JP2006212627A - ペースト塗布器及びその制御方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ペーストパターンの形成にかかる時間を短縮させ、使用を便利にし、パターンデータのエラーを防止するペースト塗布器及びその制御方法を提供する。
【解決手段】所望形状のペーストパターンに対応する所定形式の１次情報を作成し、１次情報をペースト塗布器で使われる２次情報に自動設定し、自動設定されたデータによって、基板上に所望ペーストパターンを描画する。
【選択図】図４

Description

本発明は、ペースト塗布器に関し、より詳しくは、使用が便利で作業時間の短縮が可能なペースト塗布器及びその制御方法に関するものである。

一般に、ペースト塗布器は、抵抗ペースト、シーリングペースト等のような各種ペーストを基板に所定形状、即ち所望形状のパターンに塗布する装置である。
ペースト塗布器は、基板が装着されるステージと、基板にペーストを塗布するノズルを持つヘッドユニットとに分けられる。そして、ヘッドユニットは、ペーストを収容しているペースト収納容器と、ペースト収納容器に連通し、基板にペーストを吐き出すノズルとを含んでなる。即ち、ペースト塗布器は、基板とノズルの相対位置関係を変化させながら、基板に所定形状のペーストパターンを形成することになる。

この時、ペーストパターンを形成するための基板とノズルの相対位置及び塗布条件は予め設定される。塗布条件とは、ノズルと基板間の相対速度（以下、‘塗布速度’という）、ノズルと基板間の相対距離（以下、‘塗布高さ’という）、ペースト収納容器に印加される圧力（以下、‘塗布圧力’という）等を含む。そして、基板上にペーストパターンが形成された後には、使用者が所望形状のペーストパターンが形成されたかを確認するために、塗布されたペーストパターンの断面を測定することになる。

一方、使用者が所望形状のペーストパターンを塗布するにあたって、ペーストパターンに対するパターンデータを設定する従来技術は、特許文献１に開示されている。この特許文献１によれば、従来ペースト塗布器は、まずペーストパターンの基本になる基本パターンを設定し、基本パターンを複写して複数のペーストパターンを形成する。そして、ペースト塗布器は、ペーストパターン別に塗布条件を設定し、複数のペーストパターン間の位置関係を設定することで、使用者の所望ペーストパターンに対するパターンデータを設定する。この時、基板とノズル間の相対位置を示すパターンデータ及びペーストパターンの塗布条件がそれぞれのパターンに対して個別的に入力されている。

しかし、上述した従来のペースト塗布器は次のような問題点があった。
一つ目、従来のペースト塗布器は、一枚の基板に複数のペーストパターンを塗布するのに多くの時間がかかるという問題点があった。
二つ目、従来のペースト塗布器は、複数のペーストパターンに対するパターンデータを入力する時、パターンデータに対するエラーが発生することがあるという問題点があった。

大韓民国公開特許第２００２−００１８９６７号明細書

そこで、本発明は上記従来のペースト塗布器における問題点に鑑みてなされたものであって、本発明の目的は、ペーストパターンを形成する際に要する時間を短縮させることができるペースト塗布器及びその制御方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、使用が便利でパターンデータのエラーを防止することができるペースト塗布器及びその制御方法を提供することにある。

上記目的を達成するためになされた本発明のペースト塗布器の制御方法は、所望形状のペーストパターンに対応する所定形式の１次情報を作成する段階と；前記１次情報をペースト塗布器で使われる２次情報に自動設定するデータ自動設定段階と；前記自動設定された２次情報によって、前記基板上に所望ペーストパターンを描画する段階と；を有することを特徴とする。
前記１次情報はＣＡＤデータ形式で作成されることが望ましい。
前記２次情報は数値的に表現され、基板上に描画されるペーストパターンの位置データであることが望ましい。
前記データ自動設定段階は、前記１次情報を前記２次情報に自動設定するデータ自動設定手段の内部に読み込む段階と、前記読み込まれた１次情報を前記２次情報に変換する段階と、を含むことが望ましい。
前記ペースト塗布器の制御方法は、前記基板上に塗布されるペーストパターンに対応するノズルを自動で設定する段階を更に含むことが望ましい。
前記ノズルを自動で設定する段階は、前記基板上に描画されるペーストパターンの位置データ及びノズルの位置データを認識する段階と、前記位置データを比較・判断する段階と、互いに近接するように位置するペーストパターンとノズルを決定する段階とを含むことが望ましい。
前記ペースト塗布器の制御方法は、前記ペーストパターンに対する塗布条件を入力する段階を更に含むことが望ましい。
前記ペースト塗布器の制御方法は、前記ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を予め確認する段階を更に含むことが望ましい。
前記運転情報を予め確認する段階は、前記運転情報を数値的に確認する段階と前記運転情報をイメージ形式で確認する段階とのなかで少なくとも一つを含むことが望ましい。
前記ペースト塗布器の制御方法は、前記ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を貯蔵・管理する段階を含むことが望ましい。

また、上記目的を達成するためになされた本発明のペースト塗布器は、所望形状のペーストパターンに対応する所定形式の１次情報を作成する手段と；前記１次情報をペースト塗布器で使われる２次情報に自動設定するデータ自動設定手段と；前記自動設定された２次情報によって、前記基板上に所望ペーストパターンを描画する手段と；を有することを特徴とする。
前記ペースト塗布器は、前記１次情報をコンピューターに貯蔵するための読み込み手段を更に含み、該コンピューターの読み込み手段を介し前記１次情報を前記データ自動設定手段に伝達して前記１次情報を前記２次情報に自動設定することが望ましい。
前記１次情報を前記２次情報に自動設定する前記データ自動設定手段は、ペースト塗布器本体とは別個のユニットとして動作することが望ましい。
前記ペースト塗布器は、前記基板上に描画されるペーストパターンに対応するノズルを自動で設定する手段を更に含むことが望ましい。
前記ペースト塗布器は、前記ペーストパターンに対する塗布条件を入力する手段を更に含むことが望ましい。
前記ペースト塗布器は、前記ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を貯蔵・管理する手段を更に含むことが望ましい。

このような本発明のペースト塗布器及びその制御方法によれば次のような効果がある。
一つ目、所望形状のペーストパターンに対するパターンデータを自動設定することで、ペーストパターンを形成するのにかかる時間を短縮することができる利点がある。そして、作業効率が向上し、生産原価が低くなる利点がある。
二つ目、パターンデータを自動で設定し、パターンと対応するノズルを自動で設定することで、使用が便利で、パターンデータの入力過程で発生するエラーを防止することができる利点がある。
三つ目、パターンデータを自動で設定し、運転情報を予め確認することで、製品の不良を減らすことができる利点がある。
四つ目、塗布の完了したパターンデータ等が記録された運転情報を別に貯蔵・管理して広範囲なデータベースを構築することで、多品種大量生産に適する利点がある。

次に、本発明のペースト塗布器及びその制御方法を実施するための最良の形態の具体例を、図面を参照しながら説明する。
図１は、本発明の実施形態によるペースト塗布器の望ましい一実施例を概略的に示す斜視図である。同図を参照して、本発明の実施形態によるペースト塗布器の構成を説明する。

フレーム１０の上部には、Ｙ軸方向に移動可能なＹ軸テーブル３０が取り付けられ、Ｙ軸テーブル３０には、θ方向に回転可能にするために、θ方向移動装置（図示せず）が取り付けられ、Ｙ軸テーブル３０の上部には、基板が吸着されるステージ４０が取り付けられる。勿論、フレーム１０の上部には、Ｘ軸方向に移動可能なＸ軸テーブル２０を取り付けることもできる。

そして、フレーム１０の上部には、少なくとも一つのコラム１２が取り付けられ、コラム１２には、ペーストを吐き出すノズル５５４を備える多数のヘッドユニット５０がＸ軸方向に移動可能に取り付けられる。
ヘッドユニット５０を多数設けることで、多数のペーストパターンを形成する場合に工程速度を短縮させることになる。そして、コラム１２は、基板をステージに搭載するか又は排出する時、所定の空間を確保するために、Ｙ軸に移動可能である。

また、コラム１２には、ステージに吸着された基板を定位置に校正する役目をするアラインカメラ６０が取り付けられる。ステージ４０の前後には、交換されたノズルの位置を補正する時に使われる計測手段９０が設けられ、計測手段９０としてはカメラ等による画像認識装置が使われる。

ペースト塗布器を制御する制御部７０はペースト塗布器の内部に取り付けられて、ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を入出力する入出力手段８０と連結される。
そして、制御部７０は、使用者の所望ペーストパターンに対応する情報、即ちペーストパターンの位置を示す座標値を、入出力手段８０又はパーソナルコンピューター（ＰＣ：Ｐｅｒｓｏｎａｌ Ｃｏｍｐｕｔｅｒ）１００から直接受けることもできる。また、制御部７０は、パーソナルコンピューター１００で作成されたペーストパターンに関する情報を、入出力手段８０を通じて受けることもできる。

図１及び図２を参照して、本発明の実施形態によるペースト塗布器のヘッドユニットに関する一実施例を具体的に説明する。
ヘッドユニット５０の下端部に位置する塗布ヘッド５５には、ペーストが充填されたペースト収納容器（Ｓｙｒｉｎｇｅ）５５２及びノズル５５４が取り付けられる。そして、ヘッドユニット５０には、ノズル５５４の位置をＹ、Ｚ軸方向に移動させるノズル用Ｙ、Ｚ軸モーター５１、５２がそれぞれ取り付けられる。勿論、ヘッドユニット５０は、コラム１２に取り付けられたノズル用Ｘ軸移動装置（図示せず）によってＸ軸方向に移動することもできる。

ヘッドユニット５０には、基板をステージに搭載した後、ノズルと基板との間隔を正確に合わせるために、ノズルの高さを更に微細に調整することができる別途の微細調整用Ｚ軸（以下、‘ＺＺ軸’という）モーター（図示せず）が取り付けられる。

また、ヘッドユニット５０には、ペーストパターンの塗布時、ノズルと基板間の距離を測定する距離センサー５９と、ペーストパターンが形成された後に断面積等を測定する断面測定センサー５７とが取り付けられる。
勿論、断面測定センサー５７は、移動可能なステージ４０に取り付けるか、或いはコラム１２に固定的に取り付けることもできる。また、断面測定センサーは、特定のヘッドユニット又はすべてのヘッドユニットに取り付けることもできる。

ヘッドユニット５０の側面部には、塗布ヘッド５５の駆動に伴い発生する不純物をとり除くために、不純物を吸入、排出する排気ホール５４が形成される。

上述のように構成することにより、ステージ４０は、Ｙ軸テーブルの移動装置、即ち第１リニアモーター（図示せず）によってＹ軸方向に移動し、コラム１２に取り付けられたヘッドユニット５０は、Ｘ軸移動装置、即ち第２リニアモーター（図示せず）によってＹ軸方向に対して垂直方向であるＸ軸方向に移動する。勿論、ヘッドユニット５０の塗布ヘッド５５に付着されたノズル５５４は、ノズル用Ｚ軸モーターによって、Ｚ軸方向に移動可能である。

一方、ノズルが交換されるか或いはノズルの位置補正が必要である場合において、ヘッドユニット５０の塗布ヘッド５５は、ノズルのＹ軸方向塗布位置を補正するために、ノズル用Ｙ軸サーボモーターによって移動することもできる。

そして、ヘッドユニット５０の塗布ヘッド５５は、基板とノズル間の間隔を補正するために、ノズル用Ｚ軸サーボモーターとボールネジによってＺ軸方向に移動する。また、ヘッドユニット５０は、ノズルのＸ軸方向塗布位置を補正するために、第２リニアモーターによって移動することもできる。

しかし、本発明はこれに限定されるものではなく、ノズルが固定され、ステージ４０がＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するように構成することもでき、ステージが固定され、ノズルがＸ軸方向及びＹ軸方向に移動するように構成することもできる

次に、図３を参照しながら、本発明の実施形態によるペースト塗布器の制御構成を説明する。
中央処理装置の役目をする制御部７０には、モーターコントローラー３、入出力手段８０、及びパーソナルコンピューター（ＰＣ：パソコン）１００がそれぞれ連結される。勿論、パソコン１００は、制御部７０に直接連結せずに、入出力手段８０に連結することもできる。

また、パソコン１００は、ペースト塗布器本体と別個に具備することもできる。即ち、パソコン１００で作成された情報は、別個の伝達手段（図示せず）によって、パーソナルコンピューターからペースト塗布器に伝達されるようにすることもできる。
伝達手段としては、パーソナルコンピューターで作成された情報を記憶・貯蔵して移動させることができるフレキシブルディスク、ＣＤ、ネットワークサーバー等が使われる。

一方、モーターコントローラー３には、Ｙ軸方向、θ方向へのテーブルの移動を制御するステージ用Ｙ軸ドライバー３ａ、θ方向ドライバー３ｂが連結される。そして、モーターコントローラー３には、ノズル用Ｘ軸ドライバー３ｃ、Ｙ軸ドライバー３ｄ、Ｚ軸ドライバー３ｅ、ＺＺ軸ドライバー３ｆがそれぞれ連結される。

ノズル用Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸及びＺＺ軸ドライバー３ｃ、３ｄ、３ｅ、３ｆは、ノズルの位置をＸ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向、ＺＺ軸方向にそれぞれ制御することになる。勿論、ステージをＸ軸方向に移動させることができるＸ軸ドライバーが更に具備されるようにしてもよい。

上述のように構成することにより、基板とノズルが相対移動しながら基板に所定形状のペーストパターンを形成することになる。即ち、図１においては、ペーストパターンの形成時、コラム１２は固定されており、ステージ４０がＹ軸方向に移動し、ヘッドユニット５０がＸ軸方向に移動しながら所定形状のペーストパターンが形成されることになる。

図１〜図３を参照しながら、ペースト塗布器によって基板上にペーストが塗布される過程を簡単に説明する。
まず、塗布しようとするペーストパターンが決定されれば、使用者は試験塗布によって、ペーストパターンに適した塗布条件を設定する。塗布条件が設定されれば、実際に基板が搬入されてステージ４０に吸着される。

そして、ノズル５５４と基板の位置がアラインカメラ６０及び計測手段９０によって整列された後、ノズルからペーストが吐き出され始める。勿論、ペーストが吐き出される過程において、ペーストパターンを形成するようにステージ４０とヘッドユニット５０とは、相対移動する。

次に、図４を参照して、本発明の実施形態によるペースト塗布器のパターンデータ設定過程を説明する。
使用者は、まず一枚の基板上に塗布されるすべてのペーストパターンに対応する所定形式の１次情報を作成する（ステップＳ１００）。１次情報を作成する手段は、イメージ形式のデータを作成することができるプログラムの実行により機能する手段、又はプログラムが組み込まれたマイクロプロセッサの実行により機能する手段を意味する。

プログラムは、ＣＡＤ（Ｃｏｍｐｕｔｅｒ−Ａｉｄｅｄ Ｄｅｓｉｇｎ）データ形式の情報を生成させることができるＣＡＤプログラムであることが望ましい。従って、１次情報は、ＣＡＤデータ形式、即ちＣＡＤプログラムを使って作成したイメージ形式のデータを意味する。勿論、プログラムは、既存に存在する絵又は写真等を認識してイメージ形式のデータを作成することができるものであればすべて使用可能である。

そして、１次情報作成手段は、ペースト塗布器と別個に具備されたパーソナルコンピューターに内蔵することが望ましいが、ペースト塗布器の内部に内蔵することもできる。また、ＣＡＤデータ形式で作成されたそれぞれのペーストパターンは、線の種類、線の色等によって区分できるように設計されることが望ましい。

次に、ペーストパターンに対応するＣＡＤデータ形式の１次情報は、データ自動設定手段によって、ペースト塗布器で使われる２次情報に自動設定される（ステップＳ２００）。２次情報は基板上に塗布されるペーストパターンに対する位置データを座標値で示すもので、以下ではパターンデータと言う。

そして、データ自動設定手段は、ＣＡＤプログラムを使って作成されたイメージ形式のデータを数値化するプログラムの実行により機能する手段、又はプログラムが組み込まれたマイクロプロセッサの実行により機能する手段を意味する。
この時、データ自動設定手段は、ペーストパターンに対する１次情報を伝達手段によって受け付ける。伝達手段は、上述したように、ペーストパターンに対応する１次情報を記憶して移動することができるもので、フレキシブルディスク、ＣＤ、ネットワークサーバー等が使われる。

そして、使用者は、ＣＡＤプログラムによって設計された１次情報をデータ自動設定手段の内部に読み込む（ステップＳ２１０）。すると、データ自動設定手段は、１次情報をペースト塗布器で使われるパターンデータに変換する（ステップＳ２３０）。即ち、データ自動設定手段は、ＣＡＤデータ形式の１次情報をペーストパターンの位置を示す座標値に数値化する。

この時、ＣＡＤデータ形式で作成されたそれぞれのペーストパターンは、ペーストパターンの線、色等によって固有のパターン番号を持つことになる。そして、ペーストパターンに対するパターンデータは、パターン番号に対応するそれぞれのデータシートに記録される。データ自動設定手段はペースト塗布器の内部に設けることもでき、ペースト塗布器と別個に具備されるコンピューターに設けることもできる。

次に、使用者は、ノズル自動設定手段を利用して、それぞれのペーストパターンと対応するノズルを自動的に設定する（ステップＳ３００）。ノズル自動設定手段は、該当機能を持つプログラムの実行により機能する手段、又はプログラムが組み込まれたマイクロプロセッサの実行により機能する手段を意味する。

使用者がノズル自動設定手段の動作キー（図示せず）を入力すれば、ノズル自動設定手段は、パターン番号が付与されたパターンデータとノズルの位置データとを認識する（ステップＳ３１０）。そして、ノズル自動設定手段は、パターンデータとノズルの位置データとを比較して、ペーストパターンそれぞれの塗布開始点と最も近い距離にある該当ノズルを設定する（ステップＳ３３０、ステップＳ３５０）。

ノズル自動設定手段は、データ自動設定手段と共にペースト塗布器の内部に取り付けることができ、ペースト塗布器の外部に別個に具備されるコンピューターに取り付けることもできる。また、ノズル自動設定手段は、データ自動設定手段から分離されて、一つはペースト塗布器に設け、残りの一つをペースト塗布器の外部に別に具備されるコンピューターに設けることもできる。

次に、パターン番号が付与されたすべてのペーストパターンに適用される塗布条件を入力する（ステップＳ４００）。塗布条件は、データ自動設定手段によってパターンデータが設定された後、該当パターンデータによるノズルが設定される前に入力することもできる。勿論、データ自動設定手段によってパターンデータが設定される前に入力することもできる。塗布条件を入力する入力手段はペースト塗布器に設けることもできるが、ペースト塗布器の外部に位置する一般コンピューターに設けることもできる。

そして、使用者は、ペースト塗布器を駆動して実際基板にペーストを塗布する前に、ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を予め確認する（ステップＳ５００）。運転情報とは、ペーストパターンに対するパターンデータ、塗布条件、塗布順序、及びその他のペースト塗布器の運転に必要なすべての情報を意味する。

ペースト塗布器の運転情報を確認する方法には、運転情報を数値的に確認する方法と、運転情報によってコンピュータープログラム上で塗布シミュレーションする方法とがある。
運転情報を数値的に確認する方法は、ペーストパターンによって設定された運転情報に関するデータシート（Ｄａｔａ ｓｈｅｅｔ）を表示して使用者が肉眼でデータを直接確認し得るようにする方法である。

そして、塗布シミュレーションする方法は、実際ペーストを基板上に塗布するペースト塗布器と同一の運転情報下でシミュレーションプログラムを使用してプログラム上で塗布する方法である。シミュレーションプログラムによって塗布されたイメージ形式の結果に対し、使用者は肉眼でペーストパターンの適合性を確認する。

勿論、塗布シミュレーションの結果であるイメージを数値化して運転情報のデータと数値的に比較することもできる。そして、本実施例においては、運転情報を数値的に確認する方法とイメージ形式で確認する方法のなかで少なくとも一つを使用することが望ましい。

運転情報を確認する段階が終了すると、使用者はペースト塗布器を作動させて、実際の基板上にペーストパターンを形成する（ステップＳ６００）。そして、ペーストパターンに対する塗布が終了すると、使用者は、運転情報が記録されたデータシートに管理番号を付与し、データシートを別途の記憶装置に記憶する（ステップＳ７００）。記憶装置はペースト塗布器に設けることもできるが、ペースト塗布器の外部の一般記憶装置であってもよい。そして、記憶装置としては、フレキシブルディスク、ＣＤ、ハードディスク等が使用可能である。

次に、図５を参照して、ＣＡＤデータ形式の１次情報がペーストパターンの位置データである２次情報に変換される過程を説明する。
所望形状のペーストパターンに対応するＣＡＤデータ形式の１次情報は、データ自動設定手段によって、それぞれのペーストパターンに対する位置データを示す数値形式の２次情報に変換される。そして、２次情報を示すパターンデータには、それぞれのペーストパターンに対応するパターン番号が付与される。

上述したように、パターン番号は、ペーストパターンの線の種類又は色等によって決定される。具体的に、データ自動設定手段には、予めパターン番号と線の種類及び色が対応するように設定される。例えば、黄色の実線はパターン番号が１であり、黄色の点線はパターン番号が２であり、黒色の実線はパターン番号が３である。従って、パターン番号の数はペーストパターンの数と一致する。

ペーストパターンに対するパターンデータを構成する座標値の数は、それぞれのペーストパターンに存在する直線、曲線の数によって変わる。例えば、ペーストパターンが四角形であれば、パターンデータにはそれぞれの直線部を示す座標と曲線部の半径を示す値が記録される。この時、それぞれのポイントの座標値は一つの基準座標を持っていることが望ましい。

一般に、四角形のペーストパターンに対するパターンデータには、四つのポイントとそれぞれのポイントが連結される時の半径が自動的に設定される。しかし、パターンデータは他の形態にも設定することができる。

例えば、ペーストパターンを塗布するに際して、塗布開始点が直線部に位置する任意の点に設定され、直線部を示すポイントの数とそれぞれの直線部が連結される曲線部の半径を設定することもできる。即ち、四角形のペーストパターンの場合にも、開始点の位置が直線部の任意の点に設定され、終了点が開始点と同一に設定されれば、ペーストパターンを形成するのに必要なポイントは、四つの頂点と開始点を含む五つが設定される。

また、直線部の任意の点が開始点に設定され、ペーストパターンの一定部分が重なるように終了点が設定されれば、ペーストパターンを形成するのに必要なポイントは、四つの頂点、開始点、終了点を含む六つが設定される。

次に、図６を参照して、ペーストパターンに対応するノズルが自動的に設定される状態を説明する。
本実施例のペーストパターンは、一枚の基板上に八つのパターンＰ１〜Ｐ８で構成され、相異なる形状を持つ二つのパターングループに分けられる。即ち、パターンＰ１〜Ｐ４は第１グループをなし、パターンＰ５〜Ｐ８は第１グループと違う形状を持つ第２グループを形成する。

そして、ペーストパターンが描画される基板面２００と対向する方向にはノズルが位置し、ノズルはコラム１２に移動可能に取り付けられている。
データ自動設定手段によってパターンデータが設定された後、ノズル自動設定手段は、パターンデータのなかで、塗布開始点の位置を示す開始点データとコラムに配置されたノズルの位置データを認識する。

この時、ノズル自動設定手段は、開始点データと最も近接した位置にあるノズルを捜す。具体的に、Ｐ１の塗布開始点からすべてのノズルの位置までの距離を算出した後、距離が最も短いノズルを、Ｐ１を塗布するノズルと設定する。同一方法によって、パターンＰ２〜Ｐ４に対応するノズルがそれぞれ設定される。

即ち、Ｐ１は第１ノズル５５４ａ、Ｐ２は第２ノズル５５４ｂ、Ｐ３は第３ノズル５５４ｃ、Ｐ４は第５ノズル５５４ｅに設定される。以下、第１ノズル、第２ノズル、第３ノズル、及び第５ノズルを‘設定ノズル’と言う。そして、第４ノズル５５４ｄと第６ノズル５５４ｆはペーストパターンと対応しないノズル（以下、‘非設定ノズル’という）として残ることになる。

パターンＰ１〜Ｐ４に対する該当ノズルが設定され、それぞれの設定ノズルは該当パターンの塗布開始点の位置に移動することになる。そして、ペースト塗布器の運転に必要な運転情報によってペーストパターンが塗布され始める。この時、非設定ノズルは、設定ノズルとの干渉を避けるために、設定ノズルと同一に動く。勿論、非設定ノズルからはペーストが吐き出されない。

そして、第１グループに対する塗布が終わると、パターンＰ５〜Ｐ８、即ち第２グループに対応するノズルが設定され、第２グループに対する塗布が始まる。しかし、パターンＰ５〜Ｐ８に対応するノズルを設定する段階は、第１グループに当たるノズルを設定した後に直ちに行うこともできる。即ち、第１グループのパターンと第２グループのパターンに当たるそれぞれのノズルが設定された後、第１グループと第２グループに対する塗布を順次行うこともできる。パターンＰ５〜Ｐ８に対応するノズルを設定する方法は上述したＰ１のノズル設定方法と同一である。

以上、本実施例においては、一つのコラムに位置するノズルが該当ペーストパターンと対応するように設定する過程について詳述したが、本発明はこれに限定されずに、複数のコラムの場合にも適用可能である。

本発明は上述した実施例に限定されることなく、本発明が属する分野で通常の知識を持った者であれば、本発明の精神を逸脱しないで変形が可能であり、このような変形は本発明の範囲に属するものである。

本発明は、ペーストパターンを形成するのにかかる時間を短縮させ、使用を便利にし、パターンデータのエラーを防止することができるペースト塗布器及びその制御方法に適用可能である。

本発明の実施形態によるペースト塗布器の構成を概略的に示す斜視図である。 本発明の実施形態によるペースト塗布器のヘッドユニットに関する一実施例を示す斜視図である。 本発明の実施形態によるペースト塗布器の制御構成を概略的に示すブロック図である。 本発明の実施形態によるペースト塗布器のパターンデータ設定過程を示す流れ図である。 本発明の実施形態によるペースト塗布器のパターンデータが設定された状態を示す状態図である。 本発明の実施形態によるペースト塗布器のノズルが設定された状態を示す状態図である。

符号の説明

１０ フレーム
１２ コラム
２０ Ｘ軸テーブル
３０ Ｙ軸テーブル
４０ ステージ
５０ ヘッドユニット
６０ アラインカメラ
７０ 制御部
８０ 入出力手段
９０ 計測手段
１００ パソコン
２００ 基板
５５２ ペースト収納容器
５５４ ノズル

Claims (16)

1. 所望形状のペーストパターンに対応する所定形式の１次情報を作成する段階と；
   前記１次情報をペースト塗布器で使われる２次情報に自動設定するデータ自動設定段階と；
   前記自動設定された２次情報によって、前記基板上に所望ペーストパターンを描画する段階と；
   を有することを特徴とするペースト塗布器の制御方法。
2. 前記１次情報はＣＡＤデータ形式で作成されることを特徴とする請求項１に記載のペースト塗布器の制御方法。
3. 前記２次情報は数値的に表現され、基板上に描画されるペーストパターンの位置データであることを特徴とする請求項２に記載のペースト塗布器の制御方法。
4. 前記データ自動設定段階は、前記１次情報を前記２次情報に自動設定するデータ自動設定手段の内部に読み込む段階と、前記読み込まれた１次情報を前記２次情報に変換する段階と、を含むことを特徴とする請求項３に記載のペースト塗布器の制御方法。
5. 前記ペースト塗布器の制御方法は、前記基板上に塗布されるペーストパターンに対応するノズルを自動で設定する段階を更に含むことを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のペースト塗布器の制御方法。
6. 前記ノズルを自動で設定する段階は、前記基板上に描画されるペーストパターンの位置データ及びノズルの位置データを認識する段階と、前記位置データを比較・判断する段階と、互いに近接するように位置するペーストパターンとノズルを決定する段階とを含むことを特徴とする請求項５に記載のペースト塗布器の制御方法。
7. 前記ペースト塗布器の制御方法は、前記ペーストパターンに対する塗布条件を入力する段階を更に含むことを特徴とする請求項５に記載のペースト塗布器の制御方法。
8. 前記ペースト塗布器の制御方法は、前記ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を予め確認する段階を更に含むことを特徴とする請求項７に記載のペースト塗布器の制御方法。
9. 前記運転情報を予め確認する段階は、前記運転情報を数値的に確認する段階と前記運転情報をイメージ形式で確認する段階とのなかで少なくとも一つを含むことを特徴とする請求項８に記載のペースト塗布器の制御方法。
10. 前記ペースト塗布器の制御方法は、前記ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を貯蔵・管理する段階を含むことを特徴とする請求項７に記載のペースト塗布器の制御方法。
11. 所望形状のペーストパターンに対応する所定形式の１次情報を作成する手段と；
    前記１次情報をペースト塗布器で使われる２次情報に自動設定するデータ自動設定手段と；
    前記自動設定された２次情報によって、前記基板上に所望ペーストパターンを描画する手段と；
    を有することを特徴とするペースト塗布器。
12. 前記ペースト塗布器は、前記１次情報をコンピューターに貯蔵するための読み込み手段を更に含み、該コンピューターの読み込み手段を介し前記１次情報を前記データ自動設定手段に伝達して前記１次情報を前記２次情報に自動設定することを特徴とする請求項１１に記載のペースト塗布器。
13. 前記１次情報を前記２次情報に自動設定する前記データ自動設定手段は、ペースト塗布器本体とは別個のユニットとして動作することを特徴とする請求項１２に記載のペースト塗布器。
14. 前記ペースト塗布器は、前記基板上に描画されるペーストパターンに対応するノズルを自動で設定する手段を更に含むことを特徴とする請求項１１乃至１３のいずれか１項に記載のペースト塗布器。
15. 前記ペースト塗布器は、前記ペーストパターンに対する塗布条件を入力する手段を更に含むことを特徴とする請求項１４に記載のペースト塗布器。
16. 前記ペースト塗布器は、前記ペースト塗布器の運転に必要な運転情報を貯蔵・管理する手段を更に含むことを特徴とする請求項１５に記載のペースト塗布器。

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