JP2006202977A - 基板及び基板の製造方法、並びに半導体パッケージ及び半導体パッケージの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の互いに独立した端子電極2と端子電極を固定する樹脂材料3を有する基板1と、基板に搭載された半導体素子6と、半導体素子を封止する封止樹脂10を備える半導体パッケージにおいて、チップ搭載領域に配置された端子電極からチップ非搭載領域に引き出された引き出し配線4を引き出し、チップ電極8とチップ秘湯債領域に配置された端子電極及び引き出し配線とをボンディングワイヤー9によって電気的に接続する。
【選択図】図1
Description
更に、補助リードの形成も極めて困難であり、組み立てコストが増加してしまうという不都合もあった。
また、導電体層の第2の領域のうち、端子電極若しくは引き出し配線の非形成領域を除去することによって、引き出し配線を形成することができる。なお、引き出し配線を形成することによって、半導体素子の搭載領域に配置された端子電極と半導体素子との電気的接続が可能となり、半導体素子の搭載領域に配置された端子電極を信号用の端子として使用することができる。
また、導電体層の第2の領域のうち、端子電極若しくは引き出し配線の非形成領域を除去することによって、引き出し配線を形成することができる。
図1(a)は本発明を適用した半導体パッケージの一例に用いる基板を説明するための模式的な斜視図及び断面図、図1(b)は本発明を適用した半導体パッケージの一例を説明するための模式的な断面図、図1(c)は本発明を適用した半導体パッケージの一例を説明するための模式的な斜視図である。
本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の一例では、先ず、図4(a)で示す様に、後述するウェットエッチング処理に耐えうる粘着性のポリイミド等からなる支持テープ(1)11の表面に銅薄板12を貼り合わせた後に、支持テープ(1)を貼り合わせた面とは反対側の銅薄板表面にレジスト13を塗布し、汎用のフォトリソグラフィー技術により所定の間隔で開口部が規則的に整列したレジストパターンを形成する。なお、レジストパターンに覆われた領域が端子電極となる部分である。
本発明を適用した半導体パッケージの製造方法の他の一例では、先ず、図7(a)で示す様に、支持テープ(1)11の表面に銅薄板12を貼り合わせた後に、汎用のフォトリソグラフィー技術及びエッチング技術を用いて銅薄板のエッチングを行い、図7(b)で示す様に、所定の間隔で規則的に整列した多数の端子電極2を形成する。なお、視覚的な便宜上、図7(b)は支持テープ(1)とは反対側から見た斜視図である。
2 端子電極
3 樹脂材料
4 引き出し配線
5 半導体パッケージ
6 半導体素子
7 ダイボンド材
8 チップ電極
9 ボンディングワイヤー
10 封止樹脂
11 支持テープ(1)
12 銅薄板
13 レジスト
14 端子面
15 支持テープ(2)
16 半導体パッケージの結合体
17 ダイシングテープ
18 ダイシングブレード
19 メタルマスク
20 導電性ペースト
Claims (14)
- 複数の互いに独立した端子電極と該端子電極を固定する非導電材料を備える基板において、
半導体素子の搭載領域に配置された前記端子電極から半導体素子の非搭載領域に引き出されると共に、半導体素子とボンディングワイヤーによって電気的に接続される引き出し配線が形成された
ことを特徴とする基板。 - 前記端子電極は、所定の間隔で整列している
ことを特徴とする請求項1に記載の基板。 - 複数の互いに独立した端子電極と該端子電極を固定する非導電材料とを有する基板本体を形成する工程と、
該基板本体の上層に、半導体素子の搭載領域に配置された前記端子電極から半導体素子の非搭載領域に引き出される引き出し配線を形成する工程とを備える
ことを特徴とする基板の製造方法。 - 前記端子電極は、所定の間隔で整列している
ことを特徴とする請求項3に記載の基板の製造方法。 - 複数の互いに独立した端子電極と、該端子電極を固定する非導電材料と、半導体素子の搭載領域に配置された前記端子電極から半導体素子の非搭載領域に引き出されると共に、半導体素子とボンディングワイヤーによって電気的に接続される引き出し配線を備える基板の製造方法であって、
第1の領域及び該第1の領域の上層に位置する第2の領域を有する導電体層の前記第1の領域のうち、前記端子電極の非形成領域を除去して溝部を形成する工程と、
該溝部の少なくとも一部を非導電材料で埋め込む工程と、
前記第2の領域のうち、前記端子電極若しくは前記引き出し配線の非形成領域を除去する工程を備える
基板の製造方法。 - 前記溝部が所定の間隔で整列する様に前記導電体層の第1の領域の除去を行う
請求項5に記載の基板の製造方法。 - 前記溝部を非導電材料で充填する
請求項5に記載の基板の製造方法。 - 複数の互いに独立した端子電極と該端子電極を固定する非導電材料を有する基板と、
該基板に搭載された半導体素子と、
該半導体素子を封止する封止樹脂を備える半導体パッケージにおいて、
前記半導体素子の搭載領域に配置された前記端子電極から前記半導体素子の非搭載領域に引き出されると共に、前記半導体素子とボンディングワイヤーによって電気的に接続される引き出し配線が形成された
ことを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記端子電極は、所定の間隔で整列している
ことを特徴とする請求項8に記載の半導体パッケージ。 - 複数の互いに独立した端子電極と該端子電極を固定する非導電材料とを有する基板を形成する工程と、
該基板の上層に、半導体素子の搭載領域に形成された前記端子電極から半導体素子の非搭載領域に引き出される引き出し配線を形成する工程と、
前記基板に半導体素子を搭載し、半導体素子と前記引き出し配線をボンディングワイヤーによって電気的に接続する工程と、
前記基板に搭載した半導体素子を樹脂封止する工程とを備える
ことを特徴とする半導体パッケージの製造方法。 - 前記端子電極は、所定の間隔で整列している
ことを特徴とする請求項10に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 複数の互いに独立した端子電極と該端子電極を固定する非導電材料を有する基板と、該基板に搭載される半導体素子と、該半導体素子の搭載領域に配置された前記端子電極から前記半導体素子の非搭載領域に引き出される引き出し配線と、前記半導体素子を封止する封止樹脂とを備える半導体パッケージの製造方法であって、
第1の領域及び該第1の領域の上層に位置する第2の領域を有する導電体層の前記第1の領域のうち、前記端子電極の非形成領域を除去して溝部を形成する工程と、
該溝部の少なくとも一部を非導電材料で埋め込む工程と、
前記第2の領域のうち、前記端子電極若しくは前記引き出し配線の非形成領域を除去する工程と、
前記基板に半導体素子を搭載し、半導体素子と前記引き出し配線をボンディングワイヤーによって電気的に接続する工程と、
前記基板に搭載した半導体素子を樹脂封止する工程とを備える
半導体パッケージの製造方法。 - 前記溝部が所定の間隔で整列する様に前記導電体層の第1の領域の除去を行う
請求項12に記載の半導体パッケージの製造方法。 - 前記溝部を非導電材料で充填する
請求項12に記載の半導体パッケージの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005012973A JP2006202977A (ja) | 2005-01-20 | 2005-01-20 | 基板及び基板の製造方法、並びに半導体パッケージ及び半導体パッケージの製造方法 |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1022440A (ja) * | 1996-05-01 | 1998-01-23 | Toyo Seimitsu Kogyo Kk | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2002176124A (ja) * | 2000-12-06 | 2002-06-21 | Hitachi Chem Co Ltd | 半導体搭載用基板とそれを用いた半導体パッケージ及び半導体搭載用基板の製造法並びに半導体パッケージの製造法 |
WO2004061726A1 (en) * | 2002-12-18 | 2004-07-22 | International Business Machines Corporation | Nested design approach |
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2005
- 2005-01-20 JP JP2005012973A patent/JP2006202977A/ja active Pending
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