JP2006190762A - 半導体レーザ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】一対の下部DBRミラー層11および上部DBRミラー層15が形成され、その対の下部DBRミラー層11および上部DBRミラー層15の間に活性層13を有すると共に、上面の一部に凸部が形成されたレーザ構造部と、レーザ構造部の上面のうち凸部以外の領域に形成された低誘電率層18と、凸部上に形成されたp側電極20と、低誘電率層18上に形成された第2の絶縁層19と、第2の絶縁層1上に形成されたパッド部22と、p側電極20およびパッド部22を電気的に接続する配線部21とを備える。
【選択図】 図1
Description
図1(A)は、本発明の一実施の形態に係る面発光型半導体レーザ1の断面構造を表したものである。また、図1(B)は、図1の面発光型半導体レーザ1の上面を表したものである。
次に、本発明の第2の実施の形態に係る面発光型半導体レーザ2について説明する。なお、本実施例において、上記の実施の形態の面発光型半導体レーザ1と共通する構成、作用、製法および効果については適宜省略する。
Claims (3)
- 一対の光閉じ込め層が形成され、その対の光閉じ込め層の間に活性層を有すると共に、上面の一部に凸部が形成されたレーザ構造部と、
前記レーザ構造部の上面のうち前記凸部以外の領域に形成された低誘電率層と、
前記凸部上に形成された上部電極と、
前記低誘電率層上に形成された絶縁層と、
前記絶縁層上に形成された電極パッドと、
前記上部電極および前記電極パッドを電気的に接続する配線と
を備えたことを特徴とする半導体レーザ。 - 前記低誘電率層および前記凸部は、所定の距離を隔てて形成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ。 - 前記低誘電率層は、ポリイミドにより構成されており、
前記絶縁層は、窒化物または酸化物により構成されている
ことを特徴とする請求項1に記載の半導体レーザ。
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