JP2006170720A - 回転検出装置および回転検出装置付き軸受 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 磁気センサアレイと、この磁気センサアレイに対向して回転する磁石とを組み合わせて回転検出装置を構成する。磁気センサアレイ5の各センサ素子は、4個で一組のセンサ素子組16とする。各組のセンサ素子組16の4つのセンサ素子5a〜5dは、それぞれ縦横の4方向に向けて配置し、かつ互いに並列に接続する。
【選択図】 図4
Description
ところが、上記のように磁気エンコーダ54を設けた構造では、転がり軸受51のサイズが小さい小径軸受においては、磁気センサ55を静止輪53の外径寸法内に収容することが難しかったり、1回転での回転パルス数を500以上確保できる程度の高精度な回転角度検出が難しいなどの欠点がある。
しかし、この構成の場合、半導体回路において、シリコン上に集積された回路素子に特性ばらつきが発生するのは避けられず、磁気センサアレイにおいてもセンサ素子のオフセットばらつきが発生し、角度検出精度の悪化原因となっている。
シリコンウェハ上に並べて形成される2つの磁気センサ素子45a,45bの間で、それぞれの2つのドレイン電流の大きさは無磁界状態で等しくなるのが理想であるが、製造プロセスによって傾斜成分が発生する。この傾斜成分が、例えば矢印Aに示す方向に存在するとすると、各磁気センサ素子45a,45bでは、同図に矢印a,bで示すように右方向に行くほど電流が流れ易くなり、これがオフセット信号の原因となる。上記のドレイン端子同士をクロスさせて接続する方法は、このように2つの素子45a,45bに発生するオフセット電流を互いに相殺させるものである。
この構成によると、4つのセンサ素子をそれぞれ縦横の4方向に向けて配置したため、各センサ素子は互いに90°ずれた向きとなる。この互いに90°ずれた向きのセンサ素子では、応力の効果が逆になる。そのため、上記のように4つのセンサ素子をそれぞれ縦横の4方向に向けて配置し、かつ互いに並列に接続してセンサ素子組とすることで、磁気センサアレイから出力される磁気信号から、半導体チップの歪みに起因するセンサ素子のオフセット信号を低減できる。オフセット信号が低減すると、回転検出装置の角度検出精度が向上し、ロータリエンコーダとしての分解能・精度を向上させることができる。この構成では、オフセット信号の低減のために、センサ素子の製造プロセスの変更を必要としないので、コスト増を招くこともない。
分散配置しても、十字形に配置した場合と略同等のオフセット信号の低減効果が得られる。分散配置した場合はセンサ素子の配置が制限されず、基板上に無駄な領域ができるだけ少なくなるように、センサ素子を効率良く配置することができる。
2種類の接続形態を設けると、いずれか一方の接続形態の磁気センサアレイからの出力だけを選択使用することにより、磁界信号と応力信号を選択して検出でき、回転センサと応力センサとに切替え使用することができる。
接続形態選択手段を設けることで、外部から上記2種類の接続形態を選択が容易に行えて、1つの磁気センサアレイを回転センサと応力センサとに切替え使用することが容易となる。
転がり軸受に回転検出装置を一体化することで、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。その場合に、回転検出装置は、上記のように小型で高精度な回転角度出力が可能であるため、小径軸受等の小型の軸受においても、満足できる回転角度出力を得ることができる。
この発明の回転検出装置付き軸受は、この発明における回転検出装置を転がり軸受に設けたため、軸受使用機器の部品点数、組立工数の削減、およびコンパクト化が図れる。
このように磁気センサアレイ5が形成された半導体チップ9は、その素子形成面が前記磁石4と対向するように非回転側部材2に取付けられる。半導体チップ9はシリコンチップである。
この磁気センサ素子5a〜5dでは、ソース領域33からドレイン領域34に向かって流れる電子e- にローレンツ力が働き、磁界Bz の強さに応じて2つのドレイン端子D1,D2に流れる電流I1 ,I2 が変化することから、センサ素子5a〜5dに印加されている磁界Bz の強さを検出する。
このようなオフセット信号のうち、センサチップの応力に起因するオフセット信号による角度検出精度の悪化が、図4に示したように、縦横に向く4個のセンサ素子5〜5dを並列接続してセンサ組16とすることで、後述のように防止される。
いま、図7に示す位置X1とX2に磁気センサアレイ5の検出磁界のN磁極とS磁極の境界であるゼロクロス位置があるとする。この状態で、磁気センサアレイ5の各センサ列5A〜5Dの出力が、図6(A)〜(D)に示す信号波形となる。したがって、ゼロクロス位置X1,X2は、センサ列5A,5Cの出力から直線近似することで算出できる。
角度計算は、次式(1)で行うことができる。
θ=tan-1(2L/b) ……(1)
ここで、θは、磁石4の回転角度θを絶対角度(アブソリュート値)で示した値である。2Lは、矩形に並べられる各磁気センサアレイ5の1辺の長さである。bは、ゼロクロス位置X1,X2間の横方向長さである。
ゼロクロス位置X1,X2がセンサ列5B,5Dにある場合には、それらの出力から得られるゼロクロス位置データにより、上記と同様にして回転角度θが算出される。
図10は、接続形態選択手段19となる回路の一例であり、センサ素子5a〜5d間を接続する配線731 〜734 の接続を、外部切換信号によって切り換える2つの切換スイッチ71,72が設けられている。切換スイッチ71,72は、半導体スイッチング素子からなる。
また、上記オフセット信号の低減処置として、センサ素子5a〜5dの製造プロセスの変更を必要としないので、コスト増を招くこともない。
外輪22にはセンサ取付部材27が取付けられ、このセンサ取付部材27に、図1の磁気センサアレイ5および角度算出手段6の集積された半導体チップ9が取付けられている。また、このセンサ取付部材27に、角度算出手段6の出力を取り出すための出力ケーブル29も取付けられている。センサ取付部材27は、外周部の先端円筒部27aを外輪22の内径面に嵌合させ、この先端円筒部27aの近傍に形成した鍔部27bを外輪22の幅面に係合させて軸方向の位置決めがなされている。
4…磁石
5…磁気センサアレイ
5a〜5d…磁気センサ素子
16…センサ素子組
19…接続形態選択手段
20…転がり軸受
Claims (6)
- 磁気センサアレイと、この磁気センサアレイに対向して回転する磁石とを組み合わせた回転検出装置において、前記磁気センサアレイの各センサ素子を、4個で一組のセンサ素子組とし、各組のセンサ素子組の4つのセンサ素子はそれぞれ縦横の4方向に向けて配置し、かつ互いに並列に接続したことを特徴とする回転検出装置。
- 請求項1において、各センサ素子組の4個のセンサ素子を、十字形に配置した回転検出装置。
- 請求項1において、各センサ素子組の4個のセンサ素子を分散して配置した回転検出装置。
- 請求項1ないし請求項3のいずれか1項において、縦方向のセンサ素子と横方向のセンサ素子との接続形態を2種類設けた回転検出装置。
- 請求項4において、前記2種類の接続形態を選択する接続形態選択手段を設けた回転検出装置。
- 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の回転検出装置を転がり軸受に設けた回転検出装置付き軸受。
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