JP2006169993A - プランジャポンプ - Google Patents

Abstract

【課題】 プランジャポンプにおいて吐出圧力の脈動を抑制する。
【解決手段】 シリンダ２１０を構成するポンプハウジング２００と、シリンダ２１０内で往復動するプランジャ１００とにより吸入口２０２から吸入した液体を排出口２０３から吐出するプランジャポンプＰである。プランジャ１００は、往動作により容積が増大して吸入口２０２から液体を吸入するとともに、復動作により容積が減少して液体を排出する吸入室Ｖ１と、往動作により容積が減少して排出口２０３から液体を排出するとともに、復動作により容積が増大して第１室から液体を吸入する吐出室Ｖ２とをシリンダ２１０との間に形成する。プランジャ１００の往動作または復動作による吸入室Ｖ１の容積変化量は、吐出室Ｖ２の容積変化量より大きく設定される。
【選択図】 図１

Description

本発明は、プランジャを往復動させることで液体を吐出するプランジャポンプに関する。

従来、偏心カムによってプランジャ（ピストンとも呼ばれる）を往復動させることによって液体を吐出するプランジャポンプが知られている。このような形式のポンプは、プランジャの上昇または下降動作の一方で排出側から液体を吐出するとともに、他方で吸入側から液体を吸入するように構成されている。そして、このようなプランジャポンプでは、吐出が間歇的に行われるため、吐出圧力に脈動が生じる。そのため、従来シリンダの吐出側にダンピングチャンバを設けて脈動を抑制させたり（特許文献１）、金属ダイヤフラムにより脈動を吸収させたり（特許文献２）する技術が開示されている。

特開平１０−０４７２５６号公報 特開平１１−２４７７４２号公報

ところで、プランジャポンプの能力を高めるためには、往復動するプランジャの直径を大きくする必要があるが、プランジャの直径を大きくすると、前記した吐出圧力の脈動が大きくなる。その結果、この脈動を抑制するためのダンピングチャンバなども大きくする必要があり、プランジャポンプ全体が大型化してしまうという問題がある。
本発明は、このような背景に鑑みてなされたものであり、吐出圧力の脈動を小さくして、小型化を可能にするプランジャポンプを提供することを課題とする。

前記した課題を解決するため、本発明のプランジャポンプは、シリンダを構成するポンプハウジングと、前記シリンダ内で往復動するプランジャとにより吸入口から吸入した液体を排出口から吐出するプランジャポンプであって、前記プランジャは、往動作により容積が増大して前記吸入口から前記液体を吸入するとともに、復動作により容積が減少して前記液体を排出する第１室と、往動作により容積が減少して前記排出口から前記液体を排出するとともに、復動作により容積が増大して前記第１室から前記液体を吸入する第２室とを前記シリンダとの間に形成し、前記プランジャの往動作または復動作による前記第１室の容積変化量が前記第２室の容積変化量より大きいことを特徴とする。

このようなプランジャポンプによれば、プランジャが往動したときには、吸入口から液体を第１室へ吸入すると共に、第２室から排出口へ液体を吐出する。また、プランジャが復動したときには、第１室から第２室に液体が移動すると共に、第２室の容積は増大する。しかし、プランジャの往動作または復動作による第１室の容積変化量は、プランジャの往動作または復動作による第２室の容積変化量よりも大きく設定されているので、プランジャの復動による第１室の容積の減少、つまり第２室へ移動する液体の容積は、第２室の容積の増大よりも大きい。したがって、第１室から第２室へ移動した液体は、一部がそのまま排出口から排出される。
このようにして、本発明のプランジャポンプは、プランジャの往動作と復動作の両方において液体が吐出されるので、効率よく液体が吐出される。また、間歇的な吐出や、液体の逆流が起こらないため、吐出圧力の脈動を小さくすることができる。

そして、前記プランジャの往動または復動による前記第１室の容積変化量は前記第２室の容積変化量の２倍であるのが望ましい。
このようにすることで、往動作時と復動作時のそれぞれで吐出される液体の量が同じになるので、吐出圧力の脈動を極力小さくすることができる。

また、本発明は、シリンダを構成するポンプハウジングと、前記シリンダ内で往復動するプランジャとにより吸入口から吸入した液体を排出口から吐出するプランジャポンプであって、前記プランジャは、往動作により容積が増大して前記吸入口から前記液体を吸入するとともに、復動作により容積が減少して前記液体を排出する第１室と、往動作により容積が減少して前記排出口から前記液体を排出するとともに、復動作により容積が増大して前記第１室から前記液体を吸入する第２室とを前記シリンダとの間に形成し、前記第１室における前記プランジャの受圧面積は、前記第２室における前記プランジャの受圧面積より大きいことを特徴とする。

このようなプランジャポンプによれば、プランジャが往動したときには、吸入口から液体を第１室へ吸入すると共に、第２室から排出口へ液体を吐出する。また、プランジャが復動したときには、第１室から第２室に液体が移動すると共に、第２室の容積は増大する。しかし、第１室におけるプランジャの受圧面積は、第２室におけるプランジャの受圧面積より大きく設定されているので、プランジャの復動による第１室の容積の減少、つまり第２室へ移動する液体の容積は、第２室の容積の増大よりも大きい。したがって、第１室から第２室へ移動した液体は、一部がそのまま排出口から排出される。
このようにして、本発明のプランジャポンプは、プランジャの往動作と復動作の両方において液体が吐出されるので、効率よく液体が吐出される。また、間歇的な吐出や、液体の逆流が起こらないため、吐出圧力の脈動を小さくすることができる。

そして、前記第１室における前記プランジャの受圧面積は、前記第２室における前記プランジャの受圧面積の２倍であるのが望ましい。
このようにすることで、往動作時と復動作時のそれぞれで吐出される液体の量が同じになるので、吐出圧力の脈動を極力小さくすることができる。

また、本発明のプランジャポンプを構成するため、前記吸入口と前記第１室の間の流路に設けられ、前記液体の前記吸入口から前記第１室への流通のみを許容する第１逆止弁と、前記第１室と前記第２室の間の流路に設けられ、前記液体の前記第１室から前記第２室への流通のみを許容する第２逆止弁と、を前記プランジャ内に設けることができる。

このようにすることで、プランジャポンプが取り付けられる基体に逆止弁を設ける必要が無く、機能をプランジャポンプに集約させてプランジャポンプの組み付けを容易にすることができる。
また、前記第１逆止弁および前記第２逆止弁を、前記プランジャ内に設ければ、プランジャが挿入されるポンプハウジングなどに逆止弁を設ける必要がなく、プランジャに機能を集約して組立の容易化を図ることができる。

さらに、前記排出口の少なくとも一部にオリフィスを設けるのが望ましい。
このようにすることで、プランジャポンプの脈動をより一層小さくすることができる。

本発明によれば、プランジャポンプの脈動を抑制することができ、小型化を図ることもできる。

次に、本発明の実施形態について、適宜図面を参照しながら詳細に説明する。参照する図において、図１は、実施形態に係るプランジャポンプの断面図であり、図２は、プランジャの受圧部分を示す図であり、（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面に相当する図、（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ断面に相当する図である。なお、以下の説明において、図１を基準に上下の方向を称する。

本実施形態に係るプランジャポンプは、例えばブレーキ用液圧制御装置などの油圧発生装置として用いられるが、これに限られるものではない。
図１に示すプランジャポンプＰは、プランジャ１００と、ポンプハウジング２００と、キャップ３００とからなる。

ポンプボディＢは、プランジャポンプＰが挿入して取り付けられる取付穴Ｂ１を有し、取付穴Ｂ１の底部（図１における下端）にはプランジャポンプＰのプランジャ１００を露出させる開口である作動孔Ｂ１１が形成されている。ポンプボディＢには、油路が複数形成され、取付穴Ｂ１には、プランジャポンプＰに液体を供給する吸入路Ｂ２と、プランジャポンプＰから吐出される液体が通る排出路Ｂ３とが形成されている。吸入路Ｂ２は、取付穴Ｂ１の周壁のうち底部付近に形成され、排出路Ｂ３は、吸入路Ｂ２より取付穴Ｂ１の開口側（上側）の周壁に形成されている。

ポンプハウジング２００は、取付穴Ｂ１に挿入される略円筒形状の部材であり、ポンプハウジング２００の軸線に沿ったシリンダ２１０は、プランジャ１００とキャップ３００の外径に合わせて、下方から軸支持部２１０Ａ、プランジャ作動部２１０Ｂ、キャップシール部２１０Ｃの順に配置され、この順に大きくなる直径で形成されている。
ポンプハウジング２００の外周２２０には、ポンプボディＢの吸入路Ｂ２に対応した吸入口２０２と、排出路Ｂ３に対応した排出口２０３が形成されている。これらの吸入口２０２と排出口２０３は、ポンプハウジング２００の外周２２０から内周、つまりシリンダ２１０まで貫通し、プランジャ１００とポンプボディＢとの間の液体の行き来を可能にしている。また、排出口２０３は、吸入路Ｂ２、排出路Ｂ３、および吸入口２０２や、プランジャ１００内に形成される液体の流路よりも小さな流路断面で形成されており、プランジャ１００から吐出される液体の脈動を抑制するためのオリフィスを兼ねている。なお、このようなオリフィスは、排出口２０３の一部のみに形成することもできるし、排出路Ｂ３内に形成することも可能である。

また、ポンプハウジング２００の外周２２０には、ポンプハウジング２００とポンプボディＢの間の隙間から液体が漏れるのを防止するため、吸入口２０２の下側と、排出口２０３の上側に、それぞれシール部材としてのＯリング２２１，２２３が配置されている。また、吸入口２０２と排出口２０３の間の液体の圧力漏れを防止するため、外周２２０の吸入口２０２と排出口２０３の間にもＯリング２２２が配置されている。
なお、ポンプハウジング２００は、クリップ２２９により取付穴Ｂ１からの抜け止めがなされている。

プランジャ１００は、ポンプハウジング２００のシリンダ２１０内で上下に往復動して動作するものであり、軸部材１１０と、ピストン部材１２０と、スプリングリテーナ１３０とを含んで構成されている。ピストン部材１２０は、シリンダ２１０との間に第１室としての吸入室Ｖ１と、第２室としての吐出室Ｖ２を形成している。より詳しくは、ピストン部材１２０の下方に吸入室Ｖ１が形成され、ピストン部材１２０の上方に吐出室Ｖ２が形成されるため、ピストン部材１２０が下降してシリンダ２１０から退出する動作、つまりプランジャ１００の復動作により吸入室Ｖ１の容積が減少すると同時に吐出室Ｖ２の容積が増大し、ピストン部材１２０が上昇してシリンダ２１０に進入する動作、つまりプランジャ１００の往動作により、吸入室Ｖ１の容積が増大すると同時に吐出室Ｖ２の容積が減少する。なお、プランジャ１００は、必ずしもこのような３分割で構成される必要はなく、必要な機能を満たす限り、一体にもしくは分割して構成することができる。

軸部材１１０は、ポンプハウジング２００の軸支持部２１０Ａと同じ直径に形成された円柱状の部材である。軸部材１１０の下端面１１１は、平面状に形成され、偏心カム４００の外周に当接している。偏心カム４００は、外周が円形のカムであり、外周の円から偏心した回転軸４１０を中心に図示しないモータなどにより回転される。

軸部材１１０の外周１１２には、吸入口２０２に対応した吸入穴１１３が貫通して形成されている。また、外周１１２の吸入穴１１３の開口部付近には、プランジャ１００の往復動があっても吸入口２０２と吸入穴１１３の連通を確保するための溝１１４が全周にわたって形成されている。

軸部材１１０には、その軸心に沿って上方に開口するバルブ穴１１５が形成されている。バルブ穴１１５は、下方が漏斗状に縮径して弁座１１５ａが形成され、弁座１１５ａは、その下端で開口してバルブ穴１１５と吸入穴１１３とを連通している。バルブ穴１１５には、弁体であるバルブボール１４１が収容され、バルブボール１４１がコイルスプリング１５１により下方に付勢されている。そのため、バルブボール１４１は、弁座１１５ａとの協働により逆止弁（第１逆止弁）として機能し、吸入口２０２、吸入穴１１３からバルブ穴１１５、吸入室Ｖ１へ向けての液体の流通のみが許容される。

バルブ穴１１５の上端には、ピストン部材１２０と螺合するための雌ねじが形成されているとともに、雌ねじの下方には外周に貫通する吸入室連通孔１１６が形成されている。吸入室連通孔１１６は、シリンダ２１０の軸支持部２１０Ａの上端に形成された拡径部２１１Ａと軸部材１１０の間の空間を介して吸入室Ｖ１とバルブ穴１１５とを連通している。

ピストン部材１２０は、バルブ穴１１５の雌ねじに螺合する雄ねじを有する接続部１２１と、プランジャ作動部２１０Ｂと同じ直径に形成されたピストン部１２２と、ピストン部１２２の上方に連続し、ピストン部１２２より若干小さな直径となる吐出室形成部１２３とにより構成されている。

ピストン部材１２０は、その軸心に沿って上方に開口するバルブ穴１２５が形成されている。バルブ穴１２５は、下方が漏斗状に縮径して弁座１２５ａが形成され、弁座１２５ａは、その下端で開口してバルブ穴１２５と軸部材１１０のバルブ穴１１５とを連通している。バルブ穴１２５には、弁体であるバルブボール１４２が収容され、バルブボール１４２がコイルスプリング１５２により下方に付勢されている。そのため、バルブボール１４２は、弁座１２５ａとの協働により逆止弁（第２逆止弁）として機能し、吸入室Ｖ１およびバルブ穴１１５からバルブ穴１２５および吐出室Ｖ２へ向けての液体の流通のみが許容される。

バルブ穴１２５の上端は、若干拡径してスプリングリテーナ１３０と螺合するための雌ねじが形成されている。また、バルブ穴１２５の周壁には、吐出室形成部１２３の外周へ通じる吐出室連通孔１２６が貫通して形成されている。バルブ穴１２５は、吐出室連通孔１２６を介して吐出室Ｖ２と連通している。

ピストン部１２２の下面、より正確にいえば下面のうち軸部材１１０と対面せずに露出している面は、吸入室Ｖ１の受圧面Ｓ１として機能する。また、ピストン部１２２の上面は、吐出室Ｖ２の受圧面Ｓ２として機能する。吐出室形成部１２３の直径は、軸部材１１０の直径より大きく、そのため、図２（ａ），（ｂ）に示すように、受圧面Ｓ１の面積（受圧面積Ａ１）は、受圧面Ｓ２の面積（受圧面積Ａ２）より大きくなっている。受圧面積Ａ２は、プランジャ１００が上昇するときの吐出容積を規定し、受圧面積Ａ２にプランジャ１００のストロークを乗じた容積がプランジャ１００の上昇時の吐出容積となる。また、受圧面積Ａ１と受圧面積Ａ２の差は、プランジャ１００が下降するときの吐出容積を規定し、この差（Ａ１−Ａ２）にプランジャ１００のストロークを乗じた容積がプランジャ１００の下降時の吐出容積となる。したがって、より好ましくは受圧面積Ａ１が受圧面積Ａ２の２倍になるようにピストン部材１２０を形成することにより、プランジャ１００の往復動による吸入室Ｖ１の容積変化量を吐出室Ｖ２の容積変化量の２倍とする。これにより、プランジャ１００の上昇時と下降時の吐出容積を同じにできるため、吐出量の変動が小さくなる結果、プランジャポンプＰの吐出圧力の変動（脈動）をより効果的に抑えることができる。
なお、図２（ａ），（ｂ）に示す受圧面Ｓ１，Ｓ２は、プランジャ１００の軸方向（往復動方向）からみた投影部分であり、受圧面積Ａ１，Ａ２もこの投影面積により計算する。たとえば、受圧面Ｓ１，Ｓ２がプランジャ１００の軸方向に直交する面に対して傾斜している場合でも、受圧面積Ａ１，Ａ２は、プランジャ１００の軸方向から見た投影面積により計算する。

なお、接続部１２１の下端の開口の周縁にはコイルスプリング１５１の内径に対応した突起が形成されていることで、コイルスプリング１５１の上端を位置決めしている。

スプリングリテーナ１３０は、上半分の外周がピストン部材１２０の吐出室形成部１２３と同じ直径に形成され、下半分にバルブ穴１２５の上部の雌ねじに螺合する雄ねじが形成されている。また、下端には、コイルスプリング１５２の内径に対応した突起が形成されている。スプリングリテーナ１３０は、ピストン部材１２０のバルブ穴１２５に螺合されることで、コイルスプリング１５２の上端を支持している。

このようなプランジャ１００は、コイルスプリング１５３により下方の偏心カム４００側、すなわち吸入室Ｖ１の容積を減少させ、吐出室Ｖ２の容積を増大させる方向へ付勢されている。コイルスプリング１５３は、ピストン部材１２０の受圧面Ｓ２とキャップ３００の下面３１１の間で付勢力を発生している。

キャップ３００は、外径がキャップシール部２１０Ｃに圧入される大きさに形成され、内径が前記スプリングリテーナ１３０およびピストン部材１２０の吐出室形成部１２３が摺動可能なシリンダ状に形成された、下方に開口する有底円筒状の部材である。キャップ３００の有底部分にあたる上部には、キャップ３００とスプリングリテーナ１３０の間に形成される空間の容積変化を可能にするための空気孔３１０が形成されている。
キャップ３００は、ポンプハウジング２００のキャップシール部２１０Ｃに液密に圧入されている。

プランジャ１００とポンプハウジング２００との間には、液体の圧力漏れを防止するためのシール部材としてのＯリングが複数配置されている。具体的には、軸部材１１０の外周のうち、吸入穴１１３の下と上にそれぞれＯリング１６１，１６２が配置され、ピストン部１２２の外周にＯリング１６３が配置されている。また、スプリングリテーナ１３０の外周にスプリングリテーナ１３０とキャップ３００の間をシールするＯリング１６４が配置されている。

以上のように構成されたプランジャポンプＰの動作について図３を参照しながら説明する。図３は、実施形態に係るプランジャポンプの動作を説明する断面図であり、（ａ）は下死点、（ｂ）はプランジャの上昇中、（ｃ）は上死点、（ｄ）は、プランジャの下降中を示す。

図３（ａ）に示すように、偏心カム４００の回転により上下に往復動されるプランジャ１００が下死点にあるときには、吸入室Ｖ１の容積が最小（図３（ａ）においてはほぼ０）となり、吐出室Ｖ２の容積が最大となっている。
そして、偏心カム４００の回転によりプランジャ１００が上昇し始めると、図３（ｂ）に示すように、吐出室Ｖ２の容積が減少するとともに、吸入室Ｖ１の容積が増大する。

このとき、吐出室Ｖ２の容積減少により吐出室Ｖ２の圧力が上昇する。吐出室Ｖ２内の圧力上昇は、第２逆止弁であるバルブボール１４２によりバルブ穴１１５とバルブ穴１２５の間の流路を閉じ、その結果、吐出室Ｖ２内の液体は、吐出室Ｖ２の容積が減少した分だけ排出口２０３から排出される。

一方、吸入室Ｖ１の容積増大により吸入室Ｖ１内の圧力は低下する。吸入室Ｖ１の圧力低下は、第１逆止弁であるバルブボール１４１により吸入穴１１３とバルブ穴１１５の間の流路を開き、その結果、吸入口２０２から、吸入穴１１３を介して吸入室Ｖ１に液体が吸入される。より詳しくいえば、吸入口２０２から、吸入穴１１３、バルブ穴１１５、吸入室連通孔１１６、および拡径部２１１Ａと軸部材１１０の間の空間を通って吸入室Ｖ１へと液体が流れる。

次に、プランジャ１００が上昇を続けて上死点にくると、図３（ｃ）に示すように吸入室Ｖ１の容積が最大となり、吐出室Ｖ２の容積が最小になる。

さらに、偏心カム４００の回転によりプランジャ１００が下降を始めると、図３（ｄ）に示すように吸入室Ｖ１の容積が減少するとともに、吐出室Ｖ２の容積が増大する。

このとき、吸入室Ｖ１の容積減少により吸入室Ｖ１内の圧力は上昇する。吸入室Ｖ１の圧力上昇は、第１逆止弁であるバルブボール１４１により吸入穴１１３とバルブ穴１１５の間の流路を閉じるとともにバルブ穴１１５とバルブ穴１２５の間の流路を開く。その結果、吸入室Ｖ１の容積減少量に応じた容積の液体が吸入室Ｖ１から吐出室Ｖ２へ流れる。より詳しくいえば、吸入室Ｖ１から拡径部２１１Ａと軸部材１１０の間の空間、吸入室連通孔１１６、バルブ穴１１５、バルブ穴１２５、吐出室連通孔１２６を通って吐出室Ｖ２へ液体が流れる。

一方、吐出室Ｖ２は、容積が増大するものの、その容積増大量よりも吸入室Ｖ１からの液体の流入量が大きいため、全体としては圧力が上昇し、流入量と容積増大量の差の分だけの液体が排出口２０３から排出される。

図４は、本実施形態にかかるプランジャポンプによる液体の吐出量（積算値）と時間の関係を示したグラフである。図４に示すように、本実施形態のプランジャポンプＰによれば、プランジャ１００の上昇（往動作）時と下降（復動作）時の双方において液体が排出されるため、吐出圧力の変動が抑えられる。さらに、本実施形態のプランジャポンプＰでは、排出口２０３が、流路断面が小さいオリフィスとなっていることから、吐出圧力の脈動をさらに抑えることができる。また、吐出圧力の脈動を抑えるための他の機構やダンピングチャンバを大きく設ける必要がないので、プランジャポンプの小型化を図ることもできる。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は、前記した実施形態に限定されず、適宜変更して実施することが可能である。例えば、ポンプハウジング２００を独立に設けることなく、ポンプハウジング２００に相当するシリンダをポンプボディＢに形成してもよい。また、このとき、図５に示すようにオリフィスを形成する絞り部材Ｂ３１を排出路Ｂ３に設けてもよい。
また、実施形態においては、第１逆止弁および第２逆止弁をプランジャ内に設けたが、これらをポンプハウジング２００やポンプボディＢに設けることもできる。

実施形態に係るプランジャポンプの断面図である。 プランジャの受圧部分を示す図であり、（ａ）は、図１のＡ−Ａ断面に相当する図、（ｂ）は、図１のＢ−Ｂ断面に相当する図である。 実施形態に係るプランジャポンプの動作を説明する断面図であり、（ａ）は下死点、（ｂ）はプランジャの上昇中、（ｃ）は上死点、（ｄ）は、プランジャの下降中を示す。 液体の吐出量と時間の関係を示す図である。 プランジャポンプの他の例を示す図である。

符号の説明

１００ プランジャ
１１５ バルブ穴
１２５ バルブ穴
１４１ バルブボール
１４２ バルブボール
２００ ポンプハウジング
２０２ 吸入口
２０３ 排出口
２１０ シリンダ
４００ 偏心カム
Ａ１ 受圧面積
Ａ２ 受圧面積
Ｐ プランジャポンプ
Ｓ１ 受圧面
Ｓ２ 受圧面
Ｖ１ 吸入室
Ｖ２ 吐出室

Claims (6)

1. シリンダを構成するポンプハウジングと、前記シリンダ内で往復動するプランジャとにより吸入口から吸入した液体を排出口から吐出するプランジャポンプであって、
   前記プランジャは、往動作により容積が増大して前記吸入口から前記液体を吸入するとともに、復動作により容積が減少して前記液体を排出する第１室と、往動作により容積が減少して前記排出口から前記液体を排出するとともに、復動作により容積が増大して前記第１室から前記液体を吸入する第２室とを前記シリンダとの間に形成し、
   前記プランジャの往動作または復動作による前記第１室の容積変化量が前記第２室の容積変化量より大きいことを特徴とするプランジャポンプ。
2. 前記プランジャの往動作または復動作による前記第１室の容積変化量は前記第２室の容積変化量の２倍であることを特徴とする請求項１に記載のプランジャポンプ。
3. シリンダを構成するポンプハウジングと、前記シリンダ内で往復動するプランジャとにより吸入口から吸入した液体を排出口から吐出するプランジャポンプであって、
   前記プランジャは、往動作により容積が増大して前記吸入口から前記液体を吸入するとともに、復動作により容積が減少して前記液体を排出する第１室と、往動作により容積が減少して前記排出口から前記液体を排出するとともに、復動作により容積が増大して前記第１室から前記液体を吸入する第２室とを前記シリンダとの間に形成し、
   前記第１室における前記プランジャの受圧面積は、前記第２室における前記プランジャの受圧面積より大きいことを特徴とするプランジャポンプ。
4. 前記第１室における前記プランジャの受圧面積は、前記第２室における前記プランジャの受圧面積の２倍であることを特徴とする請求項３に記載のプランジャポンプ。
5. 前記吸入口と前記第１室の間の流路に設けられ、前記液体の前記吸入口から前記第１室への流通のみを許容する第１逆止弁と、
   前記第１室と前記第２室の間の流路に設けられ、前記液体の前記第１室から前記第２室への流通のみを許容する第２逆止弁と、
   を前記プランジャ内に設けたことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載のプランジャポンプ。
6. 前記排出口の少なくとも一部にオリフィスを設けたことを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載のプランジャポンプ。

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