JP5236777B2 - プラズマ処理装置 - Google Patents
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- 被処理基板を収容する処理室と、前記処理室内に設けられ、前記被処理基板に所定のプラズマ処理を施すためのプラズマを発生させる機構と、永久磁石からなる磁石セグメントを複数配列して構成され、前記処理室外に設けられて、前記処理室内の前記被処理基板の周囲に所定のマルチポール磁場を形成する磁場形成機構とを具備したプラズマ処理装置であって、
前記磁場形成機構が、上下に分離して設けられた上側磁場形成機構と下側磁場形成機構とから構成され、
前記上側磁場形成機構に設けられた前記磁石セグメントと、前記下側磁場形成機構に設けられた前記磁石セグメントが、前記処理室側に一方の磁極が位置し前記処理室とは反対側に他方の磁極が位置するように配置され、かつ、水平方向の回転軸の回りに回転可能とされ、直立状態及び、上側及び下側が前記処理室側に近接、離間するように傾斜した状態に設定可能に構成されたことを特徴とするプラズマ処理装置。 - 請求項1記載のプラズマ処理装置において、前記磁石セグメントが、略円筒状に形成されたことを特徴とするプラズマ処理装置。
- 請求項1又は2記載のプラズマ処理装置において、前記被処理基板にプラズマを作用させてエッチング処理を施すことを特徴とするプラズマ処理装置。
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