JP2015526730A - 多極磁石を用いて絶対角度位置を測定する装置、方法、及びセンサ - Google Patents

多極磁石を用いて絶対角度位置を測定する装置、方法、及びセンサ Download PDF

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Abstract

ステータ(3)に対するロータ(2)の角度位置(α)を測定する装置(1)。該装置は、ロータ(2)上に配置された多極磁石(5)と、ステータ(3)上に配置されたセンサ(6)と、磁場成分(Br,Bt,Bz)を測定する2つのグループ(S,T)又は4つのグループ(S,T,U,V)に組織化された複数のセンサ素子(HH,VH)と、備える。角度位置(α)を算出する方法は、各グループにおける素子の信号の合計値、2つの合計値の比、及び逆正接関数を構成するステップを含む。変形例として、本方法は、信号の合計値、合計値の差値、差値の比、及び逆正接関数を構成するステップを含んでもよい。集積センサ(6)、及び自動車環境におけるそのような装置(1)又はセンサ(6)の使用。

Description

本発明は、磁場を用いた位置センサの分野に関する。より具体的には、本発明は、磁場を用いて360度未満の角度位置を正確に決定する非接触型装置及び方法に関する。
回転角の測定は、手動電気スイッチ、又はモータ若しくはバルブ等の位置検出等の、種々の応用において必要とされる。費用及び精度制約に応じて、このタスクは、機械的接触、電位差計、光学エンコーダ、又は磁気エンコーダ等の、種々の手段によって達成可能である。
欧州特許第0916074B1号公報 米国特許公開第20020021124号公報
現代の集積回路技術は、単一のダイ上で、磁気センサと、それらの読み出し及び角度算出電子技術とを統合する可能性を提供する。これによって、優位性のある費用及び良好な性能で、ロータに装着された永久磁石とステータに装着されたモノリシックに集積化されたセンサとから成る機械的回転の検出装置を提供できる。磁石を有するロータとセンサを有するステータとの間に機械的接触が無いと、センサの密閉カプセル封じ込めが可能となる。これにより、厳しい環境条件下での摩擦の無い角度測定が可能となる。
特にハイブリッドエンジンシステムが出現した自動車における、電気システムのコンパクト性の向上に伴い、そのような位置センサは更に、(例えば100Aを超える)強電流を流す導電体の近傍からの外部磁場にさらされる。そのような条件下で高い感知精度を維持するために、センサは磁気シールドによって遮蔽可能であり、さもなければそれはそのような場に対して本質的に頑強である必要がある。これは、絶対値場よりもむしろ、場の勾配を測定することによって達成される。なぜならば、センサの寸法が小さい限り、全ての外部場は、センサ上での一次近似が一定であると仮定されるからである。
この要求に対応するセンサはEP0916074B1(特許文献1)によって知られている。そこには、回転対称性を有しない磁石(特に二極磁石)に由来する磁場を用いた非接触型角度測定の方法及び装置が記載され、転軸と平行な軸方向の場成分(Bz)は、回転軸に対して直交する平面内のいくつかの分離した位置において、複数のセンサ素子(いわゆる「水平なホール素子」)によって測定される。この場合、一定の外部(外乱)場に起因する任意の信号が減算されてそれが角度信号においてもはや出現しないように、直径方向に向かい合ったセンサ素子値の間の差値が取得される。
記載される方法及び装置の欠点は、小さな角度測定のためのその応用である。
US20020021124(特許文献2)には、1つ又は複数のいわゆる磁場コンセントレータ(「IMC」と略記される)を用いた位置センサが記載され、該IMCは、IMCの下側に位置付けられる水平なホール素子か、IMCの縁に接方向に位置付けられた垂直なホール素子かのいずれかと組み合わせて、磁力線を曲げる。
本発明の目的は、外部磁場に対して実質的に低い感度を有する、ステータに対するロータの絶対角度位置を測定するセンサ、装置、及び方法を提供することにある。
本発明の実施形態の目的は特に、向上した感度で、360度よりも小さな角度位置を測定するセンサ及び装置、並びに方法を提供することにある。
この目的は、本発明の実施形態に係る装置、方法、及びセンサによって達成される。
第1の態様において、本発明は、ステータに対するロータの角度位置を測定する装置を提供する。本装置は、回転軸の周囲を回転可能であるロータと、回転軸対して固定された位置を有するステータと、磁場を発生する、ロータ上に配置された磁気源であって、磁気源は、少なくとも4つの磁極を有する多極磁石であるとともに、回転軸に対して周期的に反復的な磁場パターンを提供する、磁気源と、磁場の少なくとも1つの磁場成分を測定するとともに少なくとも1つの磁場成分を示す測定信号を供給する複数のセンサ素子を備えた、ステータ上に配置されたセンサであって、該センサは、実質的に回転軸を中心にしてその周囲に位置付けら且つ磁気源から第1の距離だけ離間した位置において回転軸に対して実質的に直交する平面に位置付けられ、上記複数のセンサ素子は、回転軸から第2の距離だけ離間した位置において実質的に円上に位置付けられ且つ少なくとも1つの磁場成分を検出するように方向付けられた、センサと、供給された複数のセンサ信号から、ロータの角度位置を算出する手段と、を備える。
第2の態様において、本発明は、ステータに対するロータの角度位置を測定する装置を提供する。本装置は、回転軸の周囲を回転可能であるロータと、回転軸対して固定された位置を有するステータと、磁場を発生する、ロータ上に配置された磁気源であって、該磁気源は回転軸に対して周期的に反復的な磁場パターンを発生する複数の磁極を有する多極磁石であり、該磁極の数は少なくとも4である、磁気源と、磁場の少なくとも1つの磁場成分を測定するとともに少なくとも1つの磁場成分を示す測定信号を供給する複数のセンサ素子を備えた、ステータ上に配置されたセンサであって、該センサは、実質的に回転軸を中心にしてその周囲に位置付けられるとともに、磁気源から第1の距離だけ離間した位置において回転軸に対して実質的に直交する平面に位置付けられ、該複数のセンサ素子は、回転軸から第2の距離だけ離間した位置において実質的に円上に位置付けられるとともに少なくとも1つの磁場成分を検出するように方向付けられ、該複数のセンサ素子は少なくとも第1のグループ及び第2のグループに分割され、各グループ内の複数の素子は円上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、第1のグループの素子と第2のグループの素子との間の角度距離は180度を磁気源の磁極の数で除算した値に等しい、センサと、供給される複数の信号からロータの角度位置を算出する手段であって、該算出する手段は、第1のグループの複数のセンサ素子によって供給される複数の信号の第1の合計値又は第1の平均値を算出するように、第2のグループの複数のセンサ素子によって供給される複数の信号の第2の合計値又は第2の平均値を算出するように、且つ第1の合計値、第1の平均値、第2の合計値、及び第2の平均値から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいてロータの角度位置を決定するように適合される、算出する手段と、を備える。
角度位置を決定するために磁場を用いることの利点は、センサが非接触型であり、従って固定される部分と可動部分との間に機械的接触がなく、よって摩耗が無いことである。そのようなセンサは有利に、過酷な環境で使用可能である。
複数のセンサ素子を備えた単一の集積化されたセンサを使用することの利点は、個別のセンサ素子又はいくつかのセンサの位置ずれのリスクを排除し、またそれらセンサの相互接続が省略可能である点にある。
そのような装置の利点は、素子の第1のグループがいわゆる正弦信号を測定するように配列され、その一方で素子の第2のグループがいわゆる余弦信号を測定するように配列され、両者が一緒に直交信号を形成し、そこから角度位置が正確に決定可能であることである。
そのような装置の利点は、その装置によって、軸方向の場成分(のみ)に代えて、磁気源の接方向、半径方向、又は軸方向の場成分のうちの任意の成分を測定できることである。
そのような装置の利点は、装置が、部品コスト及び労力を増し得る、ロータの磁場を形成するための、強磁性のヨークをステータに追加する必要がないことである。
そのような装置の利点は、磁気源が磁石及び回転軸の近くの近傍において磁場を発生し、ここで回転軸を中心とする円上にある位置における、磁石から短い距離の位置における磁場成分は、回転角による実質的に周期的な様式で、且つ回転軸からの距離による実質的に線形な様式で、例えば正弦又は余弦の様式で変化する接方向の、及び/又は半径方向の、及び/又は軸方向の場成分を有する、ということである。そのような磁石の例は、正方形、円形、又は多角形の断面を有する円筒状の形状を有する磁石である。
そのような装置によって提供される角度位置が位置オフセット誤差に対して頑強である、又は頑強である(例えば実質的に低い感度を有する)ことができるということは利点である。このことは、位置誤差を較正又は補償する必要がないという更なる利点を提供する。
そのような装置によって提供される角度位置は、一様な外部磁場に対して頑強である、又は頑強である(例えば、実質的に低い感度を有する)ことができるということは利点である。
磁気源は、円形形状、正方形形状、又は多角形形状、例えば六角形、を有する多極性の円盤であり得る。多極磁石は、中央の開口部、例えば中央の円筒形状の開口部(従って基本的にアニュラスを形成する)を有することができるが、そうである必要はない。
センサ素子の数は少なくとも、磁気源の極の数に等しいが、改善された機能性のためにその数の2倍であってもよい。
本発明に係る装置の実施形態において、多極磁石は永久磁石である。磁場を発生するために永久磁石の使用は、磁場を発生するために印加される電力を必要としない、という利点を有する。
本発明に係る装置の実施形態において、多極磁石は、中央の円筒形状の開口部を有する。
本発明に係る装置の実施形態において、多極磁石は、少なくとも6つの磁極を有する。
そのような装置の利点は、装置がより高い感度を提供することである。
六極磁石を有する装置の利点は、より多くの極を有する磁石上では、角度範囲が0度から120度までであることである。より多くの磁極が利用可能である程、角度感度範囲は小さくなる。
本発明に係る装置の実施形態において、多極磁石は、外径及び内径を有するリング形状を有し、センサにおける円は磁石の外径の1%から30%の直径を有する。
そのような装置の利点は、センサが位置付けられる円の直径はリング磁石の寸法から実質的に独立しているということである。これによって、センサと磁石の寸法を実質的に互いに独立に選ぶことができる。またこれによって、磁石と独立したセンサの更なる技術スケーリングが可能となる。
本発明に係る装置の実施形態において、測定される少なくとも1つの磁場成分は、実質的に円に接するように方向付けられた、磁場の接方向の場成分を含む。
多極リング磁石又は多極円盤磁石に由来するそのような接方向の場が、ステータとロータとの間の角度距離の関数として実質的に正弦波の信号を提供することと、接方向の場成分の大きさが、回転軸からの距離に関して実質的に線形な様式で変化して、優れた位置オフセット補正を提供するとともに技術のスケーリングが可能となることは利点である。
本発明に係る装置の実施形態において、センサ素子は、円に接する法線を有するプレートを有する複数の垂直なホール効果素子を備える。
そのような複数のホール素子は理想的には、接方向の場成分(のみ)を測定するのに適し、その一方で軸方向又は半径方向の場成分に対しては低い感度を有する、ということは利点である。
複数の垂直なホール効果素子を使用することは利点である。なぜならば、それらは、例えばシリコン、基板である半導体の深さ方向に埋め込まれ、従って、占有する半導体領域を減らすことができるからである。
本発明に係る装置の実施形態において、各センサ素子は、互いに隣接して円上に位置付けられ且つ回転軸に対して実質的に直交するように方向付けられた複数のプレートを有する複数の水平なホール効果素子の対と、局所的な接方向の磁場を複数のプレートに対して実質的に直交する方向に曲げるIMCセグメントと、を備える。
そのような装置の利点は、より高い感度を提供するとともにより小さなオフセットを特徴付ける複数の水平なホール素子が使用可能であるということである。
IMCと組み合わせて水平なホール素子を使用することの利点は、IMCが受動的な方法で信号の増幅を提供する点にある。
本発明に係る装置の実施形態において、測定される少なくとも1つの磁場成分は、実質的に円に対して半径方向に方向付けられる、磁場の半径方向の場成分を含む。
多極リング磁石又は多極円盤磁石に由来するそのような半径方向の場が、ステータとロータとの間の角度距離の関数として実質的に正弦波の信号を提供することと、半径方向の場成分の大きさが、回転軸からの距離に関して実質的に線形な様式で変化して、優れた位置オフセット補正を提供するとともに技術のスケーリングが可能となることは利点である。半径方向の場と接方向の場とは同じ利点を提供する。
そのような実施形態において、複数のセンサ素子は、回転軸に対して直交し且つこれと交差する法線を有するプレートを有する複数の垂直なホール効果素子を備え得る。
そのような複数のホール素子は理想的には、半径方向の場成分(のみ)を測定するのに適し、その一方で軸方向又は接方向の場成分に対しては低い感度を有する、ということは利点である。
複数の垂直なホール効果素子を使用することは利点である。なぜならば、それらは、例えばシリコン、基板である半導体の深さ方向に埋め込まれ、従って、占有する半導体領域を減らすことができるからである。
複数の垂直なホール素子を使用することの更なる利点は、IMCを必要としない点にある。
本発明に係る装置の実施形態において、算出する手段は、第1の合計値及び第2の合計値の比、又は第1の平均値及び第2の平均値の比を算出するように、且つ上記比の逆正接又は逆余接に基づいてロータの角度位置を決定するように適合される。
角度位置が相対的に簡単な算術によって算出可能であることは利点である。角度測定機能は、参照テーブルの手段によって、任意に線形補間を用いて、実施されてもよい。テーブルは不揮発性メモリに格納され得る。
本発明に係る装置の実施形態において、センサ素子の数は多極磁石の磁極の数の2倍である。センサは、実質的に円上に位置付けられる複数の磁気センサ素子の第3のグループ及び第4のグループを更に備え、上記第3のグループ及び第4のグループの複数の磁気センサ素子は、少なくとも1つの磁場成分を検出するように方向付けられる。第3及び第4のグループの各々内の複数のセンサ素子は、円上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、第3のグループの素子と第1のグループの素子との間の角度距離は2×180度=360度を磁気源の磁極の数で除算した値に等しく、第4のグループの素子と第1のグループの素子との間の角度距離は3×180度=540度を磁気源の磁極の数で除算した値に等しい。算出する手段は、第3のグループの複数の素子によって供給される複数の信号の第3の合計値又は第3の平均値を算出するように、且つ第4のグループの複数の素子によって供給される複数の信号の第4の合計値又は第4の平均値を算出するように、更に適合される。算出する手段は、第1の合計値、第1の平均値、第2の合計値、第2の平均値、第3の合計値、第3の平均値、第4の合計値、及び第4の平均値から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいて、ロータの角度位置を決定するように更に適合される。
この実施形態が冗長性を提供できることは利点であり、これは、部品の許容誤差、例えば磁場の非理想性、集積回路の位置ずれ、集積回路内の許容誤差等を平均することによって、精度を更に高めるために使用可能である。
また、本実施形態が信頼性のある測定を提供でき、又は、場合によっては、例えば2つの測定された角度が所与の閾値よりも偏るとき、誤差を示すことができるということは本実施形態の利点である。
本発明に係る装置の実施形態において、各センサ素子は水平なホール効果素子を備え、また本装置は、水平なホール素子の上部に位置付けられた中央部を有する集積化磁気コンセントレータと、複数のホール素子から離間して位置付けられ、且つ半径方向に方向付けられた複数の細長部と、を更に備える。
本発明に係る装置の実施形態において、各センサ素子は水平なホール効果素子を備え、また本装置は、中央部を備える集積化磁気コンセントレータと、各々が複数のホール素子のうちの1つの上部に位置付けられ、且つ半径方向に方向付けられた複数の細長部と、を更に備える。
本発明に係る装置の実施形態において、算出する手段は、第1の合計値と第3の合計値との間の第1の差値を算出するように、且つ第2の合計値と第4の合計値との間の第2の差値を算出するように、更に適合される。算出する手段は、第1の差値及び第2の差値の比を算出するように、且つ上記比の逆正接又は逆余接に基づいてロータの角度位置を決定するように、更に適合される。
この特定のアルゴリズムを使用することによって、そのような装置によって提供される角度位置は、一定の外部場勾配に対して更に頑強であり(例えば、それに対して実質的に低い感度を有し)、又は言い換えると、非一様な外部磁場の0次項及び1次項に対して低い感度を有する、ということは利点である。このように、通電伝導体によって発生された磁場は、大幅に減少される。この利点は、特に自動車環境において、特にボンネットの下において、過小評価され得ない。
本発明の第3の態様において、自動車環境において角度位置を算出するそのような装置の使用が提供される。
伝導体に流れる実質的に大きな大電流が大きな妨害場を発生し得るボンネットの下において提案の装置を使用することは特に利点がある。なぜならば、該装置は、妨害場の0次項及び1次項の両方に対して非常に低い感度を有するからである。
本発明の第4の態様において、上述の装置を用いてステータに対するロータの角度位置を決定する方法が提供される。本方法は、センサ素子の第1のグループによって供給される複数の信号の第1の合計値又は第1の平均値を算出するステップと、素子の第2のグループによって供給される複数の信号の第2の合計値又は第2の平均値を算出するステップと、第1の合計値、第1の平均値、第2の合計値、及び第2の平均値から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいてロータの角度位置を決定するステップと、を含む。
本発明に係る方法の実施形態において、本方法は、第1若しくは第2の合計値、又は第1若しくは第2の平均値をそれぞれ算出するための組み合わせられた信号を供給するように、各対の素子の複数の信号を減算するステップ、を更に含む。
この構成における水平なホール素子の各対は実際、単一の値を供給する。
本発明に係る方法の実施形態において、本方法は、第1の合計値及び第2の合計値の比、又は第1の平均値及び第2の平均値の比を算出するステップと、上記比の逆正接又は逆余接に基づいてロータの角度位置を決定するステップと、を更に含む。
本発明に係る方法の実施形態において、本方法は、第3のグループの複数のセンサ素子によって供給される複数の信号の第3の合計値又は第3の平均値を算出するステップと、第4のグループの複数のセンサ素子によって供給される複数の信号の第4の合計値又は第4の平均値を算出するステップと、第1の合計値、第1の平均値、第2の合計値、第2の平均値、第3の合計値、第3の平均値、第4の合計値、及び第4の平均値から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいてロータの角度位置を決定するステップと、を更に含む。
本発明に係る方法の実施形態において、本方法は、第1の合計値と第3の合計値との間の第1の差値と、第2の合計値と第4の合計値との間の第2の差値と、第1の差値及び第2の差値の比とを算出するステップと、上記比の逆正接又は逆余接に基づいて、ロータの角度位置を決定するステップと、を更に含む。
第5の態様によれば、本発明は、ステータに対するロータの角度位置を測定する集積センサ回路であって、ロータは回転軸の周囲を回転可能である集積センサ回路を提供する。該集積センサ回路は、磁場を発生する、ロータ上に配置された磁気源であって、該磁気源は、回転軸に対して周期的に反復的な磁場パターンを生成する複数の磁極を有する多極磁石であり、磁極の数は少なくとも4である、磁気源と、回転軸対して固定された位置を有するステータであって、集積センサ回路は、多極磁石の近傍において、磁気源から第1の距離だけ離間した位置において回転軸に対して実質的に直交する平面において回転軸と一致して、ステータに配置可能である、ステータと、を備える。本集積センサ回路は、複数のセンサ素子を備え、各センサ素子は、磁場の少なくとも1つの磁場成分を測定するように且つセンサ素子の位置において少なくとも1つの磁場成分の強度を示す測定信号を供給するように適合され、複数のセンサ素子は、回転軸から離間した位置において実質的に円上に位置付けられるとともに、少なくとも1つの磁場成分を検出するように方向付けられ、複数のセンサ素子は、第1のグループ及び第2のグループに分割され、各グループ内の複数の素子は、円上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、第1のグループの素子と第2のグループの素子との間の角度距離は、180度を磁気源の磁極の数で除算した値に等しく、本集積センサ回路は更に、供給される複数の信号から、ロータの角度位置を算出する手段を備え、該算出する手段は、第1のグループの複数の素子によって供給される複数の信号の第1の合計値又は第1の平均値を算出するように、第2のグループの複数の素子によって供給される複数の信号の第2の合計値又は第2の平均値を算出するように、且つ第1の合計値、第1の平均値、第2の合計値、及び第2の平均値から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいてロータの角度位置を決定するように適合される。
集積回路が、外部磁場に対して実質的に低い感度又は低減された感度を有し、且つ回転軸に対する集積回路の位置誤差に対して実質的に低い感度を有する又は低減された感度を有する、正確な角度位置を提供し、その一方で改善された感度を提供する、ということはそのような集積回路の利点である。この集積回路は理想的には、全角度が360度未満であり、例えば四極磁石が使用される場合において180度未満であり、又は六極磁石が使用される場合において120度未満である、等のシステムにおいて絶対角度位置を測定するのに適する。これは、例えばバルブの制御等の応用において、より正確な位置決めを提供する。
本発明に係る集積回路の実施形態において、各センサ素子は、円に接する法線を有するプレートを有する垂直なホール効果素子を備える。
本発明に係る集積回路の実施形態において、各センサ素子は、互いに隣接して円上に位置付けられ且つ回転軸に対して実質的に直交して方向付けられた複数のプレートを有する複数の水平なホール効果素子と、局所的な接方向の磁場を、複数のプレートに対して実質的に直交する方向に曲げるIMCセグメントとを備える。
本発明に係る集積回路の実施形態において、各センサ素子は、回転軸に対して直交し且つこれと交差する法線を有するプレートを有する垂直なホール効果素子を備える。
本発明に係る集積回路の実施形態において、算出する手段は、第1の合計値及び第2の合計値の比、又は第1の平均値及び第2の平均値の比を算出するように、且つ上記比の逆正接又は逆余接に基づいて、ロータの角度位置を決定するように、更に適合される。
本発明に係る集積回路の実施形態において、センサ素子の数は多極磁石の磁極の数の2倍であり、本集積回路は、実質的に円上に位置付けられた複数の磁気センサ素子の第3のグループ及び第4のグループを更に備え、第3及び第4のグループの複数の磁気センサ素子は少なくとも1つの磁場成分を検出するように方向付けられ、第3のグループ及び第4のグループの各々内の複数のセンサ素子は、円上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、第3のグループの素子と第1のグループの素子との間の角度距離は、2×180度=360度を磁気源の磁極の数で除算した値に等しく、第4のグループの素子と第1のグループの素子との間の角度距離は、3×180度=540度を磁気源の磁極の数で除算した値に等しく、算出する手段は、第3のグループの複数の素子によって供給される複数の信号の第3の合計値又は第3の平均値を算出するように、且つ第4のグループの複数の素子によって供給される複数の信号の第4の合計値又は第4の平均値を算出するように、更に適合され、算出する手段は、第1の合計値、第1の平均値、第2の合計値、第2の平均値、第3の合計値、第3の平均値、第4の合計値、及び第4の平均値から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいて角度位置を決定するように、更に適合される。
本発明の集積回路の実施形態において、各センサ素子は、水平なホール効果素子を備え、本集積回路は、複数の水平なホール素子の上部に位置付けられた中央部を備えた集積化磁気コンセントレータと、複数のホール素子から離間して位置付けられ且つ半径方向に方向付けられた複数の細長部と、を更に備える。
本発明の集積回路の実施形態において、各センサ素子は、水平なホール効果素子を備え、本集積回路は、中央部を備えた集積化磁気コンセントレータと、各々が複数のホール素子のうちの1つの上部に位置付けられ且つ半径方向に方向付けられた複数の細長部と、を更に備える。
本発明に係る集積回路の実施形態において、算出する手段は、第1の合計値と第3の合計値との間の第1の差値を算出するように、且つ第2の合計値と第4の合計値との間の第2の差値を算出するように更に適合され、算出する手段は、第1の差値及び第2の差値の比を算出するように、且つ上記比の逆正接又は逆余接に基づいてロータの角度位置を決定するように、更に適合される。
本発明の第6の態様において、自動車環境において角度位置を算出するそのような集積回路の使用が提供される。
本発明の特定の且つ好ましい態様は、添付の独立請求項及び従属請求項に提示される。従属請求項からの特徴は、必要に応じて、独立請求項の特徴、並びに他の従属請求項の特徴と組み合わせられることができ、また、請求項において単に明示的に提示されない場合がある。
本発明のこれらの及び他の態様は、以下に記載の(複数の)実施形態から明らかにされ、またそれらを参照して明らかにされる。
二極棒磁石を用いた絶対角度位置測定のための従来技術の装置を示す。 四極磁石を用いた、本発明の実施形態に係る絶対角度位置測定のための装置を示す。一定の外部場もまた示す。 本発明の実施形態において使用可能である、12個の極を有し、且つ中央の円筒形状の開口部を有する、軸方向に磁化されたリング磁石を示す。 本発明の実施形態において使用可能である、4つの極を有し、且つ中央の円筒形状の開口部を有する、軸方向に磁化されたリング磁石を示す。 本発明の実施形態において使用可能である、中央の開口部を有さず、且つ4つの極対(8つの極)を形成する表面磁化を有する円盤磁石を示す。 上面図(図6の下側)と側面図(図6の上側)で示す、中央の開口部を有し、且つ2つの極対を有する多極リング磁石の例を示す。図6はまた、磁石から離間して位置付けられ、且つ回転軸に対して直交するように方向付けられた平面におけるセンサ素子の位置を示す。 磁石表面の下方に3mmだけ離間した位置における図6の四極リング磁石の接方向の場成分のシミュレーションを示す。外側の円及び中間の円はそれぞれ、リング磁石の外径及び内径に対応する。内側の円は、センサ素子が配置され得る仮想的な円に対応する。 仮想的な円上に位置するとともに、図7の接方向の磁場成分を測定するように方向付けられた、4つの垂直なホールセンサ素子の位置及び方向の例を示す。 磁石表面の下方に3mmだけ離間した位置における図6の四極リング磁石の半径方向の場成分のシミュレーションを示す。図7と同一のリングが示される。 本発明の実施形態に係るセンサの4つの垂直なホールセンサ素子の位置及び方向の例を示し、素子は、仮想的な円上に位置するとともに、図9の半径方向の磁場成分を測定するように方向付けられる。 磁石表面の下方に3mmだけ離間した位置における図6の四極リング磁石の軸方向の場成分のシミュレーションを示す。図7と同一のリングが示される。 本発明の実施形態に係るセンサの4つの水平なホールセンサ素子の位置及び方向の例を示し、素子は、仮想的な円上に位置するとともに、図11の軸方向の磁場成分を測定するように方向付けられる。 半径の関数で、図11の軸方向の磁場成分の強度を示す。 半径の関数で、図9の半径方向の磁場成分の強度を示す。 半径の関数で、図7の接方向の磁場成分の強度を示す。 中央の円筒形状の開口部を有する六極リング磁石を示す。いくつかの磁力線はリング磁石の外側に示され、磁場はそこで測定されないが、むしろ磁石の下方で測定される。3つの太い黒の矢印は3つのセンサ素子(図示せず)の第1のグループの方向を示し、3つの太い白い矢印は3つのセンサ素子(図示せず)の第2のグループの方向を示し、全てのセンサ素子は磁場の接方向の場成分を測定するように適合される。 本発明の実施形態に係るセンサの6つの垂直なホールセンサ素子の位置及び方向の例を示し、素子は、仮想的な円上に位置するとともに、図2に示すような装置における図16の磁石の接方向の磁場成分を測定するように適合される。 図16の六極磁石と組み合わせて使用されるときに図17のセンサ素子から取得可能な、正弦信号と余弦信号の例を示す。 図16の六極リング磁石と併せて使用可能な、複数の水平なホールプレート素子と集積化磁気コンセントレータ(IMC)の対を有するセンサの実施形態を示す。 図16に示すような中央の円筒形状の開口部を有する六極リング磁石を示す。3つの太い黒の矢印は3つのセンサ素子(図示せず)の第1のグループの方向を示し、3つの太い白い矢印は3つのセンサ素子(図示せず)の第2のグループの方向を示し、全てのセンサは半径方向の場成分を測定するように適合される。 本発明の実施形態に係るセンサの6つの垂直なホールセンサ素子の位置及び方向の例を示し、素子は、仮想的な円上に位置するとともに、図2に示すような装置における図20の磁石の半径方向の磁場成分を測定するように適合される。 図21のセンサ素子から取得可能な正弦信号と余弦信号の例を示す。 12個の垂直なホールセンサ素子を有し、且つ六極磁石の半径方向の磁場成分を測定するように方向付けられたセンサの例を示す。これは図21のセンサの2倍の個数のセンサ素子を有し、これは向上した精度若しくは信頼性検査のために使用可能である。別の実施形態において、同一だが他の演算を用いる装置はまた、一定の外部場及び一定の外部場勾配に対して実質的に低い感度を有する手段で角度位置を測定するために使用可能である。 一定の外部場に代えて導電線によって発生した外部場が示された、図2の装置を示す。 12個の垂直なホールセンサ素子を有し、且つ図16の六極磁石の接方向の磁場成分を測定するように方向付けられた図23のセンサの変形例であり、該センサは一定の外部場に対して、及び/又は任意の方向に一定の勾配を有する外部場に対して実質的に頑強である。 本発明に係る、12個の水平なホール素子と、中央の円盤部及び複数の細長いストリップを備えた集積化磁気コンセントレータとを有するセンサの実施形態を示し、ホール素子は中央の円盤部の下側に配列される。 図26に示すセンサの実施形態の変形例を示し、ホール素子は細長いストリップの下側に配列される。 図4に示す四極リング磁石と併せて使用するための、本発明の態様に係る8つのセンサ素子の装置を示す。
図面は例示のみであり、非限定的である。図面において、要素のうちのいくつかのサイズは、例示目的のために、誇張されて寸法通りに描かれない場合がある。請求項における全ての参照符号は、その範囲を限定するものとして解釈されてはならない。異なる図面において、同一の参照符号は、同一又は類似の要素を指すものとする。
本発明は、特定の実施形態に関して、またある図面を参照して説明されるが、本発明はそれらに限定されず、請求項によってのみ限定される。説明される図面は例示のみであり、非限定的である。図面において、要素のうちいくつかのサイズは、例示目的のために、誇張されて寸法通りに描かれない場合がある。寸法並びに相対的な寸法は、本発明の現実の実施化に対応しない。
明細書及び請求項における第1、第2等の用語は、同様の要素の間で区別をするために用いられ、時間的又は空間的に、順位において又は任意の他の方法において、順序を説明するためには必要とされない。そのように用いられる用語が適切な状況下で交換可能であり、また本明細書に記載の本発明の実施形態が本明細書に記載又は例示されるものとは異なる順序での動作が可能である、ということ理解されるべきである。
更に、明細書及び請求項における上、下、等の用語は、説明の目的のために用いられ、相対的な位置を説明するためには必要とされない。そのように使用される用語が適切な状況下で交換可能であり、また本明細書に記載の本発明の実施形態が本明細書に記載又は例示されるものとは異なる向きでの動作が可能である、ということが理解されるべきである。
請求項において用いられる用語「備える」は、その後に提示される手段に限定されるものとして解釈されるべきではなく、それは他の要素又はステップを除外しない、ということが理解されるべきである。それは従って、提示される特徴、整数、ステップ、又は構成要素の存在を特定するものとしてとして解釈されるべきであるが、それは1つ又は複数の他の特徴、整数、ステップ、若しくは構成要素、又はそれらの集まりの存在又は付加を除外するものではない。従って、表現「手段A及びBを備えた装置」の範囲は、構成要素A及びBのみから成る装置に限定されるべきではない。本発明によればそれはA及びBのみが装置の関連する構成要素であるということを意味する。
本明細書全体において、「一実施形態」又は「実施形態」の参照は、その実施形態と関連して記載される特定の特徴、構造、又は特性が、本発明の少なくとも1つの実施形態に含まれる、ということを意味する。従って、本明細書全体における種々の箇所の表現「一実施形態において」又は「実施形態において」の出現は、同一の実施形態を全て指す必要はないが、その必要があってもよい。更に、特定の特徴、構造、又は特性は、当業者にとってそれが本開示から明白である限り、1つ又は複数の実施形態において、任意の適切な手段で組み合わせられてもよい。
同様に、本発明の例示の実施形態の記載において、本発明の種々の特徴は時として、本発明の種々の態様のうちの1つ又は複数の開示の合理化及び理解の助けの目的のために、単一の実施形態、図、又はそれらの説明と共にグループ化されることが理解されるべきである。開示の本方法はしかしながら、請求項で請求される発明が、各請求項において明示的に記載されるよりも多くの特徴を必要とするという目的を反映するものとして解釈されるべきではない。むしろ、下記の請求項が反映するように、本発明の態様が依るものは、単一の前述の開示される実施形態の全ての特徴よりも少ない。従って、詳細な説明に続く請求項はこれによって、各請求項が本発明の個別の実施形態としてそれ自身に基づいて、本詳細な説明に明示的に組み込まれる。
更に、本明細書に記載のいくつかの実施形態は、他の実施形態に含まれるいくつかの特徴を含むとともに他の特徴を含まないが、種々の実施形態の特徴の組み合わせは、当業者によって理解され得るように、本発明の範囲内にあって種々の実施形態を形成することが意図される。例えば、下記の請求項において、クレームされる実施形態のいずれもが、任意の組み合わせで用いられることが可能である。
本明細書の記載において、多数の特定の詳細は説明される。しかしながら、本発明の実施形態がこれらの特定の詳細無しに実施されてもよい、ということが理解される。他の例では、本明細書の理解を不明瞭にすることを避けるために、公知の方法、構造、及び技術は詳細に示されていない。
「外部の(望まれていない)磁場」について言及する場合、ロータに配置された「磁気源」、例えば永久磁石によって発生したものとは異なる磁場を意味する。
磁気源を用いて「回転対称性を有する」場を有することは、磁場が、360度よりも小さな角度だけ、例えば四極リング磁石又は四極円盤磁石に対しては180度だけ、六極リング磁石又は六極円盤磁石に対しては120度だけ等、その軸の周囲を磁気源が回転された後に、同一に見えることを意味する。
一様な外部場とは、一定の大きさ及び一定の方向を有する場を意味する。そのような場は、定数ベクトル(Bxo,Byo,Bzo)として記載可能である。
図1は、EP0916074B1(特許文献1)に記載されているように、二極棒磁石を用いた絶対角度位置測定のための従来技術の装置を示す。本装置は、ステータ27に対して回転軸21の周囲を回転するロータ22を有する。棒磁石23は、磁場を発生するように、ロータ22に取り付けられ、そのある磁力線が図示される。磁石の「下方」(Z方向)にある距離だけ離間した位置にセンサが位置付けられ、該センサは4つのセンサ素子24,25,及び26を有し、それらのうちの3つが図示される。センサ素子は、回転軸に平行な垂直な磁場の軸方向の場成分
Figure 2015526730
、例えばZ方向に方向付けられた磁力線、を感知するホール素子である。EP0916074B1(特許文献1)の明細書及び請求項において、複数のセンサ素子が、少なくとも2つのセンサ対に組織化される、又は複数の対において精度を向上させること、並びに磁場が回転軸に対する回転対称性を有しないことが明記されている。
図2は、ステータ(図示せず)に対するロータ2の絶対角度位置測定のための、この場合では集積回路であるセンサ6を備えた装置1を示し、そこにセンサ6が固定して配置される。ロータ2は、回転軸4の周囲を回転可能であり、少なくとも4つの磁極(Np=4)を有する多極磁石5を備え、この場合では(淡い灰色及び濃い灰色で示す)4つの極を有する永久円盤磁石を備える。磁石5は、所定の距離の位置において、又は所定の距離範囲の位置に置いて、磁場の3つの円筒座標成分(半径方向、接方向、及び軸方向)のうちの少なくとも1つの周期的に反復的な磁束密度パターン、例えば正弦波磁束密度パターンを発生する。磁場は回転軸4に対して回転対称性を有し、この例では180度の周期でそれ自身を繰り返す。このことは、角度センサが、0度から180度までの範囲における機械的角度を測定できるのみであることを示す。例えば、六極磁石については、測定可能な範囲は0度から120度までである。
センサ6は、磁石5の「下方に」距離d1だけ離間して配列され、実質的に回転軸4に一致して位置付けられ、また回転軸4に対して実質的に直行する平面βに位置付けられる。センサ6は、1つ又は複数の磁場成分Br,Bt,Bzを測定する、回転軸4に対して実質的に直行する平面βに位置付けられた少なくとも4つのセンサ素子と、更に説明されるように、そのようなセンサ素子によって供給される信号からロータ2の角度位置αを算出する手段と、を備える。本発明の実施形態において、距離d1は、0と磁石5の外径との間にある。特定の実施形態において、距離d1は、磁石外径の10%と30%との間にあるように選択され得る。磁石が円形形状を有しない場合、その直径とは、その外接円の直径であり得る。変形例として、非円形形状の磁石に対しては、距離d1は、0と磁石の辺長との間にあり得る。ここで辺長とは、磁石の最大の辺の長さである。
図3〜図5は、図2のセンサ6と併用可能な多極磁石5の種類の、ほんのいくつかの例を示すが、より多くの種類が使用可能である。すなわち、磁石が、回転軸4の周囲に回転対称性を有する磁場Bを発生する少なくとも4つの極(複数のN極とS極)を有する多極磁石であり、該場が接方向及び/又は半径方向及び/又は軸方向の場成分Bt,Br,Bzをそれぞれ有し、該場が回転軸4上に中心を有する仮想的な円上で測定され且つ磁石から距離d1だけ離間して位置付けられる場合に該場が角度αを有して実質的に正弦波又は余弦波の状況で変化し、且つ該場が好ましくはまた実質的に線形に、例えば仮想的な円の中心からある半径値まで線形的に、変化する限り、より多くの種類が使用可能である。後半は、図13〜図15において更に説明される。
図3は、本発明の実施形態において使用可能である、12個の極(6つの極対)を有し且つ中央の円筒形状の開口部を有する軸方向に磁化されたリング磁石を示す。極の数、例示の実施形態では12個、は単なる例であって、4つの極(図4参照)、6つの極(図16及び図20参照)、8つの極(図5参照)、10個の極、又はより多くの一般には2k個の極(kは1よりも大きな整数)を有するリング磁石はまた、本発明の実施形態に従って使用可能であり得る、ということが理解されるべきである。しかしながら、測定単位であることができる最大角度αは、極の数の増加に伴い公式720度/Npに従って減少する。ここでNpは極の数である。
図5は、中央の開口部を有さず、且つ表面磁化(示される例では上面)を有する円盤磁石5を示す。しかしながら、各N極から近傍のS極への磁力線(図示せず)を描くと理解できるように、この磁石は実際に、上述の特性を満たす接方向の場成分を有する磁場を発生する。図3、図4、及び図5の比較から理解できるように、磁石における中央の開口部は必須ではなく、磁石はまた円盤磁石であることが可能である。更なる代替の実施形態では、磁石は円形形状を有する必要はなく、磁石は正方形形状又は多角形形状を有することが可能である。磁石は更にスロットを有してもよい。磁石の重要な特徴は、反復的な磁束場であり、例えば、回転の下で、半径方向Brの及び/又は接方向Btの及び/又は軸方向Bzの場成分の、720度/Npの周期の正弦波状の場である。ここでNpは磁石の極の数である。
以下では、磁石5は多極リング磁石であると仮定するが、既に説明したように、本発明はリング磁石に限定されない。
図6は、上面図(図6の下側)と側面図(図6の上側)で示す、4つの極(2つのN極及び2つのS極)を有し且つ中央の開口部を有する四極リング磁石の実施形態を示す。特定の例において、リング磁石5は約12mmの外径OD、約8mmの内径ID、及び約4mmの高さhを有し得るが、本発明はこれに限定されない。磁石に対するセンサ素子の位置はまた、寸法通りではないが、例示の目的のために示される。複数のセンサ素子Eは、磁石5の平坦な底面から実質的に距離d1だけ離間して位置付けられ、また、回転軸4上に中心点を有し且つ直径d2を有し且つ回転軸4に対して直交する平面βに位置付けられた仮想的な円(図示せず)上に、実質的に位置付けられる。この例については追って詳述する。当業者はこの場合、他の磁石の種類又は寸法に対して、同一の試験、シミュレーション、又は測定を行う。
第1のアルゴリズム
図7は、図6の四極リング磁石によって発生され、磁石表面の下方に3mmの距離d1だけ離間した位置において測定された磁場の接方向の磁場成分Btのシミュレーション結果を示す。シミュレーション結果は、有限要素シミュレーションツールを用いた3D磁気シミュレーションによって得られる。シミュレーション結果上に重ねて、3つの円が描かれている。外側の円及び中間の円はそれぞれ、(例ではそれぞれ12mm及び8mmの直径を有する)リング磁石5の外径及び内径に対応する。内側の円8は、センサ素子が配置され得る仮想的な円8の例を表す。従来技術において、リング磁石はパルスエンコーディング(例えば、極の発生の、分数ではなく、整数を計数すること)のために使用されるが、発明者の知る限りでは、磁場成分が中間の円と外側の円(例ではそれぞれ8mm及び12mmの直径を有する円)の間において最大であるという事実にも関わらず、センサはこの場合常にリング磁石の下側又は外側に位置付けられ、決してリングの「内側上」に(すなわち、磁石の内径よりも小さな半径方向の距離だけ離間して)位置付けられることはない、ということが理解されるべきである。更に、磁力線がリングの中心の近傍において線形的に振る舞うことを信ずることは、直感に反する。この磁場は単一の磁石5によって生成され、また強磁性のヨーク等は必須ではない(図6も参照)、ということが理解されるべきである。これは部品費用及び製造費用を低減し、また位置ずれのリスクを低減する。
図8は、仮想的な円8に対する接方向の場Btを測定するように方向付けられた4つのセンサ素子VH1〜VH4を有する、この場合では垂直なホールセンサ素子を有するセンサの第1の実施形態を示す。この例では、センサ素子は、センサ素子VH2及びVH4から成る第1のグループSと、センサ素子VH1及びVH3から成る第2のグループTとの2つのグループにまとめられる。第1のグループSのセンサ素子VH2,VH4はそれぞれ、信号S1,S2を供給する。第2のグループTのセンサ素子VH1,VH3はそれぞれ、信号T1,T2を供給する。第1のグループの信号S1及びS2は加算されて(EP0916074B1(特許文献1)の如く減算されない)第1の合計値sum1を形成し、また第2のグループの信号T1及びT2は加算されて第2の合計値sum2を形成:
sum1=S1+S2 (1)
sum2=T1+T2 (2)
各グループS,T内の複数のセンサ素子は、等距離だけ離間して位置付けられ、例えば四極磁石に対しては720度/Np=180度の角度距離だけ離間して位置付けられ、例えばVH1及びVH3は180度だけ離れて位置付けられ、VH2及びVH4もまた同様である。
第1のグループSの素子VH2と第2のグループTの素子VH1との間の角度距離は、180度を磁気源5の磁極の数Npで除算した値に等しく、例えばVH2とVH1との間の角度距離は180度/4=45度に等しい。
センサ素子VH1及びVH3を180度だけ離して位置決めするとともにセンサ素子VH2及びVH4を180度だけ離して位置決めすることによって(一般に720度/Np。ここで、Npは極の数であり、この例ではNp=4である。)、且つ第1のグループSのセンサ素子VH2を第2のグループTの素子VH1に対して180度/Np=45度の角度距離だけ離間して位置決めすることによって、sum1の値は、極の対の数にロータ2の位置角度を乗算した値の正弦関数のように変化し、例えば説明される例のように4つの極の場合においてロータ2の位置角度の2倍すなわち2αの、又は六極磁石の場合において3αの正弦関数のように変化し、また、sum2の値は、極の対の数にロータ2の位置角度を乗算した値の余弦関数のように変化し、例えば四極磁石の場合において2αの、又は六極磁石の場合において3αの余弦関数のように変化し、これは、所定のオフセットは除いて製造の間に決定可能又は較正の間に測定可能であり、そして更には考慮されない。この場合、比Rは(例えば例示される)
R=sum1/sum2=tan(2α) (3)
として算出され、また角度αはこの場合、
α=(arctan R)/2 (4a)
として算出される。変形例として、角度αはまた
α=(arccotan(sum2/sum1))/2 (4b)
として算出されてもよく、又は等価な公式を用いることによって算出されてもよい。
各グループS,Tの値の合計値を算出することに代えて、各グループの平均値をまた算出して、第1の平均値avg1及び第2の平均値avg2の比を算出すること等も可能であり、このことは、平均値が合計値を2で除算した値であり従って比Rに変化は生じないため、角度位置αに対して同一の結果をもたらす、ということが理解されるべきである。
図8の構成は、回転の軸4に対するセンサ6の位置オフセット誤差に対して実質的に低い感度を有する(又は少なくとも低減された感度を有する)。なぜならば、VH1及びVH3によって生成される信号T1及びT2は(少なくとも部分的に)互いに補償する:半径方向の位置オフセットによって1つの信号がより大いと、好ましくは同一の量だけ他方の信号がより小さい。同様のことが、センサVH2及びVH4によって供給される信号S1及びS2に対しても適用される。回転の軸4に沿ったオフセット、つまりZ方向のオフセットに対しては、合計値(S1+S2)及び(T1+T2)の両方は同一の要因によって増加又は減少するであろう。そのため、角度算出のために用いられるそれらの間の比は、影響を受けない。
図8の構成はまた、一様な外部磁場Bext(図2参照)に対して低い感度を有する。なぜならば、一方のセンサ素子VH1及びVH3と他方のセンサ素子VH2及びVH4とは反対方向に向き付けられるため、各グループにおける複数のセンサによって測定される値は、加算されるときに互いにキャンセルする。比Rが場成分の合計値又は平均値から得られるという事実によって、磁場成分の絶対値は重要ではなく、それらの相対的な値のみが重要である。このことは、この方法が、経年劣化、磁石の許容誤差、及び温度に対して非常に頑強であるということを意味する。四極磁石に対して、正弦関数及び余弦関数は、αの代わりに2αによって異なり、ここでαは、ロータがステータに対して回転される機械的角度であるそのため、四極磁石を有するセンサ6は従来技術のセンサよりも高い感度を有し、このことは、それらが同一数のセンサ素子を有するという事実にも関わらず成り立つ。他方では、センサによって測定可能な角度位置範囲は180度である。図8のセンサ素子VHi(i=1〜4)は、たとえセンサ素子VHiの「複数のホールプレート」が実際に基板の深さ方向にはめ込まれ得るとしても、単一の平面β(図2参照)に位置付けられるものとして見なされる。しかしながら、複数のホールプレートの中心が仮想的な円8上に位置付けられるため、また、複数のホールプレートの相対的な寸法が、仮想的な円8の直径よりも(例えば10倍又はそれよりも大きな値倍だけ)非常に小さいため、センサ素子は、軸方向Zに測定される「高さ」を考慮することなく、平面βに位置付けられるものとして見なされることが可能である。
図9は、磁石表面の下方に約3mmの距離d1だけ離間した位置において測定される、図6の四極リング磁石によって発生される磁場Bの半径方向の磁場成分Brの(図7と同様のツール及びパラメータを用いた)シミュレーション結果を示す。シミュレーション結果上に重ねて、図7に示すものと同様の3つの円が描かれている。この磁場は単一の磁石5によって発生され、強磁性のヨーク等は必須ではない(図6参照)ということが理解されるべきである。これは部品費用及び製造費用を低減し、また位置ずれのリスクを低減する。
図10は、仮想的な円8上の半径方向の場を測定するように方向付けられた4つのセンサ素子VHi(i=1〜4)を有する、この場合では垂直なホールセンサ素子を有するセンサの第2の実施形態を示す。センサ素子は再び、センサ素子VH2及びVH4からなる第1のグループSと、センサ素子VH1及びVH3から成る第2のグループTの2つのグループにまとめられる。第1のグループSのセンサ素子VH2,VH4はそれぞれ、信号S1,S2を供給する。第2のグループTのセンサ素子VH1,VH3はそれぞれ、信号T1,T2を供給する。第1のグループの信号S1及びS2は加算されて(EP0916074B1(特許文献1)の如く減算されない)第1の合計値sum1を形成し、また第2のグループの信号T1及びT2は加算されて第2の合計値sum2を形成する。
sum1=S1+S2 (5)
sum2=T1+T2 (6)
センサ素子VH1及びVH3を180度だけ離して位置決めするとともにセンサ素子VH2及びVH4を180度だけ離して位置決めすることによって(一般に720度/Np。ここで、Npは極の数であり、この例ではNp=4である。)、且つ第1のグループSのセンサ素子VH2を第2のグループTの素子VH1に対して180度/Np=45度の角度距離だけ離して位置決めすることによって、所定のオフセットは除いて、sum1の値は、例示される4つの極の実施形態においてロータ2の位置角度の2倍の、すなわち2αの正弦関数のように変化し、またsum2の値は、2αの余弦関数のように変化する。この場合、比Rは
R=sum1/sum2=tan(2α) (7)
として算出され、また角度αはこの場合、
α=(arctan R)/2 (8)
として算出される。上述のように、角度αはまた、逆余接関数を用いて算出されてもよい。
グループの値の合計値を算出することに代えて、各グループS,Tの平均値を算出して、平均値の比R等を算出すること等もまた可能であり、このことは、平均値が合計値を2で除算した値であり従って比Rに変化は生じないため、角度位置αに対して同一の結果をもたらす、ということが理解されるべきである。
図10の構成は、磁石5に対するセンサ6の位置オフセット誤差に対して実質的に低い感度を有する。同様のことがVH1及びVH3に対して適用される。図10の構成はまた、一様な(例えば一定の)外部磁場Bextに対して低い感度を有する。なぜならば、(複数のセンサ素子は反対方向に向き付けられるため)各グループにおける複数のセンサによって測定される値は互いにキャンセルする。比が場成分の合計値又は平均値から得られるという事実によって、磁場成分の絶対値は重要ではなく、それらの相対的な値のみが重要である。このことは、この手段が、経年劣化、磁石の許容誤差、及び温度に対して非常に頑強であるということを意味する。
図11は、磁石表面の下方に3mmだけ離間した位置における図6の磁石の軸方向の場成分Bzのシミュレーション結果を示す。図7と同一のリングが示される。一見して、場は、図7に示す接方向の場又は図9に示す半径方向の場に類似してみえるが、図12参照して以下に説明される小さな欠点が存在する。
図12は、仮想的な円8上で軸方向の場を測定するように方向付けられた4つのセンサ素子HH1〜HH4を有するセンサ、この場合水平なホールセンサ素子を有するセンサの第3の実施形態を示す。センサ素子は再び、センサ素子HH1及びHH3からなる第1のグループSと、センサ素子HH2及びHH4から成る第2のグループTの2つのグループにまとめられる。本実施形態において720度/4=180度だけ離れて位置付けられる同一のグループS又はTの全てのセンサ素子、例えば第1のグループSの素子HH1及びHH3、又はHH2及びHH4は、それらが同一の場の方向に対して同一の符号の値(例えば平面内の場に対して正値)を生成するように方向付けられる、ということが理解されるべきである。グループS,Tはお互いに独立しているため、両グループは同一の方向を有することが可能であり、あるいは異なる方向を有することが可能である。
第1のグループSのセンサ素子HH1,HH3はそれぞれ、信号S1,S2を供給する。第2のグループTのセンサ素子HH2,HH4はそれぞれ、信号T1,T2を供給する。第1のグループの信号S1及びS2は加算されて(EP0916074B1(特許文献1)の如く減算されない)第1の合計値sum1を形成し、また第2のグループの信号T1及びT2は加算されて第2の合計値sum2を形成する。
sum1=S1+S2 (9)
sum2=T1+T2 (10)
センサ素子HH1及びHH3を等距離だけ離間した角度位置で、例えば180度だけ離して位置決めするとともにセンサ素子HH2及びHH4を180度だけ離して位置決めすることによって(一般に720度/Np。ここで、Npは極の数であり、この例ではNp=4である。)、且つ第1のグループSのセンサ素子HH1を第2のグループTの素子HH2に対して180度/Np=45度の角度距離だけ離して位置決めすることによって、所定のオフセットは除いて、sum1の値は、ロータ2の位置角度の2倍すなわち2αの正弦関数のように変化し、また、sum2の値は、2αの余弦関数のように変化する。この場合、比Rは
R=sum1/sum2=tan(2α) (11)
として算出され、また角度αはこの場合、
α=(arctan R)/2 (12)
として算出される。上述のように、角度αはまた、逆余接関数を用いて算出されてもよい。
グループの値の合計値を算出することに代えて、また、各グループの平均値、及び平均値の比R等を算出すること等も可能であり、このことは、同様の結果をもたらし得る、ということが理解されるべきである。図13を参照して後述するように、図12の構成は幾分、磁石5に対するセンサ6の位置オフセット誤差に対して感度を有する。比が場成分の合計値又は平均値から得られるという事実によって、磁場成分の絶対値は重要ではなく、それらの相対的な値のみが重要である。このことは、この手段が、経年劣化、磁石の許容誤差、及び温度に対して非常に頑強であるということを意味する。この実施形態の欠点は、しかしながら、図12の構成は一様な(例えば一定の)外部磁場Bextに対して高い感度を有する、ということである。なぜならば、各グループにおける複数のセンサによって測定される値は、(センサ素子が同一の方向に方向付けられるため)互いにキャンセルしないためである。しかしながら、使用される水平なホール素子のみが存在するために、それらは、Bx,Byではなく、外部のBz場に対してのみ感度を有する。
図7から図12の手段によって、四極リング磁石と、仮想的な円上に配列され、且つ1つの場成分Br,Bt,又はBzを測定するように方向付けられた4つのセンサ素子とを備える装置であって、複数のセンサ素子は2つのグループS及びTに分けられ、各グループS,Tの複数の素子は、(Br及びBtの場合において)反対の方向に方向付けられ、又は(Btの場合において)同一の方向に方向付けられ、また、各グループにおける複数のセンサは等距離だけ離間した位置に位置付けられ、複数のグループの位置は45度だけ離れる、装置が、各グループの複数の素子の信号の合計値又は平均値の比Rの逆正接又は逆余接を算出することによって、磁石に対するセンサの角度位置を決定するために使用可能であることが説明される。
これらのセンサの位置誤差感度、特に半径方向の位置感度は、図13〜図15を参照して、以下に説明される。
図13は、半径rの関数で、A−A線上で測定される、図11の軸方向の磁場成分Bzの強度を示す。縦軸は、(単位Tで)磁束密度を示す。図示するように、場は、中心の近傍で非常に非線形の状態で振る舞い、また中心から約2.0mmから約4.00mmまでの範囲において線形の状態で振る舞い、このとき場の強度はおよそ15mTから40mTまでの範囲において変化する。図12のセンサ素子HH1〜HH4を、それらが位置オフセットに対して非常に低い感度を有するように配置するために、センサ素子はこれらの線形範囲に位置付けられ得、例えば仮想的な円はおよそ4mmから8mmの直径を有する必要があり得る。しかしながら、これはセンサ技術(例えばCMOS技術)のダウンスケーリングを制限し、また、磁石の寸法と線形範囲の位置との関係によって、センサの寸法が磁石の寸法から独立して選ばれることができることを妨げる。位置オフセット誤差に関して完璧でないにも関わらず、図12のセンサは、たとえ仮想的な円の直径が(例えば例示の実施形態において4mm未満の)「非線形な」範囲において選ばれ得るとしても、外部磁場がない場合、例えば遮蔽されているとき、角度位置を測定することがそれでも可能であり得る。更に、関数Bz(r)は、中心から約1mmから約2mmのだけ離間した距離の位置において「略」線形であり、そのずれは、多くの応用において良好に許容可能であろうということが説明される。また0mmから1mmまでの範囲内でさえも、曲線の傾きは中心の左側において負値であるとともに右側においては正値であり、そのためオフセット誤差に対する少なくとも部分的な補償が常にある。
図14は、A−A線上で測定される、半径の関数で、図9の半径方向の磁場成分Brの強度を示す類似の図を示す。より小さな部分(−3mmから+3mm)が描かれていることが理解されるべきである。図示するように、場の強度Br(r)は、中心の近傍において非常に線形であり、線形範囲は約−1.5mmから約+1.5mmまで拡がっており、場の強度Brは、0mTから約17mTまでの範囲で変化する。センサ素子が灰色の長方形で示す領域に位置付けられる場合、各グループの複数のセンサ素子は、位置オフセットを補償又はキャンセルすることとなる。この長方形が中心を含むため、センサ素子間の距離d2は所望の通りに小さくされることが可能であり、そのため集積回路のダイサイズは、(「軸外(オフアクシス)誤差」としても知られる)位置誤差に影響を与えず、また磁石の寸法から独立して選択可能である。この場成分Brを測定するセンサの仮想的な円8の適切な直径d2は、0.0mm(これは含まれないが、直径は数ミクロンまで下がることができる)と3.0mmの間の任意の直径であり得、実際には0.1mmから3.0mm、例えば約0.5mm、約1.0mm、約1.5mm、約2.0mm、約2.5mm、又は間の任意の値の、任意の直径であり得る。2つの向かい合ったセンサ素子間の距離が小さくなると、信号は小さくなる。そのため最適条件は、1mmと10mmの間の典型的な半導体のダイに対する、例えばシリコンのダイに対する、線形範囲内において可能な限り大きいであろう。特にリング直径はこの場合、1mmと3mmとの間にある。しかしながら、1.0mmの直径d2が選択される場合、補償可能な最大の位置オフセットは0.5mm、すなわち直径の半分である。
図15は、A−A線上で測定される、半径の関数で、図7の接方向の磁場成分Btの強度Bt(r)を示す類似の図を示す。−4mmから+4mmまでの部分が描かれていることが理解されるべきである。図示するように、場の強度は、中心の近傍において非常に線形であり、線形範囲は約−2.5mmから約+2.5mmまで拡がっており、場の強度Btは、0mTから約77mTまでの範囲で変化する。センサ素子が長方形で示す領域に位置付けられる場合、各グループの複数のセンサ素子は、位置オフセットを補償又はキャンセルすることとなる。この長方形が中心を含むため、センサ素子間の距離d2は所望の通りに小さくされることが可能であり、そのため集積回路のダイサイズは、(「軸外誤差」としても知られる)位置誤差に影響を与えず、また磁石の寸法から独立して選択可能である。この場成分Btを測定するセンサの仮想的な円8の適切な直径d2は、0.0mmと5.0mmとの間の任意の直径であり得、実際には0.1mmから5.0mm、例えば約0.5mm、約1.0mm、約1.5mm、約2.0mm、約2.5mm、約3.0mm、約3.5mm、約4.0mm、約4.5mm、又は間の任意の値の、任意の直径であり得る。しかしながら、1.0mmの直径d2が選択される場合、補償可能な最大の位置オフセットは0.5mm、すなわち直径の半分である。
図14と図15とを比較するとき、この磁石に対する接方向の場成分Bt(図15)の磁場強度と半径方向の場成分Br(図14)の磁場強度とは、たった10%だけ異なるため、2つの解決方法は、センサ素子と回転軸4との間の同じ距離r2に対して、実質的に同じ性能(精度、分解能)を提供する、ということが理解されるべきである。
図16〜図22を参照して六極リング磁石を有する装置について以下に説明する。
図16は、例として、中央の円筒形状の開口部を有する六極リング磁石5を示す。円形形状又は多角形形状を有する六極円盤磁石はまた、変形例として用いられ得る。磁石5は、磁石の近傍において、回転軸4の周囲に、周期的に反復的な磁場パターンBを発生する。一部の磁力線はリング磁石の外側に示され、磁場Bはリングの外側では測定されないが、むしろ、ここでは六極磁石であるが図6に示す装置と同様に、回転軸4に対して直交する平面βにおいて、且つ磁石面から軸方向の距離d1の位置において、中央の磁石開口部の「下側」及び「内側上」で測定される。3つの太い黒の矢印は、3つのセンサ素子(図示せず)の第1のグループSの向き(位置ではない)を示す。それらによって生成される信号はS1,S2,及びS3で示される。3つの太い白い矢印は、信号T1,T2,及びT3を生成するための、3つのセンサ素子(図示せず)の第2のグループTの向きを示す。
半径方向の場成分及び接方向の場成分の測定は、3相正弦−余弦感知の原理に基づくことができる。以下の等式は、そのような測定に有効である。
Figure 2015526730
ここで、Bmagは測定されるべき磁場(例えば六極磁石5によって発生される場)の大きさを表し、Bextはステータに対する角度
Figure 2015526730
の下での方向付けられていない外部磁場の大きさを表す。また、
sum1=S1+S2+S3=3*Bmag*sin(3α) (19)
sum2=T1+T2+T3=3*Bmag*cos(3α) (20)
であり、
比R=sum1/sum2=tg(3α) (21)
であるため、一定の磁場Bextの大きさは消去される。
図17は、平面βに位置付けられた仮想的な円8における磁場の接方向の場成分Btを測定するように適合された6つのセンサ素子VH1〜VH6を示す。センサ6は、図示される矢印の方向に関して感度を有する、いわゆる「垂直なホールプレート」センサ素子を用いることによって、実施可能である。六極磁石5が12mmの外径を有する例において、仮想的な円は、0mmと約3mmとの間の直径d2を有し得る。この六極磁石に対してはシミュレーションは行われないが、場が4つに代えて6つの「黒い」領域を示す点を除いて、図7及び図9及び図11のそれに非常に類似した結果が得られる。また、接方向又は半径方向又は軸方向の場成分Bt,Br,Bzの場の強度のプロットは、図13、図14、及び図15のそれに非常に類似したものをもたらし、これに基づいて「線形範囲」の位置及び/又は最大サイズが決定可能である。
図17を再び参照し、角度位置αは、これらのセンサ素子から以下のように算出される。センサ素子VH1〜VH6は、各々3つの素子から成る2つのグループS,Tに組織化される(一般に、Np個の極を有する磁石については、センサ素子の各グループは、Np/2個のセンサ素子から成る)。第1のグループSは、信号S1,S2,及びS3を供給するセンサ素子を有する。このグループSのセンサ素子VH1,VH2,及びVH3は、互いに120度の角度距離だけ離れた位置において、仮想的な円上に位置付けられる。一般に、Np個の極を有する磁石についてはこの角度距離は、720度/Npであり得る。第2のグループTは信号T1,T2,及びT3を供給するセンサ素子を有する。このグループTのセンサ素子VH4,VH5,及びVH6はまた、互いに120度の角度距離だけ離れた位置において、仮想的な円上に位置付けられる。第1のグループSのセンサ素子VH1と第2のグループTのセンサ素子VH4との間の距離は、六極磁石に対しては180度/Np=30度であり、ここでNp=6である。同一の角度距離が、VH2とVH5との間、及びVH3とVH6との間で、見られることができる。一般に、Np個の極を有する磁石に対して、異なるグループS,Tの素子の間の角度距離は、180度/Npである。この場合、第1の合計値sum1は、第1のグループSのセンサ素子によって生成される信号S1,S2,及びS3の合計値として算出される:
sum1=S1+S2+S3 〜 sin(3α) (22)
ここで、「〜」は「に比例する」を意味する。また、第2の合計値sum2は、第2のグループTのセンサ素子によって生成される信号T1,T2,及びT3の合計値として算出される:
sum2=T1+T2+T3 〜 cos(3α) (23)この場合、比Rは
R=sum1/sum2=tan(3α) (24)
として算出され、また角度αはこの場合、
α=(arctan R)/3 (25)
として算出される。
本発明の実施形態において、センサ6は、例えばCMOS技術において実施される集積回路であってもよく、また角度αを算出する手段は同じチップ上に埋め込まれてもよい。そのようなチップは、測定された信号Si,Tiをデジタル化するアナログ−デジタル変換器(図示せず)と、上述の公式に基づいて角度αを算出するアルゴリズム、等価な公式、テーブル、又は当業者によって知られる任意の他の方法を備えた、デジタル信号プロセッサ(DSP)と、を更に含んでもよい。
グループの値の合計値を算出することに代えて、各グループの平均値、及び平均値の比等を算出することも可能であり、このことは比R及び角度αに対して同一の結果をもたらし得る、ということが理解されるべきである。
図17の構成は、VH1,VH2,及びVH3によって生成された信号が互いに補償するため、センサ6のオフセット誤差に対して低い感度を有する。同様のことがセンサ素子VH4,VH5,及びVH6に対しても適用される。図17の構成はまた、一様な外部磁場Bextに対して低い感度を有する。なぜならば、各グループS,Tにおけるセンサ素子によって測定される値は、センサ素子の120度の回転によって、互いにキャンセルするからである。比が場成分の合計値又は平均値から得られるという事実によって、磁場成分の絶対値は重要ではなく、それらの相対的な値のみが重要である。このことは、この方法が、経年劣化、磁石の許容誤差、及び温度に対して非常に頑強であるということを意味する。図16の六極磁石を用いて図17に示すセンサ素子VH1〜VH6によって測定可能な角度位置範囲は120度である。一般に、Np個の極を有する磁石に対して、角度範囲は720度/Npである。
各グループの複数のセンサ素子、例えば第1のグループSの素子VH1,VH2,及びVH3は、(円の向かい合った直径側上に対で位置付けられることに代えて)正多角形を形成する、ということが理解されるべきである。図17において、多角形は三角形である。この幾何学的コンセプトは6つよりも多くの極を有する多極磁石を測定する複数のセンサに対しても拡張可能であり、例えば8つの極を有する磁石(Np=8)に関して、センサ素子は正方形上に位置付けられ得る。第2のグループTのセンサ素子VH4,VH5,及びVH6に対する三角形は、図が不明瞭になることを避けるために、図示されていない。しかし、例示の実施形態において、T三角形(素子VH4,VH5,及びVH6のグループによって形成される三角形)の位置は、六極磁石に対してはNp=6であるため、この例において180度/Np=30度だけS三角形(素子VH1,VH2,及びVH3のグループによって形成される三角形)を回転することによって、簡単に得られる、ということを簡単に理解できる。
図18は、例えば合計値信号sum1及びsum2(又は平均値信号avg1及びavg2)の、組み合わせられた正弦信号と余弦信号の例を示し、これらはリング磁石に対して回転されるとき、図17の複数のセンサ素子のグループS,Tから取得可能である。図示されるように、2つの合計値信号の間の位相差は30度であり、該信号は120度の周期を有し、これは図17のセンサによって測定可能なαの最大の角度範囲である。
図19は、図16に示す六極リング磁石の接方向の場成分Btを測定するセンサ6の別の実施形態を示す。このセンサ6は、各垂直なホールプレートセンサ素子VHiが、2つの隣接する複数の水平なホールプレート素子の対及び集積化磁気コンセントレータ(IMCと略記する)に置換される点を除いて、図17に示すセンサ6に類似して見える。IMCは、チップ表面と平行な磁場を、局所的に、表面に対して直交する場に変換し、言い換えると、接方向及び半径方向の場成分Bt,Brを軸方向の場成分Bzに変換する。磁場の垂直な成分はこの場合、従来技術の(「水平なホールプレート」とも呼ばれる)平面的な複数のホール素子によって感知される。磁気コンセントレータはまた、能動的磁気増幅器としての役割も果たし、センサ性能を改善する。
隣接するセンサ素子の対の信号H1,H2は、単一の信号S1を形成するように、減算される。同じ動作の間、外部の(望まれていない)場からの任意のBz場は減算され、そのためそれはS1の読み込みに影響を与えない。同様のことが他の対から取得可能な信号に対して適用される。
IMCは更に利得を上げるが、それはまた局所的な接方向の場成分(磁束線)を、水平なホール素子Gi,Hi(i=1〜6)に対して実質的に直行する軸方向に回転させる、ということが理解されるべきである。前者は乗算(*IMC)によって以後示されるが、後者は簡単な方法で公式によって表現できない。従って、S1=(H1−H2)〜(図17のVH1の位置における)接方向の場Btの強度に係数IMCを乗算した値が得られ、すなわちS1=(H1−H2)*IMCが得られる。IMCの略記は、集積化磁気コンセントレータそれ自身、又はその増幅値を指すために本明細書において用いられる、ということが理解されるべきである。両方の意味のうちのいずれが意図されているかは、文脈から明確となろう。同様に、S2=(H3−H4)*IMC、S3=(H5-H6)*IMC、T1=(G1−G2)*IMC、T2=(G3−G4)*IMC、及びT3=(G5−G6)*IMCが得られる。これらの信号Si及びTiから、第1のsum1及び第2のsum2(すなわち第1平均値及び第2の平均値)、比R、及び角度αは、前述のように算出可能である。この実施形態の利点は、複数の「水平なホールプレート」素子が使用可能であり、それらは(適用される技術に応じて)およそ2〜4倍の感度を有し、またそれらは「垂直な」ホール素子よりもおよそ5〜10分の1のオフセット(及び温度及び寿命に伴うオフセットドリフト)を特徴付ける、ということである。
図19の装置は、(四極磁石に対して図11に例示されたような)磁場の軸方向の成分Bzを測定しない、ということが理解されるべきである。
1つのギャップに近い2つのホールプレートの間の差が形成されるため、コモンモード部分(Bz成分)は除去される。差動モード(例えば、H2に対して比較されるH1に関する差であるBzの部分)に関しては、それは単に、半径方向/接方向の場と同一の周期を有する高調波信号を増大させ、従って、信号を増大させるのみである。
IMCは、磁場と類似の、ある種の周期性を有する。IMCの寸法は、(a)技術によって決定される厚さと、(b)設計の問題であるリングの幅である。厚さ及び幅は、一方ではそれらがホール装置に対して良好な、例えば最高の、利得を与えるように、しかし他方では非線形性をもたらす磁場Bからの飽和効果が無いべきであるように、製作される必要がある。適切な寸法は、定期試験によって、又は試行錯誤によって決定可能である。
図20は、図16に示すような中央の円筒形状の開口部を有する同じ六極リング磁石を示す。上述のように、3つの太い黒の矢印は、(図20に示す)3つのセンサ素子の第1のグループSの方向を示し、3つの太い白い矢印は、(図20に示す)3つのセンサ素子の第2のグループTの方向を示し、全てのセンサ素子は半径方向の場成分Brを測定するように適合される。第1のグループSのセンサ素子によって生成される複数の信号は、S1,S2,及びS3によって示される。第2のグループTのセンサ素子によって生成される複数の信号は、T1,T2,及びT3によって示される。
図21は、図20の六極リング磁石を用いて絶対的な位置αを決定するセンサ6の6つの垂直なホールセンサ素子の位置及び方向の実施形態を示す。センサ素子は、直径d2を有する仮想的な円上に位置付けられるとともに、磁石から軸方向の距離d1の位置における平面βにおいて、且つ図2に示すように磁石の回転軸4に一致して、図20の磁石の半径方向の磁場成分Brを測定するように適合され、これは図17に示す実施形態の変形例であり、図17のセンサ6に対して説明された全てはまた、磁場成分の方向とセンサ素子の対応する方向とを除いて、図21のセンサに対して適用可能である。
図22は、図21のセンサ6から取得可能である、組み合わせられた正弦信号及び余弦信号sum1,sum2の例を示す。これらの信号は原理的には、図18のそれらと同一であるが、これらの信号は接方向の場成分Btに代えて半径方向の場成分Brを測定することによって生成されるということが理解されるべきである。図17及び図21の両解決方法は実質的に、精度、分解能、センサ位置オフセットに対する感度の低さ、及び一定の外部磁場Bextに対する感度の低さに関して等価である。この概念は、少なくとも4つの磁極と、中央の円筒形状の穴とを有する、他の多極リング磁石又は多極円盤磁石に拡張可能である。
図23は、六極磁石の、例えば図16の六極リング磁石の、半径方向の磁場成分Brを測定するように方向付けられた、12個の垂直なホールセンサ素子VH1〜VH12を有するセンサ6の例を示す。図17及び図21のセンサを有するこのセンサ6を比較するとき、図23のセンサは2倍の個数のセンサ素子を有するということが理解されるべきである。図23に示す例において、全てのセンサ素子は半径方向の場成分Brを測定するように方向付けられるが、このことは絶対的に必須ではなく、また素子の全て又は半分は、接方向の場成分Btを測定するように方向付けられ得る。最後の例において、センサ6は、図17に示すセンサ及び図21に示すセンサの複数のセンサ素子の組み合わせとして見なされ得る。冗長性は、改善された精度、改善された位置オフセットの感度の低さ、磁石の不規則性に対する改善された拒絶、又は信頼性検査の簡単さのために用いられ得る。
本発明の実施形態によれば、複数のセンサ素子は、各々が3つのセンサ素子から成る4つのグループS,T,U,及びVに組織化され、グループにおけるセンサ素子の数は、磁石の極の数Npの半分に等しい。各グループにおける素子は等距離だけ離間した位置に分配され、従って720度を極の数で除算した値の角度距離だけ離間した位置に、よって六極磁石に対してはNp=6であるため720度/Np=120度だけ離間した位置に分配される。第1のグループSの素子は従ってVH12,VH4,及びVH8であり、第2のグループTはVH3,VH7,及びVH11である。第3のグループUの素子はVH2,VH6,及びVH10である。第4のグループVの素子はVH1,VH5,及びVH9である。
第2のグループTの素子は、第1のグループSの素子が、180度/Npだけ、例えば図23の例における六極磁石に対しては30度だけ、回転されたときにとられ得る位置に位置付けられる。第3のグループUの素子は、第1のグループSの素子が2×(180度/Np)だけ、例えば2×30度=60度だけ、回転されたときにとられ得る位置に位置付けられる。第4のグループVの素子は、第1のグループSの素子が3×(180度/Np)だけ、例えば3×30度=90度だけ、回転されたときにとられ得る位置に位置付けられる。
第1のグループSは、センサVH12,VH4,及びVH8を備え得、それらの信号S1,S2,及びS3は加算されて、組み合わせられた信号sum1を形成し得る。第2のグループTは、センサVH3,VH7,及びVH11を備え得、それらの信号T1,T2,及びT3は加算されて、組み合わせられた信号sum2を形成し得る。第3のグループTは、センサVH2,VH6,及びVH10を備え得、それらの信号U1,U2,及びU3は加算されて、組み合わせられた信号sum3を形成し得る。第4のグループVは、センサVH1,VH5,及びVH9を備え得、それらの信号V1,V2,及びV3は加算されて、組み合わせられた信号sum4を形成し得る。
第1の角度α1はこの場合、例えば[arctan(sum1/sum2)]/3+offset1として算出され、また第2の角度α2はこの場合、例えば[arctan(sum3/sum4)]/3+offset2として算出され、ここでoffset1及びoffset2は、例えば較正によって、製造中に決定可能である。値offset2及びoffset1は典型的には、約60度だけ異なり得る。応用に応じて、これらの角度α1及びα2は平均化されて単一の角度αを形成することができ、又は、2つの角度α1及びα2は比較されて、それらの値が所与の閾値を超えて異なる場合に、問題点の指摘のように誤差信号がセンサによって供給されることができる。
図面において、第2の、第3の、及び第4のグループT,U,及びVは、第1のグループSに対して反時計回りに回転されるが、それらはまた時計回りに回転されることができる、ということが理解されるべきである。角度を算出するための複数の公式は同一であり得るが、結果として得られるステータに対するロータの角度位置は、反対の方向において測定され得る。しかしながら、そのようなセンサ及び方法は、同じ利点をもたらすであろう。
第2のアルゴリズム
本発明の別の態様は、図23〜図28を参照して説明される。図23は、どの公式を用いて角度位置を算出するかに応じて2つの異なる実施形態を説明するために用いられる、ということが理解されるべきである。上述の多くの実施形態は、一様な外部磁場Bextに対して、例えば図2において矢印で示すような一定の大きさと一定の方向を有する場に対して、頑強である。上述の実施形態の多くはまた、位置オフセット誤差に対して頑強であるが、しかしながら、これらの実施形態のうちのいずれもが、非一様な外部磁場に対して頑強ではない。
数年にわたる角度センサの分野における継続中の研究の後、発明者らは、驚くべきことに、一定の勾配を有する磁場を除去できる、又は少なくとも部分的に補償できるということを発見している。このことは、外部磁場及び/又は磁場成分が、測定される角度に実質的に影響を与えることなくX方向及び/又はY方向及び/又はZ方向に線形的に変化してもよいことを意味する。
図24は、自動車応用における典型例を示し、ここで角度位置センサ6は通電伝導体の近傍に位置付けられる。そのような通電伝導体の周囲の磁場の大きさは公式
H=I/2πr (26)
によって記載されるということは周知である。ここでIは伝導体を流れる電流であり、rは場が観測される位置における伝導体からの距離であり、B又はHはともに磁場を記載するために用いられ、ここでB=μ・Hである。ここで、μは材料(又は媒質)に依存する値である。配線からの所定の非ゼロの距離だけ離れて位置付けられる小さな領域上、例えばセンサ6によって画定される小さな領域上では、配線における電流によって発生した磁場は一定の場に一定の場勾配を付加したものによって近似可能である。
外部場Bextがセンサチップの全位置上で一定である図2とは対照的に、図24の磁場Bextはセンサチップ上で一定ではない。センサチップが伝導体に対して相対的に大きな距離の位置にあるときに限り、外部場はその0次項によって、すなわち定数ベクトル(Bxo,Byo,Bzo)によって近似可能である。
しかしながら、センサチップが伝導体により近いとき、0次項はもはや良好な近似ではない。そのような場の大きさは1/rに比例するということが理解可能である。そのため、場は非線形の勾配を含む。例として、角度位置センサがI=400Aを流す直線電流導体から25.0mmの距離だけ離間した位置に配置されるとき、センサはこの電流によって発生される約3.2mTの磁束密度を捉える。センサが約1.0mmの物理的な寸法を有する場合、伝導体により近いセンサの部分は3.14mTの場を捉え、伝導体から更なる部分は3.27mTを捉える。外部場は従って、センサ表面上で一定であると考えられることができないが、25.0mmの相対的に大きな距離の位置における1.0mmの実に小さな距離上では一定であると考えることができ、場は、その0次項及び1次項によって近似可能であり、このとき2次以上の項は無視可能である。言い換えれば、一定の値に一定の(3次元の)勾配を加えたものである。発明者らは今や、驚くべきことに、以下に説明するように、0次項(上述の一様な場)に対してのみならず、これら1次項(一定の勾配)に対しても、実質的に補償を行うことが可能であるということを発見している。
そのような一定の勾配を実質的に補償することができる第1の装置は、六極永久磁石(例えば、図20に示す六極リング磁石)と組み合わせた、図23の構成であるが、以下の公式を用いることによって角度位置を算出する。
sin(3α)=(S1+S2+S3)−(U1+U2+U3) (27)
cos(3α)=(T1+T2+T3)−(V1+V2+V3) (28)
ratio=sin(3α)/cos(3α)=tan(3α) (29)
α=(arctan ratio)/3 (30)
変形例として、以下の等価な公式の集合は使用可能である。
sum1=S1+S2+S3 (31)
sum2=T1+T2+T3 (32)
sum3=U1+U2+U3 (33)
sum4=V1+V2+V3 (34)
diff1=sum1−sum3 (35)
diff2=sum2−sum4 (36)
ratio=diff1/diff2=tan(3α) (37)
α=(arctan ratio)/3 (38)
この位置センサ6は、図2に示すような六極磁石の半径方向の場成分(Br)を測定するように適合された、12個の垂直なホールセンサ素子VH1〜VH12を有する。例示される実施形態において、センサ素子は、各々3つの素子から成る4つのグループS,T,U,及びVに分割される。一般に、グループにおける素子の数は、磁極の数Npを2で除算した値に等しい。各グループ内の素子、例えば第1のグループSにおけるVH12,VH4,及びVH8は、120度(一般には720度/Np)の角度距離だけ離れて位置付けられる。第2のグループTの素子は、第1のグループSの素子が、180度/Npだけ、例えばNp=6(六極磁石)のときには30度だけ回転した後にあると見なし得る位置に位置付けられる。第3のグループUの素子は、第1のグループSの素子が、360度/Npだけ、例えばNp=6のときには60度だけ回転した後にあると見なし得る位置に位置付けられる。第4のグループVの素子は、第1のグループSの素子が、540度/Npだけ、例えばNp=6のときには90度だけ回転した後にあると見なし得る位置に位置付けられる。位置センサは、上記の公式(27)〜(38)又は等価の公式に従って角度位置αを算出する手段を有する。
シミュレーションは、そのようなセンサが以下の特性を有することを示している。
1)そのようにして決定された位置αは、位置オフセットに対して実質的に低い感度を有する(又は少なくとも低減された感度を有する)。
2)そのようにして決定された位置αは、一定の外部磁場に対して実質的に低い感度を有する(又は少なくとも低減された感度を有する)。
3)そのようにして決定された位置αは、実質的に一定の勾配を有する外部磁場に対して、例えばX,Y,Z及びZ方向のうちのいくつかにおいて線形に変化する勾配を有する外部磁場に対して実質的に低い感度を有する(又は少なくとも低減された感度を有する)。発明者らの知る限り、この技術的効果は、従来技術の角度位置センサからは得られない。そのようなセンサは産業上の利用又は自動車応用に対して理想的であり、これらの分野では、たとえ、(相対的に)近傍の伝導体に流れる電流によって発生されるなどした望まれていない磁場が存在する環境においても、角度位置が正確に決定される必要がある。
図25は、六極リング磁石又は六極円盤磁石と併せて使用されるための、仮想的な円上の等距離だけ離間した位置に配列された、12個のセンサ素子VH1〜VH12を有する角度位置センサの別の実施形態を示す。この位置センサ6は、図16に示すような六極磁石の接方向の場成分Btを測定するように適合された、12個の垂直なホールセンサ素子VH1〜VH12を有する。例示される実施形態において、センサ素子VH1〜VH12は、各々3つの素子から成る4つのグループS,T,U,及びVに分割される。一般に、複数の素子が4つのグループに分割されるとき、1つのグループにおける素子の数は、磁極の数Npを2で除算した値に等しい。各グループ内の素子、例えば第1のグループSにおけるVH12,VH4,及びVH8は、120度(一般には720度/Np)の角度距離だけ離れて位置付けられる。第2のグループTの素子は、第1のグループSの素子が、180度/Npだけ、例えば六極磁石に対してはNp=6であるため30度だけ回転した後にあると見なし得る位置に位置付けられる。第3のグループUの素子は、第1のグループSの素子が、360度/Npだけ、例えば60度だけ、回転した後にあると見なし得る位置に位置付けられる。第4のグループVの素子は、第1のグループSの素子が、540度/Npだけ、例えば90度だけ、回転した後にあると見なし得る位置に位置付けられる。
図24の実施形態に対して使用されたものと同様の公式が、角度位置αを算出するために使用可能である:
sin(3α)=(S1+S2+S3)−(U1+U2+U3) (39)
cos(3α)=(T1+T2+T3)−(V1+V2+V3) (40)
ratio=sin(3α)/cos(3α)=tan(3α) (41)
α=(arctan ratio)/3 (42)
また、センサは、i)位置オフセットに対して実質的に低い感度を有する、ii)一定の外部磁場に対して実質的に低い感度を有する、またiii)一定の外部場勾配に対して実質的に低い感度を有する、という同様の利点を有する。
図26は、位置オフセット、一定の外部磁場、及び一定の外部場勾配に対して実質的に低い感度を有する、磁気角度位置センサにおいて使用可能である、12個の磁気センサ素子を有する装置の別の実施形態を示す。この実施形態において、磁気センサ素子は、円上の等距離だけ離間した位置に配列されるいわゆる水平なホール素子であるが、加えてセンサは更に、(IMCと略記される)集積化磁気コンセントレータを更に備える。IMCは、水平なホール素子の上部に位置付けられた中央部11と、ホール素子から離間して位置付けられ且つ半径方向に方向付けられた複数の細長部10、例えば台形形状の複数のストリップ、とを備える。半径方向及び接方向の磁力線を曲げる磁気コンセントレータの使用の原理は、US20020021124(特許文献2)の全体から公知である。適切には、例えば最適には、これらのコンセントレータの形状及び寸法(例えば、長さ、幅、厚さ)は経験的に決定可能である。示される例において、コンセントレータは、中央の円盤部と、中央の円盤部の周囲の12個の台形の「太陽光線」とを備え、ホールセンサ毎に1つの「太陽光線」がある。そのような集積化磁気コンセントレータIMCは、センサ装置の製造時に後工程として装着される。IMCによる磁場の局所的な偏向によって、ホール素子HH1等は、半径方向の成分Brと(図の平面に直交する)垂直方向の成分Bzの組み合わせを測定する。半径方向の成分Brは、IMCによって、正確なIMC配置に応じて、典型的には1と10との間の範囲にある係数倍だけ増幅され、その一方でBz成分はそれから減算される。そのため各ホール素子によって生成されるホール電圧Vhは、例えば、Vh=SE×(5Br−Bz)であり、ここでSEはホール素子の感度である。
図27は、図26の実施形態の変形例を示し、この例では複数のホール素子は、細長いコンセントレータ(「太陽光線」)の内側の端部の下に配置される。この場合、ホール素子は再び、1と10との間のある利得を用いて半径方向の場成分Brを測定するとともに、垂直方向の成分Bzを測定する。しかし、図26の実施形態に比較すると、Bz成分は今度は、反対符号を有する。そのため、各素子によって生成されるホール電圧は、Vh=SE×(5Bx+Bz)となる。ここでSEはホール素子の感度である。
数学的な観点から、一定の外部磁場及び一定の磁場勾配に対する感度の低さは、以下のように説明されることができる。図24を参照する。実際には外部場を発生する多くの外部源があり得るが、以下の説明のために、伝導体に流れる電流によって発生される磁場Bextのみが考慮される。磁場Bextは、位置(x,y,z)に依存する3次元関数である。局所的には、角度位置センサのセンサ領域上で、この場は、その0次項及び1次項によって近似可能であり、以下の公式によって表現される:
Figure 2015526730
ここで、(Bxo,Byo,Bzo)は、関数の0次項によって構成される3次元(一定)ベクトルであり、dBn/dmはn=x,y,z及びm=x,y,zに対する場の勾配であり、また(xs,ys,zs)はセンサチップ上の座標である。
センサ平面がz=0として定義される場合(例えば我々が、図24に示すように、X軸,Y軸,及びZ軸を配置する場合)、等式は
Figure 2015526730
に帰着する。ここで、dBx/dx,dBx/dy,dBx/dz,dBy/dx等は定数である。
図23〜図27を参照して上に説明され、且つ角度が公式(27)又はその後の公式に従って算出された全ての実施形態は、図示のような12個のセンサ素子の信号の組み合わせによって、
1)ベクトル(Bx0,By0,Bz0)を有する任意の均一な外部磁場は実質的に打ち消し合い(又は少なくとも低減され)、角度位置の測定を妨げないが、更に
2)任意の一定勾配の場はまた実質的に打ち消し合い(又は少なくとも低減され)、角度測定を妨げない、という共通点を有する。
図24に示すような装置、並びに図25に示すような12個のホールセンサの構成及び公式(39)〜(42)を用いたシミュレーション結果は、驚くべきことに、直流成分が実質的に完全に除去され、更に1次係数dBn/dmは、少なくとも2倍、好ましくは少なくとも5倍、より好ましくは10倍だけ低減されたことを示している。特定のシミュレーションでは、伝導体を流れる400Aの電流を用いて、25mmの距離だけ離間した位置での磁場は3.2mTであり、磁場の勾配は130μT/mm(マイクロテスラ・パー・ミリメートル)である。従って、1mmのサイズを有する古典的なセンサは、130μTの残留誤差信号を測定し得る。正確な有限要素シミュレーションは、公式(39)〜(42)と組み合わせて図25のセンサを使用することによって、残留誤差信号が、シミュレーションの雑音レベルである5μT未満に低減されたことをデモンストレーションしている。このことは以下のように説明されることができる。すなわち、0次項の打ち消し合いは、同一の「質量中心」と同一の大きさ(同一の半径)を有する2つのグループの値が減算されてゼロの結果がもたらされるという事実によるように思われる。勾配(1次項)の打ち消し合いは3相交流電流に相当するように見える。任意のポテンシャルの勾配方向は3相周期における特定の瞬間に対応するが、どの瞬間が見られようとも、3相の合計値は常にゼロである。
そのようなセンサの主要な利点は、自動車の「ボンネットの下」の場合など、たとえ1つ又は複数の伝導体に流れる電流によって発生される外部磁場が存在したとしても、センサは改善された制度で位置を測定できることである、ということは明確である。
図28は、位置センサ6が8つの水平なホール素子HH1〜HH8を有するが磁気コンセントレータは使用されておらず、従ってこれらのホール素子は垂直な場Bz成分に対して感度を有する、本発明の別の実施形態を示す。このセンサは四極リング磁石と一緒に使用されるべきものであり、その一例は図6に示される図11は、そのような磁石によって供給される垂直な場成分Bzの例を示す。
8つのホール素子HH1〜HH8は4つのグループS,T,U,及びVに分けられ、各グループは磁石の極の数の半分の数、すなわち2つの素子(四極磁石に対してはNp=4)を備える。各グループにおける素子は、等距離だけ離間した位置に、従って720度/Np=180度の角度距離だけ離間した位置に分配される。第2のグループTの素子は、第1のグループSの素子が、180度/Npだけ、すなわちこの例では45度だけ、回転されたときにとられ得る位置に位置付けられる。第3のグループUの素子は、第1のグループSの素子が、2×180度/Npだけ、すなわちこの例では90度だけ、回転されたときにとられ得る位置に位置付けられる。第4のグループVの素子は、第1のグループSの素子が、3×180度/Npだけ、すなわちこの例では135度だけ、回転されたときにとられ得る位置に位置付けられる。
センサとロータとの間の角度位置は以下のように算出される。
sum1=S1+S2 (45)
sum2=T1+T2 (46)
sum3=U1+U2 (47)
sum4=V1+V2 (48)
diff1=sum1−sum3 (49)
diff2=sum2−sum4 (50)
ratio=diff1/diff2=tan(2α) (51)
また、角度αはこの場合以下のように算出される。
α=(arctan R)/2 (52)
シミュレーションは、そのこのセンサが以下の特性を有することを示している。
1)そのようにして決定された位置αは、(図13を参照して説明したように、仮想的な円の直径が小さすぎる場合には完全ではないが)位置オフセットに対して実質的に低い感度を有する(又は少なくとも低減された感度を有する)。
2)そのようにして決定された位置αは、一定の外部磁場に対して実質的に低い感度を有する(又は少なくとも低減された感度を有する)。
3)そのようにして決定された位置αは、「ある」一定の場勾配に対して、特にdBz/dx及びdBz/dyに対して、実質的に低い感度を有する(又は少なくとも低減された感度を有する)が、六極磁石とは対照的に、他の1次項dBx/dx,dBx/dy,dBy/dx、及びdBy/dyに対してはそうでない。それにもかかわらず、この実施形態はそれでも、任意の場勾配に対して補償を行わない従来技術のセンサの改善である。
(六極磁石と組み合わせて12個のセンサ素子を用いる)図25のセンサによって得られる利点はまた、上と同様の方法で配列される4つのグループに分割される、16個のホール素子と組み合わせて八極磁石を用いて、又は十極磁石及び20個のホール素子を用いて、且つ上述の(39)〜(42)に類似する公式を用いて、しかしグループ毎の素子の異なる数を考慮するようにわずかに適合されて得られる、ということを予備的シミュレーションは示すように見える。実際、八極磁石は、4つのグループS,T,U,及びVに分割される、16個のセンサ素子によって測定され得、各グループは仮想的な円上に360度/4=90度の等距離角度だけ離間して位置付けられた4つのセンサ素子を有し、第2グループTの素子は、第1のグループSの素子が、八極磁石に対してはNp=8であるため180度/Np=22.5度だけ回転されたと見なされ得る位置に位置付けられる。第3グループUの素子は、第2のグループTの素子が180度/Np=22.5度だけ回転されたと見なされ得る位置に位置付けられ、第4グループVの素子は、第3のグループUの素子が180度/Np=22.5度だけ回転されたと見なされ得る位置に位置付けられる。八極を用いる構成の欠点はしかしながら、角度範囲が0度から90度までの範囲に縮小されることと、磁石の寸法及び許容誤差が極の数が増加するに伴い縮小することである。
しかし、本発明は八極に限定されず、類似の方法で、4つのグループS,T,U,及びVに分割された、十極磁石によって発生される磁場が20個のセンサ素子によって測定され得る。各グループは、仮想的な円上に360度/5=72度の等距離角度だけ離間して位置付けられた5つのセンサ素子を有し、第2グループTの素子は、第1のグループSの素子が、八極磁石に対してはNp=10であるため180度/Np=18度だけ回転されたと見なされ得る位置に位置付けられる。第3グループUの素子は、第2のグループTの素子が、更に18度だけ回転されたと見なされ得る位置に位置付けられる。第4グループVの素子は、第3のグループUの素子が、更に18度だけ回転されたと見なされ得る位置に位置付けられる。
以下の表に、四極リング磁石及び六極リング磁石を有するいくつかの想定されるセンサの最も重要な特徴がまとめられ、これらの実施形態の多くは上で詳述されている。いくつかのシミュレーション及び試験は未だ継続中である。
Figure 2015526730
ここで、「s−ins]は「実質的に低い感度を有する」ことを表し、algorithm1は、例えば公式(22)〜(25)によって例示されるように上述の公式arctan(Σ(Si)/Σ(Ti))に基づき、algorithm2は、例えば公式(39)〜(42)によって例示されるように上述の公式arctan((Σ(Si)−Σ(Ui))/(Σ(Ti)−Σ(Vi))に基づく。
(*1)この構造は、勾配に対して頑強である。
(*2)この構造は、Bxの勾配及びByの勾配に対して頑強である。
(*3)この構造は、ここではBx及びByが影響力を有しないため、全ての勾配に対して頑強である。Bzのみが測定され、Bz上の一定の勾配はキャンセルされる。
(*4)予備試験は、軸外状況が完全に頑強であることを示している。それはしかしながら、最大0.7mmまで非常に良好であるが、その後は角度誤差は増大している。

Claims (31)

  1. ステータ(3)に対するロータ(2)の角度位置(α)を測定する装置(1)であって、前記装置は、
    回転軸(4)の周囲を回転可能である前記ロータ(2)と、
    前記回転軸(4)対して固定された位置を有する前記ステータ(3)と、
    磁場(B)を発生する、前記ロータ(2)上に配置された磁気源(5)であって、前記磁気源(5)は前記回転軸(4)に対して周期的に反復的な磁場パターン(B)を発生する複数(Np)の磁極を有する多極磁石であり、前記磁極の数(Np)は少なくとも4である、磁気源(5)と、
    前記ステータ(3)上に配置され、且つ前記磁場(B)の少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)を測定するとともに前記少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)を示す測定信号(Si,Ti)を供給する複数のセンサ素子(VH,HH)を備えたセンサ(6)であって、前記センサ(6)は、実質的に前記回転軸(4)を中心にしてその周囲に位置付けられるとともに、前記磁気源(5)から第1の距離(d1)だけ離間して前記回転軸(4)に対して実質的に直行する平面(β)に位置付けられた、センサ(6)と、を備え、
    前記複数のセンサ素子(VH,HH)は、前記回転軸(4)から第2の距離(r2)だけ離間して実質的に円(8)上に位置付けられるとともに、前記少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)を検出するように方向付けられ、
    前記複数のセンサ素子(VH,HH)は少なくとも第1のグループ(S)及び第2のグループ(T)に分割され、各グループ(S,T)内の前記複数の素子は前記円(8)上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、前記第1のグループ(S)の素子と前記第2のグループ(T)の素子との間の角度距離は180度を前記磁気源(5)の前記磁極の数(Np)で除算した値に等しく、
    前記装置(1)は更に、
    供給される信号(Si,Ti)から前記ロータ(2)の角度位置(α)を算出する手段であって、前記算出する手段は、前記第1のグループ(S)の複数のセンサ素子(VHi,HHi)によって供給される前記複数の信号(Si)の第1の合計値(sum1)又は第1の平均値(avg1)を算出するように適合され、前記第2のグループ(T)の複数のセンサ素子(VHi,HHi)によって供給される前記複数の信号(Ti)の第2の合計値(sum2)又は第2の平均値(avg2)を算出するように適合され、且つ、第1の合計値(sum1)、第1の平均値(avg1)、第2の合計値(sum2)、及び第2の平均値(avg2)から成るグループから選択される1つ又は複数の値に基づいて前記ロータ(2)の角度位置(α)を決定するように適合される、算出する手段を備える、
    装置(1)。
  2. 前記多極磁石(5)は永久磁石である、請求項1記載の装置(1)。
  3. 前記多極磁石(5)は中央の円筒形状の開口部を有する、請求項2記載の装置(1)。
  4. 前記多極磁石(5)は少なくとも6つの磁極(N,S)を有する、請求項2又は3記載の装置(1)。
  5. 前記多極磁石(5)は、外径(OD)及び内径(ID)を有するリング形状を有し、
    前記センサにおける前記円(8)は、前記磁石(5)の外径(ID)の1%から30%の直径(d2)を有する、
    請求項2〜4のうちのいずれか一項記載の装置(1)。
  6. 測定される前記少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)は、実質的に前記円(8)に接するように方向付けられた、前記磁場(B)の接方向の場成分(Bt)を含む、請求項1〜5のうちのいずれか一項記載の装置(1)。
  7. 前記複数のセンサ素子は、前記円(8)に接する法線を有するプレートを有する複数の垂直なホール効果素子を備える、
    請求項6記載の装置(1)。
  8. 各センサ素子は、互いに隣接して前記円(8)上に位置付けられ且つ前記回転軸(4)に対して実質的に直交するように方向付けられた複数のプレートを有する水平なホール効果素子(G,H)の対と、局所的な接方向の磁場(Bt)を、前記複数のプレートに対して実質的に直行する方向に曲げるIMCセグメントと、を備える、
    請求項6記載の装置(1)。
  9. 前記測定される少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)は、実質的に前記円(8)に対して半径方向に方向付けられた、前記磁場(B)の半径方向の場成分(Br)を含む、
    請求項2〜5のうちのいずれか一項記載の装置(1)。
  10. 前記複数のセンサ素子は、前記回転軸(4)に対して直交し且つこれと交差する法線を有するプレートを有する複数の垂直なホール効果素子を備える、
    請求項9記載の装置(1)。
  11. 前記算出する手段は、第1の合計値(sum1)と第2の合計値(sum2)の比(R)、又は第1の平均値(avg1)と第2の平均値(avg2)の比(R)を算出するように、且つ前記比(R)の逆正接又は逆余接に基づいて前記ロータ(2)の角度位置(α)を決定するように適合される、
    請求項1〜10のうちのいずれか一項記載の装置(1)。
  12. 前記複数のセンサ素子(VH,HH)の数は、前記多極磁石(5)の前記磁極の数(Np)の2倍であり、
    前記センサ(6)は、実質的に前記円(8)上に位置付けられた前記複数の磁気センサ素子(VH,HH)の第3のグループ(U)及び第4のグループ(V)を更に備え、前記第3及び第4のグループ(U,V)の複数の磁気センサ素子は少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)を検出するように方向付けられ、前記第3及び第4のグループ(U,V)の各々内の前記複数のセンサ素子は前記円(8)上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、前記第3のグループ(U)の素子と前記第1のグループ(S)の素子との間の角度距離は360度を前記磁気源(5)の前記磁極の数(Np)で除算した値に等しく、前記第4のグループ(V)の素子と前記第1のグループ(S)の素子との間の前記角度距離は540度を前記磁気源(5)の前記磁極の数(Np)で除算した値に等しく、
    前記算出する手段(7)は、前記第3のグループ(U)の複数の素子によって供給される複数の信号の第3の合計値(sum3)又は第3の平均値(avg3)を算出するように、且つ前記第4のグループ(V)の複数の素子によって供給される複数の信号の第4の合計値(sum4)又は第4の平均値(avg4)を算出するように更に適合され、
    前記算出する手段(7)は、第1の合計値(sum1)、第1の平均値(avg1)、第2の合計値(sum2)、第2の平均値(avg2)、第3の合計値(sum3)、第3の平均値(avg3)、第4の合計値(sum4)、及び第4の平均値(avg4)から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するように更に適合される、
    請求項1〜10のうちのいずれか一項記載の装置(1)。
  13. 各センサ素子は水平なホール効果素子(HH1)を備え、
    前記装置は、前記複数の水平なホール素子の上部に位置付けられる中央部(11)を有する集積化磁気コンセントレータと、前記複数のホール素子から離間して位置付けられ、且つ半径方向に方向付けられた複数の細長部(10)と、を更に備える、
    請求項12記載の装置(1)。
  14. 各センサ素子は水平なホール効果素子(HH1)を備え、
    前記装置は、中央部(11)を有する集積化磁気コンセントレータと、各々が前記複数のホール素子のうちの1つの上部に位置付けられ、且つ半径方向に方向付けられる複数の細長部(10)と、を更に備える、
    請求項12記載の装置(1)。
  15. 前記算出する手段(7)は、第1の合計値(sum1)と第3の合計値(sum3)との間の第1の差値(diff1)を算出するように、且つ第2の合計値(sum2)と第4の合計値(sum4)との間の第2の差値(diff2)算出するように更に適合され、
    前記算出する手段は、第1の差値(diff1)と第2の差値(diff2)の比(R)を算出するように、且つ前記比(R)の逆正接又は逆余接に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するように更に適合される、
    請求項12〜14のうちのいずれか一項記載の装置(1)。
  16. 自動車環境において角度位置を算出する、請求項1〜15のうちのいずれか一項記載の前記装置の使用。
  17. 請求項1〜16のうちのいずれか一項記載の前記装置を用いてステータ(3)に対するロータ(2)の角度位置(α)を決定する方法であって、
    複数のセンサ素子の前記第1のグループ(S)によって供給される複数の信号(Si)の第1の合計値(sum1)又は第1の平均値(avg1)を算出するステップと、
    複数の素子の前記第2のグループ(T)によって供給される複数の信号(Ti)の第2の合計値(sum2)又は第2の平均値(avg2)を算出するステップと、
    第1の合計値(sum1)、第1の平均値(avg1)、第2の合計値(sum2)、及び第2の平均値(avg2)から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するステップと、
    を含む方法。
  18. 第1若しくは第2の合計値(sum1,sum2)、又は第1若しくは第2の平均値(avg1,avg2)をそれぞれ算出するための組み合わせられた信号(Si,Ti)を提供するように、各対の素子の信号(Hi,Gi)を減算するステップを更に含む、
    請求項8に従属する場合の請求項17記載の方法。
  19. 第1の合計値(sum1)と第2の合計値(sum2)の比(R)、又は第1の平均値(avg1)と第2の平均値(avg2)の比を算出するステップと、
    前記比(R)の逆正接又は逆余接に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するステップと、を更に含む、
    請求項12に従属する場合の請求項17又は18記載の方法。
  20. 前記第3のグループ(U)の複数のセンサ素子によって供給される複数の信号の第3の合計値(sum3)又は第3の平均値(avg3)を算出するステップと、
    前記第4のグループ(V)の複数のセンサ素子によって供給される複数の信号の第4の合計値(sum4)又は第4の平均値(avg4)を算出するステップと、を更に含む、請求項12に従属する場合の請求項17又は18記載の方法。
  21. 第1の合計値(sum1)と第3の合計値(sum3)との間の第1の差値(diff1)と、第2の合計値(sum2)と第4の合計値(sum4)との間の第2の差値(diff2)と、第1の差値(diff1)と第2の差値(diff2)の比(R)とを算出するステップと、
    前記比(R)の逆正接又は逆余接に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するステップと、を更に含む、
    請求項20記載の方法。
  22. ステータ(3)に対するロータ(2)の角度位置(α)を測定する集積センサ回路であって、前記ロータ(2)は回転軸(4)の周囲を回転可能であるとともに、磁場(B)を発生する、前記ロータ(2)上に配置された磁気源(5)を備え、前記磁気源(5)は前記回転軸(4)に対して周期的に反復的な磁場パターン(B)を発生する複数の磁極(Np)を有する多極磁石であり、前記磁極の数(Np)は少なくとも4であり、前記ステータ(3)は前記回転軸(4)対して固定された位置を有し、前記集積センサ回路は、前記多極磁石(5)の近傍において、且つ、前記磁気源(5)から第1の距離(d1)だけ離間する位置において前記回転軸(4)に対して実質的に直行する平面(β)において前記回転軸と一致して、前記ステータに配置可能であり、
    前記集積センサ回路は、
    複数のセンサ素子(VH,HH)であって、各センサ素子は、前記磁場(B)の少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)を測定するように適合されるとともに前記センサ素子の位置において少なくとも1つの磁場成分の強度を示す測定信号(Si,Ti)を供給するように適合される、複数のセンサ素子(VH,HH)を備え、
    前記複数のセンサ素子は、前記回転軸(4)から距離(r2)だけ離間した位置において実質的に円(8)上に位置付けられとともに、前記少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)を検出するように方向付けられ、
    前記複数のセンサ素子(VH,HH)は第1のグループ(S)及び第2のグループ(T)に分割され、各グループ(S,T)内の複数の素子は前記円(8)上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、前記第1のグループ(S)の素子と前記第2のグループ(T)の素子との間の角度距離は、180度を前記磁気源(5)の磁極の数(Np)で除算した値に等しく、
    前記集積センサ回路は更に、
    前記供給される複数の信号(S,T)から前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を算出する手段(7)を備え、
    前記算出する手段(7)は、前記第1のグループ(S)の複数の素子によって供給される複数の信号(Si)の第1の合計値(sum1)又は第1の平均値(avg1)を算出するように、前記第2のグループ(T)の複数の素子によって供給される複数の信号(Ti)の第2の合計値(sum2)又は第2の平均値(avg2)を算出するように、且つ第1の合計値(sum1)、第1の平均値(avg1)、第2の合計値(sum2)、及び第2の平均値(avg2)から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するように適合される、
    集積センサ回路。
  23. 各センサ素子(VH,HH)は、前記円(8)に接する法線を有するプレートを有する垂直なホール効果素子を備える、
    請求項22記載の集積回路。
  24. 各センサ素子は、互いに隣接して前記円(8)上に位置付けられ、且つ前記回転軸(4)に対して実質的に直交するように方向付けられた複数のプレートを有する水平なホール効果素子(G,H)の対と、局所的な接方向の磁場(Bt)を、前記プレートに対して実質的に直行する方向に曲げるIMCセグメントと、を備える、
    請求項22記載の集積回路。
  25. 各センサ素子は、前記回転軸(4)に対して直交し且つこれと交差する法線を有するプレートを有する垂直なホール効果素子を備える、
    請求項22記載の集積回路。
  26. 前記算出する手段(7)は、第1の合計値(sum1)と第2の合計値(sum2)の比(R)、又は第1の平均値(avg1)と第2の平均値(avg2)の比を算出するように、且つ前記比(R)の逆正接又は逆余接に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するように、更に適合される、
    請求項22〜25のうちのいずれか一項記載の集積回路。
  27. 前記複数のセンサ素子(VH,HH)の数は、前記多極磁石(5)の前記磁極の数(Np)の2倍であり、
    前記集積回路は、実質的に前記円(8)上に位置付けられる複数の磁気センサ素子(HH,VH)の第3のグループ(U)及び第4のグループ(V)を更に備え、前記第3及び第4のグループ(U,V)の複数の磁気センサ素子は少なくとも1つの磁場成分(Br,Bt,Bz)を検出するように方向付けられ、前記第3及び第4のグループ(U,V)の各々内の前記複数のセンサ素子は、前記円(8)上の等距離だけ離間した角度位置に位置付けられ、前記第3のグループ(U)の素子と前記第1のグループ(S)の素子との間の角度距離は、360度を前記磁気源(5)の前記磁極の数(Np)で除算した値に等しく、前記第4のグループ(V)の素子と前記第1のグループ(S)の素子との間の角度距離は、540度を前記磁気源(5)の前記磁極の数(Np)で除算した値に等しく、
    前記算出する手段(7)は、前記第3のグループ(U)の複数の素子によって供給される複数の信号の第3の合計値(sum3)又は第3の平均値(avg3)を算出するように、且つ、前記第4のグループ(V)の複数の素子によって供給される複数の信号の第4の合計値(sum4)又は第4の平均値(avg4)を算出するように更に適合され、
    前記算出する手段(7)は、第1の合計値(sum1)、第1の平均値(avg1)、第2の合計値(sum2)、第2の平均値(avg2)、第3の合計値(sum3)、第3の平均値(avg3)、第4の合計値(sum4)、及び第4の平均値(avg4)から成るグループから選択される1つ又は複数の数値に基づいて前記角度位置(α)を決定するように更に適合される、
    請求項22〜26のうちのいずれか一項記載の集積回路。
  28. 各センサ素子は水平なホール効果素子(HH1)を備え、
    前記集積回路は、前記複数の水平なホール素子の上部に位置付けられる中央部(11)を有する集積化磁気コンセントレータと、前記複数のホール素子から離間して位置付けられ且つ半径方向に方向付けられる複数の細長部(10)と、を更に備える、
    請求項27記載の集積回路。
  29. 各センサ素子は水平なホール効果素子(HH1)を備え、
    前記集積回路は、中央部(11)を有する集積化磁気コンセントレータと、各々が前記複数のホール素子のうちの1つの上部に位置付けられ且つ半径方向に方向付けられる複数の細長部(10)と、を更に備える、
    請求項27記載の集積回路。
  30. 前記算出する手段(7)は、第1の合計値(sum1)と第3の合計値(sum3)との間の第1の差値(diff1)を算出するように、且つ第2の合計値(sum2)と第4の合計値(sum4)との間の第2の差値(diff2)を算出するように更に適合され、
    前記算出する手段は、第1の差値(diff1)と第2の差値(diff2)の比(R)を算出するように、且つ前記比(R)の逆正接又は逆余接に基づいて前記ロータ(2)の前記角度位置(α)を決定するように更に適合される、
    請求項27〜29のうちのいずれか一項記載の集積回路。
  31. 自動車環境において角度位置を算出する、請求項22〜30のうちのいずれか一項記載の集積回路。
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