JP2006229629A - 振動子の共振周波数の調整方法および振動子 - Google Patents
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Abstract
【課題】所望の特性を有する振動子を容易に得ることができる振動子の共振周波数の調整方法および振動子を提供すること。
【解決手段】除去可能な突起47Aが設けられた振動可能な可動部4を振動させることにより駆動する振動子(マイクロレゾネータ1)を用意し、突起47Aの少なくとも一部を除去することにより、可動部4の共振周波数を調整する。この調整において、突起47Aを除去することにより、可動部4の振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整するのが好ましい。
【選択図】図1
【解決手段】除去可能な突起47Aが設けられた振動可能な可動部4を振動させることにより駆動する振動子(マイクロレゾネータ1)を用意し、突起47Aの少なくとも一部を除去することにより、可動部4の共振周波数を調整する。この調整において、突起47Aを除去することにより、可動部4の振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整するのが好ましい。
【選択図】図1
Description
本発明は、振動子の共振周波数の調整方法および振動子に関するものである。
ある振動電流の周波数に同調して機械的に振動する振動子は、携帯電話等の通信機器用のバンドパスフィルター、基準クロック、振動式センサ等に応用されている。
このような振動子としては、シリコン基板上に、半導体製造プロセスを利用したマイクロマシニング技術により、振動を発生するための構造(可動部を有する構造)を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
このような振動子としては、シリコン基板上に、半導体製造プロセスを利用したマイクロマシニング技術により、振動を発生するための構造(可動部を有する構造)を形成する方法が提案されている(例えば、特許文献1参照。)。
例えば、特許文献1では、まず、基材上にシリコ酸化物層(犠牲層)とシリコン層とが接合された基板、すなわちSIO基板を用意する。
次に、シリコン層上に、マスクパターンを形成し、これをマスクとして、シリコン層をエッチングして、所望の形状にパターニングする。
次に、犠牲層エッチング技術を用いて、可動部となる部分に対応するシリコン酸化物層を除去する。このとき、可動部を支持するためのアンカー部の平面視での面積が可動部のそれより大きいことから、アンカー部となる部分に対応するシリコン酸化物層は、除去されず残存する。
次に、シリコン層上に、マスクパターンを形成し、これをマスクとして、シリコン層をエッチングして、所望の形状にパターニングする。
次に、犠牲層エッチング技術を用いて、可動部となる部分に対応するシリコン酸化物層を除去する。このとき、可動部を支持するためのアンカー部の平面視での面積が可動部のそれより大きいことから、アンカー部となる部分に対応するシリコン酸化物層は、除去されず残存する。
前述のエッチングの際には、エッチングがシリコン酸化物層に達した後に、シリコン酸化膜層に沿ってエッチングが進行するため、過度のエッチングを行うと、可動部の質量が設計値からずれてしまい、所望の特性を有する振動子を得ることができなくなってしまう。また、エッチングの量が少なすぎても、可動部の質量が設計値からずれてしまい、所望の特性を有する振動子を得ることができなくなってしまう。したがって、エッチングの終了を正確に検出する必要がある。そのため、エッチングの条件設定が難しく、製造工程の複雑化や高コスト化を招いてしまう。
本発明の目的は、所望の特性を有する振動子を容易に得ることができる振動子の共振周波数の調整方法および振動子を提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法は、除去可能な除去部が設けられた振動可能な可動部を振動させることにより駆動する振動子を用意し、
前記除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、前記可動部の共振周波数を調整することを特徴とする。
これにより、振動子の製造工程において可動部を形成するに際し、可動部の加工に高精度を要しなくとも、所望の特性、すなわち所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法は、除去可能な除去部が設けられた振動可能な可動部を振動させることにより駆動する振動子を用意し、
前記除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、前記可動部の共振周波数を調整することを特徴とする。
これにより、振動子の製造工程において可動部を形成するに際し、可動部の加工に高精度を要しなくとも、所望の特性、すなわち所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記可動部は、略板状または枠状をなし、これに平行な方向または直角な方向に振動するよう構成されていることが好ましい。
これにより、比較的簡単な構成で、所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記調整において、前記除去部の少なくとも一部を除去することにより、前記可動部の振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整することが好ましい。
これにより、所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
これにより、比較的簡単な構成で、所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記調整において、前記除去部の少なくとも一部を除去することにより、前記可動部の振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整することが好ましい。
これにより、所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部として、前記可動部の表面に突起が形成されていることが好ましい。
これにより、突起を除去することで、可動部の質量を既知の質量だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記突起は、その基端部が先端部よりも細くなっていることが好ましい。
これにより、比較的簡単に、可動部から突起を除去することができる。
これにより、突起を除去することで、可動部の質量を既知の質量だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記突起は、その基端部が先端部よりも細くなっていることが好ましい。
これにより、比較的簡単に、可動部から突起を除去することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記調整は、粗調整および微調整を含み、前記粗調整として、前記突起の除去を行うことが好ましい。
これにより、比較的簡単に粗調整を行った後に、微調整により、共振周波数をより正確に調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部として、前記可動部の表面に膜が形成されていることが好ましい。
これにより、膜を除去することで、可動部の質量を既知の質量だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
これにより、比較的簡単に粗調整を行った後に、微調整により、共振周波数をより正確に調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部として、前記可動部の表面に膜が形成されていることが好ましい。
これにより、膜を除去することで、可動部の質量を既知の質量だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記調整は、粗調整および微調整を含み、前記微調整として、前記膜の除去を行うことが好ましい。
これにより、比較的簡単に粗調整を行った後に、微調整により、共振周波数をより正確に調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部として、前記可動部の表面に突起が形成されているとともに、その表面に膜が形成されていることが好ましい。
これにより、可動部における除去部に必要な部分の大きさを最小限に抑えて、振動子の設計自由度を高いものとしつつ、共振周波数をより正確に調整することができる。
これにより、比較的簡単に粗調整を行った後に、微調整により、共振周波数をより正確に調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部として、前記可動部の表面に突起が形成されているとともに、その表面に膜が形成されていることが好ましい。
これにより、可動部における除去部に必要な部分の大きさを最小限に抑えて、振動子の設計自由度を高いものとしつつ、共振周波数をより正確に調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記可動部の表面には、前記除去部を露出するようにマスクが形成されており、前記マスクを介して前記除去部にエッチングを施すことにより、前記除去部の少なくとも一部を除去することが好ましい。
これにより、より正確に共振周波数を調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部は、複数設けられており、必要に応じて少なくとも1つの前記除去部を除去することにより、前記調整を行うことが好ましい。
これにより、比較的簡単に、共振周波数を段階的に調整することができる。
これにより、より正確に共振周波数を調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部は、複数設けられており、必要に応じて少なくとも1つの前記除去部を除去することにより、前記調整を行うことが好ましい。
これにより、比較的簡単に、共振周波数を段階的に調整することができる。
本発明の振動子の共振周波数の調整方法では、前記除去部の構成材料は、前記可動部の前記除去部以外の部分の構成材料と異なることが好ましい。
これにより、比較的簡単に、除去部を可動部から除去することができる。
本発明の振動子は、振動可能に設けられた可動部を振動させることにより駆動する振動子であって、
前記可動部に、その共振周波数を調整するために除去され得る除去部が設けられており、前記除去部の少なくとも一部が必要に応じて除去されることにより、前記可動部の共振周波数の調整がなされることを特徴とする。
これにより、振動子の製造工程において可動部を形成するに際し、可動部の加工に高精度を要しなくとも、所望の特性、すなわち所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
これにより、比較的簡単に、除去部を可動部から除去することができる。
本発明の振動子は、振動可能に設けられた可動部を振動させることにより駆動する振動子であって、
前記可動部に、その共振周波数を調整するために除去され得る除去部が設けられており、前記除去部の少なくとも一部が必要に応じて除去されることにより、前記可動部の共振周波数の調整がなされることを特徴とする。
これにより、振動子の製造工程において可動部を形成するに際し、可動部の加工に高精度を要しなくとも、所望の特性、すなわち所望の共振周波数を有する振動子を得ることができる。
以下、本発明における振動子の共振周波数の調整方法および振動子を添付図面に示す好適実施形態に基づいて詳細に説明する。
本発明は、振動可能に設けられた可動部を振動させることにより駆動する振動子に関するものであって、特に、可動部全体が略板状または枠状をなし、これに平行な方向または直角な方向に振動するよう構成されている振動子に関するものである。このような振動子は、比較的簡単な構成で、所望の共振周波数を有するものとすることができる。
本発明は、振動可能に設けられた可動部を振動させることにより駆動する振動子に関するものであって、特に、可動部全体が略板状または枠状をなし、これに平行な方向または直角な方向に振動するよう構成されている振動子に関するものである。このような振動子は、比較的簡単な構成で、所望の共振周波数を有するものとすることができる。
<第1実施形態>
まず、本発明の第1実施形態を説明する。
§振動子§
まず、本発明の第1実施形態の振動子の共振周波数の調整方法の説明に先立ち、かかる振動子の一例を図1ないし図3に基づき説明する。なお、以下の説明では、本発明の振動子をマイクロレゾネータに適用する場合を例に説明する。
まず、本発明の第1実施形態を説明する。
§振動子§
まず、本発明の第1実施形態の振動子の共振周波数の調整方法の説明に先立ち、かかる振動子の一例を図1ないし図3に基づき説明する。なお、以下の説明では、本発明の振動子をマイクロレゾネータに適用する場合を例に説明する。
(マイクロレゾネータの構成)
図1は、振動子であるマイクロレゾネータの実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図である。なお、以下の説明では、図2中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
図1および図2に示すマイクロレゾネータ1は、基部2と、この基部2に固定された一対の固定電極31、32と、固定電極31、32同士の間で振動可能に設けられた可動部4とを有している。
図1は、振動子であるマイクロレゾネータの実施形態を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図である。なお、以下の説明では、図2中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
図1および図2に示すマイクロレゾネータ1は、基部2と、この基部2に固定された一対の固定電極31、32と、固定電極31、32同士の間で振動可能に設けられた可動部4とを有している。
可動部4は、各固定電極31、32にそれぞれ対向する可動電極41、42と、基部2に支持部51、52を介して固定された固定部45、46と、各可動電極41、42と各固定部45、46とを連結する梁部43、44と、可動電極41と可動電極42とを連結する連結部47とを有している。
各可動電極41、42は、それぞれ、複数の電極指411、421が併設された櫛歯形状をなしている。
各可動電極41、42は、それぞれ、複数の電極指411、421が併設された櫛歯形状をなしている。
このような可動電極41、42と固定部45、46とを連結する梁部43、44は、所定のバネ定数の弾性を有している。また、可動電極41と可動電極42とを連結する連結部47は、可動電極41、42間の距離を固定する機能を有するものである。したがって、可動電極41、42は、連結部47の長手方向に振動可能となっている。
ここで、図1および図3に示すように、連結部47には、その幅方向での両側に、可動部4の質量調整(粗調整)のために除去可能な複数の突起47Aが長手方向に並んで設けられている。この突起47Aは、その基端部47A1が先端部よりも細くなっている。したがって、この基端部47A1を切断して、突起47Aを連結部47から容易に切り離すことができる。特に、本実施形態では、突起47Aを連結部47からより容易に切り離すことができるよう、図3に示すように、V字状の横断面形状をなす溝が基端部47A1に形成されている。このような各突起47A上には、質量調整(微調整)のために除去可能な膜47Bが形成されている。このような突起47Aおよび膜47Bを連結部47(すなわち可動部4)から除去することにより、可動部4の共振周波数を調整することができる。なお、可動部4の共振周波数の調整方法については、後に詳述する。
ここで、図1および図3に示すように、連結部47には、その幅方向での両側に、可動部4の質量調整(粗調整)のために除去可能な複数の突起47Aが長手方向に並んで設けられている。この突起47Aは、その基端部47A1が先端部よりも細くなっている。したがって、この基端部47A1を切断して、突起47Aを連結部47から容易に切り離すことができる。特に、本実施形態では、突起47Aを連結部47からより容易に切り離すことができるよう、図3に示すように、V字状の横断面形状をなす溝が基端部47A1に形成されている。このような各突起47A上には、質量調整(微調整)のために除去可能な膜47Bが形成されている。このような突起47Aおよび膜47Bを連結部47(すなわち可動部4)から除去することにより、可動部4の共振周波数を調整することができる。なお、可動部4の共振周波数の調整方法については、後に詳述する。
一方、各固定電極31、32は、それぞれ、併設された電極指311、321と、固定部312、322とを有している。
そして、各固定部312、322は、それぞれ、支持部53、54を介して基部2に固定されている。
固定電極31と可動電極41とは、電極指311と電極指411とが交互に位置するように、すなわち、互いに噛み合うようにして配置されている。また、固定電極32と可動電極42とも、固定電極31と可動電極41と同様に配置されている。
そして、各固定部312、322は、それぞれ、支持部53、54を介して基部2に固定されている。
固定電極31と可動電極41とは、電極指311と電極指411とが交互に位置するように、すなわち、互いに噛み合うようにして配置されている。また、固定電極32と可動電極42とも、固定電極31と可動電極41と同様に配置されている。
マイクロレゾネータ1では、これらの電極指311、321および411、421の幅、間隔、厚さ等を調整することにより、共振周波数等の特性を所望のものに設定することができる。
本実施形態では、可動部4を構成する各部のうち、各可動電極41、42および各梁部43、44、連結部47が、また、各固定電極31、32を構成する各部のうち、各電極指311、321が、それぞれ、基部2から浮いた状態、すなわち、所定の距離(後述する第2の層102の厚さ)離間した状態となっている。
本実施形態では、可動部4を構成する各部のうち、各可動電極41、42および各梁部43、44、連結部47が、また、各固定電極31、32を構成する各部のうち、各電極指311、321が、それぞれ、基部2から浮いた状態、すなわち、所定の距離(後述する第2の層102の厚さ)離間した状態となっている。
一方、可動部4を構成する各部のうち、各固定部45、46が、また、各固定電極31、32を構成する各部のうち、各固定部312、322が、それぞれ、基部2に固定された状態となっている。
このようなマイクロレゾネータ1では、固定電極31と可動電極41との間に電圧を印加すると、両電極31、41間に静電引力が発生し、可動電極41が固定電極31に接近するように移動する。
このようなマイクロレゾネータ1では、固定電極31と可動電極41との間に電圧を印加すると、両電極31、41間に静電引力が発生し、可動電極41が固定電極31に接近するように移動する。
一方、この固定電極31と可動電極41との間への電圧の印加を停止するとともに、固定電極32と可動電極42との間に電圧を印加すると、両電極32、42間に静電引力が発生し、可動電極42が固定電極32に向かって移動する。
このように、固定電極31と可動電極41との間、および、固定電極32と可動電極42との間に、交互に電圧を印加することにより、可動電極41、42が往復動(振動)する。そして、その振動周波数を可動部4の共振周波数とすると、可動部4を効率よく振動させることができる。このとき、共振周波数は、可動部4の質量(主に可動電極41、42、連結部47の合計質量)と、梁部43、44のバネ定数で定まる変位に対する復元力によって定まる。
このように、固定電極31と可動電極41との間、および、固定電極32と可動電極42との間に、交互に電圧を印加することにより、可動電極41、42が往復動(振動)する。そして、その振動周波数を可動部4の共振周波数とすると、可動部4を効率よく振動させることができる。このとき、共振周波数は、可動部4の質量(主に可動電極41、42、連結部47の合計質量)と、梁部43、44のバネ定数で定まる変位に対する復元力によって定まる。
<マイクロレゾネータの製造方法>
次に、前述したマイクロレゾネータ1を製造する場合の一例を図4に基づき説明する。
図4は、図1ないし図3に示すマイクロレゾネータの製造方法を説明するための図である。なお、図4は、図1中のA−A線断面に対応する断面を示している。
また、以下の説明では、図4中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
本実施形態のマイクロレゾネータ1の製造方法は、[1]3層構成の基板を用意する工程と、[2]その基板の一層目をエッチングする工程と、[3]その基板の2層目をエッチングする工程とを有する。以下、各工程を順次説明する。
次に、前述したマイクロレゾネータ1を製造する場合の一例を図4に基づき説明する。
図4は、図1ないし図3に示すマイクロレゾネータの製造方法を説明するための図である。なお、図4は、図1中のA−A線断面に対応する断面を示している。
また、以下の説明では、図4中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
本実施形態のマイクロレゾネータ1の製造方法は、[1]3層構成の基板を用意する工程と、[2]その基板の一層目をエッチングする工程と、[3]その基板の2層目をエッチングする工程とを有する。以下、各工程を順次説明する。
[1]基板の用意
まず、図1に示すように、基材101上に、後述する第1のエッチングにより実質的にエッチングされない第2の層102と、第1のエッチングによりエッチングされる第1の層103とがこの順で積層されてなる3層構成の基板10を用意する。
この基板10を構成する各層のうち、第1の層103は、前述したマイクロレゾネータ1の可動部4および各固定電極31、32に、第2の層102は、各支持部51、52、53、54に加工される部分であり、基材101は、基部2となる部分である。
まず、図1に示すように、基材101上に、後述する第1のエッチングにより実質的にエッチングされない第2の層102と、第1のエッチングによりエッチングされる第1の層103とがこの順で積層されてなる3層構成の基板10を用意する。
この基板10を構成する各層のうち、第1の層103は、前述したマイクロレゾネータ1の可動部4および各固定電極31、32に、第2の層102は、各支持部51、52、53、54に加工される部分であり、基材101は、基部2となる部分である。
この基板10としては、各層101、102、103の組み合わせで各種のものが挙げられるが、特に、主としてSiで構成された基材101上に、主としてSiO2で構成された第2の層と、主としてSiで構成された第1の層(活性層)103とがこの順で積層されてなるSOI基板が好適である。以下では、基板10としてSOI基板を用いる場合を例に説明する。
基板10としてSOI基板を用いることにより、第1の層103の厚さが比較的厚いものを作製することができるようになる。このため、形成される各電極指311、321、411、421の厚さを大きくすることができるので、各電極指311、321、411、421の断面積(長手方向に対して垂直な方向での面積)を大きくすることができる。これにより、マイクロレゾネータ1では、静電容量を大きくすることができ、その結果、印加電圧に対する可動部4の変位量を増大させることができる。
また、各電極指311、321、411、421の厚さを大きく設定することができるので、必要とする断面積を確保しつつ、その幅を小さくすることができる。これにより、各固定電極31、32、41、42の小型化、ひいては、マイクロレゾネータ1全体の小型化を図ることができる。
第1の層103の厚さ(平均)は、特に限定されないが、0.2〜100μm程度であるのが好ましく、20〜60μm程度であるのがより好ましい。第1の層103の厚さが薄過ぎると、第1の層103の構成材料等によっては、マイクロレゾネータ1において、可動部4の印加電圧に対する変位量を十分に大きくするのが困難となるおそれがあり、一方、第1の層103の厚さを前記上限値を超えて大きくしても、それ以上の効果の増大が期待できないばかりでなく、エッチングを深く垂直に行うことが難しくなる。
第1の層103の厚さ(平均)は、特に限定されないが、0.2〜100μm程度であるのが好ましく、20〜60μm程度であるのがより好ましい。第1の層103の厚さが薄過ぎると、第1の層103の構成材料等によっては、マイクロレゾネータ1において、可動部4の印加電圧に対する変位量を十分に大きくするのが困難となるおそれがあり、一方、第1の層103の厚さを前記上限値を超えて大きくしても、それ以上の効果の増大が期待できないばかりでなく、エッチングを深く垂直に行うことが難しくなる。
[2]第1のエッチング
次に、前述したような基板10に対し、可動部4を形成する。
具体的には、まず、基板10の第1の層103上(第2の層102と反対側)のエッチング領域内に、例えばフォトリソグラフィー法等を用いて、可動部(構造体)4に対応する形状のマスクを形成する。
次に、前述したような基板10に対し、可動部4を形成する。
具体的には、まず、基板10の第1の層103上(第2の層102と反対側)のエッチング領域内に、例えばフォトリソグラフィー法等を用いて、可動部(構造体)4に対応する形状のマスクを形成する。
次に、形成されたマスクを用いて、第1の層103に対してエッチングを施す。これにより、第1の層103は、マスクに対応した形状にパターニングされる。
このとき、第2の層102は、第1のエッチングにより実質的にエッチングされないものであり、第1のエッチングに際して、その侵攻を阻止するストップ層として機能する。
第1のエッチングには、例えば、反応性イオンエッチング、プラズマエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチングのようなドライエッチング、ウェットエッチング等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができるが、ドライエッチング、特に、反応性イオンエッチングを用いるのが好適である。
このとき、第2の層102は、第1のエッチングにより実質的にエッチングされないものであり、第1のエッチングに際して、その侵攻を阻止するストップ層として機能する。
第1のエッチングには、例えば、反応性イオンエッチング、プラズマエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチングのようなドライエッチング、ウェットエッチング等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができるが、ドライエッチング、特に、反応性イオンエッチングを用いるのが好適である。
第1のエッチングとしてドライエッチング(特に、反応性イオンエッチング)を用いることにより、第1の層103に対して異方性の高いエッチングを行うことができ、第1の層103のパターニングを寸法精度よく行うことができる。
本工程[2]により、第1の層103がパターニング(加工)され、可動部4および各固定電極31、32が形成される。
本工程[2]により、第1の層103がパターニング(加工)され、可動部4および各固定電極31、32が形成される。
次に、前述のマスクを除去する。第2のエッチングに先立って、マスクを除去することにより、後述する工程[3]において、ウェットエッチングを用いる場合には、マスク材料(レジスト材料や、金属材料)の溶解によるエッチング液の汚染を防止または抑制することができる。
このマスクの除去方法としては、例えば、マスクがレジスト材料で構成される場合には、レジスト剥離液、マスクが金属材料で構成される場合には、リン酸溶液のようなメタル剥離液等を用いることができる。
このマスクの除去方法としては、例えば、マスクがレジスト材料で構成される場合には、レジスト剥離液、マスクが金属材料で構成される場合には、リン酸溶液のようなメタル剥離液等を用いることができる。
[3]第2のエッチング
次に、第2の層102に対して、第1の層103が実質的にエッチングされず、第2の層102をエッチング可能な第2のエッチングを施す。これにより、第2の層102の一部を除去する。
この第2のエッチングには、例えば、反応性イオンエッチング、プラズマエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチングのようなドライエッチング、ウェットエッチング等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができるが、ウェットエッチングを用いるのが好適である。
次に、第2の層102に対して、第1の層103が実質的にエッチングされず、第2の層102をエッチング可能な第2のエッチングを施す。これにより、第2の層102の一部を除去する。
この第2のエッチングには、例えば、反応性イオンエッチング、プラズマエッチング、ビームエッチング、光アシストエッチングのようなドライエッチング、ウェットエッチング等のうちの1種または2種以上を組み合わせて用いることができるが、ウェットエッチングを用いるのが好適である。
第2のエッチングとしてウェットエッチングを用いることにより、第2の層102を等方的にエッチングすることができる。このため、前記工程[2]において加工されて残存する第1の層103直下の第2の層102も効率よく除去することができる。
このウェットエッチングに用いるエッチング液としては、例えばフッ酸等が挙げられる。
このウェットエッチングに用いるエッチング液としては、例えばフッ酸等が挙げられる。
このようなエッチング液に基板10を浸漬すると、まず、残存する第1の層103(可動部4および各固定電極31、32)によって覆われていない第2の層102は、上面からエッチングが開始し、等方的にエッチングが進行する。
次に、可動部4および各固定電極31、32およびの直下の第2の層102も、それぞれ、露出した側面側からエッチングが進行して、徐々に除去される。
次に、可動部4および各固定電極31、32およびの直下の第2の層102も、それぞれ、露出した側面側からエッチングが進行して、徐々に除去される。
そして、第2の層102が除去されていくことにより、基材101と第1の層103との間には、間隙が形成されていく。
ここで、固定部45、46は、それぞれ、平面視において、各可動電極41、42および各梁部43、44を構成する帯状体の面積(最大)より面積が大きく設定されている。このため、これらの面積の差により、固定部45、46以外の部分(各可動電極41、42および各梁部43、44)の直下の第2の層102がほぼ完全に除去された時点では、各固定部45、46の直下の第2の層102の一部が残存した状態となる。
ここで、固定部45、46は、それぞれ、平面視において、各可動電極41、42および各梁部43、44を構成する帯状体の面積(最大)より面積が大きく設定されている。このため、これらの面積の差により、固定部45、46以外の部分(各可動電極41、42および各梁部43、44)の直下の第2の層102がほぼ完全に除去された時点では、各固定部45、46の直下の第2の層102の一部が残存した状態となる。
このような時点(状態)で、第2のエッチングを終了すると、残存した第2の層102が支持部51、52となり、この支持部51、52を介して、可動部4は、各固定部45、46において基材101(基部2)に、それぞれ固定される。一方、可動部4の他の部分は、基材101から浮いた状態となる。
以上のような工程を経て、マイクロレゾネータ1が製造される。このようにして得られたマイクロレゾネータ1は、振動可能に設けられた可動部4を振動させることにより駆動するものであって、可動部4に、その振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整するために除去され得る突起47Aおよび膜47Bが設けられている。
以上のような工程を経て、マイクロレゾネータ1が製造される。このようにして得られたマイクロレゾネータ1は、振動可能に設けられた可動部4を振動させることにより駆動するものであって、可動部4に、その振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整するために除去され得る突起47Aおよび膜47Bが設けられている。
これにより、マイクロレゾネータ1の製造工程において可動部4を形成するに際し、可動部4の加工に高精度を要しなくとも、所望の特性、すなわち所望の共振周波数を有するマイクロレゾネータ1を得ることができる。
前述した工程で得られるマイクロレゾネータ1の共振周波数は、所望の共振周波数よりも若干小さくなるようにする。そして、後述するような調整方法により、マイクロレゾネータ1の共振周波数を所望値に調整する。
前述した工程で得られるマイクロレゾネータ1の共振周波数は、所望の共振周波数よりも若干小さくなるようにする。そして、後述するような調整方法により、マイクロレゾネータ1の共振周波数を所望値に調整する。
§振動子の共振周波数の調整方法§
ここで、図5に基づき、本発明の振動子の共振周波数の調整方法を、前述したマイクロレゾネータ1を用いた場合を例に説明する。
マイクロレゾネータ1の共振周波数の調整方法は、除去可能な除去部である突起47Aおよび膜47Bが設けられた可動部4を有するマイクロレゾネータ1を用意し、突起47Aおよび/または膜47Bを除去することにより、可動部4の共振周波数を調整する。
ここで、図5に基づき、本発明の振動子の共振周波数の調整方法を、前述したマイクロレゾネータ1を用いた場合を例に説明する。
マイクロレゾネータ1の共振周波数の調整方法は、除去可能な除去部である突起47Aおよび膜47Bが設けられた可動部4を有するマイクロレゾネータ1を用意し、突起47Aおよび/または膜47Bを除去することにより、可動部4の共振周波数を調整する。
本実施形態では、可動部4の共振周波数の調整は、粗調整および微調整を含み、突起47Aおよび膜47Bの除去により粗調整を行い、その後、膜47Bの除去により微調整を行う。
より具体的には、まず、前述した製造工程で得られたマイクロレゾネータ1の駆動させ、その共振周波数を測定する。
より具体的には、まず、前述した製造工程で得られたマイクロレゾネータ1の駆動させ、その共振周波数を測定する。
この測定の方法としては、マイクロレゾネータ1の共振周波数を測定できるものであれば、特に限定されず、各種測定装置を用いることができる。例えば、可動電極41、42と固定電極31、32との間に印加する電圧の周波数をFFTアナラーザーにより変更しながら、可動部4の周波数LDV(レーザドップラ振動計)で可動部4の振幅を測定することにより、可動部4の共振周波数を測定することができる。
次に、前述の測定結果に基づき、必要な数だけ可動部4の突起47Aの基端部47A1を切断して、図5(a)に示すように、その突起47Aを対応する膜47Bとともに除去して、粗調整を行う。これにより、可動部4の質量が減少するので、可動部4の共振周波数、すなわちマイクロレゾネータ1の共振周波数が高くなる。
このとき、突起47Aおよび膜47Bを除去することで、可動部4の質量を既知の質量(突起47Aの質量と膜47Bの質量との合計質量)だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
このとき、突起47Aおよび膜47Bを除去することで、可動部4の質量を既知の質量(突起47Aの質量と膜47Bの質量との合計質量)だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
また、突起47Aは、その基端部47A1が先端部よりも細くなっているので、比較的簡単に、可動部4から突起47Aを除去することができる。
また、この調整では、粗調整として、突起47Aの除去を行うので、この調整で比較的簡単に粗調整を行った後に、後述する微調整により、共振周波数をより正確に調整することができる。
また、この調整では、粗調整として、突起47Aの除去を行うので、この調整で比較的簡単に粗調整を行った後に、後述する微調整により、共振周波数をより正確に調整することができる。
特に、本実施形態では、除去部として、可動部4の表面に突起47Aが形成されているとともに、その表面に膜47Bが形成されているので、可動部4における除去部に必要な部分の大きさを最小限に抑えて、マイクロレゾネータ1の設計自由度を高いものとしつつ、共振周波数をより正確に調整することができる。
また、突起47Aの除去に際しては、調整後の可動部4の振動時の質量バランスが均等となるようにするのが好ましい。
また、突起47Aの除去に際しては、調整後の可動部4の振動時の質量バランスが均等となるようにするのが好ましい。
突起47Aの基端部47A1の切断方法、すなわち突起47Aおよび膜47Bの除去方法としては、特に限定されないが、例えば、レーザ、エッチング、機械的衝撃、ダイシングなどを用いることができる。
その後、前述の方法と同様にして、マイクロレゾネータ1の共振周波数を再度測定する。
その後、前述の方法と同様にして、マイクロレゾネータ1の共振周波数を再度測定する。
次に、その粗調整後の測定結果に基づき、必要な数だけ可動部4の膜47Bを除去して、微調整を行う。これにより、可動部4の質量が僅かに減少するので、可動部4の共振周波数、すなわちマイクロレゾネータ1の共振周波数が若干高くなる。
このとき、膜47Bを除去することで、可動部4の質量を既知の質量(膜47Bの質量)だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
このとき、膜47Bを除去することで、可動部4の質量を既知の質量(膜47Bの質量)だけ減らして、比較的簡単に、所望の周波数分だけ共振周波数を調整することができる。
また、この調整では、微調整として、膜47Bの除去を行うので、前述した粗調整で比較的簡単に調整を行った後に、この調整で、共振周波数をより正確に調整することができる。
また、除去部である膜47Bの構成材料は、可動部4の他の部分(除去部以外の部分)の構成材料と異なっているのが好ましい。これにより、比較的簡単に、膜47Bを可動部4から除去することができる。
また、膜47Bの除去に際しては、調整後の可動部4の振動時の質量バランスが均等となるようにするのが好ましい。
また、除去部である膜47Bの構成材料は、可動部4の他の部分(除去部以外の部分)の構成材料と異なっているのが好ましい。これにより、比較的簡単に、膜47Bを可動部4から除去することができる。
また、膜47Bの除去に際しては、調整後の可動部4の振動時の質量バランスが均等となるようにするのが好ましい。
膜47Bの除去方法としては、特に限定されないが、例えば、レーザ、エッチング、機械的衝撃、ダイシングなどを用いることができる。
その後、前述の方法と同様にして、マイクロレゾネータ1の共振周波数を再度測定し、所望の共振周波数となっていれば調整を終了し、所望の共振周波数となっていなければ再度微調整を行う。
その後、前述の方法と同様にして、マイクロレゾネータ1の共振周波数を再度測定し、所望の共振周波数となっていれば調整を終了し、所望の共振周波数となっていなければ再度微調整を行う。
以上のようにして、マイクロレゾネータ1の共振周波数の調整を行うことができる。
以上のような本発明のマイクロレゾネータ1の共振周波数の調整方法によれば、マイクロレゾネータ1の製造工程において可動部4を形成するに際し、可動部4の加工に高精度を要しなくとも、所望の特性、すなわち所望の共振周波数を有するマイクロレゾネータ1を得ることができる。
以上のような本発明のマイクロレゾネータ1の共振周波数の調整方法によれば、マイクロレゾネータ1の製造工程において可動部4を形成するに際し、可動部4の加工に高精度を要しなくとも、所望の特性、すなわち所望の共振周波数を有するマイクロレゾネータ1を得ることができる。
このとき、突起47Aおよび/または膜47Bを除去することにより、可動部4の振動に寄与する質量を調整する。これにより、所望の共振周波数を有するマイクロレゾネータ1を得ることができる。
また、本実施形態では、除去部である突起47Aおよび膜48Bは、複数設けられており、必要に応じて少なくとも1つの突起47Aや膜48Bを除去することにより、共振周波数の調整を行うので、比較的簡単に、共振周波数を段階的に調整することができる。その結果、正確な共振周波数の調整をより簡単に行うことができる。
また、本実施形態では、除去部である突起47Aおよび膜48Bは、複数設けられており、必要に応じて少なくとも1つの突起47Aや膜48Bを除去することにより、共振周波数の調整を行うので、比較的簡単に、共振周波数を段階的に調整することができる。その結果、正確な共振周波数の調整をより簡単に行うことができる。
<第2実施形態>
次に、本発明の第2の実施形態を図6に基づき説明する。
まず、本発明の第2実施形態の振動子の共振周波数の調整方法の説明に先立ち、かかる振動子の一例を説明する。なお、以下の説明では、本発明の振動子をマイクロレゾネータに適用する場合を例に説明する。
次に、本発明の第2の実施形態を図6に基づき説明する。
まず、本発明の第2実施形態の振動子の共振周波数の調整方法の説明に先立ち、かかる振動子の一例を説明する。なお、以下の説明では、本発明の振動子をマイクロレゾネータに適用する場合を例に説明する。
(マイクロレゾネータの構成)
図6は、第2実施形態にかかる振動子であるマイクロレゾネータ6を示す図であって、(a)は、その平面図、(b)は、(a)中のB−B線断面図である。なお、以下の説明では、図6(b)中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
以下、これらの図6を参照して本発明の振動子の共振周波数の調整方法および振動子の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
図6は、第2実施形態にかかる振動子であるマイクロレゾネータ6を示す図であって、(a)は、その平面図、(b)は、(a)中のB−B線断面図である。なお、以下の説明では、図6(b)中の上側を「上」、下側を「下」と言う。
以下、これらの図6を参照して本発明の振動子の共振周波数の調整方法および振動子の第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。
マイクロレゾネータ6は、基材61と、この基材61上に設けられた支持部62と、支持部62に支持され基材61に対し間隔を隔てて振動可能な可動部63と、基材61上に設けられて可動部63に間隔を隔てて対向する電極64と、可動部63の電極64と反対側に設けられたマスク65とを有している。
基材61としては、可動部63と電極64とを絶縁状態で支持できるものであれば、特に限定されないが、本実施形態では、シリコンなどの導電性を有する基部61Aと、この基部61A上に順次積層された絶縁膜61B、61Cとを有している。この絶縁膜61B、61Cとしては、絶縁性を有していれば。特に限定されないが、本実施形態では、例えば、絶縁膜61Bとしてはシリコン酸化膜、絶縁膜61Cとしてはシリコン窒化膜を好適に用いることができる。
基材61としては、可動部63と電極64とを絶縁状態で支持できるものであれば、特に限定されないが、本実施形態では、シリコンなどの導電性を有する基部61Aと、この基部61A上に順次積層された絶縁膜61B、61Cとを有している。この絶縁膜61B、61Cとしては、絶縁性を有していれば。特に限定されないが、本実施形態では、例えば、絶縁膜61Bとしてはシリコン酸化膜、絶縁膜61Cとしてはシリコン窒化膜を好適に用いることができる。
このような基材61の絶縁膜61C上には、支持部62および電極64が設けられている。支持部62は、板状の可動部63をその両端で支持するものであり、支持部62の厚さは、電極64の厚さよりも大きくなっている。したがって、可動部63は、電極64と間隔を隔てて対向している。
このように支持部62に支持される可動部63は、その板厚方向(図6(b)にて上下方向)に弾性を有していて、同方向に振動可能となっている。
このように支持部62に支持される可動部63は、その板厚方向(図6(b)にて上下方向)に弾性を有していて、同方向に振動可能となっている。
また、可動部63の支持部62と反対側の面は、開口部65Aを有するマスク65で覆われている。そして、開口部65Aから露出する可動部63の部分が可動部63の共振周波数の調整のために除去可能な除去部63Aを構成している。
このようなマイクロレゾネータ6では、可動部63と電極64との間に電圧を印加すると、これらの間に静電引力が発生し、可動部63が電極64に接近するように移動する。
このようなマイクロレゾネータ6では、可動部63と電極64との間に電圧を印加すると、これらの間に静電引力が発生し、可動部63が電極64に接近するように移動する。
一方、この可動部63と電極64との間への電圧の印加を停止すると、可動部63の弾性により、可動部63が電極64に離反するように移動して、元の状態に戻る。
このように、可動部63と電極64との間の電圧の印加と停止を交互に行うことにより、可動部63が一定の周波数、すなわち共振周波数で往復動(振動)する。この周波数(振動周波数)は、可動部63の質量と、可動部63のバネ定数で定まる変位に対する復元力によって定まる。
このように、可動部63と電極64との間の電圧の印加と停止を交互に行うことにより、可動部63が一定の周波数、すなわち共振周波数で往復動(振動)する。この周波数(振動周波数)は、可動部63の質量と、可動部63のバネ定数で定まる変位に対する復元力によって定まる。
§振動子の共振周波数の調整方法§
ここで、本発明の振動子の共振周波数の調整方法を、前述したマイクロレゾネータ6を用いた場合を例に説明する。
マイクロレゾネータ6の共振周波数の調整方法は、除去可能な除去部63Aが設けられた可動部63を有するマイクロレゾネータ1を用意し、除去部63Aの少なくとも一部を除去することにより、可動部63の共振周波数を調整する。
ここで、本発明の振動子の共振周波数の調整方法を、前述したマイクロレゾネータ6を用いた場合を例に説明する。
マイクロレゾネータ6の共振周波数の調整方法は、除去可能な除去部63Aが設けられた可動部63を有するマイクロレゾネータ1を用意し、除去部63Aの少なくとも一部を除去することにより、可動部63の共振周波数を調整する。
より具体的には、まず、前述した製造工程で得られたマイクロレゾネータ6の駆動させ、その共振周波数を測定する。
この測定の方法としては、マイクロレゾネータ6の共振周波数を測定できるものであれば、特に限定されず、前述したマイクロレゾネータ1の共振周波数の測定方法と同様、各種測定装置を用いることができる。
この測定の方法としては、マイクロレゾネータ6の共振周波数を測定できるものであれば、特に限定されず、前述したマイクロレゾネータ1の共振周波数の測定方法と同様、各種測定装置を用いることができる。
次に、前述の測定結果に基づき、必要な量だけ除去部63Aを除去して、調整を行う。これにより、可動部63の質量が減少するので、可動部63の共振周波数、すなわちマイクロレゾネータ6の共振周波数が高くなる。
このとき、除去部63Aの少なくとも一部を除去することにより、可動部63の振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整する。これにより、より正確に共振周波数を調整することができる。その結果、所望の共振周波数を有するマイクロレゾネータ6を得ることができる。
また、除去部63Aの除去に際しては、調整後の可動部63の振動時の質量バランスが均等となるようにするのが好ましい。
このとき、除去部63Aの少なくとも一部を除去することにより、可動部63の振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整する。これにより、より正確に共振周波数を調整することができる。その結果、所望の共振周波数を有するマイクロレゾネータ6を得ることができる。
また、除去部63Aの除去に際しては、調整後の可動部63の振動時の質量バランスが均等となるようにするのが好ましい。
除去部63Aの除去方法としては、特に限定されないが、例えば、レーザ、エッチングなどを用いることができる。この中でも、除去部63Aの除去方法としては、エッチング、特にドライエッチングを用いるのが好ましい。これにより、エッチング時間等のエッチング条件を調整することで所望の量だけ正確に除去部63Aを除去することができる。また、共振周波数の調整前や後に、マイクロレゾネータ6を移動させることなく、エッチングを行う反応室を利用し、その反応室を減圧状態とし、共振周波数の測定を行うことができる。その結果、共振周波数の調整がより簡単となる。この場合、例えば、可動部63をポリシリコンで構成(すなわち除去部63Aをポリシリコンで構成)し、マスクをシリサイド(金属とシリコンの化合物)で構成し、エッチングガスとしてフッ素系のガスを用いることができる。
その後、前述の方法と同様にして、マイクロレゾネータ6の共振周波数を再度測定し、所望の共振周波数となっていれば調整を終了し、所望の共振周波数となっていなければ再度調整、測定を行う。
以上のようにして、マイクロレゾネータ6の共振周波数の調整を行うことができる。
以上、本発明の振動子の共振周波数の調整方法および振動子を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、振動子を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
以上のようにして、マイクロレゾネータ6の共振周波数の調整を行うことができる。
以上、本発明の振動子の共振周波数の調整方法および振動子を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、振動子を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
また、本発明の振動子は、前述した各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。例えば、第1実施形態のマイクロレゾネータ1において、開口部を有するマスクを可動部4上に設け、その開口部から露出した可動部4の部分を除去部としてもよい。また、第2実施形態のマイクロレゾネータ6において、除去部として可動部63上に突起を設けてもよい。
また、可動部から除去部の少なくとも一部を除去することにより、可動部(振動子)の共振周波数の調整を行うことができれば、除去部の位置、形状、大きさ等は任意である。例えば、第1実施形態では、突起や膜等の除去部を梁部43、44や可動電極41、42に設けてもよい。この場合、除去部を梁部43、44に設けると、可動部4の質量だけでなく、梁部43、44のバネ定数を調整して、マイクロレゾネータ1の共振周波数を調整することもできる。また、除去部を可動電極41、42に設けると、可動部4の質量だけでなく、可動電極41、42と固定電極31、32との間に生じる静電力を調整することもできる。
また、前述したようなマイクロレゾネータ1、6は、パーソナルコンピュータ(モバイル型パーソナルコンピュータ)、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンタ)、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレータ等の電子機器に適用することができる。
また、本発明の振動子としては、前述したマイクロレゾネータ1、6に限らず、例えばMEMS応用のセンサ(圧力、加速度、角速度、姿勢)等の各種振動子に適用することができる。
また、本発明の振動子の調整方法は、必要に応じて、任意の目的の工程を追加することもできる。
また、本発明の振動子の調整方法は、必要に応じて、任意の目的の工程を追加することもできる。
1……マイクロレゾネータ 2……基部 31、32……固定電極 311、321……電極指 312、322……固定部 4……可動部 41、42……可動電極 411、421……電極指 43、44……梁部 45、46……固定部 47……連結部 47A……突起 47A1……基端部 47B……膜 51、52、53、54……支持部 6……マイクロレゾネータ 61……基材 61A……基部 61B、61C……絶縁膜 62……支持部 63……可動部 64……電極 65……マスク 65A……開口部 10……基板 101……基材 102……エッチング停止材(第2の層) 103……被エッチング層(第1の層)
Claims (13)
- 除去可能な除去部が設けられた振動可能な可動部を振動させることにより駆動する振動子を用意し、
前記除去部の少なくとも一部を必要に応じて除去することにより、前記可動部の共振周波数を調整することを特徴とする振動子の共振周波数の調整方法。 - 前記可動部は、略板状または枠状をなし、これに平行な方向または直角な方向に振動するよう構成されている請求項1に記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記調整において、前記除去部の少なくとも一部を除去することにより、前記可動部の振動に寄与する質量および/またはバネ定数を調整する請求項1または2に記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記除去部として、前記可動部の表面に突起が形成されている請求項1ないし3のいずれかに記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記突起は、その基端部が先端部よりも細くなっている請求項4に記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記調整は、粗調整および微調整を含み、前記粗調整として、前記突起の除去を行う請求項4または5に記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記除去部として、前記可動部の表面に膜が形成されている請求項1ないし6のいずれかに記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記調整は、粗調整および微調整を含み、前記微調整として、前記膜の除去を行う請求項7に記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記除去部として、前記可動部の表面に突起が形成されているとともに、その表面に膜が形成されている請求項1ないし8のいずれかに記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記可動部の表面には、前記除去部を露出するようにマスクが形成されており、前記マスクを介して前記除去部にエッチングを施すことにより、前記除去部の少なくとも一部を除去する請求項1ないし9のいずれかに記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記除去部は、複数設けられており、必要に応じて少なくとも1つの前記除去部を除去することにより、前記調整を行う請求項1ないし10のいずれかに記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 前記除去部の構成材料は、前記可動部の前記除去部以外の部分の構成材料と異なる請求項1ないし11のいずれかに記載の振動子の共振周波数の調整方法。
- 振動可能に設けられた可動部を振動させることにより駆動する振動子であって、
前記可動部に、その共振周波数を調整するために除去され得る除去部が設けられており、前記除去部の少なくとも一部が必要に応じて除去されることにより、前記可動部の共振周波数の調整がなされることを特徴とする振動子。
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JP2005041249A JP2006229629A (ja) | 2005-02-17 | 2005-02-17 | 振動子の共振周波数の調整方法および振動子 |
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012002536A (ja) * | 2010-06-14 | 2012-01-05 | Denso Corp | 力学量センサの製造方法 |
JP2015523220A (ja) * | 2012-06-29 | 2015-08-13 | インテル コーポレイション | 機械的ヒューズを備える半導体パッケージ |
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-
2005
- 2005-02-17 JP JP2005041249A patent/JP2006229629A/ja active Pending
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US10508961B2 (en) | 2012-06-28 | 2019-12-17 | Intel Corporation | Semiconductor package with air pressure sensor |
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