JP2006189117A - 流量調整装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 入口ポート(11)に連通する第一室(21)と、出口ポート(12)に連通する第二室(22)とを含むハウジング(19)と、第二室内に延びていて第一室と第二室とを連通する筒状部(25)と、該筒状部の先端(25a)に設けられた弁座(61)と、該弁座を開閉する弁体(32)とを具備し、弁座および弁体のうちの少なくとも一方が、筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成されている流量調整装置が提供される。またハウジングには、第二室に連通していて圧力ポート(18)を備えた圧力室(29)が形成されており、第二室と圧力室とを分離する互いに連結された第一および第二の可撓性分離手段(41、51)とこれら分離手段の間に配置されるベッド(75)とを具備してもよい。筒状部(25)に補強部材(90)が埋込まれていてもよい。
【選択図】 図2
Description
すなわち2番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過する場合に筒状部が半径方向に拡張して弁体と弁座との間に隙間が形成されるのを防止できる。
すなわち3番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過して弁体と弁座との間の隙間がわずかながら形成された場合であっても、弁体シール手段、例えばOリングによってこの隙間を吸収することが可能となる。
すなわち4番目の発明においては、第一および第二の可撓性分離手段の間の空間が存在するので、第二室内の高温・高圧の流体と圧力室内の流体とが単一の可撓性分離手段を介して隣接することはなく、これら可撓性分離手段が高温・高圧の流体により破損するのが防止される。
すなわち5番目の発明においては、弾性部材によって第一および第二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できる。
すなわち6番目の発明においては、第一および第二の可撓性分離手段の間の空間を大気開放し、それにより、第一および第二の可撓性分離手段が熱変形するのを或る程度抑制することが可能となる。
すなわち7番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過して筒状部が半径方向に拡張した場合に流体が閉鎖部と筒状部との間から漏洩するのを防止できる。例えば、前記筒状部の内壁と前記閉鎖部との間に設けられるシール手段はOリングであり、前記筒状部の基端縁部と前記閉鎖部との間に設けられるシール手段は突起と該突起を受容する凹部である。
すなわち9番目の発明においては、弾性部材によって第一および第二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できる。
すなわち10番目の発明においては、第一および第二の可撓性分離手段の間の空間を大気開放し、それにより、第一および第二の可撓性分離手段が熱変形するのを或る程度抑制することが可能となる。
すなわち11番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過して筒状部が半径方向に拡張した場合に流体が閉鎖部と筒状部との間から漏洩するのを防止できる。例えば、前記筒状部の内壁と前記閉鎖部との間に設けられるシール手段はOリングであり、前記筒状部の基端縁部と前記閉鎖部との間に設けられるシール手段は突起と該突起を受容する凹部である。
すなわち12番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過して筒状部が半径方向に拡張するのが、補強部材によって防止される。従って、供給される液体が接触する部分を全てフッ素樹脂から形成することができ、高温・高圧の薬液、特に高純度薬液を供給する場合であっても、薬液に接触する部分から金属イオンが流出するのを防止することができる。
すなわち13番目の発明においては、弁座および/または弁体の材料の熱変形量が小さいので、高温・高圧の流体、例えば蒸気の流量を調整するために1番目の発明に基づく流量調整装置を使用した場合であっても、弁座および/または弁体の耐久性が確保され、弁座および/または弁体が破損することなしに、流量の調整を安定して行うことができる。
すなわち14番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過する場合に筒状部が半径方向に拡張して弁体と弁座との間に隙間が形成されるのを防止できる。
すなわち15番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過して弁体と弁座との間の隙間がわずかながら形成された場合であっても、弁体シール手段、例えばOリングによってこの隙間を吸収することが可能となる。
すなわち16番目の発明においては、筒状部を高温・高圧の流体が通過して筒状部が半径方向に拡張するのが、補強部材によって防止される。特に、筒状部を形成する材料がフッ素樹脂である場合には、高温・高圧の薬液を供給するのが可能となる。なお、補強部材の材料は金属、例えばチタンまたはポリエーテルエーテルケトン(PEEK)であるのが好ましい。
さらに、2番目および14番目の発明によれば、弁体と弁座との間に隙間が形成されるのを防止できるという効果を奏しうる。
さらに、3番目および15番目の発明によれば、弁体シール手段によって弁体と弁座との間の隙間を吸収することが可能となるという効果を奏しうる。
さらに、4番目の発明によれば、可撓性分離手段が高温・高圧の流体により破損するのを防止することができるという効果を奏しうる。
さらに、5番目の発明によれば、弾性部材によって第一および第二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できるという効果を奏しうる。
さらに、6番目の発明によれば、第一および第二の可撓性分離手段が熱変形するのを或る程度抑制することができるという効果を奏しうる。
さらに、7番目の発明によれば、流体が閉鎖部と筒状部との間から漏洩するのを防止できるという効果を奏しうる。
さらに、9番目の発明によれば、弾性部材によって第一および第二の可撓性分離手段が損傷するのを防止できるという効果を奏しうる。
さらに、10番目の発明によれば、第一および第二の可撓性分離手段が熱変形するのを或る程度抑制することが可能となるという効果を奏しうる。
さらに、11番目の発明によれば、流体が閉鎖部と筒状部との間から漏洩するのを防止できるという効果を奏しうる。
さらに、12番目および16番目の発明によれば、筒状部を高温・高圧の流体が通過して筒状部が半径方向に拡張するのが、補強部材によって防止されるという効果を奏しうる。
図1(a)は本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置の側面図であり、図1(b)は図1(a)に示される流量調整装置の頂面図である。本発明の第一の実施形態に基づく流量調整装置10のハウジング19はハウジング蓋部19a、ハウジング環状部19b、ハウジング胴部19cおよびハウジング底部19dの四つの部品より構成されている。ハウジング環状部19bは後述する第一ダイヤフラム41および第二ダイヤフラム51を流量調整装置10内に支持する役目を果たしている。また、ハウジング胴部19cには外方に延びる入口ポート11および出口ポート12がそれぞれ形成されている。後述するように流量調整装置10により供給される流体の通路はハウジング胴部19c内にのみ形成される。
締付部材65を備えることなしに弁座61が筒状部25にネジ込まれている流量調整装置10に高温・高圧の流体、例えば蒸気が供給されることを想定すると、筒状部25が熱および圧力により変形するので、流体が筒状部25の部分25aと弁座61との間の隙間を通って漏洩する可能性がある。これに対し、締付部材65を備える流量調整装置10においては締付部材65が筒状部25を周りから締付けて筒状部25が半径方向に拡張するのを防止する。このため、熱変形量が比較的小さい弁座61に加えて、熱変形量が同様に小さい締付部材65を使用するのが好ましく、それにより、流体が部分25aと弁座61との間の隙間から漏洩することも防止できる。
また、通気口17の先端付近にはネジ山部(図示しない)が形成されている。特に、比較的高温の流体を供給するために流量調整装置10を使用する場合には、第一ダイヤフラム41と第二ダイヤフラム51との間の空間において結露が起こる可能性がある。このような場合には、ネジ山部を介して別の継手(図示しない)を通気口17に取り付けることにより、第一ダイヤフラム41と第二ダイヤフラム51との間の空間に生じた結露を通気口17に通して流量調整装置10の外部まで排出することもできる。つまり、本発明においては、通気口17を結露ドレンポートとして使用することも可能である。
なお、図2等に示されるように、流量調整装置10のハウジング底部19dには、バネ39が配置されているバネ室15cから外部まで延びる通気口27が形成されている。通気口27は、バネ室15cを大気開放してバネ39の動作をスムーズにする役目を果たしている。また、通気口17の場合と同様に、通気口27の先端付近にネジ山部(図示しない)を形成して別の継手を通気口27に取り付けてもよい。これにより、比較的高温の流体を供給するときにバネ室15cで生じうる結露を通気口27に通して流量調整装置10の外部まで排出することができる。
11 入口ポート
12 出口ポート
15a 摺動溝
15b 凹部
17 通気口
18 圧力導入ポート
19 ハウジング
19a ハウジング蓋部
19b ハウジング環状部
19c ハウジング胴部
19d ハウジング底部
21 第一室
22 第二室
25 筒状部
25a 先端
25b 基端
25c 内周面
25d 凹溝
25e 環状突部
26 段差部
29 圧力室
32 弁体
33 先端
35 連結部材
36 摺動部材
37 ベローズ
38 Oリング
39 バネ
41 第一ダイヤフラム
42 孔
43 環状縁部
45 環状薄膜部
51 第二ダイヤフラム
52 孔
53 環状縁部
55 環状薄膜部
61 弁座
62 外周面
63 内側傾斜面
64 段差部
65 締付部材
66 延長部
67 ネジ
68 内周面
71、72 ゴムシート
75 ベッド
76 突出端部
77 環状湾曲部
80 閉鎖部
81 Oリング
82 Oリング
83 環状溝
84 環状突部
84’ 凹溝
90 補強部材
91 ネジ
92 ネジ
93 パイプ
Claims (16)
- 入口ポートに連通する第一室と、出口ポートに連通する第二室とを含むハウジングと、
前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを連通する筒状部と、
該筒状部の先端に設けられた弁座と、
該弁座を開閉する弁体とを具備し、
前記弁座および前記弁体のうちの少なくとも一方が、前記筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成されている流量調整装置。 - さらに、前記筒状部の先端周りを締付ける締付手段を具備する請求項1に記載の流量調整装置。
- さらに、前記弁座に接触する前記弁体の一部分には、弁体シール手段が設けられている請求項1または2に記載の流量調整装置。
- さらに、前記ハウジングには、前記第二室に連通していて圧力ポートを備えた圧力室が形成されており、
前記第二室と前記圧力室とを封止可能に分離する互いに連結された第一および第二の可撓性分離手段を具備し、前記第一の可撓性分離手段は前記圧力室内の流体にさらされると共に前記第二の可撓性分離手段は前記第二室内の流体にさらされていて前記弁体に連結されており、
さらに、前記第一および第二の可撓性分離手段の間に配置されるベッドを具備する請求項1から3のいずれか一項に記載の流量調整装置。 - 前記第一の可撓性分離手段と前記ベッドとの間および前記第二の可撓性分離手段と前記ベッドとの間の少なくとも一方に、弾性部材が配置されている請求項4に記載の流量調整装置。
- 前記第一および第二の可撓性分離手段の間において排気通路が前記ハウジングに形成されている請求項4または5に記載の流量調整装置。
- さらに、前記筒状部の基端を閉鎖する閉鎖部を具備し、前記弁体は前記閉鎖部に移動可能に連結されており、
前記筒状部の内壁と前記閉鎖部との間および前記筒状部の基端縁部と前記閉鎖部との間の少なくとも一方に、シール手段が設けられている請求項4から6のいずれか一項に記載の流量調整装置。 - 入口ポートに連通する第一室と、出口ポートに連通する第二室とを含むハウジングを具備し、前記ハウジングには、前記第二室に連通していて圧力ポートを備えた圧力室が形成されており、
さらに、
前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを連通する筒状部と、
該筒状部の先端に設けられた弁座と、
該弁座を開閉する弁体と、
前記第二室と前記圧力室とを封止可能に分離する互いに連結された第一および第二の可撓性分離手段とを具備し、前記第一の可撓性分離手段は前記圧力室内の流体にさらされると共に前記第二の可撓性分離手段は前記第二室内の流体にさらされていて前記弁体に連結されており、
さらに、
前記第一および第二の可撓性分離手段の間に配置されるベッドを具備する流量調整装置。 - 前記第一の可撓性分離手段と前記ベッドとの間および前記第二の可撓性分離手段と前記ベッドとの間の少なくとも一方に、弾性部材が配置されている請求項8に記載の流量調整装置。
- 前記第一および第二の可撓性分離手段の間において排気通路が前記ハウジングに形成されている請求項8または9に記載の流量調整装置。
- さらに、前記筒状部の基端を閉鎖する閉鎖部を具備し、前記弁体は前記閉鎖部に移動可能に連結されており、
前記筒状部の内壁と前記閉鎖部との間および前記筒状部の基端縁部と前記閉鎖部との間の少なくとも一方に、シール手段が設けられている請求項8から10のいずれか一項に記載の流量調整装置。 - 前記筒状部には、該筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料からなる補強部材が少なくとも部分的に埋込まれている請求項8から11のいずれか一項に記載の流量調整装置。
- 前記弁座および前記弁体のうちの少なくとも一方が、前記筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料から形成されている請求項8から11のいずれか一項に記載の流量調整装置。
- さらに、前記筒状部の先端周りを締付ける締付手段を具備する請求項8から13のいずれか一項に記載の流量調整装置。
- さらに、前記弁座に接触する前記弁体の一部分には、弁体シール手段が設けられている請求項8から14のいずれか一項に記載の流量調整装置。
- 入口ポートに連通する第一室と、出口ポートに連通する第二室とを含むハウジングと、
前記第二室内に延びていて前記第一室と前記第二室とを連通する筒状部と、
該筒状部の先端に設けられた弁座と、
該弁座を開閉する弁体とを具備し、
前記筒状部には、該筒状部を形成する材料よりも熱変形量が小さい材料からなる補強部材が少なくとも部分的に埋込まれている流量調整装置。
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