JP4571049B2 - 磁気アレイセンサ回路およびこれを用いた回転検出装置 - Google Patents
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Description
非特許文献2は、磁気センサ素子MAGFETをマトリクス状に並べて、磁界分布を検出する方法を提示している。また、単純な電圧変換回路による読み出し回路を使用し、センサ出力のオフセットばらつきが大きいことを述べている。
一方、半導体で構成されたセンサチップでは、温度等の環境変化によって特性が変動することは避けられない。すなわち、上記した構成のセンサ部の場合、環境変化に伴ってセンサ出力信号がドリフトし、さらに信号の読み出し回路も環境変化の影響を受けるため、最終的に得られる回転角度の検出精度が環境変化によって悪化してしまうという問題がある。
この回路構成によると、基準センサ素子は2つの出力端子が短絡していてオフセットがないため、増幅回路などで構成された読み出し回路の内部で発生するオフセット誤差だけが抽出されて出力に現れる。このオフセット誤差が基準オフセット値として記憶され、他の磁気センサ素子の出力から基準オフセット値が減算される。したがって、温度変化などによって磁気センサ素子および磁気アレイセンサ回路の回路状態が変化しても、その都度、回路のオフセット誤差を測定して補正することができる。このため、環境の影響を受け難い安定した出力信号を得ることができる。
しかし、磁気センサアレイの一部の磁気センサ素子が専用の基準センサとして使用されるため、実際の検出に用いる磁気センサ素子の個数が少なくなるという課題がある。
この発明の他の目的は、基準センサ素子を設けることなく、センサ信号への環境変化の影響を無くして、精度のよい回転検出が行える回転検出装置を提供することである。
上記各磁気センサ素子を順次読み出し可能状態に選択するセンサ選択回路と、選択された磁気センサ素子の検出信号を読み出すセンサ信号読出回路と、このセンサ信号読出回路の入力側に設けられて磁気センサ素子の2つの出力端子を短絡させた状態を作る短絡スイッチと、この短絡スイッチによる短絡状態にあるときの前記センサ信号読出回路の出力信号を基準オフセットとして記憶するオフセット出力記憶手段と、前記短絡スイッチの短絡を解除した状態における前記センサ信号読出回路の出力信号から前記オフセット出力記憶手段に記憶した基準オフセットを引き算するオフセット引き算手段とを備えることを特徴とする。
上記一連の動作を、各々の磁気センサ素子の読み出し動作中に実行することにより、センサ信号読出回路のオフセットとドリフトの影響を受けないで、磁気センサアレイの信号を取り出すことができる。
このように、センサ信号読出回路で検出された電流を電圧信号に変換する回路を、キャパシタを用いた積分回路で構成すれば、電圧への変換と同時にオフセットもキャンセルできる。そのため、回路の簡略化と省スペース化が可能になり、製造コストを抑えることができる。
この構成によると、磁気アレイセンサ回路でのオフセットや環境変化の影響を除去することができ、そのため、回転検出装置の角度検出精度が向上し、ロータリエンコーダとしての分解能・精度を向上させることができる。
この磁気トランジスタTでは、ソース領域33からドレイン領域34に向かって流れる電子e- にローレンツ力が働き、素子面に垂直な磁界Bz が印加されたとき、その磁界Bz の強さに応じて2つの出力端子D1,D2に流れる電流I1 ,I2 が変化することから、磁気トランジスタTに印加される磁界Bz の強さを検出する。すなわち、磁気トランジスタTは、素子面に垂直な磁界Bz が印加されたときに生じる回路電流のアンバランスを検出する。
差電流検出回路16は、センサ信号読出回路となるものであり、磁気センサ素子51 〜5n における2つの電流の差2ΔIを抽出する。
電流・電圧変換回路17は、差電流検出回路16によって抽出された差電流を電圧信号Vout に変換してセンサ信号として出力する回路である。差電流検出回路16および電流・電圧変換回路17により、磁気センサ素子51 〜5n に磁界が印加されたときの差電流が抽出され、電圧信号に増幅されてセンサ信号が電圧信号として得られる。
オフセット出力記憶手段30は、短絡スイッチS01により短絡状態にあるときの差電流検出回路16の出力信号を基準オフセットとして記憶する手段である。オフセット出力記憶手段30は、キャパシタ等のアナログ素子であっても良いし、オフセット誤差をAD変換したデジタル値として記憶する素子であっても良い。
オフセット引き算手段31は、短絡スイッチS1の短絡を解除した状態における差電流検出回路16の出力信号から、オフセット出力記憶手段30に記憶した基準オフセットを引き算する手段である。オフセット引き算手段31は、例えばアナログ減算回路とされるが、減算をデジタル値で行う回路を用いても良い。
これら短絡スイッチS01、オフセット出力記憶手段30、およびオフセット引き算手段31を、オフセット処理制御手段39で制御することにより、次のように差電流検出回路16のオフセットをキャンセルして信号分だけを取り出すことができる。
オフセット処理制御手段39を、磁気センサアレイ5の全体の読み出し毎に処理するものとした場合は、上記のセンサ列5A〜5D毎の処理とは、処理の単位が磁気センサアレイ5の全体毎になる他は同じである。
この場合、上記短絡スイッチS01と同時に動作して出力電圧をオフセット記憶手段30に記憶するためのスイッチS02が設けられている。この記憶用のスイッチS02は、差電流検出回路16の出力端とオフセット記憶手段30との間に設けられる。オフセット引き算手段31のマイナス入力端子とオフセット記憶手段30との端には、減算用のスイッチS03が設けられる。
短絡スイッチS01,記憶用スイッチS02が所定期間オンした後、磁気センサ素子5iを選択した状態のまま、短絡用スイッチS01と記憶用スイッチS02がオフとされる。これにより、差電流検出回路16によってセンサ電流の2ΔIとオフセット電流Ioffsetの和が出力される。この電流を電圧に変換し、記憶用スイッチS03が所定期間オンとされることで、オフセット引き算手段31によりオフセット電圧Voffsetが引き算され、磁気センサ素子5iの信号成分Vsignalだけが抽出される。
この電流・電圧変換回路17は、スイッチφS1,φS2,φR1,φR2と、キャパシタCを使用した積分回路で構成している。スイッチφS1,φS2は、演算増幅器41にその反転入力端子と出力端子との間に並列に設けた回路部分にこの順に直列に設ける。スイッチφR1,φR2も、演算増幅器41にその反転入力端子と出力端子との間にこの順に並列に設けた回路部分に直列に設けている。キャパシタCは、スイッチφS1,φS2の間に直列に設けており、スイッチφR1,φR2の間にも直列に介在している。
次に、センサ信号読出回路である差電流検出回路16(図1)の入力が短絡されて、この回路16のオフセット電流だけが出力されている状態を図3(B)に示す。このとき、積分回路のスイッチは、スイッチφR1とスイッチφR2を一定時間Tsの間だけオン状態にする。これにより、積分動作でキャパシタCには、
Q1=Ioffset×Ts
の電荷が蓄積され、スイッチφR1とスイッチφR2をオフしたときの端子電圧は、
Voffset=Q1/C
となる。
この状態では、スイッチφS1とスイッチφS2をオンにして、オフセットを蓄積した状態とは逆方向に積分動作を行う。一定期間Tsの積分動作によって、キャパシタCに蓄積される電荷は、
Q2=(Ioffset+ΔI)×Ts
となる。先のオフセット蓄積による電荷−Q1が存在するため、キャパシタCの端子電圧は、
Vout =(Q2−Q1)/C
=ΔI×Ts/C
となり、オフセット成分Ioffsetが除去されて、信号成分のみが電圧に変換されて出力される。
いま、図10に示す位置X1とX2に磁気センサアレイ5の検出磁界のN磁極とS磁極の境界であるゼロクロス位置があるとする。この状態で、磁気センサアレイ5の各センサ列5A〜5Dの出力が、図9(A)〜(D)に示す信号波形となる。したがって、ゼロクロス位置X1,X2は、センサ列5A,5Cの出力から直線近似することで算出することができる。
角度計算は、次式(1)で行うことができる。
θ=tan-1(2L/b) ……(1)
ここで、θは、磁石4の回転角度θを絶対角度(アブソリュート値)で示した値である。2Lは、矩形に並べられる各磁気センサアレイ5の1辺の長さである。bは、ゼロクロス位置X1,X2間の横方向長さである。
ゼロクロス位置X1,X2がセンサ列5B,5Dにある場合には、それらの出力から得られるゼロクロス位置データにより、上記と同様にして回転角度θが算出される。
外輪22にはセンサ取付部材27が取付けられ、このセンサ取付部材27に、図6の磁気センサアレイ5および角度算出手段6の集積された半導体チップ9が取付けられている。また、このセンサ取付部材27に、角度算出手段6の出力を取り出すための出力ケーブル29も取付けられている。センサ取付部材27は、外周部の先端円筒部27aを外輪22の内径面に嵌合させ、この先端円筒部27aの近傍に形成した鍔部27bを外輪22の幅面に係合させて軸方向の位置決めがなされている。
4…磁石
5…磁気センサアレイ
5i,51 〜5n …磁気センサ素子
11…磁気アレイセンサ回路
16…差電流検出回路(センサ信号読出回路)
17…電流・電圧変換回路
19…センサ選択手段
30…オフセット出力記憶手段
31…オフセット引き算手段
C…キャパシタ
D1,D2…出力端子
S01…短絡スイッチ
S02…記憶用のスイッチ
S03…減算用のスイッチ
φS1,φS2,φR1,φR2…スイッチ
Claims (4)
- 磁気センサ素子をアレイ状に並べた磁気センサアレイの出力を処理する磁気アレイセンサ回路であって、
上記各磁気センサ素子を順次読み出し可能状態に選択するセンサ選択回路と、選択された磁気センサ素子の検出信号を読み出すセンサ信号読出回路と、このセンサ信号読出回路の入力側に設けられて磁気センサ素子の2つの出力端子を短絡させた状態を作る短絡スイッチと、この短絡スイッチによる短絡状態にあるときの前記センサ信号読出回路の出力信号を基準オフセットとして記憶するオフセット出力記憶手段と、前記短絡スイッチの短絡を解除した状態における前記センサ信号読出回路の出力信号から前記オフセット出力記憶手段に記憶した基準オフセットを引き算するオフセット引き算手段とを備えることを特徴とする磁気アレイセンサ回路。 - 請求項1において、前記センサ信号読出回路の各磁気センサ素子の読み出し動作毎に、前記短絡スイッチによる短絡、前記オフセット出力記憶手段による基準オフセットの記憶、前記短絡スイッチの短絡の解除、この短絡解除状態でのオフセット引き算手段による引き算を含む一連の動作を実行させるオフセット処理制御手段を設けた磁気アレイセンサ回路。
- 請求項2において、前記センサ信号読出回路で検出された電流信号を、スイッチとキャパシタを用いた積分回路によって電圧信号に変換する電流・電圧変換回路を設け、前記オフセット処理制御手段は、前記積分回路のキャパシタへの電流蓄積経路を前記スイッチによって切り替えるものであって、前記各磁気センサ素子の読み出し動作毎に、一定時間の蓄積動作を、基準オフセットの蓄積と、センサ信号の蓄積との合計2回行い、それぞれの蓄積動作で得られる電荷を相殺するように前記スイッチの切り替えを行うものとした磁気アレイセンサ回路。
- 磁気センサ素子をアレイ状に並べた磁気センサアレイと、この磁気センサアレイに対向して回転する磁石と、前記磁気センサアレイの出力からこの磁気センサアレイに対する前記磁石の回転角度を算出する磁気アレイセンサ回路とを備え、この磁気アレイセンサ回路として、請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の磁気アレイセンサ回路を用いた回転検出装置。
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