分割信号線62とは、接続部である接続信号線63で接続する。この接続信号線63の配置位置の設定は、補正ループ66の面積を調整する調整手段である。第1の分割信号線61は第1の出力端子6から増幅器10へ向かう途中まで第2の信号線64と磁束の通過する方向から見て重なるように配線されているが、端部では図で上下に分かれる。同様に第2の分割信号線62は増幅器10から第1の出力端子6へ向かう途中まで第2の信号線64と磁束の通過する方向から見て重なるように配線されているが、端部では図で上下に分かれる。第1の分割信号線61、第2の分割信号線62及び接続信号線63で構成される第1の信号線群と、第2の信号線64とは磁束の通過する方向から見て形成される補正ループ66を形成している。
次に動作について説明する。磁束の通過する方向から見て接続信号線63が第2の信号線64から離れると補正ループ66を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が高くなる傾向がある。実施の形態4のように、配線ループ65を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を打ち消すために必要な補正ループ66の面積を設計することができる。しかし、配線ループを鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力の極性や大きさは予期できない場合があり、補正ループの面積が広すぎると、逆に誘導起電力によるノイズの増加につながることになるため、配線の設計は困難な場合がある。そこで、補正ループ66の面積の調整を接続信号線63の配置位置を変えることで行うことにより、誘導起電力の極性や大きさを調整できる。
以上のように、この発明の実施の形態6による基板実装型の電流センサーによれば、第1の信号線を第1の分割信号線61と第2の分割信号線62側とに分離し、第1の分割信号線61と第2の分割信号線62とを接続信号線63で接続し、接続信号線63の配置位置により補正ループ66の面積を調整することにより、補正ループ66を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力の大きさを容易に変えることができるので、配線ループ65を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を打ち消すことができる。
実施の形態7.
図11は、この発明を実施するための実施の形態7を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。図9において、多点スイッチ67以外の構成は実施の形態6と同じである。図11において、第1の分割信号線61と第2の分割信号線62とを接続する接続部として多点スイッチ67が設置されている。多点スイッチ67の開閉により、補正ループ68の面積を自由に変えることができ、補正ループ68を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力で配線ループ65を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が打ち消すことができる。このため、容易に信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去するための調整ができる。
以上のように、この発明の実施の形態7による基板実装型の電流センサーによれば、第1の信号線を第1の分割信号線61と第2の分割信号線62側とに分離し、第1の分割信号線61と第2の分割信号線62とを多点スイッチ67で接続し、多点スイッチ67の開閉により補正ループ68の面積を調整することにより、補正ループ68を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力の大きさを容易に変えることができるので、配線ループ65を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を打ち消すことができる。
実施の形態8.
図12は、この発明を実施するための実施の形態8を示す基板実装型の電流センサーの一部の構成図である。図12(a)は平面図で、図12(b)は第1の信号線71、第2の信号線72と補正用導線73の位置関係を示した斜視図である。図12において、コア(図示せず)、基板(図示せず)及び磁束感受素子5の配置は実施の形態1と同様であり、磁束は紙面に対して垂直方向に流れている。磁束感受素子5の外形を破線で示しているが、実施の形態1と同様に磁束感受素子5内部には磁束感受部(図示せず)、素子内の端子(図示せず)、導線(図示せず)が設置されている。第1の出力端子6は第1の信号線71と接続され、第2の出力端子7は第2の信号線72と接続されている。また、増幅器10の一方の端子は第1の信号線71と接続され、増幅器10の他方の端子は第2の信号線72と接続されている。第1の信号線71と第2の信号線72は基板の同一平面上に配線されている。
コアの間隙部(図示せず)からの磁束の変化の影響を受ける範囲内において、第1の信号線71、第2の信号線72及び磁束感受素子5から第1の出力端子6及び第2の出力端子7に至る通電ルートにより配線ループ74が形成され、信号電圧とは異なる磁束の変化により配線ループ74から誘導起電力が発生する。この実施の形態8では、配線ループ74で発生する誘導起電力を打ち消すために、コアの空隙部に導電である補正用導線73を配線して補正ループ75が形成され、配線ループ74で発生する誘導起電力とは逆方向の誘導起電力が発生する。補正用導線73は第1の信号線71及び第2の信号線72とは基板の異なる面に配線され、増幅器10と同一構成の第2の増幅器76に接続されている。配線ループ74で発生する誘導起電力が増幅器10で増幅されるのと同様に、補正ループ75で発生する誘導起電力は第2の増幅器76で増幅される。増幅されたこれらの起電力はほぼ同一なので打ち消すことができる。
補正用導線73のパターン形状を配線ループ74に合わせ、補正ループ75の面積を調整し、補正ループ75を鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生させる。この、補正ループ75を鎖交する磁束の変化により誘導起電力を発生させることで、配線ループ74を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を打ち消すことができ、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができる。
以上のように、この発明の実施の形態8による基板実装型の電流センサーによれば、コアの空隙部に補正用導線73を配線して補正ループ75を形成し、補正ループ75を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力で配線ループ74を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が打ち消すことができるので、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができ
なお、実施の形態8では、第1の信号線71と第2の信号線72は基板3の同一平面上に配線されているが、第1の信号線71と第2の信号線とを異なる面に配線してもよいし、補正用導線73は第1の信号線71と第2の信号線72の配線に合わせて基板3の異なる面に分割して配線してもよい。また、実施の形態8では、補正用導線73を第2の増幅器76と接続しているが、増幅器10に接続してもよいし、増幅器10及び第2の増幅器76は基板3と異なる基板に設置されてもよい。
実施の形態9.
図13は、この発明を実施するための実施の形態9を示す基板実装型の電流センサーの構成図である。図13(a)は断面図で、図13(b)は平面図である。図13において、磁性体からなるコアは第1のコア81と第2のコア82で構成され、これらの第1のコア81と第2のコア82とで第1の空隙部83と第2の空隙部84とを形成している。第1のコア81と第2のコア82は測定したい電流が流れるブスバーなどの導体1を囲んで配置されている。磁束感受部4を有する磁束感受素子5は基板85の上に実装されており、第1の空隙部83に配置されている。磁束感受部4は導体1に流れる電流を、その値に応じて第1の空隙部83に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する。また、基板85には磁束感受素子5からの信号電圧を増幅する増幅器10、磁束感受素子5の第1の出力端子6及び第2の出力端子7が実装されている。第1の信号線86は、基板85の第1の平面である表面上に配線され、第2の信号線87は、基板85の第2の平面である裏面に配線されている。
第1の出力端子6は基板85の表面で第1の信号線86と接続されている。第2の出力端子7は基板85に設けられた第1の開口部14を貫通して、基板85の裏面にて第2の信号線87と接続されている。増幅器10の一方の端子は基板85に設けられた第2の開口部15を貫通して、基板85の裏面にて第2の信号線87と接続され、増幅器10の他方の端子は第1の信号線86と基板85の表面で接続されている。基板85の第1の平面と第2の平面は異なる面であればよいので、上記のように2つの面が基板の表裏の関係であってもよいし、基板85が多層基板の場合では第1の平面と第2の平面のいずれかまたは両方が多層基板の層上の面であってもよい。なお、図示していないが、磁束感受部4と第1の出力端子6及び第2の出力端子7とは、前記各実施の形態と同様に、導線、素子内出力端子により接続された通電ルートを有する。
第1の間隙部83からの磁束の変化の影響を受ける範囲内において、磁束感受部4から第1の出力端子6及び第2の出力端子7に至る通電ルートと、第1の信号線86、第2の信号線87及び磁束感受素子5により配線ループ91が形成され、信号電圧とは異なる磁束の変化により配線ループ91から誘導起電力が発生する。この実施の形態9では、配線ループ91で発生する誘導起電力を打ち消すために、第2の空隙部84に補正ループ92を形成する。補正ループ92は第1の補正用導線88、第2の補正用導線89により構成され、第1の補正用導線88は基板85の第1の平面である表面上に配線され、第2の補正用導線89は基板85の第2の平面である裏面に配線されている。
第1の補正用導線88と第2の補正用導線89とは基板85に設けられた第3の開口部90を通して接続されている。また、第1の補正用導線88及び第2の補正用導線89は、増幅器10と同一構成の第2の増幅器76に接続されている。配線ループ91で発生する誘導起電力が増幅器10で増幅されるのと同様に、補正ループ92で発生する誘導起電力は第2の増幅器76で増幅される。増幅されたこれらの起電力はほぼ同一なので打ち消すことができる。なお、基板85の第1の平面と第2の平面は異なる面であればよいので、上記のように2つの面が基板の表裏の関係であってもよいし、基板85が多層基板の場合では第1の平面と第2の平面のいずれかまたは両方が多層基板の層上の面であってもよい。
第1の補正用導線88と第2の補正用導線89とにより、補正ループ92のパターン形状を配線ループ91の形状に合わせることで、配線ループ91で発生する誘導起電力とほぼ同一の誘導起電力を、補正ループ92を鎖交する磁束の変化により発生させることができる。これにより、配線ループ91を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を打ち消すことができ、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができる。
以上のように、この発明の実施の形態9による基板実装型の電流センサーによれば、第2の空隙部84に補正ループ92を形成し、補正ループ92を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力で配線ループ91を鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力が打ち消すことができるので、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができる。
なお、第1の信号線86と第2の信号線87とは基板85の異なる平面上に配線されているが、同一平面に配線されてもよい。同様に、第1の補正用導線88と第2の補正用導線89とは基板85の異なる平面上に配線されているが、同一平面に配線されてもよいし、補正ループ92は磁束感受素子5が実装された基板と異なる基板に設けられてもよい。また、第1の補正用導線88と第2の補正用導線89とを第2の増幅器76と接続しているが、増幅器10に接続してもよいし、増幅器10及び第2の増幅器76は基板3と異なる基板に設置されてもよい。
実施の形態10.
図14は、この発明を実施するための実施の形態10を示す基板実装型の電流センサーの一部の構成図である。図14(a)は断面図で、図14(b)は平面図である。図14(b)では、磁束感受素子5の外形を破線で示している。図14において、第1の出力端子6は、基板3の第1の平面である表面に設けられた第1の信号線94に接続されている。第2の出力端子7は基板3に設けられた第1の開口部11を貫通して、基板3の第2の平面である裏面に設けられた第2の信号線95と接続されている。増幅器10の一方の端子は基板3に設けられた第2の開口部12を貫通して、第2の信号線95と接続され、増幅器10の他方の端子は第1の信号線94と接続されている。
また、第2の電源端子22は、基板3の第1の平面である表面に設けられた第2の電源配線97に接続されている。第1の電源端子21は基板3に設けられた開口部(図示せず)を貫通して、基板3の第2の平面である裏面に設けられた第1の電源配線96と接続されている。第1の電源端子21は第1の素子内電源端子(図示せず)と第3の導線(図示せず)とを介して磁束感受部4に接続されており、これらは磁束感受部4から第1の電源端子21に至る通電ルートを形成している。同様に、第2の電源端子22は第2の素子内電源端子(図示せず)と第2の導線(図示せず)とを介して磁束感受部4に接続されており、これらは磁束感受部4から第2の電源端子22に至る通電ルートを形成している。なお、基板3の第1の平面と第2の平面は異なる面であればよいので、上記のように2つの面が基板の表裏の関係であってもよいし、基板3が多層基板の場合では第1の平面と第2の平面のいずれかまたは両方が多層基板の層上の面であってもよい。また、増幅器10は基板3と異なる基板に配置されてもよい。
図14(b)において、磁束は紙面に対して垂直方向に流れている。第2の出力端子7に接続された第2の信号線95が磁束感受部4と第1の出力端子6とに磁束の通過する方向で重なるように配線されている、第1の信号線94は、第1の出力端子6との接続部から磁束感受素子5の外部へ導出され、増幅器10の一方の端子まで延びている。また、第1の出力端子6から第1の信号線94の終端である増幅器10の端子部までの間で、第1の信号線94と第2の信号線95が磁束の通過する方向で重なるように配線されている。
一方、第2の電源端子22に接続された第2の電源配線97が磁束感受部4から第2の電源端子22及び第1の電源端子21に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線されている。図14(b)では、配線の都合上、第2の電源配線97は電源端子21と磁束の通過する方向で重なるように配線されていないが、第1の素子内電源端子(図示せず)の一部と磁束の通過する方向で重なるように配線されているので、第2の電源配線97が磁束感受部4から第1の電源端子21に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線されている事と同じである。第1の電源配線96は、第1の電源端子21との接続部から磁束感受素子5の外部へ導出されている。また、磁束感受素子5の外部で第1の電源配線96と第2の電源配線97が、第1の電源端子21から第1の電源配線96の終端までの間で、少なくとも磁束の変化の影響を受ける範囲内で磁束の通過する方向で重なるように配線されている。
このような構成により、磁束密度が高い磁束感受部4周辺で磁束密度がある程度高い領域に信号線及び電源配線による配線ループができず、配線ループを鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を無くすことができる。このため、信号電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができると共に、磁束感受素子に電源電圧を供給する際、電源電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することもできる。これにより、磁束感受素子の駆動を安定に行うことができる。
なお、第1の電源配線を磁束感受部から第1の電源端子に至る通電ルートに磁束の通過する方向で重なるように配線し、第2の電源配線を磁束感受部から第2の電源端子に至る通電ルートに磁束の通過する方向で重なるように配線し、かつ第1の電源配線と第2の電源配線とは磁束感受部から各電源配線の終端までの間で、少なくとも磁束の変化の影響を受ける範囲内で前記磁束の通過する方向で重なるように配線しても、電源電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することもできる。
以上のように、この発明の実施の形態10による基板実装型の電流センサーによれば、第2の電源端子22に接続された第2の電源配線97が磁束感受部4から第1の電源端子21及び第2の電源端子22に至る通電ルートに磁束の通過する方向で重なるように配線され、かつ第1の電源配線96と第2の電源配線97が磁束の通過する方向で重なるように配線されているので磁束と鎖交する配線ループができず、電源電圧に重畳する誘導起電力によるノイズの発生を除去することができる。
実施の形態11.
図15は、この発明を実施するための実施の形態11を示すインバータユニットに内蔵した基板実装型の電流センサーの平面図である。図15において、複数の入力端子101a、101bから入力された電力を三相に変換するために、半導体スイッチなどのスイッチング素子を組合せたアームユニット102と、アームユニット102の出力を伝送するための導体である第1のブスバー103、第2のブスバー104、第3ブスバー105が設置されている。それぞれのブスバー103〜105には、前記実施の形態1〜10のいずれかに述べた電流センサー111a、111b、111cが設けられている。それぞれのブスバー103〜105は、電流センサー111a、111b、111cの中のコア112a、112b、112cを貫通している。本実施の形態ではブスバーを3つ使用した場合について示しているが、導体であるブスバーはいくつでもよい。各電流センサー111a、111b、111cの基板は電流制御用の制御回路106を有する基板107と共通の基板で構成されている。電流センサー111a、111b、111c、制御基板107、アームユニット102などでインバータユニット108を構成する。なお、各電流センサー111a、111b、111cの信号線113、113b、113cは増幅器114a、114b、114cに接続され、それぞれの増幅器114a、114b、114cは共通信号線115を介して制御回路106へ接続されている。
次に動作について説明する。第1のブスバー103、第2のブスバー104、第3ブスバー105に流れる電流の値を検出するために、それぞれのブスバー103〜105に流れる電流に応じて、これらを囲んだそれぞれのコア112a、112b、112cの空隙部に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する。制御回路106に入力された信号電圧に基づいてアームユニット102を介してブスバー103〜105に流れる電流を制御する。その際、電流センサー111a、111b、111cの配線ループを鎖交する磁束の変化により発生する誘導起電力を無くすことができるので、正確な電流検出を行うことができる。また、制御基板107と基板3とが共通基板で構成されることで、容易に基板3上の増幅器10からの信号電圧を制御回路106での信号処理に利用できる。このため、インバータユニット108で一連の処理ができ、繁雑な配線も必要ないので、装置の小型化ができる。
以上のように、この発明の実施の形態11による基板実装型の電流センサーによれば、基板実装型の電流センサーを搭載した基板と信号電圧に基づいて導体に流れる電流を制御する制御回路106を有する基板と共通としたことにより、電流検出精度の高い基板実装型の電流センサーを備え、配線が少なく小型化されたインバータユニット108を得ることができる。
この発明の実施の形態1を示す基板実装型の電流センサーの断面図である。 この発明の実施の形態1を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。 この発明の実施の形態1を示す基板実装型の電流センサーの磁束感受部と信号線の配線の詳細を示す拡大平面図である。 この発明の実施の形態1における基板実装型の電流センサーの、コアからの距離と磁束密度との関係を示したグラフである。 この発明の実施の形態2を示す基板実装型の電流センサーの一部の構成図である。 この発明の実施の形態2を示す基板実装型の電流センサーの磁束感受部と信号線の配線の詳細を示す拡大平面図である。 この発明の実施の形態3を示す基板実装型の電流センサーの磁束感受部と信号線の配線の詳細を示す拡大平面図である。 この発明の実施の形態4を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。 この発明の実施の形態5を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。 この発明の実施の形態6を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。 この発明の実施の形態7を示す基板実装型の電流センサーの一部の平面図である。 この発明の実施の形態8を示す基板実装型の電流センサーの一部の構成図である。 この発明の実施の形態9を示す基板実装型の電流センサーの構成図である。 この発明の実施の形態10を示す基板実装型の電流センサーの一部の構成図である。 この発明の実施の形態11を示すインバータユニットに内蔵した基板実装型の電流センサーの平面図である。
符号の説明
1 導体
2、112a、112b、112c コア
3、85 基板
4 磁束感受部
5 磁束感受素子
6 第1の出力端子
7 第2の出力端子
8、45、51、55、71、86、94 第1の信号線
9、46、47、52、64、72、87、95 第2の信号線
10、114a、114b、114c 増幅器
11、14 第1の開口部
12、15 第2の開口部
13 空隙部
16a、16b、93a、93b コア端部
21 第1の電源端子
22 第2の電源端子
23、96 第1の電源配線
24、97 第2の電源配線
31 第1の素子内出力端子
32 第2の素子内出力端子
33 第1の素子内電源端子
34 第2の素子内電源端子
35 第1の導線
36 第2の導線
37 第3の導線
38 第4の導線
41、42、43、44 電極
53、65、74、91 配線ループ
54、56、66、68、75、92 補正ループ
61 第1の分割信号線
62 第2の分割信号線
63 接続信号線
67 多点スイッチ
73 補正用導線
76 第2の増幅器
81 第1のコア
82 第2のコア
83 第1の空隙部
84 第2の空隙部
88 第1の補正用導線
89 第2の補正用導線
90 第3の開口部
101a、101b 入力端子
102 アームユニット
103 第1のブスバー
104 第2のブスバー
105 第3のブスバー
106 制御回路
107 制御基板
108 インバータユニット
111a、111b、111c 電流センサー
113a、113b、113c 信号線
115 共通信号線

Claims (12)

  1. 導体を囲み、空隙部を有する磁性体からなるコアと、
    前記空隙部に配置されて、前記導体に流れる電流を、その値に応じて前記空隙部に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する磁束感受部を有する磁束感受素子と、
    前記磁束感受素子を実装した基板と、
    前記磁束感受素子の第1の出力端子と接続され、前記基板の第1の平面上に配線された第1の信号線と、
    前記磁束感受素子の第2の出力端子と接続され、前記基板の第2の平面上に配線された第2の信号線とを備え、
    前記第1の信号線は前記磁束感受部から前記第1の出力端子に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線され、前記第2の信号線は前記磁束感受部から前記第2の出力端子に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線され、かつ前記第1の信号線と前記第2の信号線とは前記磁束感受部から前記各信号線の終端までの間で、少なくとも前記磁束の変化の影響を受ける範囲内で前記磁束の通過する方向で重なるように配線されていることを特徴とする電流センサー。
  2. 導体を囲み、空隙部を有する磁性体からなるコアと、
    前記空隙部に配置されて、前記導体に流れる電流を、その値に応じて前記空隙部に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する磁束感受部を有する磁束感受素子と、
    前記磁束感受素子を実装した基板と、
    前記磁束感受素子の第1の出力端子と接続され、前記基板の第1の平面上に配線された第1の信号線と、
    前記磁束感受素子の第2の出力端子と接続され、前記基板の第2の平面上に配線された第2の信号線とを備え、
    前記第2の信号線は前記磁束感受部から前記第1の出力端子及び前記第2の出力端子に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線され、前記第1の信号線は前記第1の出力端子から前記磁束感受素子の外部へ導出され、かつ前記第1の出力端子から前記第1の信号線の終端までの間で、少なくとも前記磁束の変化の影響を受ける範囲内で前記第1の信号線と前記第2の信号線が前記磁束の通過する方向で重なるように配線されていることを特徴とする電流センサー。
  3. 前記磁束感受部から前記第1の出力端子に至る通電ルートは、前記磁束感受部と前記第1の出力端子とを導通する第1の導通部を有し、前記磁束感受部から前記第2の出力端子に至る通電ルートは、前記磁束感受部と前記第2の出力端子とを導通する第2の導通部を有することを特徴とする請求項1または2のいずれかに記載の電流センサー。
  4. 導体を囲み、空隙部を有する磁性体からなるコアと、
    前記空隙部に配置されて、前記導体に流れる電流を、その値に応じて前記空隙部に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する磁束感受部を有する磁束感受素子と、
    前記磁束感受素子を実装した基板と、
    前記磁束感受素子の第1の出力端子と接続され、前記基板に配線された第1の信号線と、
    前記磁束感受素子の第2の出力端子と接続され、前記基板に配線された第2の信号線とを備え、
    前記磁束の変化により前記第1の信号線と前記第2の信号線とで形成される配線ループから発生する起電力とは逆方向の起電力を発生する補正ループを、前記コアの端部から前記第1の信号線の終端までの間で、少なくとも前記磁束の変化の影響を受ける範囲内で前記第1の信号線の少なくとも一部と前記第2の信号線の少なくとも一部のいずれかまたは両方を湾曲させて形成することを特徴とする電流センサー。
  5. 前記第1の信号線を前記第1の出力端子側と前記第1の信号線の終端側とに分離し、前記第1の信号線の前記第1の出力端子側と前記第1の信号線の終端側とを接続部により接続し、前記接続部の配置位置により前記補正ループの面積を調整する調整手段を備えた請求項4に記載の電流センサー。
  6. 前記補正ループの面積は前記配線ループの面積より大きいことを特徴とする請求項4または5のいずれかに記載の電流センサー。
  7. 前記補正ループの面積は前記配線ループの面積に前記コアの端部から補正ループの中心までの距離の2倍の値と円周率とを乗じた値にほぼ等しいことを特徴とする請求項6に記載の電流センサー。
  8. 導体を囲み、空隙部を有する磁性体からなるコアと、
    前記空隙部に配置されて、前記導体に流れる電流を、その値に応じて前記空隙部に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する磁束感受部を有する磁束感受素子と、
    前記磁束感受素子を実装した基板と、
    前記磁束感受素子の第1の出力端子と接続され、前記基板に配線された第1の信号線と、
    前記磁束感受素子の第2の出力端子と接続され、前記基板に配線された第2の信号線とを備え、
    前記磁束の変化により前記第1の信号線と前記第2の信号線とで形成される配線ループから発生する起電力とは逆方向の起電力を発生する補正ループを、前記空隙部に配線された導線により形成することを特徴とする電流センサー。
  9. 導体を囲み、第1の空隙部および第2の空隙部を有する磁性体からなるコアと、
    前記第1の空隙部に配置されて、前記導体に流れる電流を、その値に応じて前記空隙部に流れる磁束の値に対応した信号電圧として検出する磁束感受部を有する磁束感受素子と、
    前記磁束感受素子を実装した基板と、
    前記磁束感受素子の第1の出力端子と接続され、前記基板に配線された第1の信号線と、
    前記磁束感受素子の第2の出力端子と接続され、前記基板に配線された第2の信号線とを備え、
    前記磁束の変化により前記第1の信号線と前記第2の信号線とで形成される配線ループから発生する起電力とは逆方向の起電力を発生する補正ループを、前記第2の空隙部に配線された導線により形成することを特徴とする電流センサー。
  10. 前記磁束感受素子の第1の電源端子と接続され、前記基板の平面上に配線された第1の電源配線と、
    前記磁束感受素子の第2の電源端子と接続され、前記第1の電源配線が配線された面とは異なる前記基板の平面上に配線された第2の電源配線とを備え、
    前記第1の電源配線は前記磁束感受部から前記第1の電源端子に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線され、前記第2の電源配線は前記磁束感受部から前記第2の電源端子に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線され、かつ前記第1の電源配線と前記第2の電源配線とは前記磁束感受部から前記各電源配線の終端までの間で、少なくとも前記磁束の変化の影響を受ける範囲内で前記磁束の通過する方向で重なるように配線されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の電流センサー。
  11. 前記磁束感受素子の第1の電源端子と接続され、前記基板の平面上に配線された第1の電源配線と、
    前記磁束感受素子の第2の電源端子と接続され、前記第1の電源配線が配線された面とは異なる前記基板の平面上に配線された第2の電源配線とを備え、
    前記第2の電源配線は前記磁束感受部から前記第1の電源端子及び前記第2の電源端子に至る通電ルートに前記磁束の通過する方向で重なるように配線され、前記第1の電源配線は前記第1の電源端子から前記磁束感受素子の外部へ導出され、かつ前記第1の電源端子から前記第1の電源配線の終端までの間で、少なくとも前記磁束の変化の影響を受ける範囲内で前記第1の電源配線と前記第2の電源配線が前記磁束の通過する方向で重なるように配線されていることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の電流センサー。
  12. 前記基板を、前記信号電圧に基づいて前記導体に流れる電流を制御する制御回路を有する基板と共通としたことを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の電流センサー。
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