JP2006189674A - プロセスパターンの配置方法及びプロセスパターンデータ作成装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 プロセスパターンの配置のための工数を削減し、配置されたプロセスパターンの信頼性を向上させ得るプロセスパターンの配置方法を提供する。
【解決手段】 マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブ12aの組み合わせに基づいて複数の仮想ブロックBを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンp1,p2,p3を配置条件に基づいて自動配置し、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報をスクライブデータに合成する。
【選択図】 図14
【解決手段】 マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブ12aの組み合わせに基づいて複数の仮想ブロックBを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンp1,p2,p3を配置条件に基づいて自動配置し、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報をスクライブデータに合成する。
【選択図】 図14
Description
この発明は、半導体装置製造工程で使用されるフォトマスクあるいはレチクルのスクライブ領域に形成されるプロセスパターンの配置方法に関するものである。
半導体製造工程において、ウェハ基板上のスクライブ領域には、アライメントマーク、検査マーク、モニターパターン等の多種類のプロセスパターンが形成される。近年、プロセステクノロジの進歩にともなって、プロセスパターンの配置数はますます増大している。このような状況において、サイズの異なる多種類のチップを同時に露光するマルチダイ型のフォトマスクあるいはレチクルを形成する場合のプロセスパターンの配置に要する工数の削減を図ることが必要となっている。
半導体製造工程において、ウェハ基板上のスクライブ領域には、アライメントマーク、検査マーク、モニターパターン等の多種類のプロセスパターンが形成される。近年、プロセステクノロジの進歩にともなって、プロセスパターンの配置数はますます増大している。このような状況において、サイズの異なる多種類のチップを同時に露光するマルチダイ型のフォトマスクあるいはレチクルを形成する場合のプロセスパターンの配置に要する工数の削減を図ることが必要となっている。
半導体装置の製造工程において、ウェハ基板上に同一構成の多数のチップを形成するには、フォトリソグラフィ工程でウェハ基板に対し回路パターンの転写、現像、エッチングが繰り返し行われる。
回路パターンの転写は、露光装置(ステッパ装置)を使用して、フォトマスクあるいはレチクルに形成されているパターンをウェハ基板に対し繰り返し縮小投影することで行われる。そして、複数の半導体チップが形成されたウェハ基板は、各チップ間に形成されるスクライブ領域に沿ってダイシングされる。
このような半導体装置の製造プロセスにおいて、ウェハ基板のスクライブ領域には種々のプロセスパターンが形成される。プロセスパターンは、フォトマスクあるいはレチクルとウェハ基板との位置合わせを行うためのアライメントパターン、転写結果を測定するための検査パターン、エッチング/CMP(科学的機械的研磨)等のプロセス毎のチップ状態を確認するためのモニターパターン等である。
半導体装置の製造ラインには、安定稼動等を目的として複数のメーカーのステッパ装置が用いられ、プロセスパターンは各ステッパ装置毎に異なっている。従って、フォトマスクあるいはレチクルを複数のステッパ装置で共用可能として、その作成コストの低減を図るためには、スクライブ領域に各ステッパ装置に対応したプロセスパターンをそれぞれ形成する必要がある。
特許文献1には、単一のチップサイズを複数個配置するようなフォトマスクの面付け構成に対応するプロセスパターンの自動配置方法が開示されている。
特許文献2には、形状の異なる多種類のチップを同時に露光するマルチダイのフォトマスクのスクライブデータの作成方法が開示されている。
特開2003−255507号公報
特開2000−147742号公報
特許文献2には、形状の異なる多種類のチップを同時に露光するマルチダイのフォトマスクのスクライブデータの作成方法が開示されている。
マルチダイのスクライブ領域に対するプロセスパターンの配置は、自動配置できないため、手作業で配置していた。特に、近年のプロセステクノロジの進歩にともない、スクライブ領域に形成されるプロセスパターンの配置数は飛躍的に増加している。また、プロセスパターンはウェハプロセス工程、試験工程、アセンブリ工程等の各工程で利用することから、パターン毎に配置条件が定義されている。
従って、必要とするパターンを過不足なく、かつ所定の配置条件を満たすように手作業で配置することはきわめて煩雑で工数がかかると同時に作業ミスも発生しやすい。また、配置後の良否判定も工数がかかり、十分な検証は事実上困難である。
このように、マルチダイのスクライブ領域に対するプロセスパターンの配置は、技術者の熟練に依存する度合いが高く、膨大な工数がかかり作業ミスが発生しやすいという問題点がある。
この発明の目的は、プロセスパターンの配置のための工数を削減し、配置されたプロセスパターンの信頼性を向上させ得るプロセスパターンの配置方法を提供することにある。
上記目的は、マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブの組み合わせに基づいて複数の仮想ブロックを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンを配置条件に基づいて自動配置し、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報を前記スクライブデータに合成することを特徴とするプロセスパターンの配置方法により達成される。
本発明によれば、プロセスパターンの配置のための工数を削減し、配置されたプロセスパターンの信頼性を向上させ得るプロセスパターンの配置方法を提供することができる。
以下、この発明を具体化した一実施の形態を図面に従って説明する。図1は、プロセスパターンのレイアウトデータを作成するパターン作成装置を示す。このパターン作成装置は、一般的なCAD装置で構成され、処理装置1、入力装置2、表示装置3、第一〜第四の記憶装置4〜7を備えている。
前記入力装置2は、キーボード及びマウス装置(図示しない)を含み、プログラムの起動、ユーザからの要求や指示、パラメータの入力等に用いられる。表示装置3は、CRT、LCD、PDP等のモニタ及びプリンタ等の出力装置を含み、レイアウトデータ作成処理結果の表示、パラメータ入力画面等の表示に用いられる。
前記第一〜第四の記憶装置4〜7は、磁気ディスク装置、光ディスク装置及び光磁気ディスク装置を含む。図1は、第一〜第四の記憶装置4〜7を機能的に分割して示しているが、分割しない状態、あるいはさらに多数の記憶装置にデータを分割して格納してもよい。
前記第一の記憶装置4には、レイアウトデータ作成処理を実行するためのプログラム4aが格納されている。プログラム4aは記録媒体8により提供される。
前記処理装置1は、入力装置2による指示に応答して図示しないドライブ装置を駆動し、記録媒体8に記録されたプログラム4aを第一の記憶装置4に取り込む。そして、そのプログラム4aを逐次実行して、プロセスパターンのレイアウトデータを作成する。
前記処理装置1は、入力装置2による指示に応答して図示しないドライブ装置を駆動し、記録媒体8に記録されたプログラム4aを第一の記憶装置4に取り込む。そして、そのプログラム4aを逐次実行して、プロセスパターンのレイアウトデータを作成する。
前記第二の記憶装置5には、プロセス仕様データ5aが格納されている。このプロセス仕様データ5aには、LSI製造時に使用するフォトマスク(レチクル)作成用のレイアウトデータを作成するために必要な種々の処理条件が格納されている。その処理条件は、プロセスパターンの配置を行うために必要な情報であり、例えばウェハ基板上に形成するチップのサイズ、フォトマスクの面付け構成、プロセスパターンの選択条件等が格納されている。
第三の記憶装置6には、それぞれライブラリ化されたセル形状データ6a、セル属性データ6b及び配置制約条件データ6cがセルデータとして格納されている。セル形状データ6aには、デザインルールに応じて形成されたプロセスパターンがレイアウトデータ作成用にセル化されて格納されている。各セルは、一つのプロセスパターンで構成される単独セルまたは複数のプロセスパターンから構成される群セルであり、それらはプロセスパターンの種類に応じたマークで表される。
前記プロセスパターンは、フォトマスクとウェハ基板との位置合わせを行うアライメントパターン、転写結果を測定する位置ずれ検査パターン、エッチング/CMP等のプロセス状態を確認するモニターパターンを含み、それらはアライメントマーク、位置ずれ検査マーク、モニタマークとして識別可能なマークで表される。
前記セル属性データ6bには、セル属性を示す情報が格納されている。セル属性は、スクライブ領域における各セルの配置属性(セルの大きさや他セルとの配置間隔等)及び配置重要度やスペックダウン処理等に関するパラメータを含む。
前記配置制約条件データ6cには、スクライブ領域における各セルの配置制約条件を示す情報が格納されている。
前記第四の記憶装置7には、前記プロセス仕様データ5a、セル形状データ6a、セル属性データ6b及び配置制約条件データ6cに基づいて作成されたプロセスパターンのレイアウトデータ7aが格納されている。
前記第四の記憶装置7には、前記プロセス仕様データ5a、セル形状データ6a、セル属性データ6b及び配置制約条件データ6cに基づいて作成されたプロセスパターンのレイアウトデータ7aが格納されている。
前記処理装置1は、プログラム4aを実行してパターン作成処理を行い、作成したレイアウトデータ7aを第四の記憶装置7に格納する。
次に、上記のようなパターン作成装置により、マルチダイのスクライブ領域に対してプロセスパターンのレイアウトデータを作成する動作を説明する。
次に、上記のようなパターン作成装置により、マルチダイのスクライブ領域に対してプロセスパターンのレイアウトデータを作成する動作を説明する。
その動作の概略を説明すると、マルチダイのスクライブ領域に対するプロセスパターンの配置処理を簡略化するために、単一サイズのチップの単純な繰り返し構成となるようにプロセスパターンを配置する配置領域すなわちスクライブ領域を仮想的に作成して配置する。
スクライブ領域をX軸方向及びY軸方向に形成するとき、仮想的に作成する配置領域をまずY軸方向に増やしていく。つまり、Y軸方向の配置領域を増やすために、X軸方向のブロック(チップ)数を増やす。このような処理をY軸方向の配置領域に配置すべきプロセスパターンがすべて配置可能となるまで繰り返す。
次いで、仮想的に作成する配置領域をX軸方向に増やすために、Y軸方向のブロック数を増やす。このような処理をX軸方向の配置領域に配置すべきプロセスパターンがすべて配置可能となるまで繰り返す。このような処理を行うことにより、所要数のプロセスパターンを所定の配置領域に自動配置する。
以下、前記処理装置1によるプロセスパターンの配置動作を具体的に説明する。図43は、同一チップサイズで構成される通常のレチクル面付けの例を示す。この例はX軸方向及びY軸方向に2つずつのチップ9を面付けした例であり、2×2の構成である。
図2は、サイズの異なる多種類のチップM1〜M7を備えたマルチダイの面付け構成におけるレチクルのスクライブデータSDを示す。以下、図2に示すスクライブデータに対するプロセスパターンの配置方法について図3〜図38及び図44〜図51のフローチャートに従って説明する。
図3に示すように、図2に示す面付け構成において、まずX軸方向及びY軸方向のすべての内部スクライブに対し、名称と長さを定義する。すなわち、X軸方向の内部スクライブを下からx1〜x3とし、それぞれの長さをx1L〜x3Lとして定義する。同様に、Y軸方向の内部スクライブを左からy1,y2とし、それぞれの長さをy1L,y2Lとして定義する。
この状態で、図4に示すように、最外周のスクライブを基準としてすべてのチップM1〜M7を内包する大きさの矩形で仮想ブロックAを設定する(ステップ1)。そして、仮想ブロックAのX方向のスクライブ長をxv、Y方向のスクライブ長をyvとし、X方向のチップサイズcsx=xv、Y方向のチップサイズcsy=yvとし、X方向ブロック数blkx=1、Y方向のブロック数blky=1と設定する。
次いで、図5及び図44に示すように、仮想ブロックAに対しプロセスパターンp1〜p3を配置し、その配置情報aを第四の記憶装置7に出力する(ステップ2)。配置情報aは、仮想ブロックAのスクライブ上に配置できたパターンの種類、配置軸及び座標と、配置できなかったパターンの種類の情報を含む。このとき、プロセスパターンp1〜p3は仮想ブロックAの隣り合う2辺に配置され、残りの2辺には遮光帯10が配置される。
次いで、プロセスパターンp1〜p3の配置結果の判断を行う(ステップ3)。すなわち、必要とするすべてのプロセスパターンを仮想ブロックAで配置できた場合には、図6に示すように、仮想ブロックAに配置された各プロセスパターンp1〜p3及び遮光帯10を、マルチダイのスクライブデータ(元データ)SDに合成して(ステップ4)、配置処理を終了する。
一方、ステップ3において、仮想ブロックAでは配置領域が不足し、必要なプロセスパターンをすべて配置できない場合には、図45に示すステップ5に移行する。すなわち、仮想ブロックAのX軸方向のスクライブ長(外周スクライブ長)と等しい長さの内部スクライブ数m1を検出し、仮想ブロックAのY軸方向のスクライブ長と等しい長さの内部スクライブ数n1をカウントする。
すると、図7に示すように、内部スクライブx1が仮想ブロックAのX軸方向のスクライブ長と等しい長さであり、図8に示すように、内部スクライブy2が仮想ブロックAのY軸方向のスクライブ長と等しい長さであるため、m1=1、n1=1となる。
次いで、スクライブデータSDにおける内部スクライブ数をカウントする(ステップ6)。X方向の内部スクライブ数をm2、Y方向の内部スクライブ数をn2とすると、図9に示すように、m2=3となり、図10に示すように、n2=2となる。
次いで、フラグ0〜2をオフに設定する(ステップ7)。そして、前記配置情報aに含まれる配置不可パターン情報を読み込み(ステップ8)、演算子iに0を設定する(ステップ9)。
次に、ステップ8で読み込んだ配置不可パターン情報に基づいて、配置不可パターンはX方向のパターンのみであるか否か及びY方向のパターンが存在するかを判別する(ステップ10,11)。以下の説明は、X方向及びY方向のいずれにおいても配置不可パターンが存在する場合について説明する。
X方向及びY方向のいずれにおいても配置不可パターンが存在すると、ステップ12に移行して、n1−i>0であるか否かを判定する。ここでは、内部スクライブ数n1=1、i=0であるので、n1−iは0より大きいため、ステップ13に移行する。
ステップ13では演算子iに1が加算され、次いで図11に示す仮想ブロックBの設定が行われる(ステップ14、図46参照)。すなわち、X方向ブロック数blkxに1を加算してblkx=2とし(ステップ15)、X方向のチップサイズcsxをxv/blkx、すなわちxv/2とする(ステップ16)。すると、仮想ブロックBはX方向のチップサイズがxv/2、Y方向のチップサイズcsyがyvとなる同一チップサイズが繰り返される2×1の構成となる。
次いで、図12に示すように、配置禁止領域11a,11bを設定する(ステップ17)。配置禁止領域11aは、マルチダイのスクライブデータSDにおいて、内部スクライブの交点に対応する領域を仮想ブロックBの仮想スクライブ12a上に設定したものであり、配置禁止領域11bは最外周スクライブと仮想スクライブ12aとの交点において、スクライブ幅の1/2の幅で仮想スクライブ側へ設定したものである。
次いで、図13に示すように、仮想スクライブ12aの移動量Δx1を設定する(ステップ18)。この移動量Δx1は、仮想スクライブ12aを前記内部スクライブy2上へ移動させるための距離を示す。
このようにして、仮想ブロックBは多種類のチップサイズを有するスクライブデータSDに対し、同一サイズのチップの繰り返しとなるように仮想スクライブ12aを設定し、かつ配置禁止領域11a,11b及び移動量Δx1を設定したものとする。
次いで、図14に示すように、仮想ブロックBでプロセスパターンp1〜p3の自動配置を行い、その配置情報bを第四の記憶装置7に出力し(ステップ19)、プロセスパターンp1〜p3の配置結果の判断を行う(ステップ20)。
すなわち、必要とするすべてのプロセスパターンを仮想ブロックBで配置できた場合には、図15に示すように、仮想スクライブ12a上のプロセスパターンp1〜p3を前記移動量Δx1に基づいてスクライブデータSDの内部スクライブy2上へ移動する(ステップ21)。そして、仮想ブロックBの外周に配置された各プロセスパターンp1〜p3及び遮光帯10を、マルチダイのスクライブデータ(元データ)SDに合成して(ステップ22)、配置処理を終了する。
一方、ステップ20において、仮想ブロックBでは配置領域が不足し、必要なプロセスパターンをすべて配置できない場合には、図45に示すステップ11に復帰する。ステップ11において、依然としてY方向に配置不可パターンが存在すると、ステップ12に移行する。
ステップ12において、今i=1であるので、n1−iは0となり、図47に示すステップ23に移行する。ステップ23では演算子jをn1の値、すなわち1に設定する。次いで、ステップ24でn2−jが0より大きいか否かを判定する。内部スクライブ数n2は2であり、演算子jは1であるので、n2−jは1となり、0より大きいのでステップ25に移行する。
ステップ25では、演算子jに1を加算し、図16に示す仮想ブロックCを設定する(ステップ26)。
仮想ブロックCの設定は、X方向ブロック数blkx=3としてステップ15〜18と同様な処理を行う。すなわち、X方向ブロック数blkxに1を加算してblkx=3とし、X方向のチップサイズcsxをxv/blkx、すなわちxv/3とする。すると、仮想ブロックCはX方向のチップサイズがxv/3、Y方向のチップサイズcsyがyvとなる同一チップサイズが繰り返される3×1の構成となり、仮想スクライブ12b,12cを備える。
仮想ブロックCの設定は、X方向ブロック数blkx=3としてステップ15〜18と同様な処理を行う。すなわち、X方向ブロック数blkxに1を加算してblkx=3とし、X方向のチップサイズcsxをxv/blkx、すなわちxv/3とする。すると、仮想ブロックCはX方向のチップサイズがxv/3、Y方向のチップサイズcsyがyvとなる同一チップサイズが繰り返される3×1の構成となり、仮想スクライブ12b,12cを備える。
次いで、図17に示すように、仮想スクライブ12b,12c上に配置禁止領域11a,11b,11cを設定する。配置禁止領域11a,11bは、ステップ17と同様な処理により設定され、配置禁止領域11cはマルチダイのスクライブが存在しない部分に対応する領域を仮想スクライブ12c上に設定したものである。
次いで、図18に示すように、仮想スクライブ12b,12cの移動量Δx2,Δx3を設定する。この移動量Δx2,Δx3は、仮想スクライブ12b,12cを前記内部スクライブy2,y1上へそれぞれ移動させるための距離を示す。
このようにして、仮想ブロックCは多種類のチップサイズを有するスクライブデータSDに対し、同一サイズのチップの繰り返しとなるように仮想スクライブ12b,12cを設定し、かつ配置禁止領域11a〜11c及び移動量Δx2,Δx3を設定したものとする。
次いで、図19に示すように、仮想ブロックCでプロセスパターンp1〜p3の自動配置を行い、その配置情報cを第四の記憶装置7に出力し(ステップ27)、プロセスパターンp1〜p3の配置結果の判断を行う(ステップ28)。
すなわち、必要とするすべてのプロセスパターンを仮想ブロックCで配置できた場合には、図20に示すように、仮想スクライブ12b,12c上のプロセスパターンp1〜p3を前記移動量Δx2,Δx3に基づいてスクライブデータSDの内部スクライブy2,y1上へ移動する(ステップ29)。そして、仮想ブロックCのスクライブ上に配置された各プロセスパターンp1〜p3及び遮光帯10を、マルチダイのスクライブデータ(元データ)SDに合成して(ステップ30)、配置処理を終了する。
一方、ステップ28において、仮想ブロックCでは配置領域が不足し、必要なプロセスパターンをすべて配置できない場合には、Y方向で配置不可パターンが存在するか否かを判別する(ステップ31)。そして、依然としてY方向で配置不可パターンが存在する場合には、ステップ24に復帰する。
ここで、演算子jは2となっているので、n2−jは0となる。従って、Y方向のプロセスパターンをこれ以上配置することはできないため、配置エラーとなり(ステップ32)、配置処理を終了する。
また、ステップ31において、Y方向の配置不可パターンが存在しない場合には、ステップ33に移行し、フラグ2をオンに設定する。次いで、図48のステップ34に移行し、X方向の配置領域を増大させる処理へ移行する。ステップ34ではX方向のチップサイズcsxをxvにリセットし、X方向のブロック数blkxを1にリセットする。
次いで、演算子iを0にリセットし(ステップ35)、m1−iが0より大きいか否かを判別する(ステップ36)。前記内部スクライブ数m1は1であるので、m1−iは1となるため、ステップ37に移行して演算子iに1を加算する。
次いで、図49に示すように、仮想ブロックDの設定を開始する(ステップ38)。すなわち、Y方向ブロック数blkyに1を加算してblky=2とし(ステップ39)、Y方向のチップサイズcsyをyv/blky、すなわちyv/2とする(ステップ40)。すると、仮想ブロックDは、図21に示すように、Y方向のチップサイズがyv/2、X方向のチップサイズcsxがxvとなる同一チップサイズが繰り返される1×2の構成となる。
次いで、図22に示すように、配置禁止領域11d,11eを設定する(ステップ41)。配置禁止領域11dは、マルチダイのスクライブデータSDにおいて、内部スクライブの交点に対応する領域を仮想ブロックDの仮想スクライブ12d上に設定したものであり、配置禁止領域11eは最外周スクライブと仮想スクライブ12dとの交点において、スクライブ幅の1/2の幅で仮想スクライブ側へ設定したものである。
次いで、図23に示すように、仮想スクライブ12dの移動量Δy4を設定する(ステップ42)。この移動量Δy4は、仮想スクライブ12dを前記内部スクライブx1上へ移動させるための距離を示す。
このようにして、仮想ブロックDは多種類のチップサイズを有するスクライブデータSDに対し、同一サイズのチップの繰り返しとなるように仮想スクライブ12dを設定し、かつ配置禁止領域11d,11e及び移動量Δy4を設定したものとする。
次いで、図24に示すように、仮想ブロックDでプロセスパターンp1〜p3及び遮光帯10の自動配置を行い、その配置情報dを第四の記憶装置7に出力し(ステップ43)、X方向のスクライブ領域で必要とするプロセスパターンを仮想ブロックDで配置できたか否かを判定する(ステップ44)。
ステップ44で、必要とするすべてのX方向のプロセスパターンを仮想ブロックDで配置できた場合には、図50に示すように、フラグ0〜2の状態を判別する(ステップ45〜47)。ここでは、フラグ2がオンであるので、ステップ50に移行して、配置情報c,dの合成を行う。
すなわち、ステップ50では、図25(a)に示す仮想ブロックCのY方向の配置情報cと、同図(b)に示す仮想ブロックDのX方向の配置情報dとの合成が行われる。そして、各仮想スクライブ12b〜12d上のプロセスパターンが移動量Δx2,Δx3,Δy4で移動されて(ステップ51)、図26に示すように、スクライブデータSDに配置合成される(ステップ52)。
ステップ44において、X方向のスクライブ領域で必要とするプロセスパターンをすべて配置できていない場合には、ステップ36に復帰する。ここで、演算子iは1に設定されているので、m1−iは0となり、図51に示すステップ53に移行する。
ステップ53では、演算子jに1が設定され、次いでステップ54でm2−jが0より大きいか否かが判別される。ここで、X方向の内部スクライブ数m2は3、演算子jは1であるのでm2−jは2となり、ステップ55に移行する。ステップ55では、演算子jに1が加算される。
次いで、仮想ブロックEの設定が行われる(ステップ56)。すなわち、仮想ブロックEの設定は、Y方向のブロック数blkyを1増やして、ステップ39〜42と同様な処理を行う。
すると、仮想ブロックEは、図27に示すように、Y方向のチップサイズがyv/3、X方向のチップサイズcsxがxvとなる同一チップサイズが繰り返される1×3の構成となる。
そして、図28に示すように、仮想スクライブ12e,12f上に配置禁止領域11d,11e,11fを設定する。配置禁止領域11fは、マルチダイのスクライブが存在しない部分に対応する領域を仮想スクライブ12f上に設定したものである。
次いで、図29に示すように、仮想スクライブ12e,12fの移動量Δy5,Δy6を設定する。この移動量Δy5,Δy6は、仮想スクライブ12e,12fを前記内部スクライブx1,x2上へ移動させるための距離を示す。
このようにして、仮想ブロックEは多種類のチップサイズを有するスクライブデータSDに対し、同一サイズのチップの繰り返しとなるように仮想スクライブ12e,12fを設定し、かつ配置禁止領域11d,11e,11f及び移動量Δy5,Δy6を設定したものとする。
次いで、図30に示すように、仮想ブロックEでプロセスパターンp1〜p3及び遮光帯10の自動配置を行い、その配置情報eを第四の記憶装置7に出力し(ステップ57)、X方向のスクライブ領域で必要とするプロセスパターンを仮想ブロックEで配置できたか否かを判定する(ステップ58)。
ステップ58で、必要とするすべてのX方向のプロセスパターンを仮想ブロックEで配置できた場合には、フラグ0〜2の状態を判別する(ステップ45〜47)。ここでは、フラグ2がオンであるので、ステップ50に移行して、配置情報c,eの合成を行う。
すなわち、ステップ50では、図31(a)に示す仮想ブロックCのY方向の配置情報cと、同図(b)に示す仮想ブロックEのX方向の配置情報eとの合成が行われ、各仮想スクライブ12b,12c,12e,12f上のプロセスパターンが移動量Δx2,Δx3,Δy5,Δy6で移動されて(ステップ51)、図32に示すように、スクライブデータSDに配置合成される(ステップ52)。
ステップ58において、X方向のスクライブ領域で必要とするプロセスパターンをすべて配置できていない場合には、ステップ54に復帰する。ここで、演算子jは2に設定されているので、m2−jは1となり、ステップ55〜57に移行する。
すると、図33に示す仮想ブロックFの設定が行われる(ステップ56)。すなわち、仮想ブロックFの設定は、Y方向のブロック数blkyを1増やして、ステップ39〜42と同様な処理を行う。
すると、仮想ブロックFは、図33に示すように、Y方向のチップサイズがyv/4、X方向のチップサイズcsxがxvとなる同一チップサイズが繰り返される1×4の構成となる。
そして、図34に示すように、仮想スクライブ12g〜12i上に配置禁止領域11d,11e,11fを設定する。配置禁止領域11fは、マルチダイのスクライブが存在しない部分に対応する領域を仮想スクライブ12h,12i上に設定したものである。
次いで、図35に示すように、仮想スクライブ12g〜12iの移動量Δy7〜Δy9を設定する。この移動量Δy7〜Δy9は、仮想スクライブ12g〜12iを前記内部スクライブx1〜x3上へ移動させるための距離を示す。
このようにして、仮想ブロックFは多種類のチップサイズを有するスクライブデータSDに対し、同一サイズのチップの繰り返しとなるように仮想スクライブ12g〜12iを設定し、かつ配置禁止領域11d,11e,11f及び移動量Δy7〜Δy9を設定したものとする。
次いで、図36に示すように、仮想ブロックFでプロセスパターンp1〜p3及び遮光帯10の自動配置を行い、その配置情報fを第四の記憶装置7に出力し(ステップ57)、X方向のスクライブ領域で必要とするプロセスパターンを仮想ブロックFで配置できたか否かを判定する(ステップ58)。
ステップ58で、必要とするすべてのX方向のプロセスパターンを仮想ブロックFで配置できた場合には、フラグ0〜2の状態を判別する(ステップ45〜47)。ここでは、フラグ2がオンであるので、ステップ50に移行して、配置情報c,fの合成を行う。
すなわち、ステップ50では、図37(a)に示す仮想ブロックCのY方向の配置情報cと、同図(b)に示す仮想ブロックFのX方向の配置情報fとの合成が行われ、各仮想スクライブ12b,12c,12g,12h,12i上のプロセスパターンが移動量Δx2,Δx3,Δy7,Δy8,Δy9で移動されて(ステップ51)、図38に示すように、スクライブデータSDに配置合成される(ステップ52)。
ステップ58において、X方向のスクライブ領域で必要とするプロセスパターンをすべて配置できていない場合には、ステップ54に復帰する。ここで、演算子jは3に設定されているので、m2−jは0となる。従って、X方向のプロセスパターンをこれ以上配置することはできないため、配置エラーとなり(ステップ59)、配置処理を終了する。
なお、ステップ10において、配置不可パターンがX方向のみである場合にはフラグ0がオンに設定され(ステップ60)、ステップ11においてY方向の配置不可パターンがなくなった場合には、フラグ1がオンに設定されて(ステップ61)、それぞれステップ34に移行する。
そして、フラグ0がオンに設定されている場合には、仮想ブロックAの配置情報と仮想ブロックD〜Fのいずれかの配置情報とがスクライブデータSDに配置合成される(ステップ48,51,52)。また、フラグ1がオンに設定されている場合には、仮想ブロックBの配置情報と仮想ブロックD〜Fのいずれかの配置情報とがスクライブデータSDに配置合成される(ステップ49,51,52)。
図39は、図2に示すスクライブデータSDよりさらに多数のチップを備えたマルチダイの面付け構成によるスクライブデータSDを示す。このような構成のマルチダイでは、図40に示す配置禁止領域11gが設定される。
また、図41に示すスクライブデータSDでは、図42に示す配置禁止領域11hが設定される。
上記のような処理装置1によるプロセスパターンの配置動作では、次に示す作用効果を得ることができる。
(1)マルチダイのスクライブデータSDに対し、多数のプロセスパターンの配置を、配置条件を満たしながら、自動的に配置することができる。
(2)多数のプロセスパターンの配置を、スクライブデータSDの外周のスクライブ領域から内部スクライブに向かって配置結果の良否を確認しながら順次配置することができる。従って、必要とするプロセスパターンを確実に配置することができ、すべての内部スクライブにプロセスパターンを配置した後に配置不可パターンが存在する場合には、自動的に配置エラーを判定することができる。
(3)内部スクライブにプロセスパターンを配置するとき、マルチダイの面付け構成の最外周のスクライブで囲まれる矩形を、複数の単一チップサイズの繰り返しとなるように仮想スクライブを備えた仮想ブロックとして設定し、その仮想ブロックにプロセスパターンを配置し、配置結果の良否を判定する。そして、配置結果が良好であれば、その配置情報に基づいて現実のスクライブデータにプロセスパターンを配置することができるので、配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(4)仮想ブロックを構成する仮想スクライブには、現実のスクライブデータに対応する配置禁止領域を設定するので、配置条件を容易に満足させることができる。
(5)仮想ブロックでプロセスパターンを配置した状態で、配置結果の良否を判定し、配置不可パターンが存在する場合には、スクライブデータの内部スクライブの数に応じて、仮想スクライブを順次増加させた仮想ブロックでプロセスパターンの再配置を行い、配置結果の良否を判定する。従って、配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(6)仮想ブロックを、X方向の内部スクライブ及びY方向の内部スクライブに対しそれぞれ設定し、X方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターン及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンをそれぞれ配置して、配置結果の良否を判定することができる。従って、X方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターン及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンの配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(7)内部スクライブに配置するプロセスパターンの配置情報を生成するとき、X方向及びY方向のうち、まず一方の内部スクライブに対応する配置情報を生成し、次いで他方の内部スクライブに対応する配置情報を生成することができる。従って、X方向及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンの配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(8)X方向の内部スクライブに対応する仮想ブロックにプロセスパターンを配置した配置情報と、Y方向の内部スクライブに対応する仮想ブロックにプロセスパターンを配置した配置情報とをスクライブデータ上に合成配置することができる。従って、X方向及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンの配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
上記のような処理装置1によるプロセスパターンの配置動作では、次に示す作用効果を得ることができる。
(1)マルチダイのスクライブデータSDに対し、多数のプロセスパターンの配置を、配置条件を満たしながら、自動的に配置することができる。
(2)多数のプロセスパターンの配置を、スクライブデータSDの外周のスクライブ領域から内部スクライブに向かって配置結果の良否を確認しながら順次配置することができる。従って、必要とするプロセスパターンを確実に配置することができ、すべての内部スクライブにプロセスパターンを配置した後に配置不可パターンが存在する場合には、自動的に配置エラーを判定することができる。
(3)内部スクライブにプロセスパターンを配置するとき、マルチダイの面付け構成の最外周のスクライブで囲まれる矩形を、複数の単一チップサイズの繰り返しとなるように仮想スクライブを備えた仮想ブロックとして設定し、その仮想ブロックにプロセスパターンを配置し、配置結果の良否を判定する。そして、配置結果が良好であれば、その配置情報に基づいて現実のスクライブデータにプロセスパターンを配置することができるので、配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(4)仮想ブロックを構成する仮想スクライブには、現実のスクライブデータに対応する配置禁止領域を設定するので、配置条件を容易に満足させることができる。
(5)仮想ブロックでプロセスパターンを配置した状態で、配置結果の良否を判定し、配置不可パターンが存在する場合には、スクライブデータの内部スクライブの数に応じて、仮想スクライブを順次増加させた仮想ブロックでプロセスパターンの再配置を行い、配置結果の良否を判定する。従って、配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(6)仮想ブロックを、X方向の内部スクライブ及びY方向の内部スクライブに対しそれぞれ設定し、X方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターン及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンをそれぞれ配置して、配置結果の良否を判定することができる。従って、X方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターン及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンの配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(7)内部スクライブに配置するプロセスパターンの配置情報を生成するとき、X方向及びY方向のうち、まず一方の内部スクライブに対応する配置情報を生成し、次いで他方の内部スクライブに対応する配置情報を生成することができる。従って、X方向及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンの配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
(8)X方向の内部スクライブに対応する仮想ブロックにプロセスパターンを配置した配置情報と、Y方向の内部スクライブに対応する仮想ブロックにプロセスパターンを配置した配置情報とをスクライブデータ上に合成配置することができる。従って、X方向及びY方向の内部スクライブに配置すべきプロセスパターンの配置条件を満たしながら必要とするプロセスパターンを自動的に配置することができる。
上記実施の形態は、次に示すように変更してもよい。
・仮想ブロックは、内部スクライブのみに対応する仮想スクライブを最初に設定し、順次外周スクライブに向かって仮想スクライブを増加させるように設定してもよい。
・内部スクライブ及び仮想スクライブは、X方向及びY方向以外の任意の方向でもよい。
(付記1)マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブの組み合わせに基づいて複数の仮想ブロックを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンを配置条件に基づいて自動配置し、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報を前記スクライブデータに合成することを特徴とするプロセスパターンの配置方法。
(付記2)前記仮想ブロックは、前記外周スクライブのみに対応する仮想ブロックを基準として、前記内部スクライブのうち長さの長い内部スクライブに対応する仮想スクライブから順次加えた仮想ブロックを設定することを特徴とする付記1記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記3)前記仮想ブロックは、Y方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックと、X方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックのうち、一方の仮想ブロックにおいて配置結果を満足した後に、他方の仮想ブロックに対する配置情報を生成することを特徴とする付記1又は2記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記4)前記仮想ブロックは、単一チップサイズの繰り返しとなるように前記仮想スクライブを設定し、該仮想スクライブに前記内部スクライブに対応する配置禁止領域を設定することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記5)プログラムを格納した第一の記憶装置と、
プロセスパターンをスクライブ領域に配置するための処理条件を格納した第二の記憶装置と、
前記プロセスパターンのセルデータを格納した第三の記憶装置と、
前記プロセスパターンの配置情報を格納する第四の記憶装置と、
前記第一〜第三の記憶装置の格納内容に基づいて、マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブの組み合わせにより複数の仮想ブロックを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンを自動配置して、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報を前記第四の記憶装置に格納し、前記配置情報を前記スクライブデータに合成してプロセスパターンデータを生成する処理装置と
を備えたことを特徴とするプロセスパターンデータ生成装置。
(付記6)前記仮想スクライブと、対応する内部スクライブとの座標に基づいて移動量を算出し、前記配置情報をスクライブデータに合成するとき、前記移動量に基づいて仮想スクライブ上のプロセスパターンを対応する内部スクライブ上に移動させることを特徴とする付記1乃至4のいずれかに記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記7)Y方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックに基づく配置情報と、X方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックに基づく配置情報とをスクライブデータに合成することを特徴とする付記3,4,6記載のプロセスパターンの配置方法。
・仮想ブロックは、内部スクライブのみに対応する仮想スクライブを最初に設定し、順次外周スクライブに向かって仮想スクライブを増加させるように設定してもよい。
・内部スクライブ及び仮想スクライブは、X方向及びY方向以外の任意の方向でもよい。
(付記1)マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブの組み合わせに基づいて複数の仮想ブロックを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンを配置条件に基づいて自動配置し、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報を前記スクライブデータに合成することを特徴とするプロセスパターンの配置方法。
(付記2)前記仮想ブロックは、前記外周スクライブのみに対応する仮想ブロックを基準として、前記内部スクライブのうち長さの長い内部スクライブに対応する仮想スクライブから順次加えた仮想ブロックを設定することを特徴とする付記1記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記3)前記仮想ブロックは、Y方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックと、X方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックのうち、一方の仮想ブロックにおいて配置結果を満足した後に、他方の仮想ブロックに対する配置情報を生成することを特徴とする付記1又は2記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記4)前記仮想ブロックは、単一チップサイズの繰り返しとなるように前記仮想スクライブを設定し、該仮想スクライブに前記内部スクライブに対応する配置禁止領域を設定することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記5)プログラムを格納した第一の記憶装置と、
プロセスパターンをスクライブ領域に配置するための処理条件を格納した第二の記憶装置と、
前記プロセスパターンのセルデータを格納した第三の記憶装置と、
前記プロセスパターンの配置情報を格納する第四の記憶装置と、
前記第一〜第三の記憶装置の格納内容に基づいて、マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブの組み合わせにより複数の仮想ブロックを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンを自動配置して、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報を前記第四の記憶装置に格納し、前記配置情報を前記スクライブデータに合成してプロセスパターンデータを生成する処理装置と
を備えたことを特徴とするプロセスパターンデータ生成装置。
(付記6)前記仮想スクライブと、対応する内部スクライブとの座標に基づいて移動量を算出し、前記配置情報をスクライブデータに合成するとき、前記移動量に基づいて仮想スクライブ上のプロセスパターンを対応する内部スクライブ上に移動させることを特徴とする付記1乃至4のいずれかに記載のプロセスパターンの配置方法。
(付記7)Y方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックに基づく配置情報と、X方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックに基づく配置情報とをスクライブデータに合成することを特徴とする付記3,4,6記載のプロセスパターンの配置方法。
1 処理装置
4 第一の記憶装置
5 第二の記憶装置
6 第三の記憶装置
7 第四の記憶装置
11a,11b,11c 配置禁止領域
12a〜12i 仮想スクライブ
SD スクライブデータ
x1〜x3 内部スクライブ
y1,y2 内部スクライブ
A〜F 仮想ブロック
p1〜p3 プロセスパターン
4 第一の記憶装置
5 第二の記憶装置
6 第三の記憶装置
7 第四の記憶装置
11a,11b,11c 配置禁止領域
12a〜12i 仮想スクライブ
SD スクライブデータ
x1〜x3 内部スクライブ
y1,y2 内部スクライブ
A〜F 仮想ブロック
p1〜p3 プロセスパターン
Claims (5)
- マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブの組み合わせに基づいて複数の仮想ブロックを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンを配置条件に基づいて自動配置し、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報を前記スクライブデータに合成することを特徴とするプロセスパターンの配置方法。
- 前記仮想ブロックは、前記外周スクライブのみに対応する仮想ブロックを基準として、前記内部スクライブのうち長さの長い内部スクライブに対応する仮想スクライブから順次加えた仮想ブロックを設定することを特徴とする請求項1記載のプロセスパターンの配置方法。
- 前記仮想ブロックは、Y方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックと、X方向の仮想スクライブを設定した仮想ブロックのうち、一方の仮想ブロックにおいて配置結果を満足した後に、他方の仮想ブロックに対する配置情報を生成することを特徴とする請求項1又は2記載のプロセスパターンの配置方法。
- 前記仮想ブロックは、単一チップサイズの繰り返しとなるように前記仮想スクライブを設定し、該仮想スクライブに前記内部スクライブに対応する配置禁止領域を設定することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のプロセスパターンの配置方法。
- プログラムを格納した第一の記憶装置と、
プロセスパターンをスクライブ領域に配置するための処理条件を格納した第二の記憶装置と、
前記プロセスパターンのセルデータを格納した第三の記憶装置と、
前記プロセスパターンの配置情報を格納する第四の記憶装置と、
前記第一〜第三の記憶装置の格納内容に基づいて、マルチダイのスクライブデータを構成する外周スクライブと複数の内部スクライブとに対応する仮想スクライブの組み合わせにより複数の仮想ブロックを設定し、仮想スクライブの少ない仮想ブロックから順次プロセスパターンを自動配置して、必要とするプロセスパターンを配置できたとき、その配置情報を前記第四の記憶装置に格納し、前記配置情報を前記スクライブデータに合成してプロセスパターンデータを生成する処理装置と
を備えたことを特徴とするプロセスパターンデータ作成装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005002158A JP2006189674A (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | プロセスパターンの配置方法及びプロセスパターンデータ作成装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2005002158A JP2006189674A (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | プロセスパターンの配置方法及びプロセスパターンデータ作成装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2006189674A true JP2006189674A (ja) | 2006-07-20 |
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ID=36796942
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2005002158A Withdrawn JP2006189674A (ja) | 2005-01-07 | 2005-01-07 | プロセスパターンの配置方法及びプロセスパターンデータ作成装置 |
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JP (1) | JP2006189674A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010008772A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Fujitsu Microelectronics Ltd | レチクルデータ作成方法、レチクルデータ作成装置及びウェハ |
JP2015031884A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 株式会社東芝 | マスクセット設計方法、マスクセット設計プログラムおよびテンプレート |
JP2015222385A (ja) * | 2014-05-23 | 2015-12-10 | 株式会社東芝 | レチクルマーク配置方法およびレチクルマーク配置プログラム |
WO2021208692A1 (zh) * | 2020-04-13 | 2021-10-21 | 长鑫存储技术有限公司 | 一种掩膜版的布局方法及装置、掩膜版 |
-
2005
- 2005-01-07 JP JP2005002158A patent/JP2006189674A/ja not_active Withdrawn
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2010008772A (ja) * | 2008-06-27 | 2010-01-14 | Fujitsu Microelectronics Ltd | レチクルデータ作成方法、レチクルデータ作成装置及びウェハ |
US8513777B2 (en) | 2008-06-27 | 2013-08-20 | Fujitsu Semiconductor Limited | Method and apparatus for generating reticle data |
JP2015031884A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-02-16 | 株式会社東芝 | マスクセット設計方法、マスクセット設計プログラムおよびテンプレート |
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Legal Events
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---|---|---|---|
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