JP2006208164A - 抵抗測定治具及び抵抗測定方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 積層アクチュエータ1の表面に形成された外部電極2,3に接触される金属箔4,5と、金属箔4,5の背面側を支持する弾性部材6,7とを備え、積層アクチュエータ1の外部電極2,3と弾性部材6,7の間に金属箔4,5を挟み込んだ状態で抵抗の測定を行う。金属箔4,5は、弾性部材6,7で背面を支持されることにより、外部電極2,3に歪み等があった場合にも、その表面に倣って変形し、全面接触状態が実現される。また、抵抗の測定は、シールドボックス内に収容した状態で行う。これにより、小さな電圧でもノイズのない測定が実現される。
【選択図】 図3
Description
図1乃至図4に示す抵抗測定治具を用い、シールドボックス14に入れた状態で積層アクチュエータに対して抵抗測定を行った。この際、金属箔4,5としては厚さ20μmの金箔を用いた。また、弾性部材6,7としては、シリコン樹脂発泡体を用いた。抵抗測定は、10〜50Vの電圧をパルス印加し、恒温槽内で50℃、100℃、150℃の温度条件下での抵抗値を観察した。
図1及び図2に示す電極部に積層アクチュエータ1を装着し、シールドボックス14内に入れないで抵抗測定を行った。シールド無しでの10Vの抵抗測定結果を図6に示す。図6から明らかなように、シールド無しでは、ノイズが顕著になることがわかった。
同様の積層アクチュエータ1の外部電極2,3にリード線をはんだ付けし、これらリード線を介して電圧を印加し、先の実施例と同様の抵抗測定を行った。この場合、積層アクチュエータ1の外部電極2,3の途切れから断線が起こり、測定できなくなってしまうものが多く見受けられた。実際、50サンプルについて同様の抵抗測定を行った場合、測定できないものの割合(測定不良率)は、60%にも達した。
Claims (15)
- 積層アクチュエータの表面に形成された外部電極に接触される金属箔と、当該金属箔の背面側を支持する弾性部材とを備えるとともに、
測定対象となる積層アクチュエータを収容するシールドボックスを備えることを特徴とする抵抗測定治具。 - 前記シールドボックスには、スリットが形成されていることを特徴とする請求項1記載の抵抗測定治具。
- 前記シールドボックスは上下2分割されており、これら2分割されたシールドボックスを所定の間隔をもって組み合わせることにより前記スリットが形成されていることを特徴とする請求項2記載の抵抗測定治具。
- 前記シールドボックスは導電性金属により形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項記載の抵抗測定治具。
- 前記弾性部材は、日本工業規格JIS K 6253において規定されるデュロメータ硬さ試験タイプE(低硬さ用試験)に従って測定されるデュロメータ硬さが1〜80であることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項記載の抵抗測定治具。
- 前記デュロメータ硬さが5〜40であることを特徴とする請求項5記載の抵抗測定治具。
- 前記弾性部材は、シリコン樹脂発泡体により形成されていることを特徴とする請求項1から6のいずれか1項記載の抵抗測定治具。
- 前記金属箔が金箔または白金箔であることを特徴とする請求項1から7のいずれか1項記載の抵抗測定治具。
- 前記金属箔の厚さが5μm〜100μmであることを特徴とする請求項1から8のいずれか1項記載の抵抗測定治具。
- 前記弾性部材の厚さが5mm〜10mmであることを特徴とする請求項1から9のいずれか1項記載の抵抗測定治具。
- 前記弾性部材の背面側に剛性を有する支持基板が配され、当該支持基板の背面側において前記金属箔にリード線が固定されていることを特徴とする請求項1から10のいずれか1項記載の抵抗測定治具。
- 前記支持基板により前記金属箔間に挟持された積層アクチュエータを加圧支持する加圧機構を有することを特徴とする請求項11記載の抵抗測定治具。
- 積層アクチュエータの表面に形成された外部電極に金属箔を接触させるとともに、当該金属箔の背面側から弾性部材により支持し、前記積層アクチュエータの外部電極と前記弾性部材の間に金属箔を挟み込んだ状態とし、
シールドボックス内において抵抗の測定を行うことを特徴とする抵抗測定方法。 - 前記シールドボックスを恒温槽内に入れ、加熱環境下で抵抗の測定を行うことを特徴とする請求項13記載の抵抗測定方法。
- 前記シールドボックスにスリットを設けて前記抵抗の測定を行うことを特徴とする請求項14記載の抵抗測定方法。
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KR20180090463A (ko) * | 2017-02-03 | 2018-08-13 | 한국에너지기술연구원 | 나노 산화물이 분산된 페라이트 강을 포함하는 고체산화물 연료 전지용 분리판 및 이의 제조 방법 |
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