JP4794219B2 - 磁気アレイセンサ回路およびこれを用いた回転検出装置 - Google Patents
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非特許文献2は、磁気センサ素子MAGFETをマトリクス状に並べて、磁界分布を検出する方法を提示している。また、単純な電圧変換回路による読み出し回路を使用し、センサ出力のオフセットばらつきが大きいことを述べている。
一方、半導体で構成されたセンサチップでは、温度等の環境変化によって特性が変動することは避けられない。すなわち、上記した構成のセンサ部の場合、環境変化に伴ってセンサ出力信号がドリフトし、さらに信号の読み出し回路も環境変化の影響を受けるため、最終的に得られる回転角度の検出精度が環境変化によって悪化してしまうという問題がある。
この発明の他の目的は、環境変化による影響を受けないでセンサ信号を読み出す回路構成を実現することである。
この発明のさらに他の目的は、上記オフセットばらつきを低減でき、またセンサ信号への環境変化の影響を無くして、精度のよい検出信号を得ることのできる回転検出回路を提供することである。
磁気センサ素子は、線形領域で動作させると、飽和領域で動作させる場合に比べてオフセットばらつきが減少するという特性がある。この発明は、磁気センサ素子を線形領域で動作させるようにしたので、アレイ状に並べられた多数の磁気センサ素子のオフセットばらつきを低減することができる。このため、オフセットバラツキの少ない精度の良い検出が行え、センサアレイの出力信号の品質を高めることができる。例えば、この磁気アレイセンサ回路を回転検出装置に適用した場合には、磁気センサアレイの出力信号の品質を高めて、回転角度検出計算の精度を確保することが可能となる。
この種の磁気トランジタは、例えば、ゲート電圧を固定した状態で、ドレイン電圧を下げて磁気トランジスタの動作状態を飽和領域動作から線形領域動作にして行くと、オフセットばらつきが減少して行く。この現象を実現するには、磁気トランジスタの2つのドレイン端子の電圧をできる限り同じ電圧に保つ必要がある。したがって、流れる電流に依存せずに、ドレイン端子電圧を同電位に保つ機能を持つ制御回路を装備することで、オフセットばらつきを抑えつつ信号を読み出す回路が実現できる。
このような制御回路として、全差動増幅回路で構成されたものや、シングルエンド増幅回路で構成されたものが採用できる。全差動増幅回路とシングルエンド増幅回路のいずれにおいても、上記フィードバックにより、両ドレイン端子を同電位とすることができる。前記制御回路をシングルエンド増幅回路で構成されたものとする場合、前記制御回路は、スイッチとキャパシタを用いたオフセット補償回路によって、増幅回路の内部オフセットを補償する構成のものであっても良い。
この構成によると、磁気センサアレイを構成する磁気センサ素子を線形領域で動作させることで、磁気センサ素子のオフセットばらつきを低減することができる。あるいは、磁気アレイセンサ回路でのオフセットや環境変化の影響も除去することが可能になる。その結果、回転検出装置の角度検出精度が向上し、ロータリエンコーダとしての分解能・精度を向上させることができる。
この磁気トランジスタTでは、ソース領域33からドレイン領域34に向かって流れる電子e- にローレンツ力が働き、素子面に垂直な磁界Bz が印加されたとき、その磁界Bz の強さに応じて2つのドレイン端子D1,D2に流れる電流I1 ,I2 が変化することから、磁気トランジスタTに印加される磁界Bz の強さを検出する。すなわち、磁気トランジスタTは、素子面に垂直な磁界Bz が印加されたときに生じる回路電流のアンバランスを検出する。
差電流検出回路16は、前記磁気センサ素子51 〜5n における2つの電流の差2ΔIを抽出する回路である。電流・電圧変換回路17は、前記差電流検出回路16によって抽出された差電流を電圧信号Vout に変換してセンサ信号として出力する回路である。
このように、差電流検出回路16および電流・電圧変換回路17により、磁気センサ素子51 〜5n に磁界が印加されたときの差電流が抽出され、電圧信号に増幅されてセンサ信号が電圧信号として得られる。
この磁気トランジスタTからなる磁気センサ素子51 〜5n を図1のように多数並べて磁気センサアレイ5を構成すると、個々の素子特性のばらつきによってセンサ出力がばらつき、オフセットばらつきが現れる。
図4は、この磁気センサアレイ5における、磁界の無い状態での各磁気センサ素子51 〜5n のセンサ出力信号(オフセット信号)の例を示している。この磁気センサアレイ5に磁界Bz を印加すると出力信号が変化するが、その信号にはオフセット信号が重畳しており、磁気センサアレイ5が担う磁界分布計測の障害となる。
この現象を利用してオフセットばらつきを小さく抑え、センサ信号を読み出すことができれば都合が良い。ただし、この状態を実現するには、流れる電流に依存せずに磁気トランジスタTの2つのドレイン端子D1,D2の電圧Vd を同電位に保つ必要がある。 図1における制御回路18は、この同電位に保つ機能を担うものであり、これにより、この磁気アレイセンサ回路ではオフセットばらつきを抑えつつセンサ信号を読み出すようにされている。
(1)スイッチS1をオンにした状態で、センサ電流が安定するまで待つ。
(2)すると、キャパシタCには、基準電圧Vd と実際のドレイン端子電圧Vd1,Vd2との差Vosが記憶される。
(3)このとき、フィードバック端子(−端子)にはVd +Vosが入力されている。
(4)つぎにスイッチS1をオフにする。
(5)さらにスイッチS2をオンにすると、フィードバック端子(−端子)にはVosを蓄えたキャパシタCが接続されているので、センサのドレイン端子電圧がVd になり、オフセットがキャンセルされる。
このようにして、両ドレイン端子電圧Vd1,Vd2を、高い精度で基準電圧Vd に一致するように制御できる。
この磁気アレイセンサ回路11では、磁気センサ素子の2つの出力端子(ドレイン端子)を短絡させた基準センサ素子5ref と、この基準センサ素子5ref を選択して読み出されたセンサ信号を基準オフセット値として記憶するオフセット出力記憶素子30と、この記憶された基準オフセット値の他の磁気センサ素子51 〜5n の出力から減算するアナログ減算回路31(図9)とを設けている。オフセット出力記憶素子30は、キャパシタ等のアナログ素子でも良いし、オフセット誤差をAD変換したデジタル値として記憶する素子であっても良い。また、アナログ減算回路31に替えて、減算をデジタル値で行う回路を用いても良い。
この実施形態の磁気アレイセンサ回路11は、上記環境変化の影響を受け難くする手段として、上記基準センサ素子5ref 、オフセット出力記憶素子30、およびアナログ減算回路31を設けたものである。
基準センサ素子5ref は、磁気センサアレイ5の一部として、各磁気センサ素子51 〜5n と共に並べて配置し、センサ選択回路19によって選択して動作可能とされる。その他の構成は図1の実施形態の場合と同じである。
なお、図8はセンサ選択回路19が基準センサ素子5ref を選択した状態を、図9は他の磁気センサ素子51 〜5n の一部(ここでは51 )を選択した状態をそれぞれ示す。
(1)図8のように、センサ選択回路19が基準センサ素子5ref を選択して、基準センサ素子5ref のセンサ信号を読み出すと、基準センサ素子5ref は2出力端子が短絡されていてオフセットがない状態にあるので、増幅回路などで構成された磁気アレイセンサ回路11の内部で発生するオフセット誤差だけが抽出されて出力に現れる。すなわち、差電流検出回路16の誤差はIoffsetとして出力され、その値が電流・電圧変換回路17で電圧に変換されてVoffsetとして出力される。
この磁気アレイセンサ回路11の場合、制御回路18の機能により、磁気センサ素子51 〜5n のオフセットばらつきが十分に低減できるだけでなく、基準センサ素子5ref 、オフセット出力記憶素子30、およびアナログ減算回路31の機能によって、磁気アレイセンサ回路11でのオフセットや環境変化の影響も除去することが可能になる。したがって、この磁気アレイセンサ回路11を例えば回転検出装置に適用した場合、磁気センサアレイ5の出力信号のばらつきが抑えられて回転角度検出精度が向上すると共に、環境変化による回転角度検出性能の悪化も低く抑えることができる。
いま、図15に示す位置X1とX2に磁気センサアレイ5の検出磁界のN磁極とS磁極の境界であるゼロクロス位置があるとする。この状態で、磁気センサアレイ5の各センサ列5A〜5Dの出力が、図14(A)〜(D)に示す信号波形となる。したがって、ゼロクロス位置X1,X2は、センサ列5A,5Cの出力から直線近似することで算出することができる。
角度計算は、次式(1)で行うことができる。
θ=tan-1(2L/b) ……(1)
ここで、θは、磁石4の回転角度θを絶対角度(アブソリュート値)で示した値である。2Lは、矩形に並べられる各磁気センサアレイ5の1辺の長さである。bは、ゼロクロス位置X1,X2間の横方向長さである。
ゼロクロス位置X1,X2がセンサ列5B,5Dにある場合には、それらの出力から得られるゼロクロス位置データにより、上記と同様にして回転角度θが算出される。
外輪22にはセンサ取付部材27が取付けられ、このセンサ取付部材27に、図11の磁気センサアレイ5および角度算出手段6の集積された半導体チップ9が取付けられている。また、このセンサ取付部材27に、角度算出手段6の出力を取り出すための出力ケーブル29も取付けられている。センサ取付部材27は、外周部の先端円筒部27aを外輪22の内径面に嵌合させ、この先端円筒部27aの近傍に形成した鍔部27bを外輪22の幅面に係合させて軸方向の位置決めがなされている。
4…磁石
5…磁気センサアレイ
51 〜5n …磁気センサ素子
5ref …基準センサ素子
11…磁気アレイセンサ回路
18…制御回路
30…オフセット出力記憶素子
31…アナログ減算回路
37…全差動増幅回路
38…シングルエンド増幅回路
D1,D2…ドレイン端子
C…キャパシタ
S1,S2…スイッチ
Claims (3)
- 磁気センサ素子をアレイ状に並べた磁気センサアレイの出力を処理する磁気アレイセンサ回路であって、前記磁気センサ素子が2つのドレイン端子を有する電界効果型の磁気トランジスタであり、前記磁気センサ素子における前記2つのドレイン端子を流れる電流の差を抽出する差電流検出回路と、この差電流検出回路によって抽出された差電流を電圧信号に変換してセンサ信号として出力する電流・電圧変換回路とを設け、前記磁気センサ素子を線形領域で動作させる手段として、前記磁気センサ素子の2つのドレイン端子の電圧を同電位とする制御回路を設けることにより、アレイ状に並べた磁気センサ素子の出力のオフセットばらつきを低減させることを特徴とする磁気アレイセンサ回路。
- 請求項1において、前記制御回路が、シングルエンド増幅回路で構成され、スイッチとキャパシタを用いたオフセット補償回路によって、増幅回路の内部オフセットを補償する構成のものである磁気アレイセンサ回路。
- 磁気センサ素子をアレイ状に並べた磁気センサアレイと、この磁気センサアレイに対向して回転する磁石と、前記磁気センサアレイの出力からこの磁気センサアレイに対する前記磁石の回転角度を算出する磁気アレイセンサ回路とを備え、この磁気アレイセンサ回路として、請求項1または請求項2に記載の磁気アレイセンサ回路を用いた回転検出装置。
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