JP2006196752A - プラズマドーピング装置及びプラズマドーピング方法 - Google Patents
プラズマドーピング装置及びプラズマドーピング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006196752A JP2006196752A JP2005007707A JP2005007707A JP2006196752A JP 2006196752 A JP2006196752 A JP 2006196752A JP 2005007707 A JP2005007707 A JP 2005007707A JP 2005007707 A JP2005007707 A JP 2005007707A JP 2006196752 A JP2006196752 A JP 2006196752A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- plasma
- ions
- mask member
- substrate
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims abstract description 74
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 40
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 11
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 4
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 10
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229910001385 heavy metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 230000001939 inductive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
Images
Abstract
【解決手段】 プラズマ形成空間PとウェーハWとの間にマスク部材5を介在させ、このマスク部材5に形成されているドーピング用開口5Aを介してイオンをウェーハWへ導入する。マスク部材5のドーピング用開口5Aは、ウェーハWの被処理面の一部の領域をプラズマ形成空間Pに露出させ、当該領域にのみプラズマ中のイオンを注入させる。ウェーハWを支持するステージ4は、ステージ移動機構6,7によってマスク部材5に対して平行移動するよう構成され、これにより、ウェーハWの全面に対してイオンを均一に導入することができるようになる。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の第1の実施の形態によるプラズマドーピング装置10の概略構成図である。本実施の形態のプラズマドーピング装置10は、真空排気手段(図示略)に接続され内部が所定の真空度に維持された真空チャンバ1の内部に、プラズマ形成空間Pを画成する石英製のベルジャ11と、プラズマ形成用ガスを導入するためのガス導入管2と、ベルジャ11の外周部に巻回され上記プラズマ形成用ガスをプラズマ化する高周波アンテナ(コイル)3と、被処理基板として半導体ウェーハ(以下「ウェーハ」という)Wを支持するステージ4とが配置されている。
図4Aは本発明の第2の実施の形態によるプラズマドーピング装置20を示している。なお、図において上述の第1の実施の形態と対応する部分については同一の符号を付し、その詳細な説明は省略するものとする。
あるいは、図4Aに示したようにステージ4及びマスク部材5を角度θ傾斜させて一方側の低濃度領域26を形成した後、ステージ4及びマスク部材5を180°回転させて他方側の低濃度領域26を形成する等の方法がある。
2 ガス導入管
3 アンテナ(プラズマ源)
4 ステージ
5 マスク部材
5A ドーピング用開口
5B モニタ用開口
6 X方向移動機構
7 Y方向移動機構
8 ティルト機構
9 バイアス電源
10 プラズマドーピング装置
11 ベルジャ
12A メインファラデーカップ
12B サイドファラデーカップ(検出手段)
20 プラズマドーピング装置
21 グリッド
W ウェーハ(被処理基板)
Claims (8)
- 真空チャンバと、この真空チャンバ内にプラズマを形成するプラズマ源と、被処理基板を支持するステージとを備え、前記真空チャンバ内に形成したプラズマ中のイオンを前記ステージ側へ引き出して前記被処理基板上へ導入するプラズマドーピング装置において、
前記被処理基板に対向して配置され、当該被処理基板のイオン導入領域を画定するドーピング用開口が形成されたマスク部材と、
前記ステージを前記マスク部材に対して少なくとも一方向へ平行移動させるステージ駆動機構とを備えたことを特徴とするプラズマドーピング装置。 - 前記ステージ駆動機構は、前記マスク部材に平行な第1の方向及びこの第1の方向と交差する第2の方向の2軸方向に前記ステージを移動させる請求項1に記載のプラズマドーピング装置。
- 前記ステージには、前記被処理基板を傾斜させるティルト機構が設けられている請求項1に記載のプラズマドーピング装置。
- 前記マスク部材と前記プラズマの形成空間との間には、前記プラズマから所定のイオンを引き出すためのグリッドが配置されている請求項1に記載のプラズマドーピング装置。
- 前記マスク部材には、前記ドーピング用開口に隣接して、モニタ用開口が形成されており、このマスク部材と前記被処理基板との間には、前記モニタ用開口を通過したイオンの量を検出する検出手段が配置されている請求項1に記載のプラズマドーピング装置。
- 真空チャンバ内で形成したプラズマからイオンを引き出し、ステージ上の被処理基板へ当該イオンを導入するプラズマドーピング方法であって、
前記イオンが通過するドーピング用開口を有するマスク部材を前記被処理基板へ対向配置させ、当該マスク部材に対して前記ステージを平行移動させる工程を経て、前記被処理基板の全面へ前記イオンを導入することを特徴とするプラズマドーピング方法。 - 前記ドーピング用開口に隣接してモニタ用開口を前記マスク部材に形成するとともに、当該モニタ用開口を通過するイオンの量を検出する検出手段を前記マスク部材と前記被処理基板との間に設置しておき、前記被処理基板へイオンを導入しながら、前記検出手段でイオンの量を検出し、当該被処理基板へ導入されるイオンの量を監視する請求項6に記載のプラズマドーピング方法。
- 前記マスク部材と前記プラズマの形成空間との間に、前記プラズマからイオンを引き出すグリッドを配置させ、前記ステージを当該イオンの引き出し方向に対して傾斜させる工程を経て、前記被処理基板へイオンを斜め方向から導入する請求項6に記載のプラズマドーピング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005007707A JP4969781B2 (ja) | 2005-01-14 | 2005-01-14 | プラズマドーピング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005007707A JP4969781B2 (ja) | 2005-01-14 | 2005-01-14 | プラズマドーピング装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006196752A true JP2006196752A (ja) | 2006-07-27 |
JP4969781B2 JP4969781B2 (ja) | 2012-07-04 |
Family
ID=36802573
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005007707A Active JP4969781B2 (ja) | 2005-01-14 | 2005-01-14 | プラズマドーピング装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4969781B2 (ja) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008078636A1 (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-03 | National University Corporation Tohoku University | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
EP2186138A2 (en) * | 2007-09-07 | 2010-05-19 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | A patterned assembly for manufacturing a solar cell and a method thereof |
WO2012138482A1 (en) * | 2011-04-04 | 2012-10-11 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method for multiple slot ion implantation |
JP2012531520A (ja) * | 2009-06-23 | 2012-12-10 | インテバック・インコーポレイテッド | プラズマグリッド注入装置及びイオン注入方法 |
JP2013511823A (ja) * | 2009-11-17 | 2013-04-04 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | ワークピースの注入処理を制御可能に実行する装置および方法 |
US8450819B2 (en) | 2010-11-09 | 2013-05-28 | Panasonic Corporation | Plasma doping method and apparatus thereof |
US9318332B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-04-19 | Intevac, Inc. | Grid for plasma ion implant |
US9324598B2 (en) | 2011-11-08 | 2016-04-26 | Intevac, Inc. | Substrate processing system and method |
US9437392B2 (en) | 2011-11-02 | 2016-09-06 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | High-throughput ion implanter |
JP2016540360A (ja) * | 2013-09-07 | 2016-12-22 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | 動電極プラズマシステム |
JP2020521322A (ja) * | 2017-05-19 | 2020-07-16 | トタル ソシエテ アノニムTotal Sa | パターン構造加工のための装置と方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157868A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH02209485A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-20 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH06310082A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-04 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置におけるビーム軌道の復元方法 |
JPH0974068A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Hitachi Ltd | 薄膜半導体素子の製造方法 |
JPH11288682A (ja) * | 1996-05-15 | 1999-10-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ド―ピング装置およびド―ピング処理方法 |
JP2001101990A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置 |
JP2002176005A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Ulvac Japan Ltd | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
WO2004001789A2 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-31 | Applied Materials, Inc. | Multi directional mechanical scanning in an ion implanter |
-
2005
- 2005-01-14 JP JP2005007707A patent/JP4969781B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63157868A (ja) * | 1986-12-19 | 1988-06-30 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH02209485A (ja) * | 1989-02-10 | 1990-08-20 | Hitachi Ltd | プラズマ処理装置 |
JPH06310082A (ja) * | 1993-04-26 | 1994-11-04 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置におけるビーム軌道の復元方法 |
JPH0974068A (ja) * | 1995-09-07 | 1997-03-18 | Hitachi Ltd | 薄膜半導体素子の製造方法 |
JPH11288682A (ja) * | 1996-05-15 | 1999-10-19 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | ド―ピング装置およびド―ピング処理方法 |
JP2001101990A (ja) * | 1999-09-30 | 2001-04-13 | Nissin Electric Co Ltd | イオン注入装置 |
JP2002176005A (ja) * | 2000-12-05 | 2002-06-21 | Ulvac Japan Ltd | イオン注入方法およびイオン注入装置 |
WO2004001789A2 (en) * | 2002-06-21 | 2003-12-31 | Applied Materials, Inc. | Multi directional mechanical scanning in an ion implanter |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008159928A (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-10 | Tohoku Univ | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
WO2008078636A1 (ja) * | 2006-12-25 | 2008-07-03 | National University Corporation Tohoku University | イオン注入装置およびイオン注入方法 |
US8716114B2 (en) | 2006-12-25 | 2014-05-06 | National University Corporation Tohoku University | Semiconductor device manufacturing method and semiconductor device |
US8399862B2 (en) | 2006-12-25 | 2013-03-19 | National University Corporation Tohoku University | Ion implanting apparatus and ion implanting method |
US8470616B2 (en) | 2007-09-07 | 2013-06-25 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Patterned assembly for manufacturing a solar cell and a method thereof |
EP2186138A2 (en) * | 2007-09-07 | 2010-05-19 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | A patterned assembly for manufacturing a solar cell and a method thereof |
EP2186138A4 (en) * | 2007-09-07 | 2012-10-17 | Varian Semiconductor Equipment | STRUCTURED ARRANGEMENT FOR PRODUCING A SOLAR CELL AND METHOD THEREFOR |
US9741894B2 (en) | 2009-06-23 | 2017-08-22 | Intevac, Inc. | Ion implant system having grid assembly |
JP2012531520A (ja) * | 2009-06-23 | 2012-12-10 | インテバック・インコーポレイテッド | プラズマグリッド注入装置及びイオン注入方法 |
US9303314B2 (en) | 2009-06-23 | 2016-04-05 | Intevac, Inc. | Ion implant system having grid assembly |
US8997688B2 (en) | 2009-06-23 | 2015-04-07 | Intevac, Inc. | Ion implant system having grid assembly |
US8461030B2 (en) | 2009-11-17 | 2013-06-11 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method for controllably implanting workpieces |
JP2013511823A (ja) * | 2009-11-17 | 2013-04-04 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | ワークピースの注入処理を制御可能に実行する装置および方法 |
US8937004B2 (en) | 2009-11-17 | 2015-01-20 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method for controllably implanting workpieces |
US8450819B2 (en) | 2010-11-09 | 2013-05-28 | Panasonic Corporation | Plasma doping method and apparatus thereof |
US8716682B2 (en) | 2011-04-04 | 2014-05-06 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method for multiple slot ion implantation |
WO2012138482A1 (en) * | 2011-04-04 | 2012-10-11 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Apparatus and method for multiple slot ion implantation |
US9437392B2 (en) | 2011-11-02 | 2016-09-06 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | High-throughput ion implanter |
US9324598B2 (en) | 2011-11-08 | 2016-04-26 | Intevac, Inc. | Substrate processing system and method |
US9875922B2 (en) | 2011-11-08 | 2018-01-23 | Intevac, Inc. | Substrate processing system and method |
US9318332B2 (en) | 2012-12-19 | 2016-04-19 | Intevac, Inc. | Grid for plasma ion implant |
US9583661B2 (en) | 2012-12-19 | 2017-02-28 | Intevac, Inc. | Grid for plasma ion implant |
JP2016540360A (ja) * | 2013-09-07 | 2016-12-22 | ヴァリアン セミコンダクター イクイップメント アソシエイツ インコーポレイテッド | 動電極プラズマシステム |
JP2020521322A (ja) * | 2017-05-19 | 2020-07-16 | トタル ソシエテ アノニムTotal Sa | パターン構造加工のための装置と方法 |
JP7335815B2 (ja) | 2017-05-19 | 2023-08-30 | トタルエネルジ エスウ | パターン構造加工のための装置と方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4969781B2 (ja) | 2012-07-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4969781B2 (ja) | プラズマドーピング装置 | |
JP5090255B2 (ja) | 原位置でのstemサンプル作製方法 | |
US7837825B2 (en) | Confined plasma with adjustable electrode area ratio | |
TWI506693B (zh) | 半導體裝置的製造方法、離子束蝕刻裝置及控制裝置 | |
JP4812991B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
EP0829900A2 (en) | Plasma process device | |
JP2002289595A (ja) | エッチング装置およびエッチング方法 | |
EP1054433A1 (en) | Plasma doping system and plasma doping method | |
JP4998972B2 (ja) | イオン注入装置およびイオン注入方法 | |
US9190248B2 (en) | Dynamic electrode plasma system | |
JP2006073605A (ja) | マイクロレンズの形成方法 | |
CN105789008B (zh) | 等离子体处理装置及等离子体刻蚀方法 | |
JPH10302707A (ja) | イオン注入装置 | |
JP4843252B2 (ja) | 表面処理装置及び表面処理方法 | |
JP2010010417A (ja) | プラズマドーピング方法及びプラズマドーピング装置 | |
US20150368801A1 (en) | Plasma process chambers employing distribution grids having focusing surfaces thereon enabling angled fluxes to reach a substrate, and related methods | |
JP2005045124A (ja) | ステンシルマスク、荷電粒子照射装置及び方法 | |
TWI534868B (zh) | 離子佈植系統及其組件及執行離子佈植之方法 | |
JP3281545B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4031691B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JP3725968B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5236777B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR20070041959A (ko) | 플라즈마 처리설비 | |
US20050048679A1 (en) | Technique for adjusting a penetration depth during the implantation of ions into a semiconductor region | |
JP2006294279A (ja) | イオン注入装置及び半導体装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20071110 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20071129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110203 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110408 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110906 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111107 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120327 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120404 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150413 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4969781 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |