JP2010106675A

JP2010106675A - ポンプ

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Publication number: JP2010106675A
Application number: JP2008276712A
Authority: JP
Inventors: Kazuhiro Ikemori; 一博池森; Kazukiyo Tejima; 一清手嶋
Original assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd; Toray Engineering Co Ltd
Current assignee: Nippon Pillar Packing Co Ltd; Toray Engineering Co Ltd
Priority date: 2008-10-28
Filing date: 2008-10-28
Publication date: 2010-05-13
Anticipated expiration: 2028-10-28
Also published as: JP5248267B2

Abstract

【課題】フッ素樹脂製のローリングダイヤフラムを備えたポンプで、ローリングダイヤフラムの閉鎖端をピストンの先端側にネジ結合で取付けると、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下を容易に防止できない。
【解決手段】ポンプ１は、ピストン３０とは別体に構成されたピストンロッド４０の先端部に雄ネジ４１を設け、ローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５に前記雄ネジ４１に螺合する雌ネジ１８を設け、ピストンロッド４０の先端部をローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５にピストン３０を挟んでネジ結合し、該ネジ結合のみでローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５をピストン３０の先端側に取付け、ローリングダイヤフラム１０の閉鎖端１５とピストン３０のネジ結合をなくす。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体製造或いは液晶製造に使用される薬液などの液体を定量或いは定量かつ定流量で供給するポンプに関する。

この種の従来のポンプして、シリンダ内を、液体を吸入及び吐出するポンプ室とピストンを収容する駆動室とに仕切るフッ素樹脂製のローリングダイヤフラムを備えたものが知られている（例えば特許文献１参照）。ローリングダイヤフラムは、シリンダに折返部を経て取付けられる開放端と、シリンダ内に往復動自在に収容されたピストンの先端側に配置される閉鎖端とを設けた筒部を有しており、閉鎖端をピストンの動きに合わせて往復動させることで、筒部がピストンの外周面とシリンダの内周面に密着しながらこれら２面の隙間でローリングし、ポンプ室の容積を変化させる。ポンプは、ピストンの復動に伴いポンプ室の容積が拡大する吸入工程でポンプ室内に液体を吸入し、ピストンの往動に伴いポンプ室の容積が縮小する吐出工程でポンプ室内の液体を吐出する。ここで、ピストンは、外部駆動原によって軸方向に往復動されるピストンロッドの先端部にネジ結合されてシリンダ内で往復動され、このピストンの動きに合わせてローリングダイヤフラムの閉鎖端を往復動させるために、ローリングダイヤフラムの閉鎖端は、ピストンの先端側にネジ結合で取付けられていた。
特開平９−５３５６６号公報

従来のポンプでは、ローリングダイヤフラムの閉鎖端をピストンの先端側にネジ結合で取付けるから、ローリングダイヤフラムのピストンへの装着は、ローリングダイヤフラムとピストンの少なくとも一方を回転させて、ローリングダイヤフラムの閉鎖端に設けられた雄ネジをピストンに設けられた雌ネジにねじ込みながら、ローリングダイヤフラムの筒部をピストンに外嵌することで行われるが、この時にローリングダイヤフラムの筒部に捻れによる変形やシワを発生させてしまい、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下を招く。また、この問題を解決しようとして、ローリングダイヤフラムの筒部内径とピストン外径とのクリアランス（隙間）を大きく取ると、ローリングダイヤフラムの材料がゴムではなく弾性や柔軟性に乏しいフッ素樹脂であるため、ポンプ駆動時にローリングダイヤフラムの筒部に撓みや折曲りを発生させてしまい、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下を招く。したがって、従来のポンプは、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下を容易に防止できないという課題があった。

上記課題を解決するため本発明のポンプは、シリンダに折返部を経て取付けられる開放端と、前記シリンダ内に往復動自在に収容されたピストンの先端側に配置される閉鎖端とを設けた筒部を有し、前記シリンダ内を、液体を吸入及び吐出するポンプ室と前記ピストンを収容する駆動室とに仕切るフッ素樹脂製のローリングダイヤフラムを備え、前記ピストンとは別体に構成されたピストンロッドの先端部に雄ネジを設け、前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端に前記雄ネジに螺合する雌ネジを設け、前記ピストンロッドの先端部を前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端に前記ピストンを挟んでネジ結合し、該ネジ結合のみで前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端を前記ピストンの先端側に取付けたことを特徴とする。

また、前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端から前記ピストンに向かって突出し、前記雌ネジを有する前記ローリングダイヤフラムと同心なボス部と、前記ピストンの先端面に形成され、前記ボス部を軸方向に摺動可能に嵌合する前記ピストンと同心な凹部とを設けることが好ましい。

さらに、突き合い接触する前記ピストンの先端面と前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端との間を前記駆動室に連通する通路を前記ピストンに設けることが好ましい。

本発明によれば、ピストンとは別体に構成されたピストンロッドの先端部に雄ネジを設け、ローリングダイヤフラムの閉鎖端に雄ネジに螺合する雌ネジを設け、ピストンロッドの先端部をローリングダイヤフラムの閉鎖端にピストンを挟んでネジ結合し、該ネジ結合のみでローリングダイヤフラムの閉鎖端をピストンの先端側に取付けたから、すなわち、ローリングダイヤフラムの閉鎖端とピストンのネジ結合をなくしたから、ローリングダイヤフラムのピストンへの装着は、ローリングダイヤフラムとピストンの何れも回転させることなく、ローリングダイヤフラムの筒部をピストンに外嵌するだけで行え、ローリングダイヤフラムのピストンへの装着時に、ローリングダイヤフラムの筒部に捻れによる変形やシワを発生させることがなくなる。ひいては、ローリングダイヤフラムの筒部内径とピストン外径とのクリアランスを大きく取る必要もなくなる。したがって、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下を容易に防止することができる。また、ローリングダイヤフラムの閉鎖端とピストンを結合するネジのバックラッシュ（隙間）によるローリングダイヤフラムのガタ付きがなくなるから、ポンプの応答性を向上することができる。さらに、ローリングダイヤフラムの閉鎖端とピストンを結合する作業工程がなくなるから、ポンプの組立性、メンテナンス性を向上することができる。

また、ローリングダイヤフラムの閉鎖端からピストンに向かって突出し、雌ネジを有するローリングダイヤフラムと同心なボス部と、ピストンの先端面に形成され、ボス部を軸方向に摺動可能に嵌合するピストンと同心な凹部とを設けることにより、ボス部と凹部の嵌合でローリングダイヤフラムとピストンとの心合わせを行うことができ、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下をより確実に防止することができる。

さらに、突き合い接触するピストンの先端面とローリングダイヤフラムの閉鎖端との間を駆動室に連通する通路をピストンに設けることにより、ローリングダイヤフラムのピストンへの装着時は通路が、ローリングダイヤフラムの閉鎖端とピストンの先端面の間の空気抜きとして働くから、ローリングダイヤフラムの筒部内径とピストン外径とのクリアランスが小さくても、ローリングダイヤフラムをピストンにスムースに装着することができ、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下をより確実に防止することができる。

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図１は本発明の一実施の形態に係るポンプの断面図、図２は本発明の一実施の形態に係るポンプのローリングダイヤフラムとピストンとピストンロッドとの分解状態を示す断面図である。

図１に示すポンプ１は半導体製造或いは液晶製造に使用される薬液等の液体を定量かつ定流量で供給するためのダイヤフラムポンプであり、ダイヤフラム１０と、ダイヤフラム１０を収容するポンプハウジングである円筒状のシリンダ２０と、ダイヤフラム１０を作動させる往復動部材であるピストン３０と、ピストン３０とは別体に構成された駆動軸であるピストンロッド４０と、ピストンロッド４０及びピストン３０を介してダイヤフラム１０を作動させるリニアアクチュエータ等の外部駆動源５０とから構成される。なお、図中ＣＬは紙面上下方向に延伸するポンプ中心軸線を示し、各構成部品１０，２０，３０，４０，５０の中心軸線はポンプ中心軸線ＣＬ上にある。すなわち、各構成部品１０，２０，３０，４０，５０は同軸上に配置されている。

図１，図２に示すように、ダイヤフラムにはＰＴＦＥ（四フッ化エチレン樹脂）等のフッ素樹脂で形成されて耐薬品性が付与された略カップ状のローリングダイヤフラム１０がいられる。ローリングダイヤフラム１０は、中間部で内側又は外側に折返された円筒状の筒部１１を有している。筒部１１は、断面形状がＵ字形の折返部１２と、折返部１２の内周側端部及び外周側端部からそれぞれローリングダイヤフラム１０の中心軸線を中心とする円筒面内で同方向に延出される内周部１３及び外周部１４とを設ける。また、筒部１１の一端である内周部１３の端部を閉鎖端とする円板状の端板部１５を設け、筒部１１の他端である外周部１４の端部を開放端とし、開放端から半径方向外側に突出する円環状のフランジ部１６を設ける。筒部１１は、例えば厚さ１ｍｍ以下、０．１ｍｍ以上の薄肉に形成されて可撓性を有し、端板部１５及びフランジ部１６は、筒部１１より十分に厚い厚肉に形成されて剛性を有する。さらに、端板部１５には、この中心部から筒部１１の内側に向かって突出するローリングダイヤフラム１０と同心なボス部１７を設ける。ボス部１７は円柱状の外形を有し、ボス部１７の中心部にはボス部１７の先端面に一端を開口し、かつ孔壁面に雌ネジ１８を付けた有底円筒状のローリングダイヤフラム１０と同心なボス孔１９を設ける。

図１に示すように、シリンダ２０は、円筒状のシリンダ本体２１と、シリンダ本体２１の一端側（図１の上側）に取付けられる有天円筒状のヘッドカバー２２と、シリンダ本体２１の他端側（図１の下側）に取付けられ、中心部でピストンロッド４０を摺動可能に軸受けする円盤状のロッドカバー２３とから構成される。シリンダ本体２１は内外面貫通の通気口２４を設ける。通気口２４は大気に開放するか、図示しない真空ポンプや真空発生器に接続される。また、ヘッドカバー２２の周壁部に内外面貫通の吸入口２５を設けると共に、ヘッドカバー２２の天部中心部に内外面貫通の吐出口２６を設ける。吸入口２５は図示しない吸入側逆止弁を介して図示しない薬液タンクに接続される。吐出口２６は図示しない吐出側逆止弁を介して図示しない薬液供給部に接続される。吸入側逆止弁は薬液タンクから吸入口２５への流れを許容し、その逆の流れを阻止する。吐出側逆止弁は吐出口２６から薬液供給部への流れを許容し、その逆の流れを阻止する。なお、図中７０はシリンダ本体２１とロッドカバー２３との接合部に設けた０リング等のシールである。

図１、図２に示すように、ピストン３０は、シリンダ２０の内径より小さく、かつローリングダイヤフラム１０の内周部１３の内径と略同径な直径を有する円柱状に形成されてシリンダ２０内に収容され、ピストン３０の外周面がシリンダ２０の内周面と所定の隙間を設けて対向している。ピストン３０の中心部には、ピストン３０のヘッドカバー２２側の先端面（上端面）に一端を開口し、ローリングダイヤフラム１０のボス部１７を軸方向に摺動可能に嵌合する有底円筒状のピストン３０と同心な第１凹部３１と、ピストン３０のロッドカバー２３側の基端面（下端面）に一端を開口し、ピストンロッド４０のピストン３０側の先端部（上端部）を挿入する有天円筒状のピストン３０と同心な第２凹部３２を設ける。第１凹部３１と第２凹部３２との間に形成される隔壁３３の中心部には、第１凹部３１と第２凹部３２とを連通させるピストン３０と同心な円形の貫通孔３４を設ける。ピストン３０の外周部には、ピストン３０の先端面から基端面に貫通する直線状の細長い貫通孔でなる空気通路３５を、複数、ピストン３０の中心軸線を中心とする同一円周上で等間隔に設ける。

図１に示すように、シリンダ２０の外部に突出するピストンロッド４０の外部駆動原５０側の基端部（下端部）は、駆動源５０の出力軸と軸継手等を介してポンプ中心軸線ＣＬ上で一直線状に結合される。他方、図２にも示すように、シリンダ２０の内部に突出するピストンロッド４０の先端部には、ピストンロッド４０より小径で、外周面にローリングダイヤフラム１０の雌ネジ１８と螺合する雄ネジ４１を付けたボルト部４２を設ける。なお、図中６０はピストンロッド４０のボルト部４２に外嵌させてピストンロッド４０のボルト部４２との段差面４３に係合させる円環状の座金、７１，７２はピストンロッド４０のロッドカバー２３を貫通する摺動部に設けた０リング等のパッキンである。

そして、図１に示すように、ローリングダイヤフラム１０はフランジ部１６がシリンダ本体２１とヘッドカバー２２との接合面間で強く挟持されてシリンダ２０内に取付けられる。取付け状態（ポンプ組立状態）では、外周部１４がシリンダ本体２１の内周面と接触してその面に沿ってロッドカバー２３側へ延設され、折返部１２がシリンダ本体２１の内周側に位置し、内周部１３が外周部１４と平行にヘッドカバー２２側へ延設され、端板部１５がヘッドカバー２２の閉鎖端近傍でその閉鎖端に対し離反対向する。これにより、シリンダ２０内がローリングダイヤフラム１０によって、吸入口２５及び吐出口２６と連通したヘッドカバー２２側のポンプ室Ａと、通気孔２４と連通すると共にピストン３０を収容したロッドカバー２３側の駆動室Ｂとに仕切られる。

また、駆動室Ｂにおいては、ピストン３０がローリングダイヤフラム１０の内周部１３に軸方向に摺動可能に内嵌される。この嵌合状態（ポンプ組立状態）では、ローリングダイヤフラム１０のボス部１７とピストン３０の第１凹部３１が嵌合した状態で、ピストン３０の先端面がローリングダイヤフラム１０の端板部１５の内面と突き合い接触される。これにより、ローリングダイヤフラム１０の折返部１２はシリンダ本体２１の内周面とピストン３０の外周面との隙間に位置し、内周部１３はピストン３０の外周面と接触してその面に沿ってヘッドカバー２２側へ延設される。また、突き合い接触するピストン３０の先端面とローリングダイヤフラム１０の端板部１５の内面の間は、ピストン３０に設けられた複数の空気通路３５によって駆動室Ｂと連通接続される。

ここで、ローリングダイヤフラム１０のボス部１７とピストン３０の第１凹部３１との嵌合は、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５とピストン３０とをネジ結合するものではなく、ローリングダイヤフラム１０とピストン３０との心合わせを行うものである。ローリングダイヤフラム１０のボス部１７をピストン３０の第１凹部３１に嵌合するためのローリングダイヤフラム１０のボス部１７外径とピストン３０の第１凹部３１内径とのクリアランス（隙間）が大きいと、ローリングダイヤフラム１０とピストン３０に軸ズレが生じ、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命に影響を及ぼすため、クリアランスは０．５ｍｍ以下にすることが好ましい。また、ローリングダイヤフラム１０の内周部１３をピストン３０に外嵌するためのローリングダイヤフラム１０の内周部１３内径とピストン３０外径とのクリアランス（隙間）並びにローリングダイヤフラム１０の外周部１４をシリンダ２０に内嵌するためのローリングダイヤフラム１０の外周部１４外径とシリンダ２０内径とのクリアランス（隙間）が大きいと、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命に影響を及ぼすため、クリアランスは０．２ｍｍ以下にすることが好ましい。

ピストンロッド４０の先端部は、ピストン３０の第２凹部３２内に挿入され、その先端部に設け、かつ座金６０を装着したボルト部４２が、貫通孔３４を通して、ピストン３０の第１凹部３１に嵌合したローリングダイヤフラム１０のボス部１７にあるボス孔１９に雌雄のネジ１８，４１を介してねじ込まれる。これによって、ピストン３０とは別体に構成されたピストンロッド４０とローリングダイヤフラム１０の端板部１５とが、ピストン３０の隔壁３３を挟んでポンプ軸線ＣＬ上でネジ結合され、該ネジ結合のみでローリングダイヤフラム１０の端板部１５をピストン３０の先端側に取付けている。

次に、上記のように構成されたポンプ１の動作を図１を参照して説明する。

外部駆動源５０を作動させてポンプ１を駆動すると、ピストンロッド４０が上下方向に往復動し、ピストンロッド４０が下向きに復動する吸込工程において、ピストン３０とローリングダイヤフラム１０の端板部１５とがピストンロッド４０の動きに追従して下向きに復動する。この時に、ローリングダイヤフラム１０の筒部１１は、内周部１３の長さが短くなり、外周部１４の長さが長くなり、シリンダ本体２１の内周面とピストン３０の外周面との隙間で折返部１２が下向きに変位しながらローリングし、これに伴ってポンプ室Ａの容積が拡大するため、吸入口２５からポンプ室Ａに液体タンク内の薬液が吸入される。他方、ピストンロッド４０が上向きに往動する吐出工程において、ピストン３０とローリングダイヤフラム１０の端板部１５とがピストンロッド４０の動きに追従して上向きに往動する。この時に、ローリングダイヤフラム１０の筒部１１は、内周部１３の長さが長くなり、外周部１４の長さが短くなり、シリンダ本体２１の内周面とピストン３０の外周面との隙間で折返部１２が上向きに変位しながらローリングし、これに伴ってポンプ室Ａの容積が縮小するため、ポンプ室Ａ内の薬液が吐出口２６から吐出される。

このような吸込工程と吐出工程を交互に繰返すことによってポンプ１は、液体タンク内の液体を薬液供給部に定量かつ定流量で供給することができる。なお、ポンプ１のローリングダイヤフラム１０以外の接液部であるシリンダ２０のヘッドカバー２２はローリングダイヤフラム１０と同様にＰＴＦＥ等のフッ素樹脂で形成されて耐薬品性が付与されていることが好ましい。

ポンプ１は駆動室Ｂを通気口２４を介して大気に開放した場合、吸入工程において駆動室Ｂの容積が縮小しても駆動室Ｂ内の圧力上昇を伴わないため、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５の内面をピストン３０の先端面に、内周部１３の内面をピストン３０の外周面に、外周部１４の外面をシリンダ本体２１の内面に、それぞれ密着させることができ、ポンプ１駆動時のローリングダイヤフラム１０の筒部１１の撓みや折曲り等を回避することができる。また、駆動室Ｂを通気口２４を介して真空ポンプや真空発生器に接続して負圧を印加した場合、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５の内面をピストン３０の先端面に、内周部１３の内面をピストン３０の外周面に、外周部１４の外面をシリンダ本体２１の内面に、それぞれより確実に密着させることができる。この際、突き合い接触するローリングダイヤフラム１０の端板部１５の内面とピストン３０の先端面との間は、ピストン３０に設けた複数の空気通路３５によって、直接に駆動室Ｂに連通されるから（空気通路３５がない場合は内周部１３の内面とピストン３０の外周面の間を経て駆動室Ｂに連通される）、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５の内面とピストン３０の先端面をさらに確実に密着させることができる。

そして、ポンプ１は、シリンダ２０に折返部１２を経て取付けられる開放端と、シリンダ２０内に往復動自在に収容されたピストン３０の先端側に配置される閉鎖端である端板部１５とを設けた筒部１１を有し、シリンダ２０内を、液体を吸入及び吐出するポンプ室Ａとピストン３０を収容する駆動室Ｂとに仕切るフッ素樹脂製のローリングダイヤフラム１０を備え、ピストン３０とは別体に構成されたピストンロッド４０の先端部に雄ネジ４１を設け、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５に雄ネジ４１に螺合する雌ネジ１８を設け、ピストンロッド４０の先端部をローリングダイヤフラム１０の端板部１５にピストン３０を挟んでネジ結合し、該ネジ結合のみでローリングダイヤフラム１０の端板部１５をピストン３０の先端側に取付けたから、すなわち、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５とピストン３０のネジ結合をなくしたから、ローリングダイヤフラム１０のピストン３０への装着は、ローリングダイヤフラム１０とピストン３０の何れも回転させることなく、ローリングダイヤフラム３０の内周部１３をピストン３０に外嵌するだけで行え、ローリングダイヤフラム１０のピストン３０への装着時に、ローリングダイヤフラム１０の内周部１３に捻れによる変形やシワを発生させることがなくなる。ひいては、ローリングダイヤフラム１０の内周部１３内径とピストン３０外径とのクリアランスを大きく取る必要もなくなる。したがって、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下を容易に防止することができる。また、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５とピストン３０を結合するネジのバックラッシュ（隙間）によるローリングダイヤフラム１０のガタ付きがなくなるから、ポンプ１の応答性を向上することができる。また、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５とピストン３０のネジ結合によるローリングダイヤフラム１０とピストン３０の軸ズレがなくなるから、ポンプ１駆動時にローリングダイヤフラム１０の筒部１１にローリングダイヤフラム１０の端板部１５とピストン３０のネジ結合によるローリングダイヤフラム１０とピストン３０の軸ズレによる撓みや折曲りを発生させることがなくなり、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下をさらに防止することができる。さらに、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５とピストン３０を結合する作業工程がなくなるから、ポンプ１の組立性、メンテナンス性を向上することができる。

また、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５からピストン３０に向かって突出し、雌ネジ１８を有するローリングダイヤフラム１０と同心なボス部１７と、ピストン３０の先端面に形成され、ボス部１７を軸方向に摺動可能に嵌合するピストン３０と同心な第１凹部３１とを設けることにより、ボス部１７と凹部３１の嵌合でローリングダイヤフラム１０とピストン３０との心合わせを行うことができ、ローリングダイヤフラム１０とピストン３０の軸ズレがなくなるから、ポンプ１駆動時にローリングダイヤフラム１０の筒部１１にローリングダイヤフラム１０とピストン３０の軸ズレによる撓みや折曲りを発生させることがなくなり、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下をさらに防止することができる。

さらに、突き合い接触するピストン３０の先端面とローリングダイヤフラム１０の端板部１５との間を駆動室Ｂに連通する空気通路３５をピストン３０に設けることにより、ローリングダイヤフラム１０のピストン３０への装着時は空気通路３５が、ローリングダイヤフラム１０の端板部１５とピストン３０の先端面の間の空気抜きとして働くから、ローリングダイヤフラム１０の内周部１３内径とピストン３０外径とのクリアランスが小さくても、ローリングダイヤフラム１０をピストン３０にスムースに装着することができ、ローリングダイヤフラム１０のピストン３０への装着時に、ローリングダイヤフラム１０の内周部１３に圧縮や捻れ（せん断）による変形やシワを発生させることがなくなり、定量性や定流量性等のポンプ性能及びポンプ寿命の低下をより確実に防止することができる。

本発明の一実施の形態に係るポンプの断面図である。本発明の一実施の形態に係るポンプのローリングダイヤフラムとピストンとピストンロッドとの分解状態を示す断面図である。

符号の説明

１ポンプ
１０ローリングダイヤフラム
１１筒部
１２折返部
１５端板部
１７ボス部
１８雌ネジ
２０シリンダ
３０ピストン
３１第１凹部
３５空気通路
４０ピストンロッド
４１雄ネジ
Ａポンプ室
Ｂ駆動室

Claims

シリンダに折返部を経て取付けられる開放端と、前記シリンダ内に往復動自在に収容されたピストンの先端側に配置される閉鎖端とを設けた筒部を有し、前記シリンダ内を、液体を吸入及び吐出するポンプ室と前記ピストンを収容する駆動室とに仕切るフッ素樹脂製のローリングダイヤフラムを備え、前記ピストンとは別体に構成されたピストンロッドの先端部に雄ネジを設け、前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端に前記雄ネジに螺合する雌ネジを設け、前記ピストンロッドの先端部を前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端に前記ピストンを挟んでネジ結合し、該ネジ結合のみで前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端を前記ピストンの先端側に取付けたことを特徴とするポンプ。
前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端から前記ピストンに向かって突出し、前記雌ネジを有する前記ローリングダイヤフラムと同心なボス部と、前記ピストンの先端面に形成され、前記ボス部を軸方向に摺動可能に嵌合する前記ピストンと同心な凹部とを設けることを特徴とする請求項１に記載のポンプ。
突き合い接触する前記ピストンの先端面と前記ローリングダイヤフラムの閉鎖端との間を前記駆動室に連通する通路を前記ピストンに設けることを特徴とする請求項１又は請求項２に記載のポンプ。