JP2006173403A - 軟磁性薄膜、その製造方法、垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 - Google Patents
軟磁性薄膜、その製造方法、垂直磁気記録媒体および磁気記録再生装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 本軟磁性薄膜は、金属イオンとしてCoイオン、Feイオン、Niイオンを含有し、錯化剤およびホウ素系還元剤を含有し、金属イオンの濃度比率が、モル単位で、0.15≦(Niイオン/全金属イオン)≦0.40、0.50≦(Coイオン量/全金属イオン量)≦0.80および、0.05≦(Feイオン量/全金属イオン量)≦0.15である無電解めっき浴中に基板を浸漬し、基板面に平行な5〜2000Oeの範囲の磁場中で無電解めっきを行って得ることができる。
【選択図】 図2
Description
「ザ・ジャーナル・オブ・エレクトロアナリティカル・ケミストリー(The Journal of Electroanalytical Chemistry)」,2000年,第491号,p.197〜202
以下に示すような構成の積層膜を作製し、その磁気特性を評価した。
軟磁性裏打ち層の無電解めっきは、めっき液として、金属源としてのCo、FeおよびNiの硫酸塩、錯化剤としてのクエン酸ナトリウム、酒石酸ナトリウム、ホウ素系還元剤としてのジメチルアミンボランを、純水に溶解した溶液を使用した。その際水酸化ナトリウムを添加してpHを9.0に調整した。めっき浴中には、下地層まで積層した基板を垂直に配置し、めっき操作中、この基板を、基板面の中心を通る、基板面に垂直な線を回転軸として、30回転/分(rpm)で回転した。
次に、図2にa,bで示す軟磁性膜を従来膜の例として採用し、本発明に係る軟磁性膜として、図2のd,eに示す軟磁性膜を採用して、下記のような構成の積層膜を作製し、垂直磁気記録媒体とした上で、記録再生特性を評価した。
それぞれの軟磁性裏打ち層(a,b,d,e)を有する垂直磁気記録媒体をそれぞれ媒体A,B,D,Eとした。記録再生特性において最も重要な指標の一つである出力/ノイズ比(S/N比)を、従来膜aを用いた媒体Aと比較し、ΔS/Nとしてま
とめた結果を表4に示す。なお、表4のBs値はVSMによる実測値である。表4に示されるように、従来膜aを用いた媒体Aに比べ、Hkを高めた本発明膜d,e用いた媒体D,Eは、ΔS/Nで0.8〜1.1dBと大幅な特性の向上が認められた。
これは、高いHkの軟磁性裏打ち層を用いた効果により記録再生時におけるトラック走行方向の磁化応答性が向上し、ノイズが減少した効果であると考えられる。また、従来膜bではHcが10Oeを超えているため媒体ノイズが増大しており、S/N比の向上は認められなかった。
図2のdの組成について、基板の回転数を変更した以外は実施例1と同様にして軟磁性薄膜を作製したところ、表5および図3に示す結果を得た。これらの結果より、基板を回転させることが有用であること、その際に回転の程度をコントロールすることにより、Hkの値を調整できることが理解される。なお、基板を回転させず、あるいは低い回転数を基板に与えた場合にHkが低いのは、金属の析出に伴い基板周辺の金属(Ni)濃度が相対的に低下するためと思われる。高い回転数を基板に与えた場合に金属の析出が認められなかったのは、金属の基板への付着が回転により物理的に阻害された結果、基板上での析出反応が進行しなかったものと考えられる。
2 軟磁性裏打ち層
3 シード層
4 非磁性中間層
5 情報記録層
6 媒体保護層
7 媒体潤滑層
10 垂直磁気記録媒体
Claims (8)
- Co、Fe、NiおよびBを含有する軟磁性薄膜であって、
当該軟磁性薄膜中のCo、Fe、NiおよびBの合計を100原子%とした場合に、Co含有量が40〜75原子%、Fe含有量が4〜20原子%、Ni含有量が20〜40原子%、B含有量が0.5〜5原子%の範囲にあり、
当該軟磁性薄膜が無電解めっき法により形成されたものであり、
当該軟磁性薄膜の異方性磁界(Hk)が30Oe以上である、
軟磁性薄膜。 - 保磁力(Hc)が10Oe以下である、請求項1に記載の軟磁性薄膜。
- 前記軟磁性薄膜が、
金属イオンとしてCoイオン、FeイオンおよびNiイオンを含有し、
錯化剤およびホウ素系還元剤を含有し、
金属イオンの濃度比率が、モル単位で、0.15≦(Niイオン/全金属イオン)≦0.40である
無電解めっき浴中に基板を浸漬して無電解めっきを行って形成されたものである、請求項1または2に記載の軟磁性薄膜。 - 金属イオンとしてCoイオン、Feイオン、Niイオンを含有し、
錯化剤およびホウ素系還元剤を含有し、
金属イオンの濃度比率が、モル単位で、
0.15≦(Niイオン/全金属イオン)≦0.40、
0.50≦(Coイオン量/全金属イオン量)≦0.80および、
0.05≦(Feイオン量/全金属イオン量)≦0.15、
である無電解めっき浴中に基板を浸漬し、
当該基板面に平行な5〜2000Oeの範囲の磁場中で無電解めっきを行う、
軟磁性薄膜製造方法。 - 前記無電解めっき中に、前記無電解めっき浴中で、前記基板を、基板面の中心を通る、基板面に垂直な線を回転軸として回転させ、その周速または回転数をコントロールする、請求項4に記載の軟磁性薄膜製造方法。
- ディスク面に対し垂直方向に磁化容易軸を有する硬磁性膜を情報記録層として用いる垂直磁気記録用媒体であって、当該情報記録層の下に、請求項1〜3のいずれかに記載の軟磁性薄膜よりなる軟磁性裏打ち層を設けた垂直磁気記録媒体。
- ディスク面に対し垂直方向に磁化容易軸を有する硬磁性膜を情報記録層として用いる垂直磁気記録用媒体であって、当該情報記録層の下に、請求項4または5に記載の軟磁性薄膜製造方法によって製造された軟磁性薄膜よりなる軟磁性裏打ち層を設けた垂直磁気記録媒体。
- 請求項6または7に記載の垂直磁気記録媒体を用いた磁気記録再生装置。
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