JP2006193784A - エアロゾルデポジッション成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 成膜材料の微粒子をエアロゾル化するエアロゾル形成部20と、エアロゾル29にレーザ光を照射しエアロゾル29を形成する微粒子27を加熱する加熱部30と、エアロゾル29を基板43に向けて噴射して成膜を行う成膜部40と、成膜部40を減圧雰囲気に保持する排気系50などから構成し、加熱部30において、エアロゾルを形成する微粒子にレーザ光を照射して微粒子を加熱し、微粒子を構成する材料に誘起されている歪みを低減する。さらに加熱により微粒子の結晶性を向上し、微粒子表面の付着物を除去する。加熱された微粒子は、成膜部40で噴射ノズル42により噴射された際に断熱膨張により冷却されるので基板43に熱的なダメージを与えない。赤外線、紫外線、マイクロ波等によりエアロゾルを加熱する例をさらに開示する。
【選択図】図1
Description
本実施の形態に係るエアロゾルデポジッション成膜装置は、エアロゾルを噴射ノズルから噴射する前にエアロゾルにレーザ光を照射する加熱部を備えたことに主な特徴がある。
本実施の形態に係るAD成膜装置は、エアロゾルを噴射ノズルから噴射する前にエアロゾルに赤外線を照射する加熱部を備えたことに主な特徴がある。
本実施の形態に係るAD成膜装置は、エアロゾルを噴射ノズルから噴射する前にエアロゾルに紫外線を照射する加熱部を備えたことに主な特徴がある。
本実施の形態に係るAD成膜装置は、エアロゾルを噴射ノズルから噴射する前にエアロゾルにマイクロ波を照射する加熱部を備えたことに主な特徴がある。
実施例1は、第1の実施の形態に係るAD成膜装置を用いて、レーザ光源にNd:YAGレーザを用いてレーザ光をエアロゾルに照射し成膜を行った。
実施例2は、第3の実施の形態に係るAD成膜装置を用いて、紫外線をエアロゾルに照射し成膜を行った。
エアロゾルの速度は100m/秒に設定した。なお、個々のBaTiO3微粒子への紫外光の照射時間は、1m秒程度と見積もられる。
実施例3は、第4の実施の形態に係るAD成膜装置を用いて、マイクロ波をエアロゾルに照射し成膜を行った。
本発明によらない比較例では、実施例1において、加熱部を設けなかった以外は同様にして成膜を行った。
(付記1) 無機材料からなる微粒子をキャリアガスに分散させたエアロゾルを形成するエアロゾル形成手段と、
前記エアロゾルを噴射ノズルにより噴射して基体上に無機材料膜を成膜する成膜手段と、
前記エアロゾル形成手段と前記成膜手段との間に、前記エアロゾル中の微粒子を加熱する加熱手段と、を備え、
前記加熱手段は、高エネルギーの電磁波をエアロゾルに照射することを特徴とするエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記2) 前記加熱手段は、エアロゾル中の微粒子を、該微粒子の融点よりも低い温度に加熱することを特徴とする付記1記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記3) 前記高エネルギーの電磁波は、可視光、赤外光、紫外光、およびマイクロ波からなる群のうちいずれか一種であることを特徴とする付記1または2記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記4) 前記高エネルギーの電磁波はレーザ光であることを特徴とする付記1または2記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記5) 前記高エネルギーの電磁波はレーザ光であり、前記加熱手段は、レーザ光源と、レーザ光源から射出されたレーザ光をエアロゾル形成手段と噴射ノズルとの間のエアロゾルが流通する配管に設けられた光学窓を介してエアロゾルに照射する光学系とからなることを特徴とする付記1、2、および4のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記6) 前記レーザ光源は、連続発振型レーザであることを特徴とする付記5記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記7) 前記レーザ光源は、Nd:YAGレーザ、Nd:ガラスレーザ、およびNd:CaWO4レーザからなる群のうち、いずれか1種のレーザ装置であることを特徴とする付記6記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記8) 前記高エネルギーの電磁波は赤外線であり、
前記加熱手段は、エアロゾルを搬送する配管に設けられた赤外線を透過する耐熱管と、該耐熱管の外部に設けられた赤外線照射部とからなることを特徴とする付記1または2記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記9) 前記赤外線照射部は、赤外線ランプと、赤外線ランプから発光された赤外線をエアロゾルに集光する反射部を備えることを特徴とする付記8記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記10) 前記赤外線ランプはハロゲンランプであることを特徴とする付記9記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記11) 前記高エネルギーの電磁波は紫外線であり、
前記加熱手段は、エアロゾルを搬送する配管に設けられた紫外線を透過する耐熱管と、該耐熱管の外部に設けられた紫外線照射部とからなることを特徴とする付記1または2記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記12) 前記赤外線照射部は、紫外線ランプと、紫外線ランプから発光された紫外線をエアロゾルに集光する反射部を備えることを特徴とする付記11記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記13) 前記高エネルギーの電磁波はマイクロ波であり、
前記加熱手段は、マイクロ波発生器と、該マイクロ波発生器から射出されたマイクロ波を伝送する導波管と、該マイクロ波をエアロゾルに照射するアプリケータからなることを特徴とする付記1または2記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記14) 前記アプリケータは、シングルモード方式の共振型アプリケータであることを特徴とすする付記13記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記15) 前記アプリケータは、
前記導波管から延在する他の導波管と、
前記他の導波管内にマイクロ波を透過する結合窓を有する遮蔽板と、
前記遮蔽板に対向し、前記マイクロ波を反射する短絡板と、
前記遮蔽板と短絡板との間に、マイクロ波の伝送方向に対して直交する方向に、導波管を貫通するように設けられたエアロゾルを搬送する他の配管と、を備え、
前記マイクロ波の定在波を形成し、他の配管中で定在波の振幅が最大となるように設定することを特徴とする付記14記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記16) 前記エアロゾル形成手段と加熱手段との間に前記エアロゾル中の微粒子を加熱する予備加熱部をさらに備え、
前記加熱手段は、前記配管の周囲に配置された電熱線により微粒子を加熱することを特徴とする付記1〜15のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記17) 前記エアロゾル形成手段と加熱手段との間、または、加熱手段と成膜手段との間に、エアロゾルの微粒子を選別する分級機を設けることを特徴とする付記1〜16のうち、いずれか一項記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。
(付記18) 無機材料からなる微粒子をキャリアガスに分散させたエアロゾルを形成するエアロゾル形成手段と、
前記エアロゾル中の微粒子を加熱する加熱手段と、
前記エアロゾルを噴射ノズルにより噴射して基体上に無機材料膜を成膜する成膜手段と、を備え、
前記加熱手段は、噴射ノズルからエアロゾルを噴射する前に電熱線加熱によりエアロゾルを加熱することを特徴とするエアロゾルデポジッション成膜装置。
20 エアロゾル形成部
21 エアロゾル発生器
22 ガスボンベ
23 コンプレッサー
24 マスフローコントローラ
25、28、53、54、56 配管
26 容器
27 微粒子
29 エアロゾル
30、61、71、81 加熱部
31 レーザ光源
32 集光レンズ
33 光学窓
35 予備加熱部
36 電熱線
37 断熱部材
40 成膜部
41 成膜室
42 噴射ノズル
43 基板
44 基板保持台
45 XYZステージ
46 エアロデポジション膜(AD膜)
50 排気系
51 メカニカルブースタ
52 真空ポンプ
62 赤外線ランプ
63、73 反射部材
63a、73a 反射面
64、74 耐熱管
72 水銀ランプ
82 マイクロ波発生器
83 導波管
84 アプリケータ
Claims (5)
- 無機材料からなる微粒子をキャリアガスに分散させたエアロゾルを形成するエアロゾル形成手段と、
前記エアロゾルを噴射ノズルにより噴射して基体上に無機材料膜を成膜する成膜手段と、
前記エアロゾル形成手段と前記成膜手段との間に、前記エアロゾル中の微粒子を加熱する加熱手段と、を備え、
前記加熱手段は、高エネルギーの電磁波をエアロゾルに照射することを特徴とするエアロゾルデポジッション成膜装置。 - 前記高エネルギーの電磁波はレーザ光であり、
前記加熱手段は、レーザ光源と、レーザ光源から射出されたレーザ光をエアロゾル形成手段と噴射ノズルとの間のエアロゾルが流通する配管に設けられた光学窓を介してエアロゾルに照射する光学系とからなることを特徴とする請求項1記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。 - 前記高エネルギーの電磁波は赤外線であり、
前記加熱手段は、エアロゾルを搬送する配管に設けられた赤外線を透過する耐熱管と、該耐熱管の外部に設けられた赤外線照射部とからなることを特徴とする請求項1記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。 - 前記高エネルギーの電磁波は紫外線であり、
前記加熱手段は、エアロゾルを搬送する配管に設けられた紫外線を透過する耐熱管と、該耐熱管の外部に設けられた紫外線照射部とからなることを特徴とする請求項1記載のエアロゾルデポジッション成膜装置。 - 前記高エネルギーの電磁波はマイクロ波であり、
前記加熱手段は、マイクロ波発生器と、該マイクロ波発生器から射出されたマイクロ波を伝送する導波管と、該マイクロ波をエアロゾルに照射するアプリケータからなることを特徴とする請求項1のエアロゾルデポジッション成膜装置。
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