JP2006162443A - 振動子および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】電力消費を抑えつつ、可動部の挙動を検出することができる振動子、および、かかる振動子を備える電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の振動子は、振動する可動部を有し、可動部の振動により駆動するものであって、可動部の挙動を検出する挙動読取手段６を有し、挙動読取手段６は、可動部の電極指４２１に形成され、磁化された磁性体膜４２１Ａと、磁性体膜４２１Ａの近傍に設けられた導体６１と、導体６１に流れる電流を検出する電流検出手段６２とを有し、可動部の振動に伴って導体６１に流れる誘導電流を電流検出手段６２によって検出することにより、可動部の挙動を検出するように構成されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、振動子および電子機器に関するものである。

ある振動電流の周波数に同調して機械的に振動する振動子は、携帯電話等の通信機器用のバンドパスフィルター、基準クロック、振動式センサ等に応用されている。
このような振動子としては、シリコン基板上に、半導体製造プロセスを利用したマイクロマシニング技術により、振動を発生するための構造（浮上部とアンカー部とを有する構造）を形成する方法が提案されている（特許文献１参照）。

例えば、特許文献１にかかる振動子は、シリコン基板に、互いに微小空隙を隔てて対向する固定電極および可動電極がパターンニングされている。このような振動子は、可動電極と固定電極との間に電圧を印加することにより、これらの間に静電引力を生じさせ、可動電極の可動部を振動させるようになっている。また、可動電極と固定電極との間の静電容量を検出することにより、可動部の変位を検出するようになっている。そして、検出された可動部の変位に基づき、可動部の振幅を一定に保つように、可動電極と固定電極との間に印加する電圧を制御する。
しかしながら、特許文献１にかかる振動子にあっては、可動部の挙動（振幅）を検出するに際し、電気抵抗の比較的高い可動電極と固定電極との間の微弱な静電容量変化を検出しなければならないので、比較的大きな電力が必要となってしまう。その結果、このような振動子を低電圧で駆動する電子機器に用いることが難しい。

特開平１１−１９０６３５号公報（段落番号００２１）

本発明の目的は、電力消費を抑えつつ、可動部の挙動を検出することができる振動子、および、かかる振動子を備える電子機器を提供することにある。

このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の振動子は、振動する可動部を有し、該可動部の振動により駆動する振動子であって、
前記可動部の挙動を検出する挙動読取手段を有し、
前記挙動読取手段は、前記可動部の少なくとも一部に形成され、磁化された磁性体と、前記磁性体の近傍に設けられた導体と、前記導体に流れる電流を検出する電流検出手段とを有し、前記可動部の振動に伴って前記導体に流れる誘導電流を前記電流検出手段によって検出することにより、前記可動部の挙動を検出するように構成されていることを特徴とする。
これにより、可動部の電気抵抗の大きさに関わらず、可動部の挙動を検出することができるので、電力消費を抑えつつ、可動部の挙動を検出することができる。

本発明の振動子では、前記可動部の挙動として、前記可動部の振動の振幅、振動数、変位量のうちの少なくとも１つを含むことが好ましい。
このような可動部の挙動を検出することにより、可動部の挙動を所望の状態に正確に制御することができる。
本発明の振動子では、前記磁性体は、前記可動部の前記磁性体と対向する面側の一部に層状に設けられていることが好ましい。
これにより、可動部の構成材料を振動特性に優れたものとしつつ、可動部の振動に伴って導体に誘導電流を効果的に生じさせることができる。その結果、少ない電力で優れた振動特性を有する振動子を得ることができる。

本発明の振動子では、前記可動部は、互いに平行に延びて櫛歯状をなす複数の電極指を有し、それらの電極指のうちの少なくとも１つに前記磁性体が形成されていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、導体近傍を移動する磁性体の総面積を大きくして、より大きな誘導電流を導体に生じさせることができるので、可動部の挙動をより正確に検出することができる。その結果、少ない電力で優れた振動特性を有する振動子を得ることができる。

本発明の振動子では、前記複数の電極指のそれぞれに、前記磁性体が形成され、前記導体は、各電極指をまたがるように設けられていることが好ましい。
これにより、大きな誘導電流を導体により確実に生じさせることができる。
本発明の振動子では、前記複数の電極指に形成された磁性体は、前記可動部の振動方向に沿って多極磁化されていることが好ましい。
これにより、より正確に可動部の挙動を検出することができる。

本発明の振動子では、前記導体に対して同距離にある前記磁性体の部分の極性は、隣接する電極指同士間で同極性になっていることが好ましい。
これにより、さらに大きな誘導電流を導体に生じさせることができる。
本発明の振動子では、前記電流検出手段は、前記導体を流れる電流の大きさおよび／または方向を検出することが好ましい。
これにより、より正確に可動部の挙動を検出することができる。

本発明の振動子では、前記導体は、前記可動部の振動方向に対しほぼ直角に延びていることが好ましい。
これにより、可動部の振動に伴って導体に誘導電流をより確実に生じさせることができる。
本発明の振動子では、前記導体は、線状をなしていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、正確に可動部の挙動を検出することができる。

本発明の振動子では、前記導体は、前記可動部に対し非接触に設けられていることが好ましい。
これにより、可動部の振動を妨げることなく、電力消費を抑えつつ、可動部の挙動を検出することができる。
本発明の電子機器は、本発明の振動子を備えることを特徴とする。
これにより、電力消費を抑えつつ、可動部の挙動を検出することができるので、電子機器の省電力化を図ることができる。

以下、本発明の振動子および電子機器を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
以下では、本発明の振動子をマイクロレゾネータに適用した場合を、一例にして説明する。
＜マイクロレゾネータの構成＞
図１は、本発明の振動子をマイクロレゾネータに適用した場合の実施形態を示す平面図、図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図、図３は、図１中のＢ−Ｂ線断面図、図４は、図１に示すマイクロレゾネータに備えられた可動部の挙動の検出を説明するための図である。なお、以下の説明では、図２中の上側を「上」、下側を「下」と言う。

図１ないし図３に示すマイクロレゾネータ１は、基部２と、この基部２に固定された一対の固定電極３１、３２と、固定電極３１、３２同士の間で振動可能に設けられた可動部４とを有している。
可動部４は、各固定電極３１、３２にそれぞれ対向する可動電極４１、４２と、基部２に支持部５１、５２（図１および２参照）を介して固定された固定部４５、４６と、各可動電極４１、４２と各固定部（アイランド部）４５、４６とを連結する梁部４３、４４とを有している。

各可動電極４１、４２は、それぞれ、複数の電極指４１１、４２１が併設された櫛歯形状をなしている。すなわち、可動部４は、互いに平行に延びて櫛歯状をなす複数の電極指４１１、４２１を有している。複数の電極指４２１上には、磁化された磁性体膜４２１Ａが形成されており、この磁性体膜４２１Ａに近接して、線状の導体６１が配されている。この導体６１は、可動部４（電極指４２１）の挙動を検出する挙動読取手段６に用いるためのものである。なお、挙動読取手段６については、後に詳述する。
一方、各固定電極３１、３２は、それぞれ、併設された電極指３１１、３２１と、固定部３１２、３２２とを有している。
そして、各固定部３１２、３２２は、それぞれ、支持部５３、５４（図１参照）を介して基部２に固定されている。

固定電極３１と可動電極４１とは、電極指３１１と電極指４１１とが交互に位置するように、すなわち、互いに噛み合うようにして配置されている。また、固定電極３２と可動電極４２とも、固定電極３１と可動電極４１と同様に配置されている。
マイクロレゾネータ１では、これらの電極指３１１、３２１および４１１、４２１の幅、間隔、厚さ等を調整することにより、共振周波数等の特性を所望のものに設定することができる。

本実施形態では、可動部４を構成する各部のうち、各可動電極４１、４２および各梁部４３、４４が、また、各固定電極３１、３２を構成する各部のうち、各電極指３１１、３２１が、それぞれ、複数の帯状体を組み合わせたような形状をなしている。そして、これらの部分は、基部２から浮いた状態、すなわち、所定の距離（後述する第２の層１０２の厚さ）離間した状態となっている。

一方、可動部４を構成する各部のうち、各固定部４５、４６が、基部２に固定された状態となっている。
このようなマイクロレゾネータ１では、固定電極３１と可動電極４１との間に電圧を印加すると、図４に示すように、両電極３１、４１間に静電引力が発生し、可動電極４１が固定電極３１に接近するように移動する。

一方、この固定電極３１と可動電極４１との間への電圧の印加を停止するとともに、固定電極３２と可動電極４２との間に電圧を印加すると、両電極３２、４２間に静電引力が発生し、可動電極４２が固定電極３２に向かって移動する。
このように、固定電極３１と可動電極４１との間、および、固定電極３２と可動電極４２との間に、交互に電圧を印加することにより、可動電極４１、４２が一定の周波数で往復動する。この周波数（振動周波数）は、可動電極４１、４２の合計質量と、梁部４３、４４のバネ定数で定まる変位に対する復元力によって定まる。
ここで、挙動読取手段６を図４に基づいて詳述する。

前述したように、可動部４の電極指４２１の表面近傍には、磁性体膜４２１Ａが形成され、磁性体膜４２１Ａの近傍には、線状の導体６１が配されている。そして、図４に示すように、導体６１には、導体６１に流れる電流を検出する電流検出手段６２が接続されている。さらに、電流検出手段６２には、電流検出手段６２によって検出された電流に基づいて、固定電極３１と可動電極４１との間へ印加する電圧を制御する制御手段６３が接続されている。

本実施形態では、前述した、磁性体膜４２１Ａ、導体６１、電流検出手段６２によって、挙動読取手段６が構成されている。
すなわち、挙動読取手段６は、図４に示すように、前述した可動部４の電極指４２１の表面近傍に形成された磁性体膜４２１Ａと、磁性体膜４２１Ａの近傍に設けられた導体６１と、導体６１に流れる電流を検出する電流検出手段６２とを有している。そして、この挙動読取手段６は、可動部４の振動に伴って導体６１に流れる誘導電流を電流検出手段６２によって検出することにより、可動部４の挙動を検出する。

本実施形態では、導体６１は、可動部４の振動方向（すなわち、電極指４２１の移動方向）に対しほぼ直角に延びている。これにより、可動部４の振動に伴って導体６１に誘導電流をより確実に生じさせることができる。
また、導体６１は、線状をなしているので、比較的簡単な構成で、正確に可動部４の挙動を検出することができる。
また、導体６１は、可動部４に対し非接触に設けられている。これにより、可動部４の振動を妨げることなく、電力消費を抑えつつ、可動部４の挙動を検出することができる。

可動部４に形成された磁性体は、磁性体膜４２１Ａとして、可動部４の磁性体と対向する面側の一部に層状に設けられている。これにより、可動部４の構成材料を振動特性に優れたものとしつつ、可動部４の振動に伴って導体６１に誘導電流を効果的に生じさせることができる。その結果、マイクロレゾネータ１は、少ない電力で優れた振動特性を有するものとなる。

また、複数の電極指４２１のそれぞれに、磁性体膜４２１Ａが形成され、導体６１は、各電極指４２１をまたがるように設けられている。これにより、可動部４の振動に伴って大きな誘導電流を導体６１により確実に生じさせることができる。
また、複数の電極指４２１に形成された磁性体膜４２１Ａは、図４に示すように、可動部４の振動方向（すなわち、電極指４２１の移動方向）に沿って多極磁化されて、Ｓ極とＮ極とが交互に形成されている。これにより、可動部４の振動時に電流検出手段６２によって検出される電流波形に基づいて、より正確に可動部４の挙動を検出することができる。

また、図４に示すように、導体６１に対して同距離にある磁性体膜４２１Ａの部分の極性は、隣接する電極指４２１同士間で同極性になっている。これにより、可動部４の駆動に伴って、さらに大きな誘導電流を導体６１に生じさせることができる。
また、電流検出手段６２は、導体６１を流れる電流の大きさおよび／または方向を検出する。特に、本実施形態のように磁性体膜４２１Ａが複数の磁極を有している場合、導体６１を流れる電流はその大きさおよび方向が変化するので、電流検出手段６２は、導体６１を流れる電流の大きさおよび方向を検出するのが好ましい。これにより、より正確に可動部４の挙動を検出することができる。

このような構成を有する挙動読取手段６により可動部４の挙動を検出すると、可動部４の電気抵抗の大きさに関わらず、可動部４の挙動を検出することができるので、電力消費を抑えつつ、可動部４の挙動を検出することができる。
より具体的には、可動部４の挙動として、可動部４の振幅、振動数、変位のうちの少なくとも１つを検出する。このような可動部４の挙動を検出することにより、この検出結果を制御手段６３にて例えばＡ／Ｄ変換、演算してフィードバックして、可動部４の挙動を所望の状態に正確に制御することができる。

＜マイクロレゾネータの製造方法＞
次に、図１ないし図３に示すマイクロレゾネータの製造方法の一例を説明する。
図５および図６は、それぞれ、図１ないし図３に示すマイクロレゾネータの製造方法を説明するための図である。なお、図５および図６は、図１におけるＢ−Ｂ線断面図に対応する断面図である。
また、以下の説明では、図５および図６中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
このマイクロレゾネータ１の製造方法は、［１］磁性体膜形成工程と、［２］第１のエッチング工程と、［３］第２のエッチング工程と、［４］導体配置工程とを有している。以下、各工程について、順次説明する。

［１］磁性体膜形成工程
まず、図５（Ａ）に示すように、基材１０１上に、後述する第１のエッチングにより実質的にエッチングされない第２の層１０２と、第１のエッチングによりエッチングされる第１の層１０３とがこの順で積層されてなる３層構成の基板１０を用意する。
この基板１０を構成する各層のうち、第１の層１０３は、前述したマイクロレゾネータ１の可動部４および各固定電極３１、３２に、第２の層１０２は、各支持部５１、５２、５３、５４に加工される部分であり、基材１０１は、基部２となる部分である。
この基板１０としては、各層１０１、１０２、１０３の組み合わせで各種のものが挙げられるが、特に、主としてＳｉで構成された基材１０１上に、主としてＳｉＯ_２で構成された第２の層と、主としてＳｉで構成された第１の層（活性層）１０３とがこの順で積層されてなるＳＯＩ基板が好適である。

基板１０としてＳＯＩ基板を用いることにより、第１の層１０３の厚さが比較的厚いものを作製することができるようになる。このため、形成される各電極指３１１、３２１、４１１、４２１の厚さを大きくすることができるので、各電極指３１１、３２１、４１１、４２１の断面積（長手方向に対して垂直な方向での面積）を大きくすることができる。これにより、マイクロレゾネータ１では、静電容量を大きくすることができ、その結果、印加電圧に対する可動部４の変位量を増大させることができる。
また、各電極指３１１、３２１、４１１、４２１の厚さを大きく設定することができるので、必要とする断面積を確保しつつ、その幅を小さくすることができる。これにより、各固定電極３１、３２、４１、４２の小型化、ひいては、マイクロレゾネータ１全体の小型化を図ることができる。

第１の層１０３の厚さ（平均）は、特に限定されないが、０．２〜１００μｍ程度であるのが好ましく、２０〜６０μｍ程度であるのがより好ましい。第１の層１０３の厚さが薄過ぎると、第１の層１０３の構成材料等によっては、マイクロレゾネータ１において、可動部４の印加電圧に対する変位量を十分に大きくするのが困難となるおそれがあり、一方、第１の層１０３の厚さを前記上限値を超えて大きくしても、それ以上の効果の増大が期待できないばかりでなく、エッチングを深く垂直に行うことが難しくなる。
そして、図５（Ｂ）に示すように、前述したような基板１０に対し、電極指４２１に対応するように、磁性体膜４２１Ａを形成する。

磁性体膜４２１Ａの形成方法としては、特に限定されないが、例えば、真空蒸着、スパッタリング（低温スパッタリング）、イオンプレーティング等の乾式メッキ法、電解メッキ、無電解メッキ等の湿式メッキ法、溶射法、薄膜の接合等が挙げられる。
磁性体膜４２１Ａの構成材料としては、特に限定されないが、例えば、鉄、ニッケル、コバルトおよびこれらの化合物等の各種磁性体を用いることができる。

［２］第１のエッチング工程
次に、このような基板１０の第１の層１０３上（第２の層１０２と反対側）のエッチング領域内に、例えばフォトリソグラフィー法等を用いてマスクを形成する。
なお、マスクとしては、レジスト材料で構成されるマスク（レジストマスク）に代えて、例えばＡｌ等の金属材料で構成されるマスク（メタルマスク）を用いることもできる。

そして、形成されたマスクを用いて、第１の層１０３に対して第１のエッチングを施す。これにより、第１の層１０３は、固定電極３１および可動部４に対応した形状にパターニングされ、図５（Ｃ）に示すように、電極指４２１が形成される。
なお、第２の層１０２は、第１のエッチングにより実質的にエッチングされないものであり、第１のエッチングに際して、その侵攻を阻止するストップ層として機能する。

第１のエッチングには、例えば、反応性イオンエッチング、プラズマエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチングのようなドライエッチング、ウェットエッチング等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、ドライエッチング、特に、反応性イオンエッチングを用いるのが好適である。
第１のエッチングとしてドライエッチング（特に、反応性イオンエッチング）を用いることにより、第１の層１０３に対して異方性の高いエッチングを行うことができ、第１の層１０３のパターニングを寸法精度よく行うことができる。
本工程［２］により、第１の層１０３がパターニング（加工）され、可動部４、各固定電極３１、３２が形成される。

［３］第２のエッチング工程
次に、前述したマスクを除去する。第２のエッチング工程に先立って、マスクを除去することにより、第２のエッチング工程において、ウェットエッチングを用いる場合には、マスク材料（レジスト材料や、金属材料）の溶解によるエッチング液の汚染を防止または抑制することができる。

このマスクの除去方法としては、例えば、マスクがレジスト材料で構成される場合には、レジスト剥離液、マスクが金属材料で構成される場合には、リン酸溶液のようなメタル剥離液等を用いることができる。
そして、第２の層１０２に対して、第１の層１０３が実質的にエッチングされず、第２の層１０２をエッチング可能な第２のエッチングを施す。これにより、図６（Ｄ）に示すように、第２の層１０２の一部を除去して、支持部５１、５２を形成する。

この第２のエッチングには、例えば、反応性イオンエッチング、プラズマエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチングのようなドライエッチング、ウェットエッチング等のうちの１種または２種以上を組み合わせて用いることができるが、ウェットエッチングを用いるのが好適である。
第２のエッチングとしてウェットエッチングを用いることにより、第２の層１０２を等方的にエッチングすることができる。このため、マスク除去において加工されて残存する第１の層１０３直下の第２の層１０２も効率よく除去することができる。

このウェットエッチングに用いるエッチング液としては、例えばフッ酸等が挙げられる。
このようなエッチング液に基板１０を浸漬すると、まず、残存する第１の層１０３（可動部４、各固定電極３１、３２および各ダミー部９）によって覆われていない第２の層１０２は、上面からエッチングが開始し、等方的にエッチングが進行する。
次に、可動部４および各固定電極３１、３２の直下の第２の層１０２も、それぞれ、露出した側面側からエッチングが進行して、徐々に除去される。

そして、第２の層１０２が除去されていくことにより、基材１０１と第１の層１０３との間には、間隙が形成されていく。
ここで、固定部４５、４６は、それぞれ、平面視において、各可動電極４１、４２および各梁部４３、４４を構成する帯状体の面積（最大）より面積が大きく設定されている。このため、これらの面積の差により、固定部４５、４６以外の部分（各可動電極４１、４２および各梁部４３、４４）の直下の第２の層１０２がほぼ完全に除去された時点では、各固定部４５、４６の直下の第２の層１０２の一部が残存した状態となる。
このような時点（状態）で、第２のエッチングを終了すると、残存した第２の層１０２が支持部５１、５２となり、この支持部５１、５２を介して、可動部４は、各固定部４５、４６において基材１０１（基部２）に、それぞれ固定される。一方、可動部４の他の部分は、基材１０１から浮いた状態となる。

［４］導体配置工程
次に、図６（Ｅ）に示すように、磁性体膜４２１Ａに対し非接触状態で対向するように、導体６１を設けて、マイクロレゾネータ１を得る。
このとき、導体６１には、電流検出手段６２が接続されている。
以上のような工程を経て、マイクロレゾネータ１が製造される。

なお、マイクロレゾネータ１において、各部の寸法、形状等は任意に変更することができる。ここで、例えば、可動部４の一部分を平面視での面積を比較的大きく設定する場合には、第１のエッチング工程において、かかる部分を複数の孔部を有する形状（例えば、格子状等）にパターニングするのが好ましい。これにより、第２のエッチング工程において、かかる部分の直下の第２の層１０２を確実に除去することができる。

上述したようなマイクロレゾネータ１は、各種の電子機器に適用することができ、得られる電子機器は、信頼性の高いものとなる。
次に、このような電子機器（本発明の振動子を備える電子機器）について、図７〜図９に示す実施形態に基づき、詳細に説明する。
図７は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。

この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このようなパーソナルコンピュータ１１００には、例えば、基準クロック、計時用クロック、無線機器の発振回路、フィルタ等として機能するマイクロレゾネータ１や、アンテナ１１０１が内蔵されている。

図８は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、アンテナ１２０１、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部が配置されている。
このような携帯電話機１２００には、例えば、搬送波、検波用の発振回路、フィルタ、マイコン用クロック、計時用クロック等として機能するマイクロレゾネータ１が内蔵されている。

図９は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部は、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリ１３０８に転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリ１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。

このようなディジタルスチルカメラ１３００には、例えば、マイクロコンピュータ用クロック、計時用クロック等として機能するマイクロレゾネータ１が内蔵されている。
なお、本発明の電子機器は、図７のパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、図８の携帯電話機、図９のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンタ）、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ等に適用することができる。

以上、本発明の振動子および電子機器について説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。
例えば、挙動検出手段は、前述した形態のものに限定されず、磁気ヘッドのような形態とすることもできる。
また、前述の実施形態では磁性体を可動部の一部として形成したが、可動部全体が磁性体であってもよく、また、電極指自体が磁性体で形成されていてもよい。

また、導体は、誘導電流を検出できるものであれば、線状をなすものに限らず、帯状、板状等の他の形状であってもよい。
また、前述の実施形態では、電極指４２１に磁性体膜４２１Ａを設け、その近傍に導体６１を配したが、電極指以外の可動部４の部分に磁性体膜を形成し、その近傍に導体を配してもよい。
また、前述の実施形態では、複数の電極指４２１の全てに磁性体膜を形成したが、複数の電極指４２１のうちの少なくとも１つに磁性体膜が形成されていれば、可動部４の挙動を検出することができる。

磁性体膜上の磁極の配置は、前述した実施形態のものに限られず、磁極間の距離は等間隔であっても、そうでなくてもよい。
また、本発明の振動子は、マイクロレゾネータへの適用に限定されず、例えば、ＭＥＭＳ応用のセンサ（圧力、加速度、角速度、姿勢）等に適用することができる。

本発明の振動子をマイクロレゾネータに適用した場合の実施形態を示す平面図である。 図１中のＡ−Ａ線断面図である。 図１中のＢ−Ｂ線断面図である。 図１に示すマイクロレゾネータに備えられた可動部の挙動の検出を説明するための図である。 図１ないし図３に示すマイクロレゾネータの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。 図１ないし図３に示すマイクロレゾネータの製造方法を説明するための図（縦断面図）である。 本発明の電子機器（ノート型パーソナルコンピュータ）である。 本発明の電子機器（携帯電話機）である。 本発明の電子機器（ディジタルスチルカメラ）である。

符号の説明

１……マイクロレゾネータ ２……基部 ３１、３２……固定電極 ３１１、３２１……電極指 ３１２、３２２……固定部 ４……可動部 ４１、４２……可動電極 ４１１、４２１……電極指 ４２１Ａ……磁性体膜 ４３、４４……梁部 ４５、４６……固定部 ５１、５２、５３、５４……支持部 ６……挙動読取手段 ６１……導体 ６２……電流検出手段 ６３……制御手段 ９……ダミー部 １０……基板 １０１……基材 １０２……第２の層 １０３……第１の層 １１００‥‥パーソナルコンピュータ １１０１‥‥アンテナ １１０２‥‥キーボード １１０４‥‥本体部 １１０６‥‥表示ユニット １２００‥‥携帯電話機 １２０１‥‥アンテナ １２０２‥‥操作ボタン １２０４‥‥受話口 １２０６‥‥送話口 １３００‥‥ディジタルスチルカメラ １３０２‥‥ケース（ボディー） １３０４‥‥受光ユニット １３０６‥‥シャッタボタン １３０８‥‥メモリ １３１２‥‥ビデオ信号出力端子 １３１４‥‥データ通信用の入出力端子 １４３０‥‥テレビモニタ １４４０‥‥パーソナルコンピュータ

Claims (12)

1. 振動する可動部を有し、該可動部の振動により駆動する振動子であって、
   前記可動部の挙動を検出する挙動読取手段を有し、
   前記挙動読取手段は、前記可動部の少なくとも一部に形成され、磁化された磁性体と、前記磁性体の近傍に設けられた導体と、前記導体に流れる電流を検出する電流検出手段とを有し、前記可動部の振動に伴って前記導体に流れる誘導電流を前記電流検出手段によって検出することにより、前記可動部の挙動を検出するように構成されていることを特徴とする振動子。
2. 前記可動部の挙動として、前記可動部の振動の振幅、振動数、変位量のうちの少なくとも１つを含む請求項１に記載の振動子。
3. 前記磁性体は、前記可動部の前記磁性体と対向する面側の一部に層状に設けられている請求項１に記載の振動子。
4. 前記可動部は、互いに平行に延びて櫛歯状をなす複数の電極指を有し、それらの電極指のうちの少なくとも１つに前記磁性体が形成されている請求項１ないし３のいずれかに記載の振動子。
5. 前記複数の電極指のそれぞれに、前記磁性体が形成され、前記導体は、各電極指をまたがるように設けられている請求項４に記載の振動子。
6. 前記複数の電極指に形成された磁性体は、前記可動部の振動方向に沿って多極磁化されている請求項５に記載の振動子。
7. 前記導体に対して同距離にある前記磁性体の部分の極性は、隣接する電極指同士間で同極性になっている請求項６に記載の振動子。
8. 前記電流検出手段は、前記導体を流れる電流の大きさおよび／または方向を検出する請求項１ないし７のいずれかに記載の振動子。
9. 前記導体は、前記可動部の振動方向に対しほぼ直角に延びている請求項１ないし８のいずれかに記載の振動子。
10. 前記導体は、線状をなしている請求項９に記載の振動子。
11. 前記導体は、前記可動部に対し非接触に設けられている請求項１ないし１０のいずれかに記載の振動子。
12. 請求項１ないし１１のいずれかに記載の振動子を備えることを特徴とする電子機器。
    

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