JP2008045881A - 回転角度位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】磁気検出器の障害に対する耐性を向上し、低コストな回転角度位置検出装置を提供する。
【解決手段】軸受装置100は、軸受部1の回転側軌道輪2に取り付けられ、円周方向に周期的に磁気特性を変化させたエンコーダ7と、軸受部1の固定側軌道輪3に所定間隔をもって円周方向に配置された3つのアナログホールIC8a〜8cと、演算処理装置9とを有して構成されている。演算処理装置9は、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号に基づいて回転角度位置θを検出する一方、アナログホールIC8a〜8cのうちいずれかに障害が発生したことを検出したときは、回転角度位置θを補償する。
【選択図】 図2
【解決手段】軸受装置100は、軸受部1の回転側軌道輪2に取り付けられ、円周方向に周期的に磁気特性を変化させたエンコーダ7と、軸受部1の固定側軌道輪3に所定間隔をもって円周方向に配置された3つのアナログホールIC8a〜8cと、演算処理装置9とを有して構成されている。演算処理装置9は、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号に基づいて回転角度位置θを検出する一方、アナログホールIC8a〜8cのうちいずれかに障害が発生したことを検出したときは、回転角度位置θを補償する。
【選択図】 図2
Description
本発明は、軸受の回転角度位置を検出する装置に係り、特に、磁気検出器の障害に対する耐性を向上し、低コストな回転角度位置検出装置に関する。
従来、回転角度位置検出機能を備える軸受装置としては、例えば、特許文献1、2記載の技術が知られている。
特許文献1には、軸受の回転輪に取り付けられ、単極着磁された円環状の磁石と、電気角90°の位相差が形成される間隔をもって磁石の円周に沿って配置された2つの磁気検出器とを備え、2つの磁気検出器の出力信号に基づいて軸受の回転輪の絶対角度を算出するエンコーダ付軸受が開示されている。
特許文献1には、軸受の回転輪に取り付けられ、単極着磁された円環状の磁石と、電気角90°の位相差が形成される間隔をもって磁石の円周に沿って配置された2つの磁気検出器とを備え、2つの磁気検出器の出力信号に基づいて軸受の回転輪の絶対角度を算出するエンコーダ付軸受が開示されている。
特許文献2には、磁界を発生するマグネットと、磁界内に設けられた4つの磁気検出器(ホール素子)と、各磁気検出器間に設けられていて、磁気検出器に固定されて一体に回転するように結合された、強磁性材製の磁束案内部材とを備え、マグネットは、磁気検出器および磁束案内部材に関して回転可能に構成された角度センサが開示されている。
特開2004−4028号公報
特表2002−506530号公報
しかしながら、特許文献1記載の技術のように磁気検出部が2つしかない構成では、一方に障害が発生したときに機能が維持できなくなる。また、特許文献2記載の技術のように磁気検出部が4つの構成では、コスト高となる。
そこで、本発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、磁気検出器の障害に対する耐性を向上し、低コストな回転角度位置検出装置を提供することを目的としている。
そこで、本発明は、このような従来の技術の有する未解決の課題に着目してなされたものであって、磁気検出器の障害に対する耐性を向上し、低コストな回転角度位置検出装置を提供することを目的としている。
〔発明1〕 上記目的を達成するために、発明1の回転角度位置検出装置は、軸受の2つの軌道輪の一方に取り付けられ、円周方向に周期的に磁気特性を変化させたエンコーダと、前記2つの軌道輪の他方に所定間隔をもって円周方向に配置された少なくとも3つの磁気検出器と、前記磁気検出器からの出力信号に基づいて前記軸受の回転角度位置を検出する回転角度位置検出手段とを備え、前記回転角度位置検出手段は、前記少なくとも3つの磁気検出器からの出力信号に基づいて前記少なくとも3つの磁気検出器のうちいずれかに障害が発生したことを検出したときは、前記回転角度位置を補償する。
このような構成であれば、軌道輪のいずれかが回転すると、これに伴ってエンコーダと磁気検出器が相対的に回転する。エンコーダは、円周方向に周期的に磁気特性が変化しているので、回転によって磁気検出器の周辺の磁界が変化し、この変化を磁気検出器で検出することにより、磁界の変化に応じた出力信号が得られる。そして、回転角度位置検出手段により、磁気検出器からの出力信号に基づいて回転角度位置が検出される。
一方、稼働中に少なくとも3つの磁気検出器のうちいずれかに破損等により障害が発生すると、回転角度位置検出手段により、回転角度位置が補償される。すなわち、障害が発生するとフェールセーフ機能が作動して回転角度位置が補償される。
ここで、回転角度位置の補償とは、例えば、障害が発生した磁気検出器を除く他の磁気検出器からの出力信号に基づいて、障害による影響を低減するように回転角度位置を検出、算出または補正することをいう。
ここで、回転角度位置の補償とは、例えば、障害が発生した磁気検出器を除く他の磁気検出器からの出力信号に基づいて、障害による影響を低減するように回転角度位置を検出、算出または補正することをいう。
〔発明2〕 さらに、発明2の回転角度位置検出装置は、発明1の回転角度位置検出装置において、前記回転角度位置検出手段は、前記少なくとも3つの出力信号から2つを選択するすべての組み合わせについて、当該2つの出力信号に基づいて前記回転角度位置をそれぞれ算出し、算出した回転角度位置の平均値を出力する。
このような構成であれば、回転角度位置検出手段により、少なくとも3つの出力信号から2つを選択するすべての組み合わせについて、その2つの出力信号に基づいて回転角度位置がそれぞれ算出され、算出された回転角度位置の平均値が出力される。
このような構成であれば、回転角度位置検出手段により、少なくとも3つの出力信号から2つを選択するすべての組み合わせについて、その2つの出力信号に基づいて回転角度位置がそれぞれ算出され、算出された回転角度位置の平均値が出力される。
〔発明3〕 さらに、発明3の回転角度位置検出装置は、発明1の回転角度位置検出装置において、前記エンコーダは、円周方向にS極とN極を交互に着磁した円環状の永久磁石である。
〔発明4〕 さらに、発明4の回転角度位置検出装置は、発明1の回転角度位置検出装置において、前記磁気検出器は、アナログホールICである。
〔発明5〕 さらに、発明5の回転角度位置検出装置は、発明1の回転角度位置検出装置において、前記磁気検出器が3つの場合は、それぞれ電気角120°の位相差が形成される間隔をもって配置されている。
〔発明4〕 さらに、発明4の回転角度位置検出装置は、発明1の回転角度位置検出装置において、前記磁気検出器は、アナログホールICである。
〔発明5〕 さらに、発明5の回転角度位置検出装置は、発明1の回転角度位置検出装置において、前記磁気検出器が3つの場合は、それぞれ電気角120°の位相差が形成される間隔をもって配置されている。
以上説明したように、発明1の回転角度位置検出装置によれば、少なくとも3つの磁気検出器により回転角度位置の検出および補償を行うので、従来に比して、磁気検出器の障害に対する耐性を向上することができるとともにコストを低減することができるという効果が得られる。
さらに、発明2の回転角度位置検出装置によれば、複数の検出結果の平均値を回転検出位置として検出するので、高精度な検出を実現することができるという効果が得られる。
さらに、発明2の回転角度位置検出装置によれば、複数の検出結果の平均値を回転検出位置として検出するので、高精度な検出を実現することができるという効果が得られる。
以下、本発明の第1の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図1ないし図4は、本発明に係る回転角度位置検出装置の第1の実施の形態を示す図である。また、磁気検出器が3つの場合を示す。
まず、本発明を適用する軸受装置100の構成を説明する。
図1は、軸受装置100の軸方向の部分断面図である。
軸受装置100は、図1に示すように、転動体4を介して互いに回転自在な回転側軌道輪2および固定側軌道輪3を有する軸受部1と、回転側軌道輪2の一端に取り付けられたエンコーダ7と、エンコーダ7に対向して固定側軌道輪3の一端に取り付けられた磁気検出器8と、磁気検出器8からの出力信号に基づいて回転角度位置θを検出する演算処理装置9とを有して構成されている。
まず、本発明を適用する軸受装置100の構成を説明する。
図1は、軸受装置100の軸方向の部分断面図である。
軸受装置100は、図1に示すように、転動体4を介して互いに回転自在な回転側軌道輪2および固定側軌道輪3を有する軸受部1と、回転側軌道輪2の一端に取り付けられたエンコーダ7と、エンコーダ7に対向して固定側軌道輪3の一端に取り付けられた磁気検出器8と、磁気検出器8からの出力信号に基づいて回転角度位置θを検出する演算処理装置9とを有して構成されている。
軸受部1は、深溝玉軸受からなり、その内輪が回転側軌道輪2となり、その外輪が固定側軌道輪3となる。回転側軌道輪2の外径面および固定側軌道輪3の内径面には転動体4の軌道面2a、3aが形成されており、転動体4は、保持器5で保持されている。回転側軌道輪2と固定側軌道輪3の間の環状空間は、エンコーダ7および磁気検出器8の設置側とは反対側の端部がシール部材10で密封されている。
エンコーダ7は、環状のバックメタル11と、バックメタル11の外周面に設けられ、円周方向にN極およびS極が交互に着磁された磁気発生部材12とを有して構成されている。エンコーダ7は、バックメタル11を介して回転側軌道輪2に固定されている。磁気発生部材12は、例えば、ゴム磁石として構成され、バックメタル11に加硫接着される。磁気発生部材12は、永久磁石として構成されるが、プラスチック磁石や焼結磁石で形成されたものであってもよく、この場合は、バックメタル11は必ずしも設けなくてもよい。
図2は、軸受装置100の径方向を断面としたブロック図である。
エンコーダ7は、図2に示すように、左半周の円周面がN極に着磁され、右半周の円周面がS極に着磁されている。したがって、回転側軌道輪2が1回転すると磁気特性が1周期変化する。
磁気検出器8は、磁束密度に応じた出力信号を発生する3つのアナログホールIC8a〜8cからなる。アナログホールIC8a〜8cは、電気角120°の位相差が形成される間隔をもって円周方向に配置されている。本実施の形態では、回転側軌道輪2の1回転につき磁気特性が1周期するので、機械角120°の間隔をもって配置される。アナログホールIC8a〜8cは、演算処理装置9に搭載され、演算処理装置9とともに樹脂ケース15内に挿入した後に樹脂モールドされる。樹脂ケース15を、金属ケース16を介して固定側軌道輪3に固定することにより、アナログホールIC8a〜8cおよび演算処理装置9が固定側軌道輪3に取り付けられる。
エンコーダ7は、図2に示すように、左半周の円周面がN極に着磁され、右半周の円周面がS極に着磁されている。したがって、回転側軌道輪2が1回転すると磁気特性が1周期変化する。
磁気検出器8は、磁束密度に応じた出力信号を発生する3つのアナログホールIC8a〜8cからなる。アナログホールIC8a〜8cは、電気角120°の位相差が形成される間隔をもって円周方向に配置されている。本実施の形態では、回転側軌道輪2の1回転につき磁気特性が1周期するので、機械角120°の間隔をもって配置される。アナログホールIC8a〜8cは、演算処理装置9に搭載され、演算処理装置9とともに樹脂ケース15内に挿入した後に樹脂モールドされる。樹脂ケース15を、金属ケース16を介して固定側軌道輪3に固定することにより、アナログホールIC8a〜8cおよび演算処理装置9が固定側軌道輪3に取り付けられる。
図3は、回転側軌道輪2の回転に伴うアナログホールIC8a〜8cの出力信号の波形図を示す。
図3に示すように、アナログホールIC8a〜8cを用いることにより、象限判別が可能となり、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号に基づいて回転角度位置θを算出することができる。
図3に示すように、アナログホールIC8a〜8cを用いることにより、象限判別が可能となり、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号に基づいて回転角度位置θを算出することができる。
次に、演算処理装置9の構成を説明する。
図4は、演算処理装置9で実行される回転角度位置検出処理を示すフローチャートである。
演算処理装置9は、磁気検出器8への電力供給および磁気検出器8の信号処理を行い、回転角度位置θを外部に出力するものであって、図4のフローチャートに示す回転角度位置検出処理を周期的に実行する。
回転角度位置検出処理は、演算処理装置9において実行されると、図4に示すように、まず、ステップS100に移行する。
図4は、演算処理装置9で実行される回転角度位置検出処理を示すフローチャートである。
演算処理装置9は、磁気検出器8への電力供給および磁気検出器8の信号処理を行い、回転角度位置θを外部に出力するものであって、図4のフローチャートに示す回転角度位置検出処理を周期的に実行する。
回転角度位置検出処理は、演算処理装置9において実行されると、図4に示すように、まず、ステップS100に移行する。
ステップS100では、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号データをそれぞれ取得し、ステップS102に移行して、アナログホールIC8a、8bの出力信号データに基づいて回転角度位置θABを算出し、ステップS104に移行する。
ステップS104では、アナログホールIC8b、8cの出力信号データに基づいて回転角度位置θBCを算出し、ステップS106に移行して、アナログホールIC8a、8cの出力信号データに基づいて回転角度位置θCAを算出し、ステップS108に移行する。
ステップS104では、アナログホールIC8b、8cの出力信号データに基づいて回転角度位置θBCを算出し、ステップS106に移行して、アナログホールIC8a、8cの出力信号データに基づいて回転角度位置θCAを算出し、ステップS108に移行する。
ステップS108では、算出した回転角度位置θAB、θBC、θCAの相互の差分のうちいずれかが所定値以上であるか否かを判定し、いずれの差分も所定値未満であると判定したとき(No)は、ステップS110に移行する。
ステップS110では、算出した回転角度位置θAB、θBC、θCAの平均値を回転角度位置θとして算出し、ステップS112に移行して、算出した回転角度位置θを外部に出力し、一連の処理を終了して元の処理に復帰させる。
ステップS110では、算出した回転角度位置θAB、θBC、θCAの平均値を回転角度位置θとして算出し、ステップS112に移行して、算出した回転角度位置θを外部に出力し、一連の処理を終了して元の処理に復帰させる。
一方、ステップS108で、いずれかの差分が所定値以上であると判定したとき(Yes)は、アナログホールIC8a〜8cのうちいずれかに障害が発生したと判定し、ステップS114に移行して、算出した回転角度位置θAB、θBC、θCAのうち、障害が発生したアナログホールICを除く他のアナログホールICからの出力信号データに基づき算出されたものを回転角度位置θとして選択し、ステップS112に移行する。正常なアナログホールICに係る回転角度位置は、例えば、回転角度位置θAB、θBC、θCAの相互の差分値に基づいて特定することができる。
次に、本実施の形態の動作を説明する。
回転側軌道輪2が回転すると、これに伴ってエンコーダ7が回転する。エンコーダ7は、円周方向に周期的に磁気特性が変化しているので、回転によってアナログホールIC8a〜8cの周辺の磁束密度が変化し、この変化をアナログホールIC8a〜8cで検出することにより、磁束密度の変化に応じた出力信号が得られる。
演算処理装置9では、ステップS100〜S112を経て、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号データに基づいて回転角度位置θAB、θBC、θCAが算出され、それらの平均値が回転角度位置θとして出力される。
回転側軌道輪2が回転すると、これに伴ってエンコーダ7が回転する。エンコーダ7は、円周方向に周期的に磁気特性が変化しているので、回転によってアナログホールIC8a〜8cの周辺の磁束密度が変化し、この変化をアナログホールIC8a〜8cで検出することにより、磁束密度の変化に応じた出力信号が得られる。
演算処理装置9では、ステップS100〜S112を経て、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号データに基づいて回転角度位置θAB、θBC、θCAが算出され、それらの平均値が回転角度位置θとして出力される。
一方、稼働中に3つのアナログホールIC8a〜8cのうちいずれかに破損等により障害が発生すると、演算処理装置9では、ステップS100〜S108、S114、S112を経て、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号データに基づいて回転角度位置θAB、θBC、θCAが算出され、回転角度位置θAB、θBC、θCAのうち、障害が発生していない正常なアナログホールICからの出力信号データにのみ基づいて算出されたものが回転角度位置θとして出力される。例えば、アナログホールIC8aに障害が発生した場合は、回転角度位置θBCが出力される。すなわち、障害が発生するとフェールセーフ機能が作動して回転角度位置θが補償される。
このようにして、本実施の形態では、回転側軌道輪2に取り付けられ、円周方向に周期的に磁気特性を変化させたエンコーダ7と、固定側軌道輪3に所定間隔をもって円周方向に配置された3つのアナログホールIC8a〜8cと、演算処理装置9とを備え、演算処理装置9は、アナログホールIC8a〜8cからの出力信号に基づいて回転角度位置θを検出する一方、アナログホールIC8a〜8cのうちいずれかに障害が発生したことを検出したときは、回転角度位置θを補償する。
これにより、3つのアナログホールIC8a〜8cにより回転角度位置θの検出および補償を行うので、従来に比して、アナログホールIC8a〜8cの障害に対する耐性を向上することができるとともにコストを低減することができる。
これにより、3つのアナログホールIC8a〜8cにより回転角度位置θの検出および補償を行うので、従来に比して、アナログホールIC8a〜8cの障害に対する耐性を向上することができるとともにコストを低減することができる。
さらに、本実施の形態では、演算処理装置9は、3つの出力信号から2つを選択するすべての組み合わせについて、その2つの出力信号に基づいて回転角度位置θAB、θBC、θCAをそれぞれ算出し、算出した回転角度位置θAB、θBC、θCAの平均値を回転角度位置θとして出力する。
これにより、複数の検出結果の平均値を回転検出位置θとして検出するので、高精度な検出を実現することができる。
上記第1の実施の形態において、アナログホールIC8a〜8cは、発明1、4または5の磁気検出器に対応し、演算処理装置9は、発明1または2の回転角度位置検出手段に対応している。
これにより、複数の検出結果の平均値を回転検出位置θとして検出するので、高精度な検出を実現することができる。
上記第1の実施の形態において、アナログホールIC8a〜8cは、発明1、4または5の磁気検出器に対応し、演算処理装置9は、発明1または2の回転角度位置検出手段に対応している。
次に、本発明の第2の実施の形態を図面を参照しながら説明する。図5は、本発明に係る回転角度位置検出装置の実施の形態を示す図である。
本実施の形態は、上記第1の実施の形態に対して、回転側軌道輪2の1回転につき磁気特性が多周期となるようにした点が異なる。また、磁気検出器が3つの場合を示す。
まず、エンコーダ7の構成を説明する。
図5は、軸受装置100の径方向を断面としたブロック図である。
エンコーダ7は、図5に示すように、円周を12等分して各区分にN極およびS極が交互に現れるように着磁されている。したがって、回転側軌道輪2が1回転すると磁気特性が6周期変化する。
本実施の形態は、上記第1の実施の形態に対して、回転側軌道輪2の1回転につき磁気特性が多周期となるようにした点が異なる。また、磁気検出器が3つの場合を示す。
まず、エンコーダ7の構成を説明する。
図5は、軸受装置100の径方向を断面としたブロック図である。
エンコーダ7は、図5に示すように、円周を12等分して各区分にN極およびS極が交互に現れるように着磁されている。したがって、回転側軌道輪2が1回転すると磁気特性が6周期変化する。
アナログホールIC8a〜8cは、電気角120°の位相差が形成される間隔をもって円周方向に配置されている。本実施の形態では、回転側軌道輪2の1回転につき磁気特性が6周期するので、機械角20°の間隔をもって配置される。
なお、12等分に限らず、円周をn(n=2、3、4…)等分して各区分にN極およびS極が交互に現れるように着磁した場合は、アナログホールIC8a〜8cは、機械角240/n[°]の間隔をもって配置すればよい。
なお、上記第1および第2の実施の形態においては、演算処理装置9を軸受装置100に内蔵したが、これに限らず、軸受装置100に外付けで設けてもよい。
なお、12等分に限らず、円周をn(n=2、3、4…)等分して各区分にN極およびS極が交互に現れるように着磁した場合は、アナログホールIC8a〜8cは、機械角240/n[°]の間隔をもって配置すればよい。
なお、上記第1および第2の実施の形態においては、演算処理装置9を軸受装置100に内蔵したが、これに限らず、軸受装置100に外付けで設けてもよい。
また、上記第1および第2の実施の形態において、演算処理装置9の出力形式について特に説明しなかったが、演算処理装置9は、回転角度位置θをパルス信号として出力し、またはパルス信号のインクリメント信号若しくはデクリメント信号として出力するように構成することもできる。
パルス信号を出力する場合、例えば、電気角1周期を1024分割するとすると、上記第1の実施の形態では、回転側軌道輪2の1回転につき1024パルスであるのに対し、上記第2の実施の形態では、回転側軌道輪2の1回転につき1024×nの高分解能なパルスを出力することができる。
パルス信号を出力する場合、例えば、電気角1周期を1024分割するとすると、上記第1の実施の形態では、回転側軌道輪2の1回転につき1024パルスであるのに対し、上記第2の実施の形態では、回転側軌道輪2の1回転につき1024×nの高分解能なパルスを出力することができる。
インクリメント信号を出力する場合、例えば、電気角1周期を1024分割するとすると、上記第1の実施の形態では、機械角360°が0〜1023の値に変換されるのに対し、上記第2の実施の形態では、電気角360°が0〜1023の値に変換され、周期数分だけ繰り返し出力される。
また、上記第1および第2の実施の形態においては、深溝玉軸受に適用したが、これに限定するものではなく、円錐ころ軸受、ニードル軸受、ころ軸受、複列軸受その他任意の種類の軸受に適用することができる。
また、上記第1および第2の実施の形態においては、深溝玉軸受に適用したが、これに限定するものではなく、円錐ころ軸受、ニードル軸受、ころ軸受、複列軸受その他任意の種類の軸受に適用することができる。
また、上記第1および第2の実施の形態においては、電気角120°の位相差が形成される間隔をもって3つのアナログホールIC8a〜8cを配置したが、これに限らず、4つ以上のアナログホールICを電気角120°以外の位相差が形成される間隔をもって配置することもできる。ただし、アナログホールICが3つの場合は、アナログホールIC8a〜8cを点対称に配置することにより平均化が容易となるので、電気角120°とするのが好ましい。
100 仮想オブジェクト管理装置
100 軸受装置
1 軸受部
2 回転側軌道輪
3 固定側軌道輪
2a、3a 軌道面
4 転動体
5 保持器
7 エンコーダ
8 磁気検出器
8a〜8c アナログホールIC
9 演算処理装置
10 シール部材
11 バックメタル
12 磁気発生部材
15 樹脂ケース
16 金属ケース
100 軸受装置
1 軸受部
2 回転側軌道輪
3 固定側軌道輪
2a、3a 軌道面
4 転動体
5 保持器
7 エンコーダ
8 磁気検出器
8a〜8c アナログホールIC
9 演算処理装置
10 シール部材
11 バックメタル
12 磁気発生部材
15 樹脂ケース
16 金属ケース
Claims (5)
- 軸受の2つの軌道輪の一方に取り付けられ、円周方向に周期的に磁気特性を変化させたエンコーダと、前記2つの軌道輪の他方に所定間隔をもって円周方向に配置された少なくとも3つの磁気検出器と、前記磁気検出器からの出力信号に基づいて前記軸受の回転角度位置を検出する回転角度位置検出手段とを備え、
前記回転角度位置検出手段は、前記少なくとも3つの磁気検出器からの出力信号に基づいて前記少なくとも3つの磁気検出器のうちいずれかに障害が発生したことを検出したときは、前記回転角度位置を補償することを特徴とする回転角度位置検出装置。 - 請求項1において、
前記回転角度位置検出手段は、前記少なくとも3つの出力信号から2つを選択するすべての組み合わせについて、当該2つの出力信号に基づいて前記回転角度位置をそれぞれ算出し、算出した回転角度位置の平均値を出力することを特徴とする回転角度位置検出装置。 - 請求項1において、
前記エンコーダは、円周方向にS極とN極を交互に着磁した円環状の永久磁石であることを特徴とする回転角度位置検出装置。 - 請求項1において、
前記磁気検出器は、アナログホールICであることを特徴とする回転角度位置検出装置。 - 請求項1において、
前記磁気検出器が3つの場合は、それぞれ電気角120°の位相差が形成される間隔をもって配置されていることを特徴とする回転角度位置検出装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2006218848A JP2008045881A (ja) | 2006-08-10 | 2006-08-10 | 回転角度位置検出装置 |
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---|---|
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Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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