JP2006173491A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ボイドなどの欠陥を少なくとも表面部分には含まないアスペクト比の大きな素子分離絶縁膜を有するSTI型素子分離構造を提供する。
【解決手段】 半導体基板中にマスクパターンを介して素子分離溝を形成し、さらに前記素子分離溝を絶縁膜で埋め込んだ後、化学機械研磨して余計な絶縁膜を除去する。さらにマスクパターンを除去し、半導体基板表面から突出する素子分離絶縁膜の周囲に、半導体基板表面から半導体層をエピタキシャルに再成長させる。
【選択図】 図3
【解決手段】 半導体基板中にマスクパターンを介して素子分離溝を形成し、さらに前記素子分離溝を絶縁膜で埋め込んだ後、化学機械研磨して余計な絶縁膜を除去する。さらにマスクパターンを除去し、半導体基板表面から突出する素子分離絶縁膜の周囲に、半導体基板表面から半導体層をエピタキシャルに再成長させる。
【選択図】 図3
Description
本発明は一般に半導体装置に係り、特にSTI型の素子分離構造を有する半導体装置の製造方法、およびかかる製造方法により製造された半導体装置に関する。
基板上に複数の半導体装置を集積化した半導体集積回路装置においては、個々の半導体装置を電気的に分離するのに素子分離構造が使われる。
従来は、このような素子分離構造として、いわゆるLOCOS酸化膜が使われていたが、最近の集積密度の大きな半導体集積回路装置では、かかるLOCOS酸化膜は基板上において大きな面積を占有するため、その代わりに素子領域を囲むように基板中に形成された素子分離溝と、かかる素子分離溝を充填する素子分離絶縁膜よりなる、いわゆるSTI(shallow trench isolation)型の素子分離構造が使われている。
特開平9−252049号公報
このようなSTI型の素子分離構造を使った最近の超微細化半導体集積回路装置においても、微細化の要求は引き続き課せられており、素子分離溝の幅を狭めることが要求されている。
一方、このように素子分離溝の幅を狭めた場合、素子分離に必要な耐圧特性を得ようとすると、素子分離溝の深さを増大させる必要がある。
例えば、最近のゲート長が60nmあるいはそれ以下の超微細化半導体装置の場合、素子分離溝の幅は0.1μm以下であることが要求され、これに対応して素子分離溝の深さは250〜300nmにもなっている。
しかし、このような幅が狭く深さの大きな、すなわち大きなアスペクト比を有する素子分離溝においては、これを絶縁膜で充填するのが困難になり、素子分離溝を充填する素子分離絶縁膜中に埋め込み不良による欠陥が生じやすくなる。
図1(A)〜(C)は、このような従来のSTI型素子分離構造の形成工程を示す図である。
図1(A)を参照するに、シリコン基板11上にはSiO2膜(熱酸化膜)12を介してSiNマスク膜13が形成されており、図1(A)の状態では、前記シリコン基板11中に、前記SiNマスク膜13をマスクとしたドライエッチングにより、素子分離溝11Aが形成されている。
次に図1(B)の工程において、前記SiNマスク膜13上に前記素子分離溝11Aを充填するように、SiO2膜を高密度CVD法により堆積し、素子分離絶縁膜15を形成する。その際、前記素子分離溝11A中におけるSiO2膜15の堆積は、前記溝11Aの側壁面および底面から同時に生じるため、膜15中にボイド15Xが形成されることがある。このようなボイド15Xは、図1(A)の溝11Aの最上部を除く、様々な箇所に形成される可能性がある。
図1(C)は、さらに前記図1(B)の構造において、前記SiO2膜15のうち、前記SiNマスク膜13上の部分をCMP法で除去し、さらに前記SiNマスク膜13を熱燐酸処理により除去し、さらに前記熱酸化膜12をHF処理により除去し、さらに前記シリコン基板11上に突出する素子分離絶縁膜15に対し引き続きHFによるエッチング処理を行い、平坦化した状態を示す。
図1(C)に示されるように、前記ボイド15Xが素子分離絶縁膜15中に存在する場合、先に説明したボイド生成機構からもわかるようにボイド15Xの生成位置を制御するのは一般に困難で、図1(C)のようにSiNマスク膜13および熱酸化膜12を除去し、さらに平坦化を行った状態では、前記ボイド15Xが素子分離絶縁膜15の表面に露出することがある。
このようにボイド15Xなどの欠陥が素子分離絶縁膜15Xの表面に露出している場合、かかる欠陥はその後の基板処理プロセスにおいて様々な不純物を捕獲し、半導体装置の不良、あるいは歩留まりの低下を誘起するおそれがある。
またこのようなボイドが形成されないようにするためには、従来前記素子分離溝11Aの深さを減少させ、したがって素子分離溝11Aのアスペクト比を抑制する必要があった。しかし、このように浅い素子分離溝を使った場合、特に集積密度の高い半導体集積回路装置において十分な素子分離を実現するのが困難であった。
本発明は一の側面において、基板と、前記基板中に素子領域を画成するように形成された素子分離構造と、前記素子領域中に形成された半導体素子とよりなる半導体装置において、前記素子分離構造は、前記基板中に前記素子領域を画成するように形成された素子分離溝と、前記素子分離溝を充填する素子分離絶縁膜とよりなり、前記素子分離絶縁膜は下部と上部とよりなり、前記下部と前記上部との間には段差部が存在することを特徴とする半導体装置を提供する。
本発明は他の側面において、半導体基板上に、開口部を有する第1の絶縁膜よりなるマスクパターンを形成し、前記マスクパターンをマスクに、前記半導体基板中に素子分離溝を、前記開口部に対応して形成する工程と、前記マスクパターン上に第2の絶縁膜を、前記素子分離溝を充填するように堆積する工程と、前記第2の絶縁膜を、前記第1の絶縁膜が露出するまで化学機械研磨工程により除去し、前記素子分離絶縁膜中に残留した前記第2の絶縁膜により、素子分離絶縁膜を形成する工程と、前記マスクパターンを除去し、前記半導体基板表面を露出する工程と、前記露出した半導体基板表面から、半導体層をエピタキシャル成長させる工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法を提供する。
本発明によれば、半導体基板上に素子分離溝を、ハードマスクパターンをマスクに形成した後、素子分離絶縁膜を、素子分離溝を充填するように堆積し、ハードマスクパターン上の素子分離溝を化学機械研磨工程により除去した後、前記ハードマスクパターンを除去して半導体基板表面を露出させ、前記素子分離絶縁膜を前記半導体基板上に突出させる。本発明ではさらに、このような上方に突出した素子分離絶縁膜を平坦化することなく、前記露出した半導体基板表面から半導体層をエピタキシャルに再成長させる。これにより、本発明では前記半導体基板上に形成される半導体素子の活性領域を、前記突出した素子分離絶縁膜の上部近傍、すなわち前記欠陥15Xが含まれる可能性の少ない領域の近傍に形成することができ、実効的な素子分離溝の深さを増大させることができると同時に、半導体装置の製造歩留まりを大きく向上させることができる。
また本発明によれば、ボイドなどの欠陥を生じることなく、深い素子分離溝を素子分離絶縁膜で充填し、素子分離構造の特性を向上させることが可能になる。
[第1実施例]
図2(A)〜(D)は、本発明の第1実施例による素子分離構造の形成工程を示す。
図2(A)〜(D)は、本発明の第1実施例による素子分離構造の形成工程を示す。
図2(A)を参照するに、シリコン基板21上には熱酸化膜22が典型的には10nmの膜厚で形成されており、前記熱酸化膜22上には窒化膜23がCVD法により、100〜150nmの膜厚で形成されている。
次に図2(B)の工程において前記窒化膜23は図示しないレジストパターンを使ったフォトリソグラフィ工程によりパターニングされ、形成しようとする素子分離溝に対応した開口部が形成される。さらにこのようにしてパターニングされた窒化膜23をハードマスクに、前記熱酸化膜22およびその下のシリコン基板21をパターニングすることにより、前記シリコン基板21中には素子分離溝21Aが100〜140nmの幅で、また前記シリコン基板21の表面から測って260〜360nmの深さで形成される。
さらに前記図2(B)の工程では、このようにして形成された素子分離溝21Aの表面に熱酸化処理により熱酸化ライナー膜21aが、10nm程度の膜厚に形成されている。
次に図2(C)の工程で、前記図1(B)の構造上に高密度プラズマCVD法により、酸化膜24を、前記酸化膜24が前記素子分離溝21Aを充填するように堆積され、さらに図2(D)の工程で、前記酸化膜24のうち、前記窒化膜23上に堆積している部分が、化学機械研磨により除去される。これにより、前記素子分離溝21A中には、前記酸化膜24により、素子分離絶縁膜24Aが形成される。
次に図3(E)の工程で前記窒化膜23が熱燐酸処理により除去され、さらに図3(F)の工程において前記シリコン基板21上の熱酸化膜22がHF処理により除去される。図3(E)の例では、かかるHF処理の結果、前記素子分離絶縁膜24Aのうち、前記シリコン基板21の表面上に突出する突出部が、前記熱酸化膜22の膜厚に相当する分(約10nm)だけ部分的にエッチングされ、その結果、前記素子分離絶縁膜24Aには、前記シリコン基板21の表面に対応して段差部が形成されている。図3(F)の状態では、前記熱酸化膜22のエッチング除去の結果、前記シリコン基板21の表面が露出している。
さらに図3(G)の工程において、本実施例では前記図3(F)の露出したシリコン基板表面上に、シリコン層のエピタキシャル再成長を行い、シリコン層27を、前記素子分離絶縁膜24Aの突出部が露出するように、20〜50nmの膜厚で形成する。
このようなシリコン層27の再成長は、例えば5.32kPa(40Torr)の圧力下、700℃の基板温度でSiH2Cl2ガスおよびHClガスを、それぞれ80SCCMおよび10SCCMの流量で供給することにより形成することができる。なお本実施例では、かかるシリコン層27の再成長に先立って、図3(F)の構造を900℃の温度で1分間ベーク処理している。
図4は、このようにして得られた素子分離構造の断面SEM写真を示す。
図4を参照するに、素子分離絶縁膜(STI)が素子分離溝を、欠陥を生じることなく充填しており、またシリコン層の再成長界面となったシリコン基板の表面に対応して、素子分離絶縁膜中に段差が生じているのがわかる。一方、シリコン基板とその上に再成長したシリコンエピタキシャル層との間の界面は観察されず、前記エピタキシャル層の再成長は、図4の電子顕微鏡観察では、前記素子分離絶縁膜中の段差により示されるに過ぎない。
このように、本実施例によれば、図2(C)の工程において素子分離溝21Aを充填するCVD酸化膜24中にボイドなどの欠陥が生じないように、図2(B)の工程において素子分離溝21Aのアスペクト比を抑制した場合でも、図3(G)の工程において前記シリコン層27を再成長することにより、前記素子分離絶縁膜24Aのうち、図2(D)において前記窒化膜23中の素子分離溝21Aを充填する部分が有効な素子分離絶縁膜として使われ、高い集積密度を有する半導体集積回路装置においても、効果的な素子分離を実現することができる。
また、図2(B)の工程で形成される素子分離溝21Aのアスペクト比が大きく、このため図2(C)の工程で素子分離溝21Aを充填するCVD酸化膜24中にボイドが発生するような場合でも、ボイドは前記窒化膜23中の素子分離溝21Aを充填する部分には発生する可能性が低く、このため前記素子分離絶縁膜24Aのうち、図3(G)の工程においてシリコン層27から露出している部分において先に図1(C)で説明したようにボイドが露出する恐れは少ない。
このため、本発明によれば高い集積密度を有する超微細化半導体集積回路装置の製造歩留まりを向上させることができる。
なお本実施例においては、図3(G)の工程において、前記エピタキシャル層27として、シリコン層の代わりにSiGe混晶層あるいはSiGeC混晶層を形成することもできる。その場合には、シリコン基板21とエピタキシャル層27との界面は、組成変化により検出することが可能である。
[第2実施例]
図5(A)〜図6(C)は、図3(G)の素子分離構造を使ったCMOS半導体集積回路装置の製造方法を示す。ただし先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[第2実施例]
図5(A)〜図6(C)は、図3(G)の素子分離構造を使ったCMOS半導体集積回路装置の製造方法を示す。ただし先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
図5(A)を参照するに、シリコン基板21中には、先に図2(A)〜3(G)で説明した工程により素子分離絶縁膜24AよりなるSTI型素子分離構造が形成され、その結果、前記シリコン基板21中には、pチャネルMOSトランジスタの素子領域21PとnチャネルMOSトランジスタの素子領域21Nとが、前記素子分離構造により画成されている。また前記シリコン基板21上には、シリコンエピタキシャル層27が形成されている。ただし先の図4の写真からもわかるように、シリコン基板21とシリコンエピタキシャル層27との間に界面が観察されるわけではない。
図5(A)の工程では、前記素子領域21Pおよび素子領域21Nを構成するシリコンエピタキシャル層27の表面に、厚さが約10nmの熱酸化膜28が犠牲酸化膜として形成され、前記犠牲酸化膜を介して前記素子領域21Pにはn型不純物元素が、また前記素子領域21Nにはp型不純物元素がそれぞれ、別々にイオン注入され、活性化熱処理の後、前記シリコン基板21中には前記素子領域21Pに対応してn型ウェルが、また前記素子領域21Nに対応してp型ウェルが形成される。
さらに図5(B)の工程で前記犠牲酸化膜28はウェットエッチング処理により除去され、さらに熱酸化により高品質な熱酸化膜31が、前記pチャネルMOSトランジスタおよびnチャネルMOSトランジスタのゲート絶縁膜として、典型的には2nm程度の厚さに形成される。
さらに図5(B)の構造では、前記素子領域21Pおよび21Nにおいてゲート絶縁膜31上にポリシリコンパターン32Pおよび32Nが、それぞれ前記pチャネルMOSトランジスタおよびnチャネルMOSトランジスタのゲート電極として形成され、また前記シリコンエピタキシャル層27においては前記素子領域21P中、ゲート電極32Pの直下にn型ポケット注入領域33Nが、前記ゲート電極32Pをマスクとしたn型不純物元素の斜めイオン注入により形成されている。同様に前記シリコンエピタキシャル層27のうち前記素子領域21中には、前記ゲート電極32Nの直下にp型ポケット注入領域33Pが、p型不純物元素の斜めイオン注入により形成されている。
さらに前記素子領域21Pにおいては前記シリコンエピタキシャル層27中、前記ゲート電極32Pの左右にp型不純物元素により、ソースエクステンション領域34sPおよびドレインエクステンション領域32dPが形成されている。また前記素子領域21Nにおいては前記シリコンエピタキシャル層27中、前記ゲート電極32Nの左右にn型不純物元素により、ソースエクステンション領域24sNおよびドレインエクステンション領域32dNが形成されている。
さらに図6(C)の工程において前記ゲート電極32Pおよび32Nの両側壁面上に側壁絶縁膜32Pwおよび32Nwがそれぞれ形成され、さらに前記素子領域21Nをレジストマスク(図示せず)で覆い、前記ゲート電極32Pおよび側壁絶縁膜32Pwをマスクにp型不純物元素を前記素子領域21Pにイオン注入し、前記pチャネルMOSトランジスタのソース領域32SPおよびドレイン領域32DPを形成する。また前記素子領域21Pをレジストマスク(図示せず)で覆い、前記ゲート電極32Nおよび側壁絶縁膜32Nwをマスクにn型不純物元素を前記素子領域21Nにイオン注入し、前記nチャネルMOSトランジスタのソース領域32SNおよびドレイン領域32DNを形成する。
さらにこのようにして得られた構造上にCoやNiなどの金属膜を堆積し、これを熱処理した後、未反応金属膜を除去することにより、前記ゲート電極32P,32N上に、また前記ソース領域およびドレイン領域32SP,32DP,32SN,32DN上にシリサイド膜33が形成される。
図6(C)のCMOS素子では、このようにpチャネルMOSトランジスタおよびnチャネルMOSトランジスタが形成された素子領域P21Pおよび21Nが、上部に段部を有する素分離絶縁膜24Aを含むSTI型の素子分離構造により画成されていることを特徴としている。
なお、図3(G)の工程において前記エピタキシャル層27としてSiGe混晶層あるいはSiGeC混晶層を形成した場合には、シリコン基板21とエピタキシャル層27との界面は、組成変化により検出することが可能である。
[第3実施例]
図7(A)〜図8(H)は、本発明の第3実施例による素子分離構造の形成方法を示す。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[第3実施例]
図7(A)〜図8(H)は、本発明の第3実施例による素子分離構造の形成方法を示す。ただし図中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
本実施例では図7(A)の工程において、前記図2(B)と同様な構造が形成されるが、その際、前記素子分離溝21Aの表面に熱酸化膜21bを、保護膜として、10nm程度の膜厚に形成する。
次に図7(B)の工程において図示しないレジストパターンをマスクに前記窒化膜23を側方にウェットエッチングし、前記窒化膜23中に前記素子分離溝21Aに対応して形成されている開口部の大きさを、前記素子分離溝21Aの側壁面を覆う熱酸化膜23aとシリコン基板21との界面から測って前記犠牲酸化膜22の膜厚d(約10nm)程度の量だけ拡大する。
さらに図7(B)の工程では、前記熱酸化膜21bをウェットエッチングにより除去し、新たに先の実施例の熱酸化ライナー膜21aに対応したライナー膜を熱酸化処理により、10nm程度の膜厚に形成する。
次に図7(C)の工程において、図7(B)の構造上に応力緩和の目的で窒化膜23をCVD法により内側ライナー膜として形成し、さらに図7(D)の工程で前記図7(C)の構造上に前記CVD酸化膜24に対応するCVD酸化膜を、前記素子分離溝21Aを充填するように、高密度プラズマCVD法により堆積する。
さらに図8(E)の工程においては前記CVD酸化膜24のうち、前記窒化膜23N上に堆積している部分が化学機械研磨により除去され、図8(F)の工程において前記窒化膜23Nおよび23が熱燐酸処理などのウェットエッチング処理により除去される。
その結果、図8(F)の工程では素子分離絶縁膜24Aが、前記熱酸化膜22上の部分24Bにおいて前記素子分離溝21Aの幅よりも幅dだけ拡大されている。
そこで図8(G)の工程において図8(F)の構造に対し、HF中においてウェットエッチング処理を行い、その際、前記ウェットエッチング処理を制御することにより、前記素子分離絶縁膜24Aの上部24Bの幅を、前記部分24Bの側壁面が前記シリコン基板21中の素子分離溝の側壁面、すなわちシリコン基板21と熱酸化ライナー膜21aとの界面に略一致させる。
図8(G)の工程では、前記熱酸化膜22が除去されるのに伴ってシリコン基板21の上面が露出しており、そこで図8(H)の工程において、先に図3(G)で説明したのと同様な条件下でシリコン層27を、前記素子分離絶縁膜上部24Bが露出するように、エピタキシャル成長させる。
このようにして形成された素子分離構造では、前記素子分離絶縁膜上部24Bが、当初に形成された素子分離溝21Aに対応した設計値にほぼ等しい幅を有し、設計どおりの素子分離性能を実現することができる。
なお、本実施例においても、前記素子分離絶縁膜上部24Bの下端部には、図8(H)中に円で囲んだように、前記熱酸化膜22のエッチングに伴う段差が形成されている。また前記上部24Bの幅は、図8(G)のウェットエッチングで制御されるため、前記上部24Bの側壁面が前記素子分離溝の側壁面を覆う熱酸化ライナー膜21aとシリコン基板21との界面に完全に一致するとは限らず、前記上部24Bの幅は、前記界面で測った前記素子分離溝21Aの幅に対し、±10nm以下の範囲で変化することがある。すなわち、前記素子分離絶縁膜上部24の幅は、前記素子分離溝の幅よりも大きい場合もあれば小さい場合もある。
このようにして形成されたシリコンエピタキシャル層27とシリコン基板21との界面は、通常は電子顕微鏡などを使っても観察することはできないが、前記熱酸化膜22のウェットエッチング処理の際に前記熱酸化ライナー膜21aの上端部に形成される段差が、かかるシリコンエピタキシャル層27とシリコン基板21との界面の位置におおよそ対応することに注意すべきである。
本実施例においても、前記エピタキシャル層27としてシリコン層の代わりにSiGe混晶層あるいはSiGeC混晶層を使うことが可能である。
本実施例では、さらに図7(B)の工程で前記窒化膜中に素子分離溝に対応して形成される開口部の大きさが増大するため、特にこの部分において素子分離溝のアスペクト比が低下し、図7(D)の工程においてCVD酸化膜24の堆積を、優れたステップカバレッジで実行することが可能になる。このため、素子分離構造の性能にとって重要な、前記素子分離絶縁膜上部24Bの膜質が向上する好ましい特徴が得られる。
[第4実施例]
図9は、本発明の第4実施例によるCMOS半導体集積回路装置の構成を示す。ただし図9中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
[第4実施例]
図9は、本発明の第4実施例によるCMOS半導体集積回路装置の構成を示す。ただし図9中、先に説明した部分に対応する部分には同一の参照符号を付し、説明を省略する。
図9を参照するに、本実施例においては図8(H)の素子分離構造により、シリコン基板21の表面にpチャネルMOSトランジスタの素子領域21PとnチャネルMOSトランジスタの素子領域21Nとが画成されており、それぞれの素子領域には、先の図6(C)と同様な構成のpチャネルMOSトランジスタとnチャネルMOSトランジスタとが形成されている。
図8(H)の素子分離構造の使用に伴い、前記素子分離絶縁膜24Aは熱酸化膜ライナー21aとその内側の窒化膜ライナー23Nを有しており、前記熱酸化膜ライナー21aの上端部に略対応して、観察はできないが、シリコン基板21とシリコンエピタキシャル層27の界面が存在している。
なお、先の実施例と同様に、前記エピタキシャル層27としてSiGe混晶層あるいはSiGeC混晶層を使った場合には、かかる界面の存在はSiあるいはGeの組成変化から検出することができる。
[第5実施例]
図10(A)〜図11(H)は、本発明の第5実施例による素子分離構造の形成方法を示す。
[第5実施例]
図10(A)〜図11(H)は、本発明の第5実施例による素子分離構造の形成方法を示す。
図10(A)を参照するに、シリコン基板41上には熱酸化膜42を介して窒化膜43が堆積されており、図10(B)の工程において、前記窒化膜43をハードマスクに、前記シリコン基板41中に素子分離溝41Aが形成される。
さらに図10(C)の工程において、前記素子分離溝41AがTEOS酸化膜など、大きなアスペクト比の溝を充填できる酸化膜44により充填され、さらに前記窒化膜43上の酸化膜44を図10(D)の工程でエッチバックすることにより、前記素子分離溝41Aを部分的に充填する素子分離絶縁膜44Aを形成する。
さらに図11(E)の工程において、前記素子分離絶縁膜44Aにより部分的に充填された素子分離溝41Aを、さらに別の、より高品質な酸化膜(HTO膜)54を高温CVD法で堆積することにより、充填する。
さらに図11(F)の工程において前記HTO膜54を前記窒化膜43を研磨ストッパとした化学機械研磨により除去し、HTO素子分離絶縁膜54Aが前記素子分離絶縁膜44A上において前記素子分離溝41Aを充填する構造が得られる。さらに図11(G)の工程において、前記窒化膜43を熱燐酸処理により除去する。
さらに図11(H)の工程において図11(G)の構造をHFウェット処理して前記熱酸化膜42を除去し、露出したシリコン基板11の表面からシリコン層47をエピタキシャルに再成長させることにより、前記HTO素子分離絶縁膜54Aがシリコンエピタキシャル層47中に埋設された素子分離構造が得られる。
本実施例では、素子分離溝を充填する素子分離絶縁膜を、最初に大きなアスペクト比でも充填できるTEOS酸化膜などにより形成し、その上により高品質はHTO膜を堆積することにより形成することで、高性能素子分離構造を得ることができる。その際、本実施例では図11(E)の工程で堆積されたHTO膜54の実質的に全てを素子分離絶縁膜として使うことができ、さらに前記シリコン基板41上にシリコン層47をエピタキシャル再成長することにより前記シリコン基板41上に突出するHTO素子分離絶縁膜54Aを平坦化することが可能になる。
以上、本発明を好ましい実施例について説明したが、本発明はかかる特定の実施例に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された要旨内において様々な変形・変更が可能である。
(付記1)
基板と、
前記基板中に素子領域を画成するように形成された素子分離構造と、
前記素子領域中に形成された半導体素子とよりなる半導体装置において、
前記素子分離構造は、
前記基板中に前記素子領域を画成するように形成された素子分離溝と、
前記素子分離溝を充填する素子分離絶縁膜とよりなり、
前記素子分離絶縁膜は下部と上部とよりなり、前記下部と前記上部との間には段差部が存在することを特徴とする半導体装置。
基板と、
前記基板中に素子領域を画成するように形成された素子分離構造と、
前記素子領域中に形成された半導体素子とよりなる半導体装置において、
前記素子分離構造は、
前記基板中に前記素子領域を画成するように形成された素子分離溝と、
前記素子分離溝を充填する素子分離絶縁膜とよりなり、
前記素子分離絶縁膜は下部と上部とよりなり、前記下部と前記上部との間には段差部が存在することを特徴とする半導体装置。
(付記2)
前記上部は、前記下部よりも小さな幅を有することを特徴とする付記1記載の半導体装置。
前記上部は、前記下部よりも小さな幅を有することを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記3)
前記上部は、前記下部よりも大きな幅を有することを特徴とする付記1記載の半導体装置。
前記上部は、前記下部よりも大きな幅を有することを特徴とする付記1記載の半導体装置。
(付記4)
前記段差は、10nm以下の大きさを有することを特徴とする付記1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記段差は、10nm以下の大きさを有することを特徴とする付記1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記5)
前記上部は、20〜50nmの高さを有することを特徴とする付記1〜4のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記上部は、20〜50nmの高さを有することを特徴とする付記1〜4のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記6)
前記下部は、260〜360nmの高さを有することを特徴とする付記1〜5のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記下部は、260〜360nmの高さを有することを特徴とする付記1〜5のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記7)
前記素子分離絶縁膜は、3以上のアスペクト比を有することを特徴とする付記1〜6のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記素子分離絶縁膜は、3以上のアスペクト比を有することを特徴とする付記1〜6のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記8)
前記素子分離絶縁膜は、側壁面および底面を覆う熱酸化膜ライナーと、前記熱酸化膜ライナーの内側を充填するCVD酸化膜とよりなることを特徴とする付記1〜7のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記素子分離絶縁膜は、側壁面および底面を覆う熱酸化膜ライナーと、前記熱酸化膜ライナーの内側を充填するCVD酸化膜とよりなることを特徴とする付記1〜7のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記9)
前記素子分離絶縁膜は、側壁面および底面を覆う熱酸化膜ライナーと、前記熱酸化膜の内側に形成された窒化膜ライナーとを有し、前記窒化膜ライナーの内側は、CVD酸化膜により充填されていることを特徴とする付記1〜7のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記素子分離絶縁膜は、側壁面および底面を覆う熱酸化膜ライナーと、前記熱酸化膜の内側に形成された窒化膜ライナーとを有し、前記窒化膜ライナーの内側は、CVD酸化膜により充填されていることを特徴とする付記1〜7のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記10)
前記半導体素子は、60nm以下のゲート長を有することを特徴とする付記1〜9のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記半導体素子は、60nm以下のゲート長を有することを特徴とする付記1〜9のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記11)
前記基板は、前記素子分離絶縁膜の前記下部を保持するシリコン基板と、前記素子分離絶縁膜の前記上部を保持する、前記シリコン基板上に再成長したエピタキシャル層とよりなることを特徴とする付記1〜10のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記基板は、前記素子分離絶縁膜の前記下部を保持するシリコン基板と、前記素子分離絶縁膜の前記上部を保持する、前記シリコン基板上に再成長したエピタキシャル層とよりなることを特徴とする付記1〜10のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記12)
前記エピタキシャル層は、SiとGeを含むことを特徴とする付記11記載の半導体装置。
前記エピタキシャル層は、SiとGeを含むことを特徴とする付記11記載の半導体装置。
(付記13)
前記エピタキシャル層は、SiとGeとCを含むことを特徴とする付記11記載の半導体装置。
前記エピタキシャル層は、SiとGeとCを含むことを特徴とする付記11記載の半導体装置。
(付記14)
前記素子分離絶縁膜は、第1の組成を有する第1の部分と、前記第1の部分の上に形成され、第2の組成を有する第2の部分とよりなることを特徴とする付記1〜13のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
前記素子分離絶縁膜は、第1の組成を有する第1の部分と、前記第1の部分の上に形成され、第2の組成を有する第2の部分とよりなることを特徴とする付記1〜13のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
(付記15)
半導体基板上に、開口部を有する第1の絶縁膜よりなるマスクパターンを形成し、前記マスクパターンをマスクに、前記半導体基板中に素子分離溝を、前記開口部に対応して形成する工程と、
前記マスクパターン上に第2の絶縁膜を、前記素子分離溝を充填するように堆積する工程と、
前記第2の絶縁膜を、前記第1の絶縁膜が露出するまで化学機械研磨工程により除去し、前記素子分離絶縁膜中に残留した前記第2の絶縁膜により、素子分離絶縁膜を形成する工程と、
前記マスクパターンを除去し、前記半導体基板表面を露出する工程と、
前記露出した半導体基板表面から、半導体層をエピタキシャル成長させる工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
半導体基板上に、開口部を有する第1の絶縁膜よりなるマスクパターンを形成し、前記マスクパターンをマスクに、前記半導体基板中に素子分離溝を、前記開口部に対応して形成する工程と、
前記マスクパターン上に第2の絶縁膜を、前記素子分離溝を充填するように堆積する工程と、
前記第2の絶縁膜を、前記第1の絶縁膜が露出するまで化学機械研磨工程により除去し、前記素子分離絶縁膜中に残留した前記第2の絶縁膜により、素子分離絶縁膜を形成する工程と、
前記マスクパターンを除去し、前記半導体基板表面を露出する工程と、
前記露出した半導体基板表面から、半導体層をエピタキシャル成長させる工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
(付記16)
前記半導体層をエピタキシャル成長させる工程は、前記素子分離絶縁膜の上部が前記半導体層から露出するように実行されることを特徴とする付記15記載の半導体装置の製造方法。
前記半導体層をエピタキシャル成長させる工程は、前記素子分離絶縁膜の上部が前記半導体層から露出するように実行されることを特徴とする付記15記載の半導体装置の製造方法。
(付記17)
さらに、前記素子分離溝を形成する工程の後、前記第2の絶縁膜を堆積する工程の前に、前記マスクパターン中の前記開口部を拡大させる工程を含むことを特徴とする付記15または16記載の半導体装置の製造方法。
さらに、前記素子分離溝を形成する工程の後、前記第2の絶縁膜を堆積する工程の前に、前記マスクパターン中の前記開口部を拡大させる工程を含むことを特徴とする付記15または16記載の半導体装置の製造方法。
(付記18)
前記素子分離溝を形成する工程は、さらに前記素子分離溝表面に熱酸化膜を形成する工程を含み、前記開口部を拡大させる工程は、前記開口部の大きさを、前記熱酸化膜の厚さの分程度だけ増大させることを特徴とする付記17記載の半導体装置の製造方法。
前記素子分離溝を形成する工程は、さらに前記素子分離溝表面に熱酸化膜を形成する工程を含み、前記開口部を拡大させる工程は、前記開口部の大きさを、前記熱酸化膜の厚さの分程度だけ増大させることを特徴とする付記17記載の半導体装置の製造方法。
(付記19)
前記マスクパターンを除去する工程は、前記素子分離絶縁膜のうち、前記半導体基板表面から突出した突出部をエッチングする工程をさらに含み、前記突出部をエッチングする工程は、前記突出部の幅が、前記素子分離溝の幅に略等しくなるように実行されることを特徴とする付記18記載の半導体装置の製造方法。
前記マスクパターンを除去する工程は、前記素子分離絶縁膜のうち、前記半導体基板表面から突出した突出部をエッチングする工程をさらに含み、前記突出部をエッチングする工程は、前記突出部の幅が、前記素子分離溝の幅に略等しくなるように実行されることを特徴とする付記18記載の半導体装置の製造方法。
11,21,41 シリコン基板
11A,21A,41A 素子分離溝
12,21a,22,42 熱酸化膜
13,23,23N,43 窒化膜
15,44 CVD酸化膜
15X ボイド
21P,21N 素子領域
24A 素子分離絶縁膜
24B 素子分離絶縁膜上部
27 エピタキシャル再成長層
28 犠牲酸化膜
31 ゲート絶縁膜
32P,32N ゲート電極
32Pw,32Nw 側壁絶縁膜
33 シリサイド層
33N,33P ポケット注入領域
34sP,34sN ソースエクステンション領域
34dP,34dN ドレインエクステンション領域
34SP,34SN ソース領域
34DP,34DN ドレイン領域
44A 下部素子分離絶縁膜
44B 上部素子分離絶縁膜
11A,21A,41A 素子分離溝
12,21a,22,42 熱酸化膜
13,23,23N,43 窒化膜
15,44 CVD酸化膜
15X ボイド
21P,21N 素子領域
24A 素子分離絶縁膜
24B 素子分離絶縁膜上部
27 エピタキシャル再成長層
28 犠牲酸化膜
31 ゲート絶縁膜
32P,32N ゲート電極
32Pw,32Nw 側壁絶縁膜
33 シリサイド層
33N,33P ポケット注入領域
34sP,34sN ソースエクステンション領域
34dP,34dN ドレインエクステンション領域
34SP,34SN ソース領域
34DP,34DN ドレイン領域
44A 下部素子分離絶縁膜
44B 上部素子分離絶縁膜
Claims (7)
- 基板と、
前記基板中に素子領域を画成するように形成された素子分離構造と、
前記素子領域中に形成された半導体素子とよりなる半導体装置において、
前記素子分離構造は、
前記基板中に前記素子領域を画成するように形成された素子分離溝と、
前記素子分離溝を充填する素子分離絶縁膜とよりなり、
前記素子分離絶縁膜は下部と上部とよりなり、前記下部と前記上部との間には段差部が存在することを特徴とする半導体装置。 - 前記上部は、前記下部よりも小さな幅を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記上部は、前記下部よりも大きな幅を有することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記素子分離絶縁膜は、側壁面および底面を覆う熱酸化膜ライナーと、前記熱酸化膜の内側に形成された窒化膜ライナーとを有し、前記窒化膜ライナーの内側は、CVD酸化膜により充填されていることを特徴とする請求項1〜3のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
- 前記基板は、前記素子分離絶縁膜の前記下部を保持するシリコン基板と、前記素子分離絶縁膜の前記上部を保持する、前記シリコン基板上に再成長したエピタキシャル層とよりなることを特徴とする請求項1〜4のうち、いずれか一項記載の半導体装置。
- 半導体基板上に、開口部を有する第1の絶縁膜よりなるマスクパターンを形成し、前記マスクパターンをマスクに、前記半導体基板中に素子分離溝を、前記開口部に対応して形成する工程と、
前記マスクパターン上に第2の絶縁膜を、前記素子分離溝を充填するように堆積する工程と、
前記第2の絶縁膜を、前記第1の絶縁膜が露出するまで化学機械研磨工程により除去し、前記素子分離絶縁膜中に残留した前記第2の絶縁膜により、素子分離絶縁膜を形成する工程と、
前記マスクパターンを除去し、前記半導体基板表面を露出する工程と、
前記露出した半導体基板表面から、半導体層をエピタキシャル成長させる工程とを含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - さらに、前記素子分離溝を形成する工程の後、前記第2の絶縁膜を堆積する工程の前に、前記マスクパターン中の前記開口部を拡大させる工程を含むことを特徴とする請求項6記載の半導体装置の製造方法。
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