JP2006190837A - フルアイソレーションダイオード - Google Patents
フルアイソレーションダイオード Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006190837A JP2006190837A JP2005001829A JP2005001829A JP2006190837A JP 2006190837 A JP2006190837 A JP 2006190837A JP 2005001829 A JP2005001829 A JP 2005001829A JP 2005001829 A JP2005001829 A JP 2005001829A JP 2006190837 A JP2006190837 A JP 2006190837A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- diffusion region
- isolation diode
- full isolation
- anode
- buried
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】埋め込みN拡散領域21上に埋め込みP拡散領域24を形成し、その上にカソードとなるN拡散領域27とアノードとなるP拡散領域29とを形成し、アノードとなるP拡散領域29の外周囲を埋め込みN拡散領域21の最外周上に配置されるエピタキシャルN拡散領域25で取り囲んだ構造のフルアイソレーションダイオードにおいて、ガードリングとして機能するN拡散領域2およびP拡散領域3を、アノードとなるP拡散領域29とエピタキシャルN拡散領域25との間に介在させ、縦方向のNPNトランジスタ5の動作が支配的となるようにした。
【選択図】 図1
Description
図1は、この発明の実施の形態1によるフルアイソレーションダイオードの構成を示す断面図である。図2は、図1に示すフルアイソレーションダイオードの構成を示す平面図である。なお、図1では、図10(従来例)に示した構成要素と同一ないしは同等である構成要素には同一の符号が付されている。ここでは、この実施の形態1に関わる部分を中心に説明する。
図4は、この発明の実施の形態2によるフルアイソレーションダイオードの構成を示す断面図である。なお、図4では、図1(実施の形態1)に示した構成要素と同一ないしは同等である構成要素には同一の符号が付されている。ここでは、この実施の形態2に関わる部分を中心に説明する。
図6は、この発明の実施の形態3によるフルアイソレーションダイオードの構成を示す断面図である。図7は、図6に示すフルアイソレーションダイオードの構成を示す平面図である。なお、図6では、図1(実施の形態1)に示した構成要素と同一ないしは同等である構成要素には同一の符号が付されている。ここでは、この実施の形態3に関わる部分を中心に説明する。
図8は、この発明の実施の形態4によるフルアイソレーションダイオードの構成を示す断面図である。なお、図8では、図4(実施の形態2)に示した構成要素と同一ないしは同等である構成要素には同一の符号が付されている。ここでは、この実施の形態4に関わる部分を中心に説明する。
2 N拡散領域
3 P拡散領域
FP,FN 電極
5 縦方向のNPNトランジスタ
8 配線
10,13 N+拡散領域(コレクタウォール、sinker N+)
20 P型基板
21 埋め込みN拡散領域
22 N−拡散領域
23 P拡散領域
24 埋め込みP拡散領域
25 エピタキシャルN拡散領域(Nウェル)
26 カソード電極
27 N拡散領域
28 アノード電極
29 P拡散領域
30 N−拡散領域
32 PN接合ダイオード
Claims (7)
- 埋め込みN拡散領域上に埋め込みP拡散領域を形成し、その上にカソードとなるN拡散領域とアノードとなるP拡散領域とを形成し、アノードとなるP拡散領域の外周囲を前記埋め込みN拡散領域の最外周上に配置されるエピタキシャルN拡散領域で取り囲んだ構造のフルアイソレーションダイオードにおいて、
ガードリングとして機能するN拡散領域およびP拡散領域を、前記アノードとなるP拡散領域と前記エピタキシャルN拡散領域との間に介在させた、
ことを特徴とするフルアイソレーションダイオード。 - 前記ガードリングとして機能するN拡散領域およびP拡散領域にそれぞれ設けた電極同士が配線で接続されていることを特徴とする請求項1に記載のフルアイソレーションダイオード。
- 前記カソードとなるN拡散領域と前記アノードとなるP拡散領域とは、所定数が交互に繰り返して形成されていることを特徴とする請求項1に記載のフルアイソレーションダイオード。
- 前記ガードリングとして機能するN拡散領域およびP拡散領域のそれぞれに部分的に設けた電極同士が配線で接続されていることを特徴とする請求項3に記載のフルアイソレーションダイオード。
- 前記埋め込みN拡散領域上において前記エピタキシャルN拡散領域内に高濃度のN拡散領域が追加されていることを特徴とする請求項1に記載のフルアイソレーションダイオード。
- 前記ガードリングとして機能するN拡散領域およびP拡散領域にそれぞれ設けた電極同士が配線で接続されていることを特徴とする請求項5に記載のフルアイソレーションダイオード。
- 前記カソードとなるN拡散領域と前記アノードとなるP拡散領域との所定数を交互に繰り返して形成し、その外周囲に前記ガードリングとして機能するN拡散領域およびP拡散領域と前記エピタキシャルN拡散領域とを順に配置した領域の所定数に対して前記高濃度のN拡散領域が設けられることを特徴とする請求項6に記載のフルアイソレーションダイオード。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005001829A JP2006190837A (ja) | 2005-01-06 | 2005-01-06 | フルアイソレーションダイオード |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005001829A JP2006190837A (ja) | 2005-01-06 | 2005-01-06 | フルアイソレーションダイオード |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006190837A true JP2006190837A (ja) | 2006-07-20 |
Family
ID=36797762
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005001829A Pending JP2006190837A (ja) | 2005-01-06 | 2005-01-06 | フルアイソレーションダイオード |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2006190837A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103165681A (zh) * | 2011-12-09 | 2013-06-19 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 钳位二极管及其制造方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01214055A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-28 | Fujitsu Ltd | 静電破壊保護装置 |
JP2000228404A (ja) * | 1999-02-05 | 2000-08-15 | Hitachi Ltd | ダイオード |
JP2002198542A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JP2003509867A (ja) * | 1999-09-16 | 2003-03-11 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 半導体装置 |
JP2003092414A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2004006595A (ja) * | 2002-04-09 | 2004-01-08 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | ダイオード素子とトランジスタ素子 |
JP2006066788A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
-
2005
- 2005-01-06 JP JP2005001829A patent/JP2006190837A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01214055A (ja) * | 1988-02-23 | 1989-08-28 | Fujitsu Ltd | 静電破壊保護装置 |
JP2000228404A (ja) * | 1999-02-05 | 2000-08-15 | Hitachi Ltd | ダイオード |
JP2003509867A (ja) * | 1999-09-16 | 2003-03-11 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 半導体装置 |
JP2002198542A (ja) * | 2000-12-25 | 2002-07-12 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体集積回路装置およびその製造方法 |
JP2003092414A (ja) * | 2001-09-17 | 2003-03-28 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
JP2004006595A (ja) * | 2002-04-09 | 2004-01-08 | Shindengen Electric Mfg Co Ltd | ダイオード素子とトランジスタ素子 |
JP2006066788A (ja) * | 2004-08-30 | 2006-03-09 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103165681A (zh) * | 2011-12-09 | 2013-06-19 | 上海华虹Nec电子有限公司 | 钳位二极管及其制造方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6443267B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2007184486A (ja) | 半導体装置 | |
JP6565815B2 (ja) | 半導体装置 | |
US9373682B2 (en) | Compact guard ring structure for CMOS integrated circuits | |
JP2007335440A (ja) | 半導体装置の静電破壊保護方法及び静電破壊保護装置 | |
JP2009188178A (ja) | 半導体装置 | |
WO2016017383A1 (ja) | Esd素子を有する半導体装置 | |
JP4209433B2 (ja) | 静電破壊保護装置 | |
CN103296075A (zh) | 半导体器件 | |
JP2006210667A (ja) | 半導体装置 | |
JP2021022745A (ja) | 窒化物半導体装置 | |
JP2009188335A (ja) | 半導体装置 | |
JP2010086988A (ja) | 半導体装置 | |
JP5713611B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP2020031203A (ja) | 半導体装置 | |
JP2008205148A (ja) | 縦型pnpバイポーラトランジスタ用静電破壊保護素子 | |
JP2006190837A (ja) | フルアイソレーションダイオード | |
JP2008172165A (ja) | 半導体装置 | |
JP5529414B2 (ja) | 静電破壊保護回路 | |
JP4613720B2 (ja) | 半導体装置 | |
US11373996B2 (en) | Silicon-controlled-rectifier electrostatic protection structure and fabrication method thereof | |
JP2006196502A (ja) | 電力用半導体装置 | |
JP2005235844A (ja) | 半導体装置 | |
JP2007042872A (ja) | 半導体集積回路 | |
CN112310191A (zh) | 半导体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Effective date: 20071210 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712 Effective date: 20100519 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111031 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20111108 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20120313 |